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技術 透明導電膜および透明導電膜の製造方法

出願人 凸版印刷株式会社
発明者 亀島久光大久保透
出願日 2001年8月31日 (19年9ヶ月経過) 出願番号 2001-264147
公開日 2003年3月12日 (18年2ヶ月経過) 公開番号 2003-071976
状態 特許登録済
技術分野 積層体(2) 塗料、除去剤 非絶縁導体 電線ケーブルの製造(1)
主要キーワード 凝集体層 バインダ前駆体 導電性劣化 凝集層 導通パス ジアゾスルホン酸 球状シリカゾル 金属微粒子溶液
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図面 (2)

課題

金属微粒子を用いた場合でも、前記用途に要求されるレベル導電性発現させるのに必要な温度は、150以下の低い温度で処理した網目状透明導電膜を提供することである。

解決手段

透明基材上、溶媒浸透層無機酸化物微粒子を1種類以上含有した少なくとも1層以上からなる凝集促進層の順に設け、前記いずれかの層が網目状とし、さらに金属微粒子を凝集させた金属粒子凝集層を設けたことを特徴とする透明導電膜である。

概要

背景

従来、透明導電膜錫ドープ酸化インジウム(ITO)等の導電性酸化物、あるいは銀等の金属からなる薄膜スパッタリング蒸着等のドライプロセスにより成膜することで一般的に得られてきたが、ドライプロセスは成膜が高真空中で行われるため、成膜工程が複雑、かつ高コストであるという本質的な問題点があった。

これに対し近年、透明導電層低コスト形成方法として、湿式塗工に代表されるウェットプロセスが盛んに試みられてきた。湿式塗工材料としては、ITO微粒子金属微粒子等の導電材料バインダや分散安定剤とともに分散媒に分散させたものが一般的に用いられている。

このうちITO微粒子を用いた透明導電膜は、塗工層中に含まれる微粒子間粒界抵抗のため、達成可能な表面抵抗は、低くとも1000Ω/□〜10000Ω/□であり、電磁波遮蔽あるいは電極として必要なレベル導電性を得ることができない。また、前記ITO微粒子や金属微粒子等の導電材料をバインダや分散安定剤とともに分散媒に分散させた塗工材料は、350℃〜400℃以上の高温熱処理することにより低抵抗化することも可能であるが、塗工基材が、ガラスに限定されてしまう。

一方、金属微粒子は、体積固有抵抗率が、前記導電性酸化物と比較し1/100のオーダーと、小さいことに加え、前記導電性酸化物微粒子、あるいは前記金属微粒子のバルク状態と比較し、低温粒子同士の融着が生じることが、一般的に知られている。このため、金属微粒子は、湿式塗工用の透明導電材料として用いると、比較的低温の熱処理で、前記用途に必要なレベルの導電性を得ることが可能であり、透明導電材料として注目されるようになってきている。

概要

金属微粒子を用いた場合でも、前記用途に要求されるレベルの導電性を発現させるのに必要な温度は、150以下の低い温度で処理した網目状透明導電膜を提供することである。

透明基材上、溶媒浸透層無機酸化物微粒子を1種類以上含有した少なくとも1層以上からなる凝集促進層の順に設け、前記いずれかの層が網目状とし、さらに金属微粒子を凝集させた金属粒子凝集層を設けたことを特徴とする透明導電膜である。

目的

本発明はこの問題点を鑑みてなされたものであり、金属微粒子と溶媒のみの溶液を用いることが可能であり、さらに従来の処理温度よりも低い熱処理温度で、上記用途に必要な導電性を示す、網目状の透明導電膜を簡便に提供することを目的とする。

効果

実績

技術文献被引用数
2件
牽制数
4件

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請求項1

透明基材上に、網目状に金属微粒子凝集した金属微粒子凝集層を設けたことを特徴とする透明導電膜

請求項2

透明基材上、無機酸化物微粒子を1種類以上含有した少なくとも1層以上からなる凝集促進層、金属微粒子凝集層を設けたことを特徴とする透明導電膜。

請求項3

前記凝集促進層が、層中の無機酸化物微粒子の総含有量が20重量%以上であることを特徴とする請求項2記載の透明導電膜。

請求項4

前記凝集促進層は、少なくとも1層が、網目状となっていることを特徴とする請求項2,または2記載の透明導電膜。

請求項5

前記の凝集促進層の層間、及び/または下層に、溶液浸透層が1層以上設けられていることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の透明導電膜。

請求項6

前記溶媒難浸透層は、少なくとも1層に親溶媒性ポリマーが、20重量%以上含有していることを特徴とする請求項5記載の透明導電膜。

請求項7

前記凝集促進層の膜厚が、10〜10000nmの範囲であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の透明導電膜。

請求項8

前記溶媒難浸透層の膜厚が、10〜10000nmの範囲であることを特徴とする請求項7記載の透明導電膜。

請求項9

前記金属微粒子凝集体層を形成する金属微粒子が、Ag,Al,Cu,Au,Pt,Pdのいずれか、あるいはそれらの2種類以上の組み合わせまたは合金であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の透明導電膜。

請求項10

透明基材上に、無機酸化物微粒子を1種以上含む凝集促進層を形成後、金属微粒子溶液を塗布及び乾燥し金属微粒子が網目状に凝集している金属微粒子凝集層を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方法。

請求項11

前記凝集促進層を、網目状に形成することを特徴とする請求項10記載の透明導電膜の製造方法。

請求項12

透明基材上に、溶媒難浸透層を形成後、凝集促進層を積層し、その後、金属微粒子溶液を塗布及び乾燥し、金属微粒子凝集層を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方法。

請求項13

透明基材上に、溶媒難浸透層を形成後、網目状の凝集促進層を積層し、その後、金属微粒子溶液を塗布及び乾燥し、金属微粒子凝集層を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方法。

請求項14

前記凝集促進層の膜厚を、10〜10000nmの範囲に設けたことを特徴とする請求項10乃至13のいずれかに記載の透明導電膜の製造方法。

請求項15

前記溶媒難浸透層の膜厚を、10〜10000nmの範囲であることを特徴とする請求項14記載の透明導電膜の製造方法。

請求項16

前記金属微粒子凝集体層を形成する金属微粒子として、Ag,Al,Cu,Au,Pt,Pdのいずれか、あるいはそれらの2種類以上の組み合わせまたは合金を用いたことを特徴とする請求項10乃至15のいずれかに記載の透明導電膜の製造方法。

請求項17

前記熱処理温度が、150℃以下であることを特徴とする請求項10乃至16のいずれかに記載の透明導電膜の製造方法。

技術分野

0001

本発明は、EL,PDP,CRT,LCD等の各種表示装置電磁波遮蔽膜透明電極、あるいは太陽電池の透明電極として有用な透明導電膜およびその製造方法に関する。詳しくは、より低い熱処理温度で形成でき、より広範な基材に対応可能な透明導電膜およびその製造方法に関する。

背景技術

0002

従来、透明導電膜は錫ドープ酸化インジウム(ITO)等の導電性酸化物、あるいは銀等の金属からなる薄膜スパッタリング蒸着等のドライプロセスにより成膜することで一般的に得られてきたが、ドライプロセスは成膜が高真空中で行われるため、成膜工程が複雑、かつ高コストであるという本質的な問題点があった。

0003

これに対し近年、透明導電層低コスト形成方法として、湿式塗工に代表されるウェットプロセスが盛んに試みられてきた。湿式塗工材料としては、ITO微粒子金属微粒子等の導電材料バインダや分散安定剤とともに分散媒に分散させたものが一般的に用いられている。

0004

このうちITO微粒子を用いた透明導電膜は、塗工層中に含まれる微粒子間粒界抵抗のため、達成可能な表面抵抗は、低くとも1000Ω/□〜10000Ω/□であり、電磁波遮蔽あるいは電極として必要なレベル導電性を得ることができない。また、前記ITO微粒子や金属微粒子等の導電材料をバインダや分散安定剤とともに分散媒に分散させた塗工材料は、350℃〜400℃以上の高温熱処理することにより低抵抗化することも可能であるが、塗工基材が、ガラスに限定されてしまう。

0005

一方、金属微粒子は、体積固有抵抗率が、前記導電性酸化物と比較し1/100のオーダーと、小さいことに加え、前記導電性酸化物微粒子、あるいは前記金属微粒子のバルク状態と比較し、低温粒子同士の融着が生じることが、一般的に知られている。このため、金属微粒子は、湿式塗工用の透明導電材料として用いると、比較的低温の熱処理で、前記用途に必要なレベルの導電性を得ることが可能であり、透明導電材料として注目されるようになってきている。

発明が解決しようとする課題

0006

しかしながら、前記金属微粒子を用いた場合でも、前記用途に要求されるレベルの導電性を発現させるのに必要な温度は、150〜200℃以上であり、基材がプラスチックフィルムの場合、前記温度であっても処理可能な温度とは言えず、使用可能な基材が限定されるという問題点は依然解決されていない。また、金属微粒子を含む塗布液を使用する際、金属微粒子と溶媒以外の化合物を混合させると、塗布適性は上がるものの、金属微粒子の凝集が発生し易く、また、塗布液の安定性が乏しい上に、一般的に導電性が落ちてしまう。しかし、金属微粒子と溶媒のみの塗布溶液では、ガラス、プラスチックフィルム等の一般的基材への塗布適性は著しく乏しい。さらに、網目状に金属微粒子を凝集などさせ、透過率を上げる試みが、フォトリソグラフィーなどの方法を用いて試みられているが、必要とされる技術、及びコストが高いことから実用化が難しい状態である。

0007

本発明はこの問題点を鑑みてなされたものであり、金属微粒子と溶媒のみの溶液を用いることが可能であり、さらに従来の処理温度よりも低い熱処理温度で、上記用途に必要な導電性を示す、網目状の透明導電膜を簡便に提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0008

請求項1に記載の発明は、透明基材上に、網目状に金属微粒子が凝集した金属微粒子凝集層を設けたことを特徴とする透明導電膜である。

0009

請求項2に記載の発明は、透明基材上、無機酸化物微粒子を1種類以上含有した少なくとも1層以上からなる凝集促進層、金属微粒子凝集層を設けたことを特徴とする透明導電膜である。

0010

請求項3に記載の発明は、前記凝集促進層が、層中の無機酸化物微粒子の総含有量が20重量%以上であることを特徴とする請求項2記載の透明導電膜である。

0011

請求項4に記載の発明は、前記凝集促進層は、少なくとも1層が、網目状となっていることを特徴とする請求項2,または3記載の透明導電膜である。

0012

請求項5に記載の発明は、前記の凝集促進層の層間、及び/または下層に、溶液難浸透層が1層以上設けられていることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の透明導電膜である。

0013

請求項6に記載の発明は、前記溶媒難浸透層は、少なくとも1層に親溶媒性ポリマーが、20重量%以上含有していることを特徴とする請求項5記載の透明導電膜である。

0014

請求項7に記載の発明は、前記凝集促進層の膜厚が、10〜10000nmの範囲であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の透明導電膜である。

0015

請求項8に記載の発明は、前記溶媒難浸透層の膜厚が、10〜10000nmの範囲であることを特徴とする請求項7記載の透明導電膜である。

0016

請求項9に記載の発明は、前記金属微粒子凝集体層を形成する金属微粒子が、Ag,Al,Cu,Au,Pt,Pdのいずれか、あるいはそれらの2種類以上の組み合わせまたは合金であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の透明導電膜である。

0017

請求項10に記載の発明は、透明基材上に、無機酸化物微粒子を1種以上含む凝集促進層を形成後、金属微粒子溶液を塗布及び乾燥し金属微粒子が網目状に凝集している金属微粒子凝集層を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方法である。

0018

請求項11に記載の発明は、前記凝集促進層を、網目状に形成することを特徴とする請求項10記載の透明導電膜の製造方法である。

0019

請求項12に記載の発明は、透明基材上に、溶媒難浸透層を形成後、凝集促進層を積層し、その後、金属微粒子溶液を塗布及び乾燥し、金属微粒子凝集層を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方法である。

0020

請求項13に記載の発明は、透明基材上に、溶媒難浸透層を形成後、網目状の凝集促進層を積層し、その後、金属微粒子溶液を塗布及び乾燥し、金属微粒子凝集層を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方法である。

0021

請求項14に記載の発明は、前記凝集促進層の膜厚を、10〜10000nmの範囲に設けたことを特徴とする請求項10乃至13のいずれかに記載の透明導電膜の製造方法である。

0022

請求項15に記載の発明は、前記溶媒難浸透層の膜厚を、10〜10000nmの範囲であることを特徴とする請求項14記載の透明導電膜の製造方法である。

0023

請求項16に記載の発明は、前記金属微粒子凝集体層を形成する金属微粒子として、Ag,Al,Cu,Au,Pt,Pdのいずれか、あるいはそれらの2種類以上の組み合わせまたは合金を用いたことを特徴とする請求項10乃至15のいずれかに記載の透明導電膜の製造方法である。

0024

請求項17に記載の発明は、前記熱処理温度が、150℃以下であることを特徴とする請求項10乃至16のいずれかに記載の透明導電膜の製造方法である。

発明を実施するための最良の形態

0025

以下、本発明の実施の形態を具体的に説明する。

0026

まず、図1に示すように、本発明は、透明基材4上に、無機酸化物微粒子を含む1層以上の凝集促進層2を形成し、この凝集促進層2上に金属粒子凝集層1を設けた透明導電膜である。ここで、前記凝集促進層2は、全面に形成しても、または部分的に形成してもよい。

0027

このように、無機酸化物微粒子を含む凝集促進層上に、金属微粒子凝集層を設けるためには、前記凝集促進層上に、金属微粒子と溶媒のみから成る金属微粒子溶液を塗布することにより、無機酸化物微粒子や無機酸化物微粒子間の隙間から成る細孔へ主として金属微粒子溶液が選択的に浸透し、それに伴い凝集促進層部分で金属微粒子の凝集が加速度的に促進され、自己組織的に形成された網目状の金属微粒子凝集層が低い熱処理温度で形成できる。

0028

また、凝集促進層形成用塗布液、及び/またはコロイド溶液があまり浸透しない溶媒難浸透層3を、凝集促進層2の下側に設けることにより、凝集促進層2が自己組織的に網目状に形成され、さらに、金属微粒子溶液が網目状の凝集促進層2へ浸透していき、結果として網目状の金属微粒子凝集層1が良い開口率で得られる。

0029

なお、前記溶媒難浸透層3と凝集促進層2をそれぞれ1層設けた場合について説明したが、この構成に限定されるものではない。

0030

ここで、本発明における透明基材4は、特に限定されるものではなく、各種ガラス基材をはじめ適当な機械的剛性をもつ公知の透明プラスチックフィルム、もしくはシートの中から適宜選択して用いることができる。具体例としては、ポリエステルポリエチレンポリプロピレントリアセチルセルロースジアセチルセルロース等のフィルムが挙げられる。

0031

また、金属微粒子凝集層1に用いる金属微粒子の粒径は、透明性の観点から一次粒径50nm以下のものが好ましい。ここで、一次粒径が50nm以上であると、透明性の低下のみならず、ヘーズが発生しやすくなり、視認性の悪化につながる。また、金属微粒子の金属種としては、Ag,Au,Cu,Al,Pd等が挙げられるが、特に導電性と透明性の観点から、Agを主体とするものが好ましい。さらに、色調や化学的安定性の向上のため、それら2種以上の合金、特にAgを含む合金が好ましい。

0032

前記金属微粒子の調製としては、Carey−Leaが1889年に発表した方法(Am.J.Sci.,vol.37,pp.491,1889)に代表される数多くの公知技術により比較的容易に製造可能である。

0033

金属微粒子溶液としては、溶媒以外に、調製時に用いられるクエン酸などの分散剤や、微量に含まれてしまう洗浄しきれていない還元剤やその他添加物が含まれるが、溶液中の金属分性能劣化や、塗布後の導電性劣化の原因となり得るため、それ以外の添加剤を加えない方が好ましい。

0034

前記のように、金属微粒子溶液への添加剤の添加はしないことが望ましいが、金属微粒子の分散性向上や塗布適性向上、塗膜強度向上などの目的で、分散安定化剤やバインダを添加しても良い。

0037

前記の凝集促進層2としては、無機酸化物微粒子を20重量%以上含むことにより目的を達成することができ、含有率が高いほど好ましい。

0038

前記凝集促進層2に含まれる無機酸化物微粒子は、粒子径があまり小さいと粒子間の隙間がほとんど無くなってしまい、一方、あまり大きいと粒子間の隙間が大きくなり、適切なコロイド溶液及び/または溶媒の浸透が起こりにくくなり、金属微粒子の適切な凝集が起こりにくくなるため、粒子径1nm〜10μmの範囲であることが好ましく、特に、10nm〜1μmであることがより好ましい。

0039

前記凝集促進層2に含まれる無機酸化物微粒子の無機酸化物種としては、特に限定されるものではなく、一般的な酸化ケイ素微粒子酸化アルミ微粒子などを用いることができる。

0040

前記凝集促進層2に含まれる他の成分としては、塗布適性及び塗膜強度の観点から、バインダ及び/またはバインダ前駆体モノマーを含むことが好ましい。このバインダとしては、ポリビニルアルコールやポリエチレングリコールなどの水溶性高分子や、熱硬化性樹脂及びモノマー、光硬化性樹脂及びモノマーなどが挙げられるが、これらの物質に限られるものではない。

0041

前記凝集促進層2に含まれるバインダ及び/またはバインダ前駆体モノマーの含有量は、あまり多いと無機酸化物微粒子間の隙間が無くなってしまうことから、無機酸化物微粒子100重量部に対して、100重量部以下であることが好ましく、さらに好ましくは、20重量部以下である。

0042

前記凝集促進層2の膜厚は、10nm〜10000nmの範囲が好ましく、さらに好ましくは、10nm〜1000nm範囲である。

0043

前記溶媒難浸透層3に含まれる親溶媒性ポリマー種は、特に限定されるものではなく、一般的なポリマーを用いることができる。例えば、溶媒として水を用いる場合であれば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸ポリアクリルアミド、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンオキシドなどを用いることができる。また、有機溶媒を用いる場合であれば、アクリル樹脂ウレタン樹脂ポリエステル樹脂などを用いることができる。

0044

前記溶媒難浸透層3の膜厚は、10nm〜10000nmの範囲が好ましく、さらに好ましくは10nm〜1000nmの範囲である。

0045

前記の網目構造に形成された金属微粒子凝集層の面積は、透明性が良好となるように、金属微粒子凝集層の面積/開口部面積=1/1以下であることが好ましい。

0046

金属微粒子凝集層、溶媒難浸透層及び凝集促進層の塗布方法としては、スピンコート法インクジェット法ロールコート法スプレー法バーコート法ディップ法などの、通常の成膜方法が使用可能である。

0047

金属微粒子塗布形成した金属微粒子凝集層上に、種々のオーバーコート層を設け、各種機能を付与することも可能である。

0048

A.金属(銀)微粒子水溶液の調製
前述のCarey−Leaが1889年に発表した方法(Am.J.Sci.,vol.37,pp.491,1889)により、銀微粒子分散水溶液を調製した。TEM観察により平均一次粒子径は約7nmであった。さらに、Ag濃度が7重量%となるように蒸留水にて希釈し調製した。

0049

B.溶媒難浸透層形成用塗布液の調製
ポリビニルアルコール(クラレ製PVA317)の10重量%水溶液を10重量部、蒸留水を90重量部の割合で混合した溶液を、30分間攪拌して調製した。

0050

C.凝集促進層形成用塗布液の調製
球状シリカゾル水溶液(日産化学工業製スノーテックスAk、シリカ分20重量%)を、20重量部、蒸留水を80重量部の割合で混合した溶液を30分間攪拌して調製した。

0051

D.評価方法
表面抵抗は、三菱化学(株)製の表面抵抗計ロレスAPMCP−T400)を用い測定した。可視光線透過率は、透明基板ごと、色彩技術研究所製の反射透過率計(HR−100)を用いて測定した。

0052

(実施例1)ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東洋紡績製A4300)上に、ワイヤーバーコート法により、乾燥後の膜厚が1μmとなるよう前記凝集促進層形成用塗布液を塗布し、120℃で1分間乾燥させた。さらに、この凝集促進層上に、前記銀微粒子水溶液を、ワイヤーバーコート法により、ウェット膜厚で1μmとなるよう塗布せしめた後、120℃で1分間乾燥させ、フィルムを作成した。

0053

(実施例2)PETフィルム(東洋紡績製A4300)上に、ワイヤーバーコート法により、乾燥後の膜厚が0.1μmとなるよう前記溶媒難浸透層形成用塗布液を塗布せしめ、120℃で1分間乾燥させ、溶媒難浸透層を形成した。この溶媒難浸透層上に、ワイヤーバーコート法により、乾燥後の膜厚が0.2μmとなるよう前記凝集促進層形成用塗布液を塗布せしめ、120℃で1分間乾燥させ、さらにこの凝集促進層上に、前記銀微粒子水溶液をワイヤーバーコート法により、ウェット膜厚で1μmとなるよう塗布せしめた後、120℃で1分間乾燥させ、フィルムを作成した。

0054

(実施例3)PETフィルム(東洋紡績製A4300)上に、ワイヤーバーコート法により、乾燥後の膜厚が0.1μmとなるよう前記溶媒難浸透層形成用塗布液を塗布せしめ、120℃で1分間乾燥させ、溶媒難浸透層を形成した。この溶媒難浸透層上に、ワイヤーバーコート法により、乾燥後の膜厚が1μmとなるように、前記凝集促進層形成用塗布液を塗布せしめ、120℃で1分間乾燥させ、凝集促進層を形成した。さらにこの凝集促進層上に、前記銀微粒子水溶液をワイヤーバーコート法により、ウェット膜厚で1μmとなるよう塗布せしめた後、120℃で1分間乾燥させ、フィルムを作成した。

0055

(比較例1)PETフィルム(東洋紡績製A4300)上に、前記銀微粒子水溶液をワイヤーバーコート法により、ウェット膜厚で1μmとなるよう塗布せしめた後、120℃で1分間乾燥させ、フィルムを作成した。

0056

(比較例2)PETフィルム(東洋紡績製A4300)上に、ワイヤーバーコート法により、乾燥後の膜厚が0.2μmとなるように、前記凝集促進層形成用塗布液を塗布せしめ、120℃で1分間乾燥させ、凝集促進層を形成し、さらにこの凝集促進層上に、前記銀微粒子水溶液をワイヤーバーコート法により、ウェット膜厚で1μmとなるよう塗布せしめた後、120℃で1分間乾燥させ、フィルムを作成した。

0057

(比較例3)PETフィルム(東洋紡績製A4300)上に、ワイヤーバーコート法により、乾燥後の膜厚が1μmとなるように、前記溶媒難浸透層形成用塗布液を塗布せしめ、120℃で1分間乾燥させ、溶媒難浸透層を形成した。この溶媒難浸透層上に、前記銀微粒子水溶液をワイヤーバーコート法により、ウェット膜厚で1μmとなるよう塗布せしめた後、120℃で1分間乾燥させ、フィルムを作成した。

0058

上記作成された導電膜の成膜状態膜特性を、以下の表1に示す。

0059

0060

上記表1の結果から、PET基材のみ(比較例1)、不適切に薄い凝集促進層(比較例2)、溶媒難浸透層のみ(比較例3)へ、銀微粒子水溶液を塗布した場合、激しいはじきや、少ない凝集により、導通パスが得られなかった。

0061

これに対し、適切な厚みで凝集促進層を設けた基材上に銀微粒子水溶液を塗布すること(実施例1)により、銀微粒子が網目状に凝集し、良好な表面抵抗と可視光線透過率を示すことがわかった。

0062

また、溶媒難浸透層を設けた基材上に、凝集促進層形成用塗布液を塗布することにより程良いはじきが起こり、凝集促進層が網目状に形成され、さらに銀微粒子水溶液を塗布すること(実施例2,3)により、凝集促進層へ銀微粒子水溶液の浸透、及び銀微粒子の凝集が起こり、結果として網目状の銀微粒子の凝集層が形成され、非常に良好な表面抵抗と可視光線透過率を示す。

0063

また、溶媒難浸透層形成後の凝集促進層形成用塗布液の塗布量を少なくすると開口径が小さく(実施例2)、また、多くすると開口径が大きくなる(実施例3)といった現象も確認でき、目的に応じて開口径を調節できる。

発明の効果

0064

本発明の透明導電膜は、金属微粒子の凝集が成される凝集促進層を設けることにより、前記凝集促進層を全面に設けた場合であっても、金属微粒子の網目状の凝集が促され、良好な表面抵抗と可視光線透過率を両立したものとなる。好ましくは、溶媒が程良くはじくような溶媒難浸透層上に、凝集促進層形成用塗布液を塗布し、はじきの効果を利用して網目状の凝集促進層を形成した後、金属微粒子を塗布することにより、網目状の金属微粒子凝集層が形成され、非常に良好な表面抵抗と可視光線透過率を両立したものとなる。

0065

図面の簡単な説明

0066

図1本発明の一例を示す断面図である。

--

0067

1……金属微粒子凝集層
2……凝集促進層
3……溶媒難浸透層
4……透明基材

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