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技術 リーク検査方法及びその装置

出願人 有限会社エーディ
発明者 伊藤好弘三室公厚
出願日 2001年7月23日 (19年5ヶ月経過) 出願番号 2001-222328
公開日 2003年2月7日 (17年10ヶ月経過) 公開番号 2003-035624
状態 拒絶査定
技術分野 気密性の調査・試験
主要キーワード 一定規格 固定用ロッド 大容量容器 リーク値 検査容積 リーク流量 圧力変形 略停止
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (7)

課題

リーク検査に要する時間を短縮すると共に、大容量の密閉性を要求される容器であってもリーク検査を容易かつ迅速に行うことができる流量計を用いたリーク検査方法を提供する。

解決手段

内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物14へ所定の圧力を供給し、被検査物14から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計20により検知し被検査物14のリークの有無を判断するリーク検査方法であって、上記空隙36の容積減縮して被検査物14のリークの有無を判断する。

概要

背景

概要

リーク検査に要する時間を短縮すると共に、大容量の密閉性を要求される容器であってもリーク検査を容易かつ迅速に行うことができる流量計を用いたリーク検査方法を提供する。

内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物14へ所定の圧力を供給し、被検査物14から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計20により検知し被検査物14のリークの有無を判断するリーク検査方法であって、上記空隙36の容積減縮して被検査物14のリークの有無を判断する。

目的

そこで請求項1及び2記載の発明の技術的課題は、リーク検査に要する時間を短縮すると共に、大容量の密閉性を要求される容器であってもリーク検査を容易かつ迅速に行うことができる流量計を用いたリーク検査方法を提供することにある。

また、請求項3記載の発明の技術的課題は、より迅速にリーク検査を行うことができるリーク検査方法を提供することにある。

また、請求項4乃至6記載の発明の技術的課題は、被検査物に対する環境温度の影響を有効に低減することができるリーク検査方法を提供することにある。

また、請求項7,8,10及び11記載の発明の技術的課題は、リーク検査に要する時間を短縮すると共に、大容量であって密閉性を要求される容器のリーク検査を容易に行うリーク検査装置を提供することにある。

また、請求項9記載の発明の技術的課題は、リーク検査に要する時間をより短縮しうると共に、大容量であって密閉性を要求される容器のリーク検査を容易に行うリーク検査装置を提供することにある。

また、請求項12記載の発明の技術的課題は、被検査物に対する環境温度の影響を有効に低減することができるリーク検査装置を提供することにある。

また、請求項13記載の発明の技術的課題は、より確実に被検査物に対する温度の影響を低減することができるリーク検査装置を提供することにある。

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
2件

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請求項1

内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体流量計により検知し被検査物のリークを判断するリーク検査方法であって、上記被検査物の空隙の容積減縮して被検査物のリークを判断することを特徴とするリーク検査方法。

請求項2

内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断するリーク検査方法であって、被検査物を収納した場合に被検査物の容積よりも小さな容積の空隙を被検査物の周囲に形成しうる容積を備えた検査容器内に上記被検査物を収納し、被検査物内部の空隙と、被検査物と検査容器との間の空隙の間に圧力差を形成することにより被検査物のリークを判断することを特徴とするリーク検査方法。

請求項3

内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断するリーク検査方法であって、上記被検査物に所定圧力が供給された後に、上記被検査物へ、上記所定圧力以上の大きな圧力を瞬間的に供給して被検査容器のリークを判断することを特徴とする請求項1又は2記載のリーク検査方法。

請求項4

内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断するリーク検査方法であって、上記被検査物へ供給される所定の圧力は負圧であることを特徴とする請求項1または2記載のリーク検査方法。

請求項5

上記被検査物は検査容器中に配置され、上記検査容器内へも負圧が供給されていることを特徴とする請求項4記載のリーク検査方法。

請求項6

上記被検査物へ供給される圧力は真空であることを特徴とする請求項4又は5記載のリーク検査方法。

請求項7

気体の流路を構成する管路の一端部に設けられた圧力供給源と、この圧力供給源の下流側に設けられ、被検査物への圧力供給遮断しうる遮断弁と、この遮断弁の下流側に設けられた流量計とを備え、内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断するリーク検査装置であって、上記被検査物内には、上記被検査物内部の空隙の容積を減少させうると共に、被検査物内壁面部との間に所定の空隙が形成される挿入部材が配置され、上記管路の他端部は上記空隙内に配置されていることを特徴とするリーク検査装置。

請求項8

気体の流路を構成する管路の一端部に設けられた圧力供給源と、この圧力供給源の下流側に設けられ、被検査物への圧力供給を遮断しうる遮断弁と、この遮断弁の下流側に設けられた流量計とを備え、内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断するリーク検査装置であって、上記被検査物内部の空隙の容積を減少させうると共に被検査物内壁面部との間に所定の空隙が形成される挿入部材と、被検査物を密閉しうると共に上記挿入部材との間に空隙を形成しうる蓋体とを備え、上記被検査物内壁面部との間に所定の空隙と、上記挿入部材との間の空隙とに所定圧力を供給してリーク検査を行うことを特徴とする請求項7記載のリーク検査装置。

請求項9

上記流量計の下流側には、上記圧力供給源から供給されている圧力よりも大きな圧力を瞬間的に被検査物へ供給しうる加圧部を備えたことを特徴とする請求項7又は8記載のリーク検査装置。

請求項10

気体の流路を構成する管路の一端部に設けられた圧力供給源と、この圧力供給源の下流側に設けられ、被検査物への圧力供給を遮断しうる遮断弁と、この遮断弁の下流側に設けられた流量計とを備え、内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断するリーク検査装置であって、上記被検査物は検査容器内に収納されており、上記管路の他端部は上記検査容器を貫通して、被検査物と上記検査容器との間の、被検査物内の容積よりも小さな容積からなる空隙内に配置されていることを特徴とするリーク検査装置。

請求項11

上記管路の第1の他端部は被検査物内に配置されると共に、上記管路の第2の他端部は検査容器と被検査物との間に形成される、被検査物の容積よりも小さな容積の空隙に配置され、上記被検査物内の空隙と上記空隙内との間には圧力差が形成されるように上記管路から圧力が供給され、上記管路の第2の他端部を介して上記流量計は気体の流動を検知するように構成されていることを特徴とする請求項9記載のリーク検査装置。

請求項12

上記被検査物内又は検査容器と被検査物との間の空隙のいずれか一方には負圧が供給されることを特徴とする請求項10又は11記載のリーク検査装置。

請求項13

上記被検査物内及び検査容器と被検査物との間の空隙には真空が供給されることを特徴とする請求項10又は11記載のリーク検査装置。

技術分野

0001

本発明は、内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される各種容器のリークを流量計を用いて測定する方法及びその装置に係り、特に、大容量の密閉性を要求される大型の容器のリークを計測する方法及びその装置に関する。

発明が解決しようとする課題

0002

一般に、内部が密閉された状態で使用される様々な容器、例えば、ライターガスボンベガス湯沸かし器ガスパイプエアコン冷媒収納容器等は一定規格以上の密閉性が要求されることから、これらの製品が製造された場合には、封入される内容物がリークすることがないか否かに関し、容器の密閉性を検査する必要がある。

0003

このような密閉性を要求される容器のリーク検査方法として、本件特許出願人は、既に、流量計を使用して密閉性を要求される容器のリークの検査を行う発明を提案している(特願平8−342851号)。本件特許出願は上記特願平8−342851号の改良発明に係る出願である。

0004

上記特願平8−342851号にあっては、流量計を利用してリーク検査を行う基本的な技術的思想を開示している。即ち、被検査物である密閉性を要求される容器に対し、圧力供給源から所定の圧力を供給した場合、被検査物にリークが存在した場合には、被検査物内部と外部との間の圧力差により気体の移動が発生することから、この気体の移動を流量計により検知し、被検査物である密閉性を要求される容器にリークが存在するか否かを判断するように構成されている。

0005

その結果、従来は、一定値加圧された被検査物の所定時間内における圧力変化圧力計により計測し、リークの有無を判断すると共に、リークが存在する場合には計測時間、被検査物の容積値を基に被検査物のリーク値を算出して被検査物において許容されるリークであるか否か、を判断することとしていたが、このように流量計を用いてリークの判断を行った場合には、リークの有無及びリーク量を直接に計測することができることとなり、圧力変化、被検査物の容積及び計測時間との間に成立する公式による、煩雑なリーク値の算出を行うことなく容易にリークを有無を判断できるようになったものである。

0006

ところで、被検査物には、例えば、ドラム缶のような大容量の容器もある。このような大容量の容器に関しても、上記の流量計を使用してリークの有無及びリーク量を計測できるが、実際に流量計を使用してリーク検査を行った場合には、リーク判定に至るまでに時間が掛かり、迅速な検査ができない、という不具合があった。理由は以下による。

0007

本来、気体には圧縮性粘性があることから、密閉性を要求される容器に孔部、又はクラック等が形成され、リークが存在する被検査物としての密閉性を要求される容器のリーク検査装置を行う際に、圧力供給源から所定圧力が供給された場合であっても、被検査物の容積とリーク量の大きさは相対的なものであることから、被検査物の内部の容積が大きい場合には、リーク量は圧力変動に吸収されてしまい、即時には気体のリーク量表示には結びつかず、上記流量計が気体の流動を検知するまでに所定の時間がかかる場合もある。

0008

特に、大容量容器からなる被検査物にあっては、内部の収納容積が大きいことから被検査物に収納される気体も容積が大きくなり、流量計が被検査物に接合された管路を介してリークによる気体の流動を感知するまでに非常に時間を要する場合もあった。この事情は、被検査物である密閉性を要求される容器が大きければ大きいほど深刻なものとなる。

0009

さらに、特願平8−342851号の明細書においても記述されているように、一般的に、密閉性を要求される容器に関するリーク試験が行われる環境は、工場における製造ライン近接して行われる場合が多く、一般の大気温度よりも高温の場合や、温度環境が一定せずに時間と共に変化する場合が多い。また、被検査物が工場において製造された場合には、加熱成形された被検査物は未だ高温の状態のままの場合もある。

0010

このような、被検査物の温度条件及び被検査物周囲の環境温度がリーク検査に及ぼす影響は大きく、リーク試験においてこのような温度の影響そのものを排除することが要求されていた。

0011

そこで請求項1及び2記載の発明の技術的課題は、リーク検査に要する時間を短縮すると共に、大容量の密閉性を要求される容器であってもリーク検査を容易かつ迅速に行うことができる流量計を用いたリーク検査方法を提供することにある。

0012

また、請求項3記載の発明の技術的課題は、より迅速にリーク検査を行うことができるリーク検査方法を提供することにある。

0013

また、請求項4乃至6記載の発明の技術的課題は、被検査物に対する環境温度の影響を有効に低減することができるリーク検査方法を提供することにある。

0014

また、請求項7,8,10及び11記載の発明の技術的課題は、リーク検査に要する時間を短縮すると共に、大容量であって密閉性を要求される容器のリーク検査を容易に行うリーク検査装置を提供することにある。

0015

また、請求項9記載の発明の技術的課題は、リーク検査に要する時間をより短縮しうると共に、大容量であって密閉性を要求される容器のリーク検査を容易に行うリーク検査装置を提供することにある。

0016

また、請求項12記載の発明の技術的課題は、被検査物に対する環境温度の影響を有効に低減することができるリーク検査装置を提供することにある。

0017

また、請求項13記載の発明の技術的課題は、より確実に被検査物に対する温度の影響を低減することができるリーク検査装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

0018

このような技術的課題解決のため請求項1記載の発明にあっては、内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検査物のリークの有無を判断するリーク検査方法であって、上記空隙の容積を減縮して被検査物のリークの有無を判断することを特徴とする。

0019

従って、請求項1記載の発明にあっては、被検査物の有する空隙の容積が減縮されることから、リークが発生した場合に、流量計が検知しうる気体の流動が短時間で発生する。

0020

その結果、請求項1記載の発明にあっては、流量計によるリーク判定に至る、検査に要する時間が短縮され、特に、大容量容器であっても容易且つ迅速にリーク検査を行うことができる。

0021

請求項2記載の発明にあっては、内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断するリーク検査方法であって、被検査物を収納した場合に被検査物の容積よりも小さな容積の空隙を被検査物の周囲に形成しうる容積を備えた検査容器内に上記被検査物を収納し、被検査物内部の空隙と、被検査物と検査容器との間の空隙の間に圧力差を形成することにより被検査物のリークを判断することを特徴とする。

0022

従って、請求項2記載の発明にあっては、リーク検査を行う場合には、上記被検査物を収納した場合に被検査物の容積よりも小さな容積の空隙を被検査物の周囲に形成しうる容積を備えた検査容器を準備し、その検査容器に被検査物を収納し、被検査物内部の空隙と、被検査物と検査容器との間の空隙の間に圧力差を形成することにより被検査物のリークを判断する。

0023

従って、請求項2記載の発明にあっては、被検査物内部の空隙と、被検査物と検査容器との間に形成される空隙との間には圧力差が形成されていることから、被検査物に孔部、クラック等が存在した場合には、圧力の高い方から低い方へ向かって、被検査物から上記空隙へ又は、上記空隙から被検査物内へ気体の移動が発生し、上記流量計はこの気体の移動の流れを検知することから、このような気体の移動が発生した場合には、リークが存在することが判明する。

0024

その結果、請求項2記載の発明にあっては、検査対象となる、被検査物と検査容器との間の空隙の容積は被検査物内の容積よりも小さいことから、被検査物そのものに圧力を供給してリーク検査を行う場合に比し、被検査物にリークが存在した場合に発生する気体の移動を流量計が検知しやすいことから、迅速にリーク検査を行うことができる。

0025

請求項3記載の発明にあっては、内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検査物のリークの有無を判断するリーク検査方法であって、上記被検査物に所定圧力が供給された後に、上記被検査物へ上記所定圧力以上の大きさの圧力を瞬間的に供給して被検査容器のリークの有無を判断することを特徴とする。

0026

従って、請求項3記載の発明にあっては、上記被検査物に所定圧力が供給された後に、上記の所定圧力よりもより大きな圧力が瞬間的に加えられた場合、被検査物に孔部、クラック等がない場合には、圧力反動により気体は圧力供給源方向へ向かって逆流する。また、被検査物に孔部、クラック等が存在する場合には圧力反動は小さいため逆流の程度は少なくなる。また、被検査物に大きな孔部、クラック等が存在した場合には、圧力は孔部等から被検査物外方へ逃げてしまい、逆流はほとんどなくなる。上記流量計は、圧力供給源方向へ逆流する気体の流れを、圧力供給方向を正方向とした場合、負の流量として検知する。

0027

この負方向の流量と実際のリーク値との間には、上記のように一定の法則性があることから、請求項3記載の発明にあっては、実際のリーク量全体を一定時間をかけて測定することなく、迅速にリークの検査を行うことができるものである。

0028

請求項4記載の発明にあっては、内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検査物のリークの有無を判断するリーク検査方法であって、上記被検査物へ供給される所定の圧力は負圧であることを特徴とする。

0029

なお、ここに「負圧」とは、大気圧以下の圧力をいい、以下、「負圧」という場合には同様の意義で用いる。

0030

従って、請求項4記載の発明にあっては、被検査物へは負圧が供給されることから、断熱効果により被検査物への周囲からの温度の影響は低減され、周囲の環境による温度の影響の少ないリーク検査を行うことができる。

0031

請求項5記載の発明にあっては、上記被検査物は検査容器中に配置され、上記被検査物内へも負圧が供給されていることを特徴とする。

0032

従って、請求項5記載の発明にあっては、上記被検査物は検査容器中に配置され、上記被検査物内へ負圧が供給されていると共に、検査容器と被検査物との間の空隙にも負圧が供給されており、被検査物内と検査容器と被検査物との間の空隙との間では圧力差が形成されていることから、被検査物にリークが存在する場合には、被検査物と検査容器との間での気体の移動を流量計が検知することとなる。

0033

その結果、請求項5記載の発明にあっては、請求項4記載の発明の効果に加えて、負圧によるより大きな断熱効果により、被検査物への周囲の環境の温度の影響を低減することができる。

0034

請求項6記載の発明にあっては、被検査物へ供給される圧力は真空であることを特徴とする。

0035

ここに「真空」とは、高度に減圧された状態をいい、以下「真空」という場合には同様の意義である。

0036

従って、請求項6記載の発明にあっては、請求項4乃至5記載の発明の効果に加えて、被検査物への周囲の環境の温度の影響をさらに確実に低減することができる。

0037

請求項7記載の発明にあっては、気体の流路を構成する管路の一端部に設けられた圧力供給源と、この圧力供給源の下流側に設けられ、被検査物への圧力供給を遮断しうる遮断弁と、この遮断弁の下流側に設けられた流量計とを備え、内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断するリーク検査装置であって、上記被検査物内には、上記被検査物内部の空隙の容積を減少させうると共に、被検査物内壁面部との間に所定の空隙が形成される挿入部材が配置され、上記管路の他端部は上記空隙内に配置されていることを特徴とする。

0038

従って、請求項7記載の発明にあっては、上記被検査物内には被検査物内壁面部との間に所定の空隙が形成される挿入部材が配置されていることから、被検査物の内部の空隙の容積は上記挿入部材により減少され、その結果、リーク検査の対象となる被検査物の内部容積は本来の内部容積よりも小さくなっている。

0039

そして、上記管路の他端部は被検査物と上記挿入部材との間に形成される空隙内に配置されていることから、被検査物にリークが発生した場合にはこの管路内を気体が流れ、この流れを流量計が感知する。

0040

その結果、請求項7記載の発明にあっては、リークが発生した場合であっても、リーク量の判断の基礎となる被検査物の容積そのものが上記挿入部材により減少されていることから、結果的に、検出対象となる気体の総量も減少しており、その分、リークによる気体の流動が起こりやすい。従って、被検査物は大容量の密閉性を要求される容器であっても、当該気体の流動を流量計が検知するまでの時間を短縮でき、リーク検査時間を大きく短縮することができる。

0041

請求項8記載の発明にあっては、気体の流路を構成する管路の一端部に設けられた圧力供給源と、この圧力供給源の下流側に設けられ、被検査物への圧力供給を遮断しうる遮断弁と、この遮断弁の下流側に設けられた流量計とを備え、内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断するリーク検査装置であって、上記被検査物内部の空隙の容積を減少させうると共に被検査物内壁面部との間に所定の空隙が形成される挿入部材と、被検査物を密閉しうると共に上記挿入部材との間に空隙を形成しうる蓋体とを備え、上記被検査物内壁面部との間に所定の空隙と、上記挿入部材との間の空隙とに所定圧力を供給してリーク検査を行うことを特徴とする。

