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図面 (9)

課題

FOUP等の被搬送物の搬送時間が長くなることによる搬送量の低下を低減する。

解決手段

駆動することでFOUP10を搬送方向に搬送するローラ21aを有する、工程間又は装置間に配置された主搬送路21と、ローラ22aを有し、少なくとも一部が主搬送路21と平行に配置された副搬送路22と、ローラ21a・22aを駆動した状態で、主搬送路21上のFOUP10を副搬送路22に強制的に送り出すプッシャー3と、副搬送路22上のFOUP10を搬出する移載装置7とを備える。

概要

背景

半導体製造液晶製造、FA(Factory Automation)等において、半導体ウェハ等の被処理物は、一般的にFOUP(Front Opening Unified Pod)と呼ばれるカセット内に複数枚収納され、カセット単位で各処理装置等に搬送されるようになっている。この搬送する方法として、例えば、特許文献1に記載の搬送装置がある。特許文献1の搬送装置は、一対のレールの上面から突出するようにホイールが回転可能に設けられており、ホイールに載置された物品がそのホイールの回転により、レールに沿って搬送されるようになっている。

特表2003−506289号公報

概要

FOUP等の被搬送物の搬送時間が長くなることによる搬送量の低下を低減する。駆動することでFOUP10を搬送方向に搬送するローラ21aを有する、工程間又は装置間に配置された主搬送路21と、ローラ22aを有し、少なくとも一部が主搬送路21と平行に配置された副搬送路22と、ローラ21a・22aを駆動した状態で、主搬送路21上のFOUP10を副搬送路22に強制的に送り出すプッシャー3と、副搬送路22上のFOUP10を搬出する移載装置7とを備える。

目的

そこで、本発明の目的は、FOUP等の被搬送物の搬送時間が長くなることによる搬送量の低下を低減できる搬送システムを提供することである。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
2件

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請求項1

駆動することで被搬送物を搬送方向に搬送する搬送ローラを有し、工程間又は装置間に配置された主搬送路と、前記搬送ローラを有し、少なくとも一部が前記主搬送路と平行に配置された副搬送路と、前記搬送ローラを駆動した状態で、前記主搬送路上の前記被搬送物を前記副搬送路に強制的に送り出す搬送路変更部と、前記副搬送路上の前記被搬送物を搬出する搬送部とを備えていることを特徴とする搬送システム

請求項2

前記搬送部が、前記被搬送物を前記副搬送路に搬入し、前記搬送路変更部が、前記搬送ローラを駆動した状態で、前記副搬送路上の前記被搬送物を前記主搬送路に強制的に送り出すことを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。

請求項3

前記搬送ローラは、回転する複数のローラを有し、前記ローラの回転によりローラに載置された前記被搬送物を搬送し、前記搬送路変更部は、前記ローラに載置された前記被搬送物を前記搬送方向と垂直方向押し出すことで、前記被搬送物を送り出すことを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送システム。

請求項4

前記被搬送物を送り出す際に、前記被搬送物に対して鉛直方向上向きに空気を射出する射出部をさらに備えていることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の搬送システム。

請求項5

前記副搬送路が、前記主搬送路から分岐しており、前記搬送路変更部が、前記分岐する地点に設けられ、前記主搬送路を搬送される前記被搬送物を塞き止めると共に、前記被搬送物を前記副搬送路に導くことを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送システム。

技術分野

0001

本発明は、搬送システムに関するものである。

背景技術

0002

半導体製造液晶製造、FA(Factory Automation)等において、半導体ウェハ等の被処理物は、一般的にFOUP(Front Opening Unified Pod)と呼ばれるカセット内に複数枚収納され、カセット単位で各処理装置等に搬送されるようになっている。この搬送する方法として、例えば、特許文献1に記載の搬送装置がある。特許文献1の搬送装置は、一対のレールの上面から突出するようにホイールが回転可能に設けられており、ホイールに載置された物品がそのホイールの回転により、レールに沿って搬送されるようになっている。

0003

特表2003−506289号公報

発明が解決しようとする課題

0004

ところで、FOUP内の半導体ウェハを取り出し処理を施す処理装置は、搬送路上のFOUPを把持して内部に取り込む移載装置を有している。そして、移載装置により例えば特許文献1のように搬送されるFOUPを把持する場合、FOUPを確実に把持するために、ホイールの回転を停止しFOUPを静止させるか、ホイールの回転速度を遅くしてFOUPの移動速度を遅くする必要がある。このような場合、レール上を移動している他のFOUPも搬送が中断したりしてしまうため、搬送時間に無駄な時間が生じ、搬送量が低下してしまうという問題があった。

0005

そこで、本発明の目的は、FOUP等の被搬送物の搬送時間が長くなることによる搬送量の低下を低減できる搬送システムを提供することである。

課題を解決するための手段及び効果

0006

上記目的を達成するために、第1の発明は、駆動することで被搬送物を搬送方向に搬送する搬送ローラを有し、工程間又は装置間に配置された主搬送路と、搬送ローラを有し、少なくとも一部が主搬送路と平行に配置された副搬送路と、搬送ローラを駆動した状態で、主搬送路上の被搬送物を副搬送路に強制的に送り出す搬送路変更部と、副搬送路上の被搬送物を搬出する搬送部とを備えていることを特徴とする。

0007

この構成によると、主搬送路上を移動中の被搬送物を副搬送路に強制的に送り出し、その副搬送路において被搬送物を搬出するようになっている。例えば、工程間又は装置間を移動する主搬送路上の被搬送物を処理装置に取り込むために主搬送路から搬出する場合、被搬送物の移動を停止、即ち、主搬送路の搬送ローラを停止する必要がある。しかし、副搬送路を主搬送路に平行に設け、強制的に被搬送物を副搬送路に送り出し、副搬送路上で搬出することで、主搬送路の搬送ローラを停止させることなく、被搬送物を搬出することができるようになる。従って、被搬送物を搬出する度に主搬送路の搬送ローラを停止することで、被搬送物の搬送時間が長くなり、搬送量が低下してしまうおそれを低減することができるようになる。

0008

また、第2の発明は、第1の発明の搬送部が、被搬送物を副搬送路に搬入し、搬送路変更部が、副搬送路上の被搬送物を、搬送ローラを駆動した状態で主搬送路に強制的に送り出すことを特徴とする。

0009

この構成によると、副搬送路に搬入した被搬送物を主搬送路に強制的に送り出すようになっているため、例えば、別の工程や処理装置から主搬送路に被搬送物を搬入する場合において、主搬送路の搬送ローラを停止させることなく、被搬送物を搬入できるようになる。

0010

第3の発明は、第1又は第2の発明の搬送ローラが、回転する複数のローラを有し、ローラの回転によりローラに載置された被搬送物を搬送し、搬送路変更部は、ローラに載置された被搬送物を搬送方向と垂直方向押し出すことで、被搬送物を送り出すことを特徴とする。

0011

この構成によると、被搬送物をローラに載置するだけで搬送されるようになり、また、被搬送物がローラに載置されているだけの状態であるので、簡単に被搬送物を押し出すことができる。従って、主搬送路から副搬送路、又は副搬送路から主搬送路へと被搬送物を送り出すことが簡単にできる。

0012

第4の発明は、第1〜第3の発明において、被搬送物を送り出す際に、被搬送物に対して鉛直方向上向きに空気を射出する射出部をさらに備えていることを特徴とする。

0013

この構成によると、上向きに射出される空気により被搬送物と搬送路との間の摩擦が小さくなるため、被搬送物を送り出しやすくなる。

0014

第5の発明は、第1又は第2の発明の副搬送路が、主搬送路から分岐しており、搬送路変更部が、分岐する地点に設けられ、主搬送路を搬送される被搬送物を塞き止めると共に、被搬送物を副搬送路に導くことを特徴とする。

0015

この構成によると、搬送路を搬送される被搬送物を簡単に主搬送路から副搬送路へと被搬送物を送り出すことができる。

発明を実施するための最良の形態

0016

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。

0017

(第1の実施形態)
本実施の形態に係る搬送システム1は、半導体製品製造施設のように、工程内や工程間を、処理対象物である半導体を搬送して処理を加えながら最終製品とする搬送システムであり、図1図2に示すように、主搬送路21及び副搬送路22と、プッシャー3・4(搬送路変更部)と、エアー噴射機構5a・5b(射出部)と、半導体処理装置6とを備えている。

0018

なお、上記の半導体とは、一般的にFOUP10(被搬送物)と呼ばれるカセット内に複数枚収納された半導体ウェハである。FOUP10は略立方体の形状を有しており、上面中央に、後述の移載装置7によりFOUP10を把持するためのフランジ10aが配設されている。半導体は、カセット単位で搬送され、各半導体処理装置6内でFOUP10から取り出され所定の処理が施されていく。以下の説明において、搬送される半導体をFOUP10として説明する。そして、図示しない制御装置により現在位置等の処理状況がFOUP毎に管理されるようになっている。

0019

主搬送路21は、少なくとも半導体処理装置6の近傍を通過し、半導体処理装置6間や他の工程との間に配設され、複数のローラ21a(搬送ローラ)と、一対のガイド壁21bとを有している。ローラ21aは、円筒状であって、中心軸方向(以下、長手方向)がFOUP10の搬送方向と直交するように配設され、モータ駆動により円周方向に回転するようになっている。ローラの中心軸は、ローラの半径方向と直交しており、ローラは、その中心軸を中心に円周方向に回転する。そして、ローラ21aに載置されたFOUP10は、ローラ21aの回転によって搬送方向に移動するようになっている。また、一対のガイド壁21bは、ローラ21aを挟持するように複数のローラ21aに沿って設けられている。このガイド壁21bは、ローラ21aよりも高くなるように形成されており、ローラ21a上を移動するFOUP10の横ズレを防止するようになっている。

0020

なお、図1に示すように、主搬送路21における搬送路変更位置にはガイド壁21bは設けられていない。ここで、搬送路変更位置とは、FOUP10が後述のプッシャー3・4により押し出される位置を言う。また、図1において、図面の都合上、副搬送路22が並設される部分には、ガイド壁21bを図示していない。

0021

副搬送路22は、半導体処理装置6と、主搬送路21における半導体処理装置6の近傍を通過する部分との間に、主搬送路21と平行に配設されている。副搬送路22は、主搬送路21と同様にローラ22aを複数有しており、ローラ22aに載置されたFOUP10は、ローラ22aの回転によって搬送方向に移動するようになっている。なお、図示しないが、副搬送路22は、上記のガイド壁21bのように、搬送時のFOUP10の横ズレを防止するガイド壁を有している。

0022

ここで、搬送路変更位置におけるローラ21a・22aについて詳述する。搬送路変更位置におけるローラ21a・22aは、図3に示すように、円筒形状のローラ23を複数有している。具体的には、図3(a)に示すように、ローラ23の長手方向とローラ21a・22aの長手方向とが直交するように一列配置されたローラが、図3(b)に示すように、ローラ21a・22aの円周に沿って均等に配置されている。これにより、搬送路変更位置におけるローラ21a・22a上のFOUP10は、回転するローラ23によりローラ21a・22aの長手方向に摺動しやすくなる。なお、ローラ23を有するローラ21a・22aは、ローラ23を含めた半径方向の幅が、他のローラ21a・22aの幅と同じになるようになっている。

0023

なお、主搬送路21や副搬送路22は、図示しないが、複数のセンサを有しており、通過するFOUP10を検出するようになっている。これにより、制御装置は、移動するFOUP10の位置等を管理できるようになっている。

0024

プッシャー3は、副搬送路22の始端側に設けられ、主搬送路21上のFOUP10を搬送方向に対して垂直に押し、FOUP10を主搬送路21から副搬送路22に送り出す。また、プッシャー4は、副搬送路22の終端側に設けられ、副搬送路22上のFOUP10を搬送方向に対して垂直に押し、FOUP10を副搬送路22から主搬送路21に送り出す。

0025

プッシャー3・4は、搬送方向に対して垂直に伸縮するアーム3a・4aと、FOUP10の側面に押し当てる直方体の押当部3b・4bとを有している。押当部3b・4bは、アーム3a・4aの先端に設けられ、FOUP10との当接する面には、回転自在なローラ4c(プッシャー3のローラは図示せず)が設けられている。FOUP10との当接する面にローラ4cを設けることで、ローラ21a・22aを回転した状態、即ち、FOUP10が移動している状態でFOUP10をプッシャー3・4により強制的に押し出す場合であっても、押当部3b・4bとFOUP10との間に大きな摩擦が生じなくなるため、FOUP10のズレを少なくして、スムーズにFOUP10を押し出すことができるようになる。

0026

エアー噴射機構5a・5bは、副搬送路22の始端側及び終端側で、ローラ21a・22aの下方に夫々設けられ、複数の孔から上方に向かってエアー噴射する。FOUP10は、かかるエアーにより上方に僅かに持ち上がるようになり、FOUP10とローラ21a・22aとの間の摩擦を小さくすることができる。従って、FOUP10をプッシャー3・4により押し出す際に、スムーズに押し出すことができるようになる。

0027

半導体処理装置6は、搬送路2上のFOUP10を内部に取り込み、FOUP10に格納される半導体ウェハを取り出し、装置毎に所定の処理を施すようになっている。半導体処理装置6は、副搬送路22上のFOUP10のフランジ10aを把持して内部に取り込む移載装置7を有している。

0028

移載装置7は、FOUP10を把持する把持機構7aと、把持機構7aが下方に懸垂して走行するレール7bとを有している。把持機構7aは、レール7bを走行する走行機と、走行機のリール(図示せず)に巻回するベルトと、ベルト先端に設けられた昇降体と、昇降体の先端に設けられ、FOUP10のフランジ10aを把持するフィンガ(図示せず)とを有している。レール7bは、副搬送路22の略中央上方の位置(以下、搬出入位置と言う)と、半導体処理装置6の内部にFOUP10を取り込む取込口(図示せず)との間を把持機構7aが移動するレールである。

0029

そして、副搬送路22から半導体処理装置6にFOUP10を搬入する場合、把持機構7aは、搬出入位置に位置すると、フィンガを下降させた後FOUP10のフランジ10aを把持し、FOUP10を把持した状態で、半導体処理装置6の取込口まで移動するようになっている。また、半導体処理装置6から副搬送路22にFOUP10を搬出する場合、把持機構7aは、FOUP10を把持したまま、搬出入位置まで移動し、下降させて副搬送路22に載置するようになっている。

0030

上記のように、半導体処理装置6に対してFOUP10を搬出入する際に、副搬送路22を設けることで、主搬送路21は、移載装置7の動作に干渉されることがないため、ローラ21aを停止させたりする必要がなくなる。

0031

なお、上記の搬送システムは、図示しない制御装置により制御されるようになっている。制御装置は、CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)からなるマイクロコンピュータを有し、後述の図4及び図5処理ルーチンを実行したりするようになっている。

0032

搬出入時の動作)
次に、搬送システムにおける、FOUP10を半導体処理装置6に搬出入する際の動作について、図4及び図5フローチャートを参照して説明する。

0033

主搬送路21を搬送されるFOUP10を半導体処理装置6に搬入する場合、制御装置は、その半導体処理装置6の近傍を通過するFOUP10を検出すると、図4に示す処理ルーチンを実行する。具体的には、主搬送路21における、FOUPを要求している半導体処理装置6の前面に配置される副搬送路22の始端近傍に設けられたセンサがFOUP10を検出すると、図4に示す処理ルーチンを実行する。まず、検出したFOUP10が、半導体処理装置6が要求するFOUPであるか否かを判定する(A1)。要求するFOUPでない場合(A1:NO)、本ルーチンを終了する。要求するFOUPである場合(A1:YES)、エアー噴射機構5aを駆動させ、エアーを噴射すると共に、プッシャー3によりFOUP10を副搬送路22に送り出す(A2)。

0034

次に、副搬送路22に送り出したFOUP10が、搬出入位置に位置したか否かを判定する(A3)。ここで、副搬送路22の搬出入位置とは、上記の移載装置7における搬出入位置と鉛直方向に一致する位置を言う。また、FOUP10が搬出入位置に位置したか否かは、図示しないセンサ等により検出される。搬出入位置に位置していない場合(A3:NO)、搬出入位置に位置するまで、A3を繰り返す。搬出入位置に位置した場合(A3:YES)、副搬送路22のローラ22aの回転を停止し、FOUP10を静止させる(A4)。そして、FOUP10が、半導体処理装置6の移載装置7により副搬送路22から搬出されたか否かを判定する(A5)。搬出されていない場合(A5:NO)、搬出されるまで待機する。搬出された場合(A5:YES)、副搬送路22のローラ22aの回転を開始し(A6)、本ルーチンを終了する。

0035

次に、半導体処理装置6で処理されたFOUP10を主搬送路21に搬入する場合、半導体処理装置6から信号等を受信した制御装置は、図5に示す処理ルーチンを実行し、まず、副搬送路22のローラ22aの回転を停止する(B1)。次に、FOUP10が半導体処理装置6の移載装置7により副搬送路22の搬出入位置に載置されたか否かを判定する(B2)。載置されていない場合(B2:NO)、載置されるまで待機する。載置された場合(B2:YES)、副搬送路22のローラ22aの回転を開始する(B3)。そして、FOUP10が搬送路変更位置に到達すると、エアー噴射機構5bを駆動させ、エアーを噴射すると共に、プッシャー4によりFOUP10を主搬送路21に送り出し(B4)、本ルーチンを終了する。

0036

(本実施の形態の概要
以上のように、本実施形態の搬送システムは、駆動することでFOUP10を搬送方向に搬送するローラ21aを有し、工程間又は装置間に配置された主搬送路21と、ローラ22aを有し、少なくとも一部が主搬送路21と平行に配置された副搬送路22と、ローラ21a・22aを駆動した状態で、主搬送路21上のFOUP10を副搬送路22に強制的に送り出すプッシャー3と、副搬送路22上のFOUP10を搬出する移載装置7とを備えた構成にされている。

0037

この構成によると、主搬送路21上を移動中のFOUP10を副搬送路22に強制的に送り出し、その副搬送路22においてFOUP10を搬出するようになっている。例えば、工程間又は装置間を移動する主搬送路22上のFOUP10を半導体処理装置6に取り込むために主搬送路21から搬出する場合、FOUP10の移動を停止、即ち、主搬送路21のローラ21aを停止する必要がある。しかし、副搬送路22を主搬送路21に平行に設け、強制的にFOUP10を副搬送路22に送り出し、副搬送路22上で搬出することで、主搬送路21のローラ21aを停止させることなく、FOUP10を搬出することができるようになる。従って、FOUP10を搬出する度に主搬送路21のローラ21aを停止することで、FOUP10の搬送時間が長くなり、搬送量が低下してしまうおそれを低減することができるようになる。

0038

また、本実施の形態は、移載装置7が、FOUP10を副搬送路22に搬入し、プッシャー4が、副搬送路22上のFOUP10を、ローラ21a・22aを駆動した状態で主搬送路21に強制的に送り出す構成にされている。

0039

この構成によると、副搬送路22に搬入したFOUP10を主搬送路21に強制的に送り出すようになっているため、例えば、別の工程や処理装置6から主搬送路21にFOUP10を搬入する場合において、主搬送路21のローラ21aを停止させることなく、FOUP10を搬入できるようになる。

0040

また、本実施の形態は、回転する複数のローラ21aに載置されたFOUP10を搬送し、プッシャー3・4により、ローラ21a・22aに載置されたFOUP10を搬送方向と垂直方向に押し出すことで、FOUP10を送り出す構成にされている。

0041

この構成によると、FOUP10をローラ21a・22aに載置するだけで搬送されるようになり、また、FOUP10がローラ21a・22aに載置されているだけの状態であるので、簡単にFOUP10を押し出すことができる。従って、主搬送路21から副搬送路22、又は副搬送路22から主搬送路21へとFOUP10を送り出すことが簡単にできる。

0042

さらに、本実施の形態では、FOUP10を送り出す際に、FOUP10に対して鉛直方向上向きにエアーを射出するエアー噴射機構5a・5bをさらに備えた構成にされている。

0043

この構成によると、上向きに射出されるエアーによりFOUP10と搬送路21・22との間の摩擦が小さくなるため、FOUP10を送り出しやすくなる。

0044

(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。以下の説明において、第1の実施形態と相違する点について説明し、第1の実施形態と同様の部材等については同じ符号を用い、説明は省略する。本実施の形態に係る搬送システムは、主搬送路23及び副搬送路24と、経路切替機構8と、半導体処理装置6とを備えている。

0045

本実施の形態の副搬送路24は、図6に示すように、主搬送路23から分離し、その後主搬送路23に合流するように形成されている。具体的には、主搬送路23は、円筒形状のローラ23aと、各ローラの長手方向の長さが段階的に長くなっているローラ群23cと、各ローラの長手方向の長さが段階的に短くなっているローラ群23dと、一対のガイド壁23bとを有している。また、副搬送路24は、ローラ23aと略同一形状及び大きさを有するローラ24aと、図示しないガイド壁とを有している。

0046

そして、主搬送路23は、ローラ23aが搬送方向(図中左から右方向)に沿って設けられ、副搬送路24が分離する分離点で、ローラ群23cが設けられている。ローラ群23cは、長手方向においてローラ23aの長さから、略2倍の長さとなるまで段階的に長くなる複数のローラからなっている。そして、ローラ群23cに続いて、ローラ23aとローラ24aとが平行に設けられる。

0047

さらに、平行に設けられたローラ23aとローラ24aとに続いて、主搬送路23と副搬送路24とが合流する合流点で、ローラ群23dが設けられている。ローラ群23dは、長手方向においてローラ23aの略2倍の長さから、ローラ23aの長さとなるまで段階的に短くなる複数のローラから構成されている。そして、ローラ群23dに続いて、ローラ23aが設けられている。

0048

このように各ローラを設けることにより、副搬送路24が主搬送路23から分離し、その後に、合流するように形成される。

0049

また、一対のガイド壁23bは、ローラ23aを挟持するように複数のローラ23aに沿って設けられており、ローラ23a上を移動するFOUP10の横ズレを防止するようになっている。なお、かかる分岐点、合流点において、主搬送路23の副搬送路側のガイド壁23bは、設けられておらず、FOUP10が、主搬送路23から副搬送路24、又は、副搬送路23から主搬送路23に侵入できるようになっている。また、副搬送路24のローラ24aと平行に配置されたローラ23aの副搬送路側のガイド壁は図面の都合上省略している。

0050

さらに、図示していないが、副搬送路24も、ローラ24aを移動するFOUP10の横ズレを防止するガイド壁を有しており、半導体処理装置6側(紙面奥側)のガイド壁は、主搬送路23のガイド壁23bに接続されて設けられている。

0051

経路切替機構8は、ガイド棒9を有し、分岐点に設けられている。ガイド棒9は、分岐点のローラ群23cを搬送方向に横切り、ローラ23aとローラ24aとの間を基点に回転するように設けられている。具体的には、ガイド棒9は、主搬送路23を移動するFOUP10の副搬送路24への進入禁止する位置(図中実線部分)と、FOUP10を副搬送路24へ進入させる位置(図中破線部分)との間を回動するようように設けられている。ガイド棒9を、FOUP10の副搬送路24への進入を禁止する位置にすると、FOUP10は副搬送路24に侵入することなく、ガイド棒9に沿って主搬送路23を直進する。また、ガイド棒9を、FOUP10を副搬送路24へ進入させる位置にすると、主搬送路23を搬送されるFOUP10がガイド棒9に塞き止められて、ガイド棒9に沿って副搬送路24に進入するようになる。このように、経路切替機構8を設けることにより、ローラ23aを停止させることなく、FOUP10を副搬送路24に進入させることができる。

0052

なお、副搬送路24を搬送されるFOUP10は、ローラ群23dが設けられている合流点において、ガイド棒を設けなくても、図示しないガイド壁に沿って主搬送路23に侵入するようになっている。

0053

(搬出入時の動作)
次に、搬送システムにおける、FOUP10を半導体処理装置6に搬出入する際の動作について、図7及び図8のフローチャートを参照して説明する。

0054

主搬送路23を搬送されるFOUP10を半導体処理装置6に搬入する場合、制御装置は、その半導体処理装置6の近傍を通過するFOUP10を検出すると、図7に示す処理ルーチンを実行する。具体的には、主搬送路23における分岐点近傍に設けられたセンサがFOUP10を検出すると、図7に示す処理ルーチンを実行する。まず、検出したFOUP10が、半導体処理装置6が要求するFOUPであるか否かを判定する(C1)。要求するFOUPでない場合(C1:NO)、本ルーチンを終了する。要求するFOUPである場合(C1:YES)、経路切替機構8のガイド棒9を、FOUP10を副搬送路24へ進入させる位置に切り替える(C2)。なお、ガイド棒9は、平時は、搬送方向と平行な状態(図中実線部)となっている。

0055

次に、副搬送路24に送り出したFOUP10が、搬出入位置に位置したか否かを判定する(C3)。搬出入位置に位置していない場合(C3:NO)、搬出入位置に位置するまで、C3を繰り返す。搬出入位置に位置した場合(C3:YES)、副搬送路24のローラ24aの回転を停止し、FOUP10を静止させる(C4)。そして、FOUP10が、半導体処理装置6の移載装置7により副搬送路24から搬出されたか否かを判定する(C5)。搬出されていない場合(C5:NO)、搬出されるまで待機する。搬出された場合(C5:YES)、副搬送路24のローラ24aの回転を開始し(C6)、本ルーチンを終了する。

0056

次に、半導体処理装置6で処理されたFOUP10を主搬送路23に搬入する場合、半導体処理装置6から信号等を受信した制御装置は、図8に示す処理ルーチンを実行し、まず、副搬送路24のローラ24aの回転を停止する(D1)。次に、FOUP10が半導体処理装置6の移載装置7により副搬送路24の搬出入位置に載置されたか否かを判定する(D2)。載置されていない場合(D2:NO)、載置されるまで待機する。載置された場合(D2:YES)、副搬送路24のローラ24aの回転を開始し(D3)、本ルーチンを終了する。これにより、副搬送路24に載置されたFOUP10は図示しないガイド壁に沿って主搬送路23へと進入し、主搬送路23上を搬送されるようになる。

0057

(本実施形態の概要)
以上説明したように、本実施の形態の搬送システムは、副搬送路24が、主搬送路23から分岐しており、経路切替機構8が、分岐する地点に設けられ、主搬送路23を搬送されるFOUP10を塞き止めると共に、FOUP10を副搬送路24に導く構成にされている。

0058

この構成によると、主搬送路23を搬送されるFOUP10を簡単に主搬送路から副搬送路へとFOUP10を送り出すことができる。

0059

(変形例)
また、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。例えば、FOUP10を強制的に搬送路を変更する場合、プッシャーにより主搬送路21から副搬送路22に変更し、経路切替機構により、副搬送路から主搬送路に変更するように構成してもよい。また、上述の実施の形態では、副搬送路上のFOUP10を半導体処理装置6に搬出入する場合について説明しているが、FOUP10を一時的に保管するための所謂ストッカに搬出入する場合に本発明を適用するようにしてもよい。さらに、移載装置7は、本実施の形態の構成に限定されることない。

0060

また、上述の実施の形態では、移載装置7によりFOUP10を副搬送路に搬出入する際に、副搬送路のローラの回転を停止させているが、停止させずに、回転速度を落とすようにしてもよい。この場合、FOUP10の移動速度が落ちるため、移載装置7によりFOUP10を把持しやすくなると共に、副搬送路を移動する他のFOUPが無駄に静止し、搬送時間が長くなってしまうおそれを低減できるようになる。また、移載装置7によりFOUPを把持する搬出入位置のローラのみを停止するようにしてもよい。

0061

本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の趣旨と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。

図面の簡単な説明

0062

実施例の搬送システムにおける副搬送路が配置された部分の拡大図(第1実施形態)。
実施例の搬送システムを表す概略図。
(a)搬送路変更位置のローラを説明するための斜視図。(b)搬送路変更位置のローラを中心軸方向から見た側面図。
FOUPの処理装置への搬入時に実行される動作処理ルーチンのフローチャートを示す図。
FOUPの処理装置からの搬出時に実行される動作処理ルーチンのフローチャートを示す図。
実施例の搬送システムにおける副搬送路が配置された部分の拡大図(第2実施形態)。
FOUPの処理装置への搬入時に実行される動作処理ルーチンのフローチャートを示す図(第2実施形態)。
FOUPの処理装置からの搬出時に実行される動作処理ルーチンのフローチャートを示す図(第2実施形態)。

符号の説明

0063

1 搬送システム
21 第1搬送路
22 第2搬送路
3・4プッシャー
5a・5bエアー噴射機構
6半導体処理装置
7移載装置
10 FOUP

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