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技術 テープ剥離方法及びテープ剥離装置

出願人 ラピスセミコンダクタ株式会社ラピスセミコンダクタ宮城株式会社
発明者 小坪圭光村上秀樹
出願日 2007年3月15日 (13年9ヶ月経過) 出願番号 2007-066067
公開日 2007年9月20日 (13年3ヶ月経過) 公開番号 2007-243198
状態 特許登録済
技術分野 ウエハ等の容器,移送,固着,位置決め等 ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等
主要キーワード 収納用溝 プッシャーバー 貼付ローラー 出用穴 フィルム剥離機構 複数枚取り 剥離ローラー 廃棄テープ
関連する未来課題
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この項目の情報は公開日時点(2007年9月20日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (9)

課題

簡単な機構テープリングフレームから自動で剥離することができるテープ剥離方法及びテープ剥離装置を提供する。

解決手段

半導体チップ3を接着したテープ2が貼付けられたリングフレーム1をテーブル4にセットし、突き破りローラー25が前記テープ2の端部に下降すると、その端部がリングフレーム1から剥離して表面が粘着性のある巻取用テープ21に接触し、前記テープ2はリングフレーム1から剥がされながら巻取用テープ21に接着して巻き取られることにより、前記テープ2がリングフレーム1から自動で剥離されるようにした。

概要

背景

一般に半導体装置の製造工程のうちアッセンブリ工程は、ウェハーマウントダイシングUV(紫外線照射ダイスボンドテープ剥離ペーストベークワイヤボンド等の工程で構成される。
ウェハーマウント工程では、スクライブリング等と称されるリングフレーム貼付けテープUVテープフィルムシート等を総称する、以下同じ)に半導体ウェハー接着される。
ダイスボンディング工程において、図7に示すように、リングフレーム1に貼付けられたテープ2には、良品半導体チップボンディングした後の半導体チップの不良品、即ち不良チップ3が接着されている。

図8は従来のテープ剥離方法を示す図で、テープ2に不良チップ3が接着された状態を断面にして示している。
リングフレーム1を収納するための図示してないリングマガジンからリングフレームを1枚又は複数枚取り出した後、人の手でリングフレーム1の内側近傍を矢印で示した剥離方向に押し出して、リングフレーム1とテープ2の接着部分を片側から剥がしている。
また、最近では人の手の代わりに剥離体でテープの端部を押し出し、剥がれた端部をクランプして剥離するようにした自動化装置も提案されている。
なお、クランプせずにフィルムをリングフレームから強制的に剥離するフィルム剥離機構は開示されている(特許文献1参照)。
特開平06−097267号公報

概要

簡単な機構でテープをリングフレームから自動で剥離することができるテープ剥離方法及びテープ剥離装置を提供する。半導体チップ3を接着したテープ2が貼付けられたリングフレーム1をテーブル4にセットし、突き破りローラー25が前記テープ2の端部に下降すると、その端部がリングフレーム1から剥離して表面が粘着性のある巻取用テープ21に接触し、前記テープ2はリングフレーム1から剥がされながら巻取用テープ21に接着して巻き取られることにより、前記テープ2がリングフレーム1から自動で剥離されるようにした。

目的

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

半導体チップ接着したテープ貼付けられたリングフレームをテーブルにセットし、突き破りローラーが前記テープの端部に下降すると、その端部が前記リングフレームから剥離して表面が粘着性のある巻取用テープに接触し、前記テープは前記リングフレームから剥がされながら前記巻取用テープに接着して巻き取られることを特徴とするテープ剥離方法。

請求項2

半導体チップを接着したテープが貼付けられたリングフレームをセットするテーブルと、前記テーブルの上方から下降して前記テープの端部を前記リングフレームから剥がして下方に移動させる突き破りローラーと、前記テーブルの下側にあって表面が粘着性のある巻取用テープを懸架した貼付けローラーと、前記巻取用テープを駆動する駆動側ローラー及び従動側ローラーとを設け、端部が下方に移動した前記テープを前記巻取用テープに接着させて巻き取ることを特徴とするテープ剥離装置

請求項3

半導体チップを接着したテープが貼付けられたリングフレームをテーブルにセットし、前記テーブルの下側に設けられた貼付けローラーが前記テープの端部に上昇し、その端部が前記貼付けローラーに懸架された表面が粘着性のある巻取用テープに接触し、前記テープは前記リングフレームから剥がされながら前記巻取用テープに接着して巻き取られることを特徴とするテープ剥離方法。

請求項4

半導体チップを接着したテープが貼付けられたリングフレームをセットするテーブルと、前記テーブルの下側にあって表面が粘着性のある巻取用テープを懸架した上昇可能な貼付けローラーと、前記巻取用テープを駆動する駆動側ローラー及び従動側ローラーとを設け、前記貼付けローラーが上昇して前記巻取用テープを前記テープに接着させて巻き取ることを特徴とするテープ剥離装置。

技術分野

0001

本発明は半導体装置の製造工程において利用されるテープ剥離技術に関するものである。

背景技術

0002

一般に半導体装置の製造工程のうちアッセンブリ工程は、ウェハーマウントダイシングUV(紫外線照射ダイスボンドテープ剥離ペーストベークワイヤボンド等の工程で構成される。
ウェハーマウント工程では、スクライブリング等と称されるリングフレーム貼付けたテープ(UVテープフィルムシート等を総称する、以下同じ)に半導体ウェハー接着される。
ダイスボンディング工程において、図7に示すように、リングフレーム1に貼付けられたテープ2には、良品半導体チップボンディングした後の半導体チップの不良品、即ち不良チップ3が接着されている。

0003

図8は従来のテープ剥離方法を示す図で、テープ2に不良チップ3が接着された状態を断面にして示している。
リングフレーム1を収納するための図示してないリングマガジンからリングフレームを1枚又は複数枚取り出した後、人の手でリングフレーム1の内側近傍を矢印で示した剥離方向に押し出して、リングフレーム1とテープ2の接着部分を片側から剥がしている。
また、最近では人の手の代わりに剥離体でテープの端部を押し出し、剥がれた端部をクランプして剥離するようにした自動化装置も提案されている。
なお、クランプせずにフィルムをリングフレームから強制的に剥離するフィルム剥離機構は開示されている(特許文献1参照)。
特開平06−097267号公報

発明が解決しようとする課題

0004

しかしながら、人間の手によるテープ剥離方法ではその分工数がかかり、安全面でも問題があり、また従来の自動化装置は機構が複雑であった。

課題を解決するための手段

0005

上記課題を解決するため、本発明は、表面が粘着性のある巻取用テープに半導体チップを接着したテープを接着させ、ローラーで巻き取るようにしてリングフレームからテープを剥離するものである。

発明の効果

0006

本発明は簡単な機構でテープをリングフレームから自動で剥離することができる。
また、テープの端部から徐々に剥離するので、負荷が小さくて済み、テープの接着剤であるがリングフレームに残らないという効果もある。
更に、テープを巻取用テープに接着させて巻き取るので、不要テープを効率的に搬送でき、受け皿を設けることもなく廃棄スペースを削減することができ、またチップ廃棄プレートを設ければ、テープと不良チップの分離が可能になり、分離廃棄が可能となる。

発明を実施するための最良の形態

0007

半導体チップを接着したテープが貼付けられたリングフレームをテーブルにセットし、突き破りローラーが前記テープの端部に下降すると、その端部がリングフレームから剥離して表面が粘着性のある巻取用テープに接触し、前記テープはリングフレームから剥がされながら巻取用テープに接着して巻き取られることにより、テープをリングフレームから自動的に剥離することを実現した。

0008

図1は本発明の実施例1を示す図で、リングフレーム1、テープ2、不良チップ3は従来と同じである。
不良チップ3を接着したテープ2が貼付けられたリングフレーム1は剥離用のテーブル4の上にセットされる。
テーブル4にはテープ2が剥がされて、下方に落ちるように穴が設けられている。
テープ2の上方には、テープ2を剥離するためのプッシャー5が設けられ、プッシャー5はエアシリンダモーター等の駆動装置6により上下方向に作動する。

0009

プッシャー5は、テープ2がリングフレーム1に接着している部分を除いたテープ2のほとんどの部分である主要部をカバーする大きさの接触部51を有している。
プッシャー5が下降してテープ2に接触するときに、接触部51はテープ2に対し角度を持って接触するように傾斜している。このように構成することによりテープ2を端部から徐々に剥がすことができる。
プッシャー5の全体の形状としては、円柱状あるいは角柱状のものの先端を斜めにカットしたもの、その中を中空状にしたもの、又は適度な肉厚の筒状のものでも良い。

0010

次にテープの剥離方法について説明すると、良品の半導体チップをダイスボンドした後、リングマガジンから取り出したリングフレーム1を搬送アーム等でテーブル4の上にセットする。
駆動装置6が作動してプッシャー5を剥離方向Aに下降させる。プッシャー5の接触部51はテープ2に対して傾斜しているので、図1ではテープ2の右端の方から接触し、リングフレーム1と接着している部分を徐々に剥がして、最終的には接触部51の全体でリングフレーム1からテープ2を剥離する。
テープ2は不良チップ3が接着したままテーブル4の穴から下方に落下するので、テーブル4の下側に受け皿等を用意し、そこにストックするようにしておいて適当な時機に廃棄すれば良い。

0011

以上のように、実施例1によれば、簡単な機構により自動でテープ2を剥離することができる。
詳細に述べれば、人間の手により剥離するのに比べ、剥離する際の工数の削減が図れ、不良チップ3の破片負傷することもなく、また装置構成シンプルなので極めて実用的である。
また、テープ2の端部から徐々に剥離するので、負荷が小さくて済み、テープ2の接着剤である糊がリングフレーム1に残らないという効果もある。

0012

図2はプッシャーの他の例を示す図で、断面で示している。
プッシャー7の接触部71に吸着部兼ブロー部72を設け、それらは溝73を通して吸着・ブロー装置8に接続される。駆動装置6によりプッシャー7が上下に作動することは図1と同じである。
プッシャー7を下降させてテープを剥離した後、剥離したテープを吸着兼ブロー部72により吸着して廃棄部まで搬送し、ブローを行ってテープのまとわりつきを防止しながら廃棄することができる。

0013

図3は本発明の実施例2を示す図で、プッシャー5及び駆動装置6は実施例1と同じである。
リングフレーム1の収納容器であるリングマガジン9の天板91に剥離用穴92を設けている。また底板93にも必要に応じてテープ排出用穴94を設けても良い。
リングマガジン9は、リングフレーム1を縦方向複数収納できるように、側板95に収納用溝96が複数設けられている。

0014

テープの剥離方法について説明すると、ダイスボンド後、不良チップを省略しているテープ2が貼付けてあるリングフレーム1は、リングマガジン9に複数、又は単数で収納される。
リングマガジン9は剥離機構のあるユニット上に設置され、実施例1と同様にプッシャー5を剥離方向Aに剥離用穴92を通して下降させ、リングマガジン9内でテープ2をリングフレーム1から剥離する。
その後、底板93の排出用穴94から剥離したテープ2はリングマガジン9の下方に押し出され、廃棄用の受け皿等にストックされる。
なお、底板93に排出用穴94をあけないときは、テープ2は底板93の上にストックされる。

0015

以上のように、実施例2によれば、実施例1の効果に加えて、自動で複数のテープを一括剥離することができ、時間短縮の効果がある。
また、リングマガジン9内でテープ2の剥離をするので、リングフレーム1の取り出し、収納が不要で、その工数を削減することができる。

0016

図4は本発明の実施例3を示す図で、プッシャー及び駆動装置は省略されている。
この実施例は実施例2に廃棄テープ用の受け皿10を設けたもので、リングマガジン9の天板91には剥離用穴92が設けられ、底板93の上に受け皿10を設けている。
剥離されたテープ2は底板部の受け皿10にストックされ、剥離工程の完了後、受け皿10を引き出し、廃棄テープを取り出して廃棄する。

0017

以上のように、実施例3によれば、実施例2の効果に加え、リングマガジン9内から受け皿10を引き出すことにより廃棄テープを簡単に取り出すことができ、省スペース化が図れるという効果がある。

0018

図5は本発明の実施例4を示す図で、複数の剥離用穴92と、複数のプッシャーバー111を有するプッシャー11を設けたものである。
リングマガジン9の天板91には、全体として円周を描くように複数の剥離用穴92が設けられる。
駆動装置6により上下に作動されるプッシャー11は、テープの主要部を押下するように、複数の剥離用穴92に対応した複数のプッシャーバー111を有している。
複数のプッシャーバー111は先端部が球状で、全体としてテープに対し角度を持って接触するように長さが異なるように形成されている。
また底板93の上には必要に応じて受け皿10が設けられている。

0019

次にテープの剥離方法について説明すると、テープが貼付けられたリングフレームが単数又は複数収納されたリングマガジン9の上方から、プッシャー11が下降し、複数のプッシャーバー111が対応する剥離用穴92を通してテープに接触する。
このとき、複数のプッシャーバー111は先端部が全体として傾斜しているので、図では右端のプッシャーバー111からテープに接触し、リングフレームに接着したテープの端部から徐々に剥離する。
そして、左端のプッシャーバー111を含めて全体のプッシャーバー111によってリングフレームからテープをリングマガジン9内で剥離することができる。
剥離したテープは受け皿10にストックされる。受け皿10を設けないときは底板93の上に、また底板93に排出用穴を設けたときはリングマガジン9の外に排出される。

0020

以上のように、実施例4によれば、実施例2又は3の効果に加え、天板91に設ける剥離用穴92が複数の小さな穴になるので、大きな剥離用穴92を設けるのに比べ、天板91の強度が増すという効果がある。

0021

図6は本発明の実施例5を示す図である。この実施例は前記した実施例と異なり、表面が粘着性のある巻取用テープ21にテープ2を接着させてローラーで巻き取るようにしたものである。
不良チップ3を接着したテープ2が貼付けられたリングフレーム1はテーブル4にセットされる。
テーブル4の下側には剥離ローラーユニット、即ち、表面が粘着性のある取巻用テープ21と、巻取用テープ21を懸架した貼付けローラー22と、巻取用テープ21を駆動する駆動側ローラー23及び従動側ローラー24とが設けられている。駆動側ローラー23は図示しないモーターにより駆動される。
テーブル4の上方には、図示しない駆動装置により上下に移動する突き破りローラー25が設けられている。
なお、チップ廃棄プレート26はテープ2から不良チップ3を分離させるためのものである。

0022

次にテープの剥離方法について説明すると、テープ2が貼付けられたリングフレーム1がリングマガジンから1枚ずつ取り出され、搬送されてテーブル4にセットされる。
突き破りローラー25がテープ2の端部にテーブル4の上方から下降し、テープ2の端部をリングフレーム1から剥離する。

0023

テープ2の剥離した端部は巻取用テープ21に接触して接着する。テープ2は、端部が巻取用テープ21に接着されると、駆動側ローラー23が回転することにより、リングフレーム1から剥がされながら巻取用テープ21に接着して巻き取られる。
それと同時に、リングフレーム1は剥がされた応力によりテーブル4の上を剥離方向Bのように右側へスライドし、テープ2がリングフレーム1から完全に剥がされた後、収納部側へ搬送される。
また、貼付けローラー22上の巻取用テープ21によりテープ2を剥離する際、不良チップ3とテープ2の間にチップ廃棄プレート26が入り込み、不良チップ3をテープ2から分離することができる。

0024

上記の説明は突き破りローラー25が下降する例であるが、貼付ローラー22を図示しない手段により上下に移動できるように構成しても良い。
この場合には、貼付ローラー22が上昇し、巻取用テープ21がテープ2の端部に接触し、接着する。その後、駆動側ローラー23によりテープ2をリングフレーム1から剥がしながら巻取用テープ21に接着して巻き取ることは上記と同じである。
ただし、巻取用テープ21の接着だけでテープ2を剥がすので、巻取用テープ21の粘着力はテープ2の粘着力より強いことが必要である。このようにすれば、突き破りローラー25を不要にすることができる。
巻取用テープ21に接着して巻き取られたテープ2は駆動側ローラー23に順次巻き取られ、巻取用テープ21と共に廃棄することができる。

0025

以上のように、実施例5によれば、簡単な機構により自動でリングフレーム1からテープ2を剥離することができる。
詳細に述べれば、人間の手により剥離するのに比べ、剥離する際の工数の削減が図れ、不良チップ3の破片で負傷することもなく、また装置構成もシンプルなので極めて実用的である。
また、テープ2の端部から徐々に剥離するので、負荷が少さくて済み、テープ2の接着剤である糊がリングフレーム1に残らないという効果もある。

0026

更に、リングフレーム1からテープ2を剥離しながら巻取用テープ21に接着して巻き取るので、不要テープを効率的に搬送でき、受け皿を設けることもなく廃棄スペースを削減することができる。
また、チップ廃棄プレート26を設ければ、テープ2と不良チップ3の分離が可能になり、分別廃棄が可能となる。

図面の簡単な説明

0027

本発明の実施例1を示す図である。
プッシャーの他の例を示す図である。
本発明の実施例2を示す図である。
本発明の実施例3を示す図である。
本発明の実施例4を示す図である。
本発明の実施例5を示す図である。
不良チップを接着したテープとリングフレームを示す図である。
従来のテープ剥離方法を示す図である。

符号の説明

0028

1リングフレーム
2テープ
4 テーブル
5プッシャー
51 接触部
7 プッシャー
71 接触部
72吸着部兼ブロー部
9リングマガジン
91天板
92剥離用穴
93底板
10受け皿
11 プッシャー
111プッシャーバー
21巻取用テープ
22貼付けローラー
23駆動側ローラー
24従動側ローラー
25突き破りローラー

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