0042

従って、請求項8記載の発明にあっては、被検査物内に上記挿入部材を挿入して被検査物内壁面部との間に所定の空隙を形成すると共に、上記被検査物に蓋体を密閉して装着することにより上記挿入部材との間に空隙を形成し、被検査物内壁面部との間に形成された所定の空隙及び上記蓋体と挿入部材との間の空隙に所定圧力を供給する。これにより被検査物に孔部又はクラック等が存在する場合には、被検査物から上記孔部又はクラック等を介して気体が被検査物外方へ流出する。

0043

その結果、請求項8記載の発明にあっては、請求項7記載の発明における場合と同様に、被検査物にリークが発生した場合であっても、リーク量の判断の基礎となる被検査容積そのものが上記挿入部材により減少されていることから、結果的に、検出対象となる気体の総量も減少しており、その分、リークによる気体の流動が起こりやすい。従って、被検査物は大容量の密閉性を要求される容器であっても、当該気体の流動を流量計が検知するまでの時間を短縮でき、リーク検査時間を大きく短縮することができる。

0044

請求項9記載の発明にあっては上記流量計の下流側には、上記圧力供給源から供給されている圧力よりも大きな圧力を瞬間的に被検査物へ供給しうる加圧部を備えたことを特徴とする。

0045

従って、請求項9記載の発明にあっては、上記被検査物に所定圧力が供給された後に、上記の所定圧力よりもより大きな圧力が瞬間的に加えられた場合、被検査物に孔部、クラック等がない場合には、圧力反動により気体は圧力供給源方向へ向かって逆流する。また、被検査物に孔部、クラック等が存在する場合には圧力反動は小さいため逆流の程度は少なくなる。また、被検査物に大きな孔部、クラック等が存在した場合には、圧力は孔部等から被検査物外方へ逃げてしまい、逆流はほとんどなくなる。この場合、上記流量計は、圧力供給源方向へ逆流する気体の流れを、圧力供給方向を正方向の流量とした場合、負方向の流量として検知する。

0046

この負方向の流量と実際のリーク値との間には、一定の法則性があることから、請求項9記載の発明にあっては、実際のリーク量全体を一定時間をかけて測定することなく、迅速にリークの検査を行うことができるものである。

0047

請求項10記載の発明にあっては、気体の流路を構成する管路の一端部に設けられた圧力供給源と、この圧力供給源の下流側に設けられ、被検査物への圧力供給を遮断しうる遮断弁と、この遮断弁の下流側に設けられた流量計とを備え、内部に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断するリーク検査装置であって、上記被検査物は検査容器内に収納されており、上記管路の他端部は上記検査容器を貫通して、被検査物と上記検査容器との間の、被検査物内の容積よりも小さな容積からなる空隙内に配置されていることを特徴とする。

0048

従って、請求項10記載の発明にあっては、上記被検査物は検査容器中に配置され、上記検査容器内へも所定の圧力が供給されていることから、被検査物にリークが存在する場合には、被検査物外壁を介して被検査物と検査容器との間での気体の移動を流量計が検知することとなる。

0049

その結果、請求項10記載の発明にあっては、被検査物と上記検査容器との間の、被検査物内の容積よりも小さな容積からなる空隙を介して流量計により気体の流動を検知してリーク検査を行うものであることから、被検査物そのものに加圧してリーク検査を行う場合に比して迅速にリーク検査を行うことができる。

0050

請求項11記載の発明にあっては、上記管路の第1の他端部は被検査物内に配置されると共に、上記管路の第2の他端部は検査容器と被検査物との間に形成される、被検査物の容積よりも小さな容積の空隙に配置され、上記被検査物内の空隙と上記空隙内との間には圧力差が形成されるように上記管路から圧力が供給され、上記管路の第2の他端部を介して上記流量計は気体の流動を検知するように構成されていることを特徴とする。

0051

従って、請求項11記載の発明にあっては、被検査物に孔部又はクラック等が存在する場合には、被検査物の壁部を介して被検査物内部の空隙と検査容器と被検査物との間の空隙との間で気体の流動があり、流量計は上記第2の他端部を介してこの気体の流動を検知する。

0052

その結果、請求項11記載の発明にあっては、上記管路の第2の他端部は検査容器と被検査物との間の空隙に開口しており、検査容器と被検査物との間の空隙は被検査物内の容積よりも小さく形成されていることから、被検査物そのものを対象として気体の流動を測定してリーク検査を行う場合よりも迅速に気体の流動を計測することができ、短時間でリーク検査を行うことができる。

0053

請求項12記載の発明にあっては、上記被検査物内又は検査容器と被検査物との間の空隙のいずれか一方には負圧が供給されることを特徴とする。

0054

従って、請求項12記載の発明にあっては、検査容器内に収納された被検査物又は検査容器と被検査物との間のいずれか一方には負圧が供給されていることから、被検査物に孔部又はクラック等が存在する場合には、被検査物の壁部を介して被検査物内部の空隙と検査容器と被検査物との間の空隙との間で気体の流動があり、流量計はこの気体の流動を検知する。

0055

その結果、請求項12記載の発明にあっては、被検査物又は検査容器と被検査物との間の空隙には負圧が供給されていることから、断熱効果により外部の温度の被検査物への影響を減少することができ、正確なリーク検査を行うことができる。

0056

請求項13記載の発明にあっては、上記被検査物内及び検査容器と被検査物との間の空隙には真空が供給されることを特徴とする。

0057

従って、請求項13記載の発明にあっては、被検査物及び検査容器と被検査物との間の空隙には真空が供給されていることから、より大きな断熱効果を奏することができ、被検査物への外部の環境温度の影響を低減することができる。

発明を実施するための最良の形態

0058

以下添付図面に示す実施の形態に基づき、本発明を詳細に説明する。

0059

図1に示すように、本実施の形態に係るリーク検査装置10は、気体の流路を構成する管路11の一端部に設けられた圧力供給源12と、この圧力供給源12の下流側に設けられ、被検査物14へ供給される圧力を所定の圧力に調整する圧力調整弁13と、この圧力調整弁13の下流側に設けられ、被検査物14への圧力供給を遮断しうる第1の遮断弁15と、この第1の遮断弁15の下流側に設けられ、被検査物14への圧力供給の遮断しうる第2の遮断弁16とを有する。本実施の形態にあっては、被検査物14は例えば、ドラム缶等の大容量の容器であって、このような大容量の容器のリークの有無を検査するように構成されている。

