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技術 測定ポイント選択方法およびその方法を用いた試験装置

出願人 ソニー株式会社
発明者 佐藤弘和
出願日 2001年6月21日 (19年8ヶ月経過) 出願番号 2001-188290
公開日 2003年1月8日 (18年1ヶ月経過) 公開番号 2003-004819
状態 未査定
技術分野 個々の半導体装置の試験 電子回路の試験 電子回路の試験 デジタル計算機の試験診断 半導体集積回路
主要キーワード 選定過程 測定ポイント数 テスト品 内部ネット 各測定ポイント 開放故障 シミュレーションツール テストサイクル
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (14)

課題

処理時間を短縮し得る測定ポイント選択方法およびその方法を用いた試験装置を実現する。

解決手段

ブロック毎のテストパターンの内からスクリーニング力を向上したいブロックのテストパターンを選択する。このテストパターンからIDDQテストに適する測定ポイントを抽出する一方、当該テストパターンに対応したブロック内の信号状態を選択する。抽出した測定ポイントの内から仮選択されるN個の測定ポイントと選択された信号状態とに応じて、各測定ポイント毎の故障検出率を算出した後、これらN個の測定ポイントの内の1つを、N+1個目以降の測定ポイントに順次置き換えて故障検出率を算出し、その中で最も故障検出率が高い組合せとなるN個の測定ポイントを選定する。

概要

背景

CMOS集積回路微細化および高集積化に伴いテスト工程の負担が増加しつつある。現在、テスト工程ではファンクションテストが主流であるが、回路規模の増大化や複雑化により、ファンクションテストだけでは例えば開放故障ショート故障などの新たな故障モードに対応しきれない状況になってきている。そこで、近年では開放故障やショート故障などの新たな故障モードを検出できる新たなテスト手法として、IDDQテスト静止電源電流検査)が開発されている。

IDDQテストとは、静止状態にあるCMOS集積回路に流れる微小電源電流を測定するものであり、その電流値の大小によって開放故障やショート故障などを検出するものである。これは、正常なCOMS集積回路では、静止状態において電源電流は僅かしか流れないことを利用するものである。すなわち、静止状態において回路に多くの電流が流れる場合には、回路内に何からの欠陥故障)を含んでいることを意味する。通常、集積回路が動作している時は、その内部状態時々刻々変化しており、動作中のテストパターンにおいて静止状態となるサイクルでは、静止電源電流IDDQを測定することができる。

テストの品質、すなわちテストの故障検出能力だけを考慮するならば、できるだけ多様な内部状態でのテストを行った方が良く、従って、静止状態が実現されている全てのサイクルについてIDDQテストを実施することが最も望ましい。しかしながら、実際にはテスト時間がそのまま製造コストに影響を与える為、テストの品質を一定のレベルに保ちつつ、できるだけ測定回数を減らすことが望まれる。それには、静止状態を測定可能な全てのポイントでIDDQテストを行うのではなく、テスト品質を維持するのに必要十分な測定ポイントを選択することが要求される。

従来、こうした要求を満たす測定ポイント選択方法として、例えば特開平9−127213号公報に開示の技術が知られている。この公報には、テストパタンファイルから読み出したN個の仮選択パタン故障検出率を算出した後、これらN個の仮選択パタンの内の1つを他のパタンに順次置き換えて故障検出率を算出していき、この算出した故障検出率が最も高いN個のテストパタンを最終的に選択したパタンとし、それらを用いてIDDQテストを行う旨が記載されている。

概要

処理時間を短縮し得る測定ポイント選択方法およびその方法を用いた試験装置を実現する。

ブロック毎のテストパターンの内からスクリーニング力を向上したいブロックのテストパターンを選択する。このテストパターンからIDDQテストