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技術 1種または複数種の炭化水素を含む反応性ガスを用いるプロセスの推移をモニターするための方法

出願人 スネクマ・プロピュルシオン・ソリド
発明者 デルペリエール、ベルナールティボードー、エリク
出願日 2002年12月20日 (16年6ヶ月経過) 出願番号 2003-554945
公開日 2005年5月12日 (14年2ヶ月経過) 公開番号 2005-513267
状態 特許登録済
技術分野 重量、体積、圧力、比重等による材料の調査 CVD
主要キーワード 末広部分 サスセプター 工業的設備 物理化学的プロセス 再循環タンク 公称流量 ガス状前駆体 ポンピング装置
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図面 (1)

課題・解決手段

本発明の方法は、浸炭または化学気相浸透または化学気相成長のようなプロセスに適用され、そのプロセスはオーブン内で実施され、その方法は、オーブンの操作パラメーターを設定すること、オーブンに少なくとも1種のガス状炭化水素を含む薬剤ガスを導入すること、および薬剤ガスの反応副生成物を含む流出ガスをオーブンから取り出すことを含む。流出ガスは、流出ガスに含まれるタールを吸収する油の中での洗浄に供され、プロセスの進行についての情報は、油により吸収され得るタールの量を測定することにより得られる。

概要

背景

概要

本発明の方法は、浸炭または化学気相浸透または化学気相成長のようなプロセスに適用され、そのプロセスはオーブン内で実施され、その方法は、オーブンの操作パラメーターを設定すること、オーブンに少なくとも1種のガス状炭化水素を含む薬剤ガスを導入すること、および薬剤ガスの反応副生成物を含む流出ガスをオーブンから取り出すことを含む。流出ガスは、流出ガスに含まれるタールを吸収する油の中での洗浄に供され、プロセスの進行についての情報は、油により吸収され得るタールの量を測定することにより得られる。

目的

本発明の目的は、浸透オーブンの内部でいずれの特別な配置も必要なく、熱分解炭素マトリックスにより基材を緻密化するプロセスを連続的にモニターすることを可能とする方法を提供する

効果

実績

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請求項1

オーブン中で実施されるプロセスの進行をモニターし、少なくとも1種のガス状炭化水素を含む試薬ガスを用いる方法にして、前記プロセスがオーブンの操作パラメーターを設定すること、オーブン中に少なくとも1種のガス状炭化水素を含む試薬ガスを導入すること、試薬ガスの反応副生成物を含む流出ガスをオーブンから取り出すことを含む方法であって、前記流出ガスを前記流出ガス中に含まれるタールを吸収する油による洗浄に供し、前記プロセスの進行についての情報を、前記油により吸収されたタールの量を測定することにより得ることを特徴とする方法。

請求項2

前記プロセスの進行に関する情報を、前記油により吸収されたタールの量の時間に対する変化を表す大きさから得ることを特徴とする請求項1記載の方法。

請求項3

前記油を、閉じた回路周り循環させ、油の体積の増加を測定することを特徴とする請求項1または2記載の方法。

請求項4

前記油を、流出ガスの流れに注入されるようにタンクから連続的に取り出し、タールを含む油をタンクに戻し、前記プロセスの進行についての前記情報を、前記タンクの中の油のレベルの変化を測定することにより得ることを特徴とする請求項3記載の方法。

請求項5

前記油を、閉じた回路の中を循環させ、前記油の重量の増加を測定する請求項1または2記載の方法。

請求項6

前記油をスプレー塔の中を流れる流出ガスの流れに注入することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項記載の方法。

請求項7

前記流出ガスをベンチュリを通って流すことを特徴とする請求項6記載の方法。

請求項8

前記油が前記流出ガス中に含まれる多環式芳香族炭化水素を吸収することが可能な油であることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項記載の方法。

請求項9

前記油が芳香族鉱油から選択されることを特徴とする請求項8記載の方法。

請求項10

前記プロセスの進行について得られる情報を、前記プロセスの終了を決定するために用いることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1項記載の方法。

請求項11

前記プロセスの進行について得られる情報を、適切であれば、前記プロセスの進行について得られる情報の関数として、オーブン操作に関する以下のパラメーターオーブン温度;オーブン内部の圧力;オーブンを通る薬剤ガスの流量;および薬剤ガスの組成、の少なくとも1つを変化させることによりプロセスを制御するために用いることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1項記載の方法。

請求項12

化学気相浸透により形成される熱分解炭素マトリックスにより多孔性基材を緻密化させる方法をモニターするための請求項1ないし10のいずれか1項記載の方法の使用。

請求項13

化学気相成長により基材上に熱分解炭素コーティングを形成するプロセスをモニターするための請求項1ないし11のいずれか1項記載の方法の使用。

請求項14

部品浸炭するプロセスをモニターするための請求項1ないし11のいずれか1項記載の方法の使用。

--

0001

発明の背景
本発明は、1以上のガス状炭化水素を含む薬剤ガスを使用するプロセスに関し、特に、部品浸炭のための、化学気相成長CVD)により基材上に熱分解炭素コーティングを形成するための、または化学気相浸透(chemical vapor infiltration;CVI)により形成される熱分解炭素マトリックスによって多孔性基材を緻密化するためのプロセスに関する。

0002

限定するわけではないが、本発明の用途の、1つの特別の分野は、繊維強化基材を含む複合材料部品または熱分解炭素のマトリックスにより緻密化されている「プリフォーム」、特に炭素/炭素(C/C)複合材料部品を作ることである。

0003

緻密化のための基材は、1以上の前駆体を含む薬剤ガスが低圧で導入されるオーブン内に配置される。前駆体は、1以上のガス状炭化水素、典型的にはメタンプロパンまたはそれらの混合物により構成される。オーブンの操作パラメーターは、基材と接触する前駆体ガスを分解する(クラッキングする)ことにより熱分解炭素マトリックスを作り出すように調節される。反応副生成物を含む流出ガスポンピングによりオーブンから取り出される。

0004

通常、オーブンの操作パラメーター、特にオーブンの温度、オーブン内部の圧力、オーブンを通る薬剤ガスの流量、および薬剤ガスの組成は、緻密化プロセスを通して一定である。不運なことに、プロセスが進行すると、浸透状態は変化する。と言うのは、基材内の初期の細孔は、漸進的に充填されていくようになるからである。このように、選択されたパラメーターは、緻密化の始まりについて適切である最適と緻密化の終わりで適切である最適との間の最良妥協を求めた結果であるが、しかし、基材の細孔サイズの変化、すなわち、細孔の幾何学的特性の変化のために、堆積したマトリックス材料微小構造に対する変性というリスクが存在する。緻密化プロセスの進行に対してオーブンの操作パラメーターを適合させることは、プロセスを全体的に最適化することを可能とし、それにより、所望のレベルの緻密化を獲得するために必要とされる時間を減少させ、マトリックス材料が所望の微小構造をもって形成されることを保証する。

0005

したがって、特許文献1において、本出願人は、マトリックス材料の微小構造を制御しながら緻密化プロセスを最適化するようにオーブンの操作パラメーターを変更させることを提案した。にもかかわらず、その変更はまだ確立されていないモデルでの適用で企てられ、プロセスの実際の進行を考慮していない。

0006

また、特許文献2においては、緻密化プロセスの進行をモニターするように連続的に基材重量の変化を測定するという提案がなされている。測定された変化の関数として、様々のパラメーター、特にオーブンの側壁を規定するサスセプターと結合することによりオーブンを加熱する役割をする誘導コイルに供給される電力に作用することが可能である。基材の重量の変化をモニターすることは、緻密化プロセスが終了するときを検知することもまた可能とする。しかしながら、これは、オーブンが、オーブン中で存在する高温においてさえ、連続的に基材重量を測定することを可能とするように特別に配置されることを必要とする。そのような配置はまた、オーブンの内部有効体積(inside working volume)内に基板装填する能力について不利にもなり得る。
WO96/31447
US5348774

0007

発明の目的と概要
本発明の目的は、浸透オーブンの内部でいずれの特別な配置も必要なく、熱分解炭素マトリックスにより基材を緻密化するプロセスを連続的にモニターすることを可能とする方法を提供することである。

0008

より一般的には、本発明の目的は、比較的高い温度でガス状炭化水素を含む薬剤ガスを用い、オーブンから取り出される流出ガス中タールの存在をもたらすオーブン中で実施されるプロセスを連続的にモニターする方法を提案することである。

0009

この目的は、本発明によれば、オーブンから取り出される流出ガスを流出ガス中に含まれるタールを吸収する油による洗浄に供し、プロセスの進行についての情報を、有利には油により吸収されるタールの量の時間に対する変化をあらわす大きさ(magnitude)を用いて、油により吸収されるタールの量を測定することにより得る方法により達成される。

0010

この目的のために、油を、閉じた回路を巡って循環させることができ、油の体積または重量の増加が測定される。したがって、本発明の実施において、油は流出ガスの流れに注入されるためにタンクから連続的に取り出され、タールで満たされた油はタンクに戻され、プロセスの進行に関する情報は、タンクの中の油のレベルの変化を測定することにより得られる。油は、スプレー塔、例えばベンチュリの中を流れる流出ガスの流れに注入され得る。

0011

油は、好ましくは、流出ガス中に含まれる多環式芳香族炭化水素を吸収することが可能な芳香族油である。油は、特に、例えば、キシレンに基づく油のような芳香族鉱油から選択され得る。

0012

プロセスの進行について得られる情報は、いつプロセスが終了したかを決定するために用いることができる。

0013

適切であれば、オーブンの以下の操作パラメーター:オーブン温度、オーブン内部の圧力、オーブンを通る薬剤ガスの流量、薬剤ガスの組成、の少なくとも1つを変化させるためにプロセスの進行に関して得られる情報に応答することによりプロセスを制御することもまた可能である。

0014

本発明の方法は、特に、浸炭、化学気相成長、または化学気相浸透による緻密化のプロセスをモニターするために用いられ得る。

0015

オーブンまたは反応器からの流出物中の反応副生成物を分析することにより化学的または物理化学的プロセスをモニターすることは周知の技術である。メタンおよび/またはプロパンのようなガス状炭化水素を含む薬剤ガスを用いる化学気相浸透の特別の場合には、例えば、どのようにプロセスが進行しているかの良好な指標であるベンゼンのような生成するいくつかの特定の反応副生成物の量を測定するために、オーブンから取り出される流出ガスが分析され得るであろうことが考えられ得る。にもかかわらず、そのような測定は実施するのが困難である。と言うのは、流出ガスは、測定の配管および測定装置を急速に詰まらせる傾向がある比較的多量のタールを含む極めて多くの軽質および重質炭化水素を含むからである。

0016

本出願人は、単に流出ガスを洗浄するために用いられる油により吸収されるタールの量をモニターすることが、複雑な装置に頼る必要なく、かつ流出ガスを処理するための設備一体化についてまったく適切でありながら、プロセスの進行に関する信頼できる指標を提供することを発見した。配管のつまりを回避するために、および環境上の要求を満足させるために、タールを除去するように流出ガスを処理することは極めて望ましい。油の中での洗浄によりタールを除去することは、有効である処理方法である。本発明は、単純で廉価である方式でプロセスを連続的にモニターする目的のためのそのような処理方法の使用を利用し得る。

0017

本発明は、本発明の方法を実施することを可能とする化学気相浸透のための工業的設備を示す添付の図面の図1を参照してなされる示唆的ではあるが限定的ではない以下の記載を読むことにより、よりよく理解されるであろう。

0018

本発明の実施の詳細な説明
図1は、極めて模式的な方式で、熱分解炭素マトリックスにより多孔性基材を緻密化するための化学気相浸透設備を示す。化学気相浸透プロセスは、等温等圧タイプ、すなわち、基材にわたって温度勾配または圧力勾配を用いることのないものであり得るか、またはそれは、温度勾配タイプ、すなわち、基材が不均一に加熱されるものであり得るか、またはそれは、圧力勾配タイプ、すなわち、基材の反対面に対して異なる圧力を有するものであり得る。

0019

ケーシング12のなかに収容されているオーブン10は、緻密化のための多孔性基材14、例えば、炭素マトリックス複合材料で作ろうとする部品のための繊維プリフォーム受容している。繊維プリフォームの例は、ロケットエンジンノズル末広部分または末広部分要素のためのプリフォームまたはC/C複合材料ブレーキディスクのためのプリフォームである。オーブン10は、黒鉛で作られている底部18および覆い20とともに例えば黒鉛で作られているサスセプター形成側壁16により規定されている。サスセプターは、それを取り囲んでいる誘導コイル22と結合している。オーブンは、本質的に、誘導コイルと誘導的に結合することにより加熱されるサスセプターからの照射により加熱される。