0060

本実施の形態に係るリーク検査装置10は、図1に示すように、圧力供給源12から被検査物14へ至る主管路34と、上記第2の遮断弁16を迂回し、上記第2の遮断弁16の上流側17と下流側18とを接続したバイパス管路19とにより構成され、このバイパス管路19には流量計20が配設され、本実施の形態にあっては、上記流量計20は質量流量計からなり、バイパス管路19における気体の流量を直接に計測できるように構成されている。

0061

なお、本実施の形態にあっては、管路11における、下流側管路35と検査用管路28との接続部位93の下流側には第3の遮断弁43が設けられ、リーク検査終了の際に被検査物14に供給された所定の圧力を大気に排出し、初期状態に戻すことができるように形成されている。

0062

また、本実施の形態にあっては、上記被検査物14である大容量容器の内部には、容器の内部容積を減少させうる挿入部材21が配置固定されている。この挿入部材21の断面形状は上記大容量の容器の断面形状と同一であって、本実施の形態にあっては、大容量の容器の内径よりも小さく形成された外径を有する円筒状に形成され、上端周縁にはフランジ部90が形成されている。このフランジ部90の裏面側には適宜の構成からなるパッキン91が設けられ、被検査物14内に挿入された際には、被検査物14の開口上端部に気密的に圧接しうるように構成されている。

0063

リーク検査時には、この挿入部材21は、固定用ロッド23及び、この固定用ロッド23を締結するスクリュー24,24により構成される固定部材25により、基板22に固定される。

0064

従って、上記挿入部材21が被検査物14である大容量容器内に挿入配置された場合には、被検査物14である大容量容器の内側面31と挿入部材21の外側面32との間には所定間隔の空隙33が形成されるように構成されている。

0065

この挿入部材21の底面部26には上記管路11を構成する検査用管路28の先端部27が挿通される孔部29が開設され、上記検査用管路28の先端部27は上記孔部29に気密状態で挿通固定され、上記検査用管路28の先端開口部30は上記空隙33内に配置されている。

0066

以下、本実施の形態に係るリーク検査装置10を使用して被検査物14のリーク検査を行う手順を説明する。

0067

まず、上記のように、被検査物である、例えば、蓋を外し、開口した大容量の容器を基板22上に載置し、上記挿入部材21を開口部36から大容量の容器内へ、気密状態で挿入配置する。この場合、大容量の容器の内側面31と挿入部材21の外側面32との間には、所定幅の空隙33が被検査物14外部及び挿入部材21外部とは気密となる状態で形成される。

0068

その後、管路11を構成する検査用管路28の先端部27を挿入部材21の底面部26に開設された孔部29に気密状態で挿通させて、先端開口部30を上記空隙33内に配置させる。

0069

次に、第2の遮断弁16を開放した状態で、上記第1の遮断弁15を開放して圧力供給源12からの所定の圧力を第2の遮断弁16を介して被検査物14に至る管路11に供給し、その後、上記第2の遮断弁16を閉止する。これにより第2の遮断弁16の下流側管路35及びバイパス管路19によりリーク検査回路39が形成される。

0070

従って、上記圧力供給源12からの圧力の供給により、被検査物14と挿入部材21との間の空隙33内も加圧されていることから、上記被検査物14である大容量容器に孔部又はクラック等が大容量の容器の底面部37又は側面部38に形成されていた場合には、空隙33内の空気はクラック等から被検査物14外方へ流出する。

0071

その結果、上記リーク検査回路39内に図1中、矢印A方向に移動する気体の流れが発生し、上記バイパス管路19に設けられた質量流量計20はこの気体の流れを検知し、所定のリーク流量を計測する。

0072

これにより当該被検査物14における一定時間におけるリーク量が判明することから、当該被検査物14である大容量の容器に許容されるリーク量であるか否か、を容易に検査することができる。

0073

この場合、実施の形態に係るリーク10にあっては、大容量の容器をそのままリーク検査した場合には、気体の圧縮性、粘性により、所定の時間が必要となるものであるが、被検査物14内に挿入部材21が挿入され、被検査物14である大容量の容器本来の内部容積よりも小さな体積の空隙33によりリーク検査が行われることから、リーク検査の基礎となる、被検査物14内に収納される気体の容積を縮小することができ、その結果、リーク検査に要する時間を短縮でき、特に、例えば、ドラム缶のような大容量の密閉性を要求される容器にあっても、リーク検査に要する時間を短縮することができる。

0074

図2には本発明に係るリーク検査装置の他の実施の形態を示す。

0075

本実施の形態に係るリーク検査装置40にあっては、被検査物14へ圧力供給源12以上の圧力を瞬間的に供給しうる加圧装置41が設けられている。

0076

この加圧装置41は、下流側管路35とバイパス管路19との接続部位94において加圧用管路42により、加圧装置41から被検査物14への圧力供給を制御する第4の遮断弁92を介して主管路34に接続されている。また、主管路34の圧力供給源12とは反対側の端部には第3の遮断弁43が設けられている。

0077

上記以外の構成は前記実施の形態に係るリーク検査装置10と同一である。前記第1の実施の形態に係るリーク検査装置10の場合と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。

0078

本実施の形態に係るリーク検査装置40によりリーク検査を行う場合には、上記圧力供給源12からの所定の圧力が主管路34を介して被検査物14である大容量容器へ供給され、上記第2の遮断弁16を閉止することにより第2の遮断弁16の下流側管路35及びバイパス管路19によりリーク検査回路39が形成された後、上記加圧装置41を作動させ、第4の遮断弁92を開放し、圧力供給源12により供給されている圧力の大きさ以上の大きさの圧力を、瞬間的に、被検査物14へ供給する。

0079

この場合、被検査物14に孔部、クラック等がない場合には、圧力反動により気体はリーク検査回路39内を矢印B方向へ向かって瞬間的に流動する。この圧力供給源12方向へ逆流する気体の流れを、圧力供給方向を正方向とした場合、負の流量として流量計20は検知する。従って、リーク検査において流量計20が負の流量を検知した場合には、被検査物14にはリークが存在しないこととなる。

0080

また、被検査物14に小規模の孔部、クラック等が存在する場合には、上記加圧装置41からの圧力供給があった場合における圧力反動は小さいため、流量計20が計測する、B方向への気体の流動の程度は少なくなる。

0081

さらに、被検査物14に大きな孔部、クラック等が存在した場合には、上記加圧装置41から供給された圧力は孔部等から被検査物14外方へ逃げてしまい、B方向への気体の流動はほとんどなくなり、A方向への気体の流動を、正の流量として流量計20に検知される。

0082

従って、このような流量計20の流量の計測結果から、被検査物14のリークの有無及び、許容されるリークであるか否か、を検査することができる。

0083

例えば、このような矢印B方向への気体の逆流は、本実施の形態におけるように、別途、加圧装置41を配設した場合に限らず、例えば、第2の遮断弁16がリフトアップバルブにより形成されている場合に、上記圧力供給源12からの所定の圧力が主管路34を介して被検査物14へ供給され、その後、リーク検査回路39を形成するために上記第2の遮断弁16を閉止した場合にも発生する。

0084

即ち、このようなリフトアップバルブの場合には、バルブ閉止時には弁体が管路内へ進入するように構成されていることから、バルブ閉止により主管路34内の圧力は上昇し、リーク検査回路39へ所定の圧力を供給することと同一の結果となる。

0085

図3には、上記実施の形態に係るリーク検査装置10において第2の遮断弁16にリフトアップバルブを使用した場合における気体の流量を時間の経過と共に表すグラフを示す。

0086

この場合、図3に示すグラフにおいて判るように、気体の流量は第1の遮断弁15及び第2の遮断弁16を開放した時点(a)で最大となり、その後、空隙33内の圧力が圧力調整弁13により設定された圧力に到達した場合には、第2の遮断弁16を開放した状態の時点(b)で流動は略停止する。その後、リフトアップバルブからなる第2の遮断弁16を閉止した時点(c)で、上記事情によりリーク検査回路39を介して被検査物14に加圧された状態となることから、グラフ上マイナスの流量として表れる、図1に示す矢印B方向への気体の逆流が発生する。

0087

その後、一定時間の経過後、この逆流は停止して流量は0に戻り(d)、被検査物14にリークが発生していることから、図1に示す矢印A方向への気体の流動がリーク量として現れることとなる(e)。

0088

また、表1には、図5に示すリーク検査装置60を用いて、検査容器65と被検査物との間に形成される空隙が3500ccの容量の被検査容器をリーク検査した場合におけるデータを示す。この場合、被検査物14と検査容器65との間の圧力差は0.02MPaである。

0089

ID=000003HE=050 WI=114 LX=0480 LY=1850
ID=000004 HE=045 WI=086 LX=0620 LY=0300
上記表1から明らかなように、被検査物の実際のリーク値を示す「被検査物リーク値」と上記瞬間的な加圧の際に発生する負の流量である「反転流量」との間には一定の法則性が存在することが試験の結果、把握されており、この「反転流量」を測定することにより、「実際のリークを計測するまでの時間」と、「(c)〜(d)間の時間」と比した場合、実際のリークを計測するまで所定時間待つことなく、非常に短時間でリークの判断を行えることが判る。

0090

なお、上記第2の遮断弁16がボール型弁の場合には、リーク検査回路における圧力の変動は発生しないことから、上記反転流量は0であることが実験の結果判明している。これを表2に示す。

0091

ID=000005HE=045 WI=108 LX=0510 LY=1150
なお、本実施の形態にあっては、別個に設けた加圧手段41を主管路34に接続し、被検査装置14に圧力を瞬間的に供給する場合を例に説明したが、上記実施の形態に限定されず、被検査装置14に所定圧力を瞬間的に供給しうるように構成されていればよく、上記のように、遮断弁をリフトアップバルブにより構成したものであってもよい。

0092

また、図4には、本発明に係るリーク検査装置の他の実施の形態示す。本実施の形態に係るリーク検査装置100にあっては、上記被検査物14内部の空隙の容積を減少させうると共に被検査物14の内壁面部95との間に所定の空隙96が形成される挿入部材97と、被検査物14を密閉しうると共に上記挿入部材97との間に空隙96を形成しうる蓋体98とを備え、上記被検査物内壁面部95との間の所定の空隙96と、上記挿入部材との間の空隙99とに所定圧力を供給してリーク検査を行うように構成されている。その他の構成は図1に示す実施の形態に係るリーク検査装置10と同一である。

0093

従って、本実施の形態に係るリーク検査装置100にあっては、被検査物14内に上記挿入部材97を挿入して被検査物14の内壁面部95との間に所定の空隙96を形成すると共に、上記被検査物14に蓋体98を密閉して装着することにより上記挿入部材97との間に空隙99を形成し、被検査物14の内壁面部95との間に形成された所定の空隙96及び上記蓋体98と挿入部材97との間の空隙99に所定圧力を供給する。これにより被検査物に孔部又はクラック等が存在する場合には、被検査物から上記孔部又はクラック等を介して気体が被検査物外方へ流出する。

0094

その結果、本実施の形態にあっては、被検査物14にリークが発生した場合であっても、リーク量の判断の基礎となる被検査容積そのものが上記挿入部材97により減少されていることから、結果的に、検出対象となる気体の総量も減少しており、その分、被検査物からのリークによる、リーク検査回路39内における気体の相対的流動を流量計20が検知しやすい。

0095

従って、被検査物14は大容量の密閉性を要求される容器であっても、当該気体の流動を流量計20が検知するまでの時間を短縮でき、リーク検査時間を大きく短縮することができる。

0096

また、図1に示すような、被検査物14の基板22への固定部材25を設ける必要がなく、リーク検査の際には、被検査物14内へ挿入部材97を適宜挿入すると共に、蓋体98を被検査物14に被覆するのみでよく、迅速にリーク検査を行うことができる。

0097

図5は、本発明に係るリーク検査装置の第4の実施の形態を示す。本実施の形態に係るリーク検査装置60にあっては、基本的構成は第1の実施の形態に係るリーク検査装置10と同一であるが、本実施の形態にあっては、主管路63の基端部には圧力供給源として真空ポンプ62が配設されると共に、主管路63には真空蓄圧タンク64が配設され、これら真空ポンプ62及び真空蓄圧タンク64から被検査物14に真空が供給されるように構成されている。なお、上記真空蓄圧タンク64は被検査物14への圧力供給の安定化のために使用されるものである。

0098

また、検査容器65は被検査物14よりも大容量に形成され、上記被検査物14は検査容器65内に密封して配置されており、被検査物14との間には所定間隔の空隙68が形成されるように構成され、上記主管路の先端部66は上記検査容器65を貫通して、先端部66の開口端部67は、上記空隙68内に配置されている。上記検査容器65は、被検査物14を収納した場合に被検査物14内の空隙109の容積よりも小さな容積の空隙68を被検査物14の周囲に形成しうる容積を備えている。

0099

その結果、本実施の形態に係るリーク検査装置60にあっては、被検査物14と上記検査容器65との間の、被検査物14内の空隙109容積よりも小さな容積からなる空隙68を介して流量計20により気体の流動を検知してリーク検査を行うものであることから、被検査物14そのものに加圧してリーク検査を行う場合に比して迅速にリーク検査を行うことができる。

0100

従って、本実施の形態にあっては、被検査物14には真空ポンプ62から真空が主管路63を介して供給されると共に、圧力安定化のために必要に応じて真空蓄圧タンク64からも真空が供給される。その他の構成は、圧力調整弁が設けられていない点を除けば、第1の実施の形態及び第2の実施の形態に係るリーク検査装置10,40と略同一である。

0101

従って、本実施の形態に係るリーク検査装置60を使用してリーク検査を行う場合には、被検査容器14を検査容器65内に収納し、主管路63の先端部66の開口端部67を被検査物14と検査容器65との間の空隙68内に配置する。

0102

その後、第2の遮断弁16を開放した状態で、上記第1の遮断弁15を開放して真空ポンプ62から真空を第2の遮断弁16に至る管路に供給し、その後、第2の遮断弁16を開放した後、第1の遮断弁15を閉止して検査容器65と被検査物14との空隙68へ所定圧力の真空を供給し、その後、上記第2の遮断弁16を閉止する。これにより第2の遮断弁16の下流側管路35及びバイパス管路19によりリーク検査回路39が形成される。

0103

この場合、被検査物14内は大気圧であると共に、上記検査容器65と被検査物14との間の空隙68には真空が供給されていることから、上記被検査物14に孔部又はクラック等が形成されていた場合には、破線106で示す矢印の方向での被検査物14から上記空隙68への気体の流動が発生し、リーク検査回路39においては矢印B方向への気体の流動が発生する。この気体の流動を負の流量として流量計20が検知することにより、リークの有無、及びリーク量を計測する。

0104

その結果、本実施の形態に係るリーク検査装置60にあっては、被検査物14と上記検査容器65との間の、被検査物14内の容積よりも小さな容積からなる空隙68を介して流量計20により気体の流動を検知してリーク検査を行うものであることから、被検査物14そのものに加圧してリーク検査を行う場合に比して迅速にリーク検査を行うことができる。

0105

また、本実施の形態に係るリーク検査装置60にあっては検査容器65内の空隙68へは真空が供給されるように構成されていることから、真空の断熱効果により被検査物14への周囲からの温度の影響は低減され、周囲の環境による温度の影響の少ないリーク検査を行うことができる。

0106

また、上記実施の形態にあっては、検査容器65の空隙68に真空を供給して検査容器65からの空気の流入により被検査物14のリークの検査を行うように構成されている場合を例に説明したが、上記実施の形態に限定されず、検査容器65の空隙68に所定の正圧を供給するように構成してもよく、上記実施の形態には限定されない。

0107

また、図6には、本発明に係るリーク検査装置の第4の実施の形態を示す。

0108

本実施の形態に係るリーク検査装置70は、基本的なリーク検査装置の構成は上記第3の実施の形態におけるリーク検査装置60と同様であるが、本実施の形態にあっては、主管路63の先端部は2つに分岐されており、第1先端部71は検査容器65に気密状態で接合され先端開口部72は被検査物14との間の空隙68内に配置されていると共に、第2先端部73は検査容器65を貫通して被検査物14に接合されており、先端開口部74は被検査物14の空隙110内に配置されている。また、検査容器65には圧力計78が取り付けられ、上記空隙68内の気圧を測定しうるように構成されている。

0109

上記第1先端部71には大気に開放されている分岐管路101が設けられ、この分岐管路101には第5の遮断弁103が配設されている。一方、上記第2先端部73には同様に大気に開放されている分岐管路102が設けられ、この分岐管路102には第6の遮断弁104が配設されており、この分岐管路102には圧力計105が設けられ、被検査物14内の圧力を計測しうるように構成されている。

0110

また、上記主管路63には第1の遮断弁15、第2の遮断弁16が配設されていると共に、リーク検査回路39には、バイパス管路19と主管路63との接合部77よりも下流側には第3の遮断弁75が配設されており、さらに、第1先端部71には分岐管路101の接合部位111よりも上流側には第4の遮断弁76が配設されていると共に、上記第2先端部73には分岐管路102の接合部位112よりも上流側には第7の遮断弁108が設けられている。

0111

このように構成されたリーク検査装置70を用いて被検査物14のリーク検査を行う場合には、前記実施の形態にかかるリーク検査装置60の場合と同様に、被検査装置14を検査容器65内に収納し、上記第2先端部73を、検査容器65の上面部69を気密状態で貫通させて被検査装置14に接合し、開口端部74を被検査装置14内の空隙110内に配置する。なお、この場合、分岐管路101及び分岐管路102に配設された第5の遮断弁103及び第6の遮断弁104は予め閉止しておく。

0112

その後、第1の遮断弁15、第2の遮断弁16、第3の遮断弁75及び第4の遮断弁76を開放すると共に、上記第2先端部73の第7の遮断弁108を閉止した状態で、真空ポンプ62から真空を主管路63に供給し、第1先端部71を介して検査容器65内の被検査物14との空隙68内に真空を供給する。そして、圧力計78により、検査容器65内の空隙68内の気圧が一定の気圧の真空になっていることを確認する。なお、第4の遮断弁76は閉止する。

0113

その後、上記第2先端部73に配設された第7の遮断弁108を開放し、上記圧力計78により計測された空隙68における真空よりもさらに低い気圧の真空を真空蓄圧タンク64から主管路63及び主管路63の第2先端部73を介して被検査装置14内に供給する。従って、被検査装置14内には検査容器65よりもより減圧された真空が供給されることとなる。この被検査装置14へ供給される負圧を真空蓄圧タンク64に取り付けられた圧力計81及び第2先端部73に配設された真空ポンプ105により計測しておき、被検査装置14と検査容器65内の空隙68との間の差圧を確認し、その後、第7の遮断弁108を閉止すると共に第1先端部71の上記第4の遮断弁76を開放する。

0114

この場合、同時に上記第4の遮断弁76及び第7の遮断弁108を開放し、その後、真空の気圧が所定値に至った際に上記第4の遮断弁76を閉止してもよい。このように同時に上記第4の遮断弁76及び第7の遮断弁108を開放して、被検査物14及び検査容器65の双方へ同時に真空を供給した場合には、被検査物14が、例えば、肉厚が薄く形成されているような場合にも、被検査物14の形状を圧力変形させることなくリーク検査を行うことが可能となる。

0115

この第7の遮断弁108の閉止及び上記第4の遮断弁76の開放により第1先端部71からバイパス管路19を経て流量計20へ至るリーク検査回路39が形成される。

0116

従って、上記被検査物14に孔部又はクラック等が形成されていた場合には、上記空隙68から被検査物14内への気体の流動が発生し、リーク検査回路39においては矢印 A 方向への気体の流動が発生する。この気体の流動を正の流量として流量計20が検知することにより、リークの有無、及びリーク量を計測する。

0117

従って、本実施の形態に係るリーク検査装置70にあっては、被検査物14と上記検査容器65との間の、被検査物14内の容積よりも小さな容積からなる空隙68を介して流量計20により気体の流動を検知してリーク検査を行うものであることから、他の実施の形態における場合と同様に、被検査物14そのものに加圧してリーク検査を行う場合に比して迅速にリーク検査を行うことができる。

0118

本実施の形態に係るリーク検査装置70にあっては被検査物14へは真空が供給されると共に、検査容器65へも真空が供給されていることから、図5に示す実施の形態に係るリーク検査装置60の場合に比し、さらに真空の断熱効果は大きくなり、より確実に被検査物14への周囲からの温度の影響は低減され、周囲の環境による温度の影響のより少ないリーク検査を行うことができる。

0119

また、上記第4の実施の形態にあっては、に真空を供給すると共に、被検査装置14には検査容器65よりも減圧された真空を供給する場合を例に説明したが、上記実施の形態には限定されず、検査容器65の方が被検査装置14よりも減圧されていてもよく、上記実施の形態には限定されない。

0120

また、上記各実施の形態にあっては、流量計として質量流量計を使用した場合を例に説明したが上記各実施の形態に限定されず、他の形式の流量計を使用してもよい。

発明の効果

0121

請求項1及び2記載の発明にあっては、リーク検査に要する時間を短縮すると共に、大容量の密閉性を要求される容器であってもリーク検査を容易かつ迅速に行うことができる流量計を用いたリーク検査方法を提供することができる。

0122

また、請求項3記載の発明にあっては、より迅速にリーク検査を行うことができるリーク検査方法を提供することができる。

0123

また、請求項4乃至6記載の発明にあっては、被検査物に対する環境温度の影響を有効に低減することができるリーク検査方法を提供することができる。

0124

また、請求項7,8,10及び11記載の発明にあっては、リーク検査に要する時間を短縮すると共に、大容量であって密閉性を要求される容器のリーク検査を容易に行うリーク検査装置を提供することができる。

0125

また、請求項9記載の発明にあっては、リーク検査に要する時間をより短縮しうると共に、大容量であって密閉性を要求される容器のリーク検査を容易に行うリーク検査装置を提供することができる。

0126

また、請求項12記載の発明にあっては、被検査物に対する環境温度の影響を有効に低減することができるリーク検査装置を提供することができる。

0127

また、請求項13記載の発明にあっては、より確実に被検査物に対する温度の影響を低減することができるリーク検査装置を提供することができる。

図面の簡単な説明

0128

図1本発明に係るリーク検査装置の第1の実施の形態を示す概念図である。
図2本発明に係るリーク検査装置の第2の実施の形態を示す概念図である。
図3本発明に係るリーク検査装置の第1の実施の形態に相当するリーク検査装置であって、遮断弁にリフトアップバルブを使用したリーク検査装置を使用してリーク検査を行った場合における気体の流動状態を示すグラフである。
図4本発明に係るリーク検査装置の一実施の形態であって、挿入部材の他の実施の形態を示す図である。
図5本発明に係るリーク検査装置の第3実施の形態を示す概念図である。
図6本発明に係るリーク検査装置の第4実施の形態を示す概念図である。

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0129

10リーク検査装置
11管路
12圧力供給源
13圧力調整弁
14被検査物
15 第1の遮断弁
16 第2の遮断弁
17上流側
18 下流側
19バイパス管路
20流量計
21挿入部材
22基板
23固定用ロッド
24スクリュー
25固定部材
26 底面部
27 先端部
28検査用管路
29 孔部
30 先端開口部
31 内側面
32 外側面
33 空隙
34主管路
35下流側管路
36 開口部
37 底面部
38 側面部
39リーク検査回路
40 リーク検査装置
41加圧装置
42加圧用管路
43 第三の遮断弁
60 リーク検査装置
62真空ポンプ
63 主管路
64真空蓄圧タンク
65検査容器
66 先端部
67開口端部
68 空隙
69 上面部
70 リーク検査装置
71 第1先端部
72 先端開口部
73 第2先端部
74 開口端部
75 第3の遮断弁
76 第4の遮断弁
77接合部
78圧力計
79 圧力調整弁
80 圧力調整弁
81 圧力計
90フランジ部
91パッキン
92 第4の遮断弁
93接続部位
94 接続部位
95内壁面部
96 空隙
97 挿入部材
98蓋体
99 空隙
100 リーク検査装置
101分岐管路
102 分岐管路
103 第5の遮断弁
104 第6の遮断弁
105 圧力計
106 矢印
107 矢印
108 第7の遮断弁
109 空隙
110 空隙
111接合部位
112 接合部位

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