0020

薬剤ガスは、オーブンの底部18に形成されている入口19を通って通過する管24を介して導入される。薬剤ガスは、可能であればドーパントとともに1以上の炭素前駆体成分を含む。示される例においては、薬剤ガスは、弁26aおよび26bを介して、そして流量を測定するための装置27を介して管24に接続される供給源25aおよび25bから到来する2つの成分で作られている。流出ガスは、薬剤ガスをオーブンを通って流れさせ、オーブンの内側で所望の低圧を維持するポンプ装置60に接続した覆い20に形成された出口21および管28を介してオーブンから取り出される。

0021

熱分解炭素のガス状前駆体は、緻密化される基材と接触して分解(クラッキング)により炭素を生成する、特にアルカンアルキル、およびアルケン、典型的にはメタン、プロパン、またはそれらの混合物により構成される。「ドーパント」と言う用語は、本明細書では、選ばれた操作条件の下で前駆体からの熱分解炭素の堆積を活性化する機能を果たす薬剤ガスの任意成分を意味するために用いられる。ドーパントはまた、前駆体を構成し得る。したがって、供給源28aおよび28bから到来するメタンおよびプロパン(ともに前駆体)の混合物を含む薬剤ガスにおいて、プロパンは、ある条件の温度と圧力のもとでドーパントとしてもまた作用し得る。

0022

基材の最終的な緻密化の程度および熱分解炭素の微小構造は、特にオーブンの操作パラメーターにより決定され、操作パラメーターは以下のとおりである:
・オーブン温度;
・オーブン内部の圧力;
・オーブンを通る薬剤ガスの流量;および
・薬剤ガスの組成、すなわち、特に、薬剤ガス中の前駆体含有量および、あるとすれば、ドーパント含有量

0023

流出ガスは、反応しなかった前駆体とともに、熱分解炭素前駆体の(分解)反応の副生成物および前駆体の分解に由来する水素ガス(H2 )を含む。反応副生成物には、不飽和炭化水素、軽質芳香族炭化水素(ベンゼン、単環式炭化水素)、および特にタールの形態で凝縮するナフタレンピレンアントラセンおよびアセナフチレンのような多環式芳香族炭化水素(PAH)が含まれる。

0024

本発明によれば、基材緻密化プロセスの進行は、流出ガスをタールを吸収する油での洗浄に供することにより、および油により吸収されたタールの量を表す大きさを誘導することにより、モニターされる。

0025

この油の中での洗浄はまた、存在すればオーブンからの出口配管を詰まらせ、例えば、真空ポンプの油の中でかまたは水蒸気エジェクターからの凝縮物の中で用いられるポンプ装置に達し得るかもしれないタールを除去することも可能とする。

0026

オーブン10からの流出ガスのための出口とポンプ装置60との間に介在する油洗浄装置30の態様が添付の図1に示されている。そのような装置はまた、本出願と同じ日に出願され、「プロセデ・エ・インスタラオンプール・ル・トレートマン・ド・ガズ・エフリュアンコントナン・デ・ヒドロカルビュール(炭化水素を含む流出ガスを処理するための方法および設備)」と言う表題フランス特許出願にも記載されている。

0027

好ましくは、油洗浄装置は、タールの蓄積が流出ガスの冷却により促進される、オーブン出口を洗浄装置に接続する管の中で形成するタール蓄積を回避するように、オーブン10からの出口に近接して配置される。

0028

油洗浄装置30は、頂部で管26に接続されるスプレー塔32を含む。例として、塔32は、ガスのための流れセクションにおける絞りにより形成されるベンチュリ塔34である。底部末端で、塔32は、油再循環タンク40の一方の末端の近辺において、そのタンクの頂部壁を通って形成されるガス入り口42と連通する。ガス出口44はまた、タンク40の頂部壁を通過し、管42を介してポンプ装置60と連通する。

0029

油の出口は、タンク40の底部を通って形成され、塔32の中で実質的に軸方向に配置され、熱交換器52を介して通過するノズル36、38に供給するためにタンク40から油を取り出すポンプ50に接続されている。追加のノズル46aおよび46bを、タンク40の中に配置することができ、ノズル46aおよび46bは、ノズル36、38と並行して熱交換器52から下流に油を供給される。熱交換器52は、タンク40から到来する油を冷却する目的のために熱交換器を通過する冷却流体、例えば冷水を有する。冷却水もまた、熱交換器52と直列に接続され、タンク40の中に配置されている、例えばプレートの形態の熱交換器54を通過する。

0030

熱交換器54およびまたノズル46aおよび46bは、油のレベルの上のガス入口42とガス出口44との間のタンクの内側に収容されている。液滴除去装置48は、タンク40からのガス出口44に設置され得る。

0031

油洗浄装置30は、以下のように稼動する。ノズル36および38に供給される油は、塔32に沿って動く流出ガスの流れ中スプレーされ、そのようなスプレー操作は、ベンチュリの存在によるガスの速度の増加により促進される。ノズル36の1つは、塔32の頂部末端で、ベンチュリ34から上流に設けることができ、一方、他のノズル38は、ベンチュリのスロートに設けられる。1つのノズル36または38のみを使用することもまた可能である。

0032

スプレーされた油は、流出ガスにより運ばれたタール、特に多環式芳香族炭化水素(PAH)の大部分を吸収し、タールは、タンク40に収容される油の浴に連行される。

0033

用いられる油は、油の蒸気を流出ガスが持ち込むことを回避するように、オーブン10からの出口に存在する圧力で気化することを回避するのに十分に低い蒸気圧を示すものでなければならない。指標として、熱分解炭素マトリックスにより多孔性基材を緻密化する通常のプロセスの間のオーブン10内部の圧力は、一般的に、10.1キロパスカル(kPa)未満である。また油は、循環することが可能であり、ノズルからの出口でミストを形成するように十分に低い粘度を示すものでなければならない。

0034

それが、0℃で100パスカル(Pa)未満の蒸気圧を有する芳香族鉱油を用いることが好ましい理由である。

0035

有利には、85重量%モノキシリルキシレンおよび15重量%ジ−キシリルキシレンにより構成される、フランスの供給者エルフ・アトケムにより名称ジャリテム(Jarithem)AX320」の下で販売される合成油のようなキシレン系の油が用いられる。この油は、0℃で60センチポイズの粘度および0℃で100Pa未満の蒸気圧を有する。

0036

熱交換器52および58は、ノズル36および38により注入される油およびまたタンク40のガス入口とガス出口の間の経路上にノズル46aおよび46bを介して注入される油を可能な限り冷却するために0℃近くの温度の冷水を供給される。

0037

熱交換器54は、流出ガス中になお存在するタールが塔32からの出口で凝縮するのを促進することに寄与する。

0038

例えばバフルタイプの液滴除去装置48は、液滴を分離して取り出し、液滴が油の浴中に集められるように液滴を融合させるようにタンク40からの出口に存在するミストを「消散する」のに寄与する。

0039

油洗浄装置30により行われる捕捉は、PAHのようなタールの最大量を除去することを可能とする。最も軽質の芳香族炭化水素(ベンゼン、単環式炭化水素)のみが洗浄された流出ガス中に残り得るが、しかしながら、それは、その高い蒸気圧のために管の詰まりについてまったくリスクが存在しない。

0040

例として、ポンピング装置60は、エジェクター−コンデンサー64または直列に接続された複数の同様のエジェクター−コンデンサー(1つのみが図には示されている)を含み、例えばロータリーポンプのような他のポンプ装置もまた用いられ得るであろうことが理解される。

0041

エジェクター−コンデンサー64は、ボイラー80により水蒸気を供給されるエジェクター部分66およびエジェクターから下流に位置するコンデンサー部分68を含む。コンデンサー68は間接コンデンサーであり、エジェクターから到来するガスは、冷却流体、例えば冷水を運ぶ管との接触にもたらされる。

0042

コンデンサー68を通過した後、水は、冷却塔70に取り込まれ、そこで、水は、水がポンプ74によりコンデンサー68に戻されるタンク72の中に集められ得る。

0043

コンデンサーから出口管76の中に取り出される凝縮物は、ベンゼン、トルエン、キシレンのような炭化水素、およびまた、エジェクター66由来の水蒸気の凝縮に由来する水中に溶解したPAH残渣を含む。凝縮物は、活性炭上での吸着により処理され得る。

0044

コンデンサーからの出口で、流出ガスはポンプ78を通過する。処理設備から取り出されたガスが実際上周囲温度にあるように、熱交換器により冷却された水レベルポンプを使用することが可能である。

0045

取り出されたガスは、本質的には不飽和炭化水素と、薬剤ガスおよびオーブン10に由来する水素ガスH2 の残留物を含む。それは管79を介してトーチに取り込まれうるし、少なくとも部分的には、ボイラー80のための燃料ガスとして用いられ得る。そのような環境のもとで、それは、ボイラー80の中のバーナー86に供給する目的のためにガス状燃料、例えば天然ガスバッファーバルーン82の中で混合される。

0046

示される例においては、洗浄油により吸収されるタールの量は、タンク40中の油のレベルを測定することにより評価される。センサー58は、緻密化プロセスをモニターするために使用可能である情報Iを発生させる目的のために油のレベルを表す信号をプロセッサー回路90に提供する。センサー58は、いずれか公知のタイプ、例えば振動ブレードタイプまたはレーダータイプのものであり得、その場合には、センサーは、検出器収納されているタンクの頂部壁と油の表面との間の距離を測定する。

0047

情報Iは、例えば、流出ガス中に存在するタールの量が時間とともに変化する仕方を表すように、油のレベルを表す信号の時間に関する導関数を表す。

0048

第1の可能性は、緻密化プロセスの終わりを検出するように情報Iをモニターすることからなる。緻密化プロセスは、一旦油のレベルの変化、すなわち流出ガス中に存在するタールの量の変化が所定のしきい値を超えて増加する、例えば、所定の観察期間にわたって2%を超えるまで増加すると完了すると仮定することができる。これは1時間から数時間であろう。と言うのは、緻密化サイクル持続時間は通常極めて長いからである。

0049

第1の可能性に加えて用いられ得るもう1つの可能性は、情報Iの値の関数としてオーブンの操作特性を制御することからなる。したがって:
・所定の観察期間にわたって測定された油のレベルの変化の速度がしきい値S1 、例えば約0.1%を下回って低下するとき、緻密化を増幅するように緻密化パラメーター(例えば、温度、薬剤ガス組成)に対して働きかけることが可能である;および
・油のレベルの変化がしきい値S2 、例えば約1%を超えるまで増加するとき、緻密化を減速するように緻密化パラメーターに働きかけることが可能である。

0050

一例として、オーブンに流入した薬剤ガス(メタンとプロパンの混合物)の分当り500リットル(L/min)の公称流量について、しきい値S1 は、時間当り0.5グラム(g/h)から2g/hまでの範囲にある量によるタール重量変化の減少に対応し得るし、しきい値S2 は、5g/hから8g/hまでの範囲にあるタール重量の変化の増加に対応し得る。

0051

プロセスの終わりに、タンク40は、熱交換器52にポンプ50を接続する管に設置された弁51を閉じることにより、および廃油出口56にポンプ50の出口を接続する管に設置された弁53を開くことによりポンプ50の出口から少なくとも部分的に空にし得る。回収された廃油は、焼却されることにより破壊することができ、清浄な油は、タンク40に加えられる。

0052

当然に、再循環タンクの中のレベルまたは体積の増加を測定すること以外の手段、例えば、油の重量の増加を測定するための手段が、洗浄油により吸収されるタールの量をモニターするために用いられ得るであろう。

0053

タンク40の中の油のレベルまたは重量の変化が、緻密化プロセスの進行を表す大きさ、例えば、流出ガスに含まれるベンゼンの等価の量(equivalent quantity)に変換され得ることにもまた注意すべきである。

0054

すでに言及したように、本発明による方法は、プロセスが比較的高い温度でガス状炭化水素、特にメタンおよび/またはプロパンを含む薬剤ガスを使用するオーブン中で実施され、タールが流出ガス中で生成するならば、化学気相浸透による緻密化以外のプロセスの進行をモニターするために実施され得る。それらの他のプロセスには、特に、プロセスが通常約1000℃以上の温度で実施される、基材上での熱分解炭素のコーティングを形成するための化学気相成長および約900℃の温度でのメタンとプロパンの混合物を使用し得るオーブン中での部品の浸炭が含まれる。

図面の簡単な説明

0055

本発明の方法の実施を可能とする化学気相浸透のための工業的設備を示す。

符号の説明

0056

10…オーブン、12…ケーシング、14…基材、22…誘導コイル、30…油洗浄装置、32…スプレー塔、40…再循環タンク、48…液滴除去装置、50,74,78…ポンプ、52,54…熱交換器、58…センサー、60…ポンプ装置、64…エジェクター−コンデンサー、70…冷却塔、80…ボイラー、82…バッファーバルーン、86…バーナー、90…プロセッサー回路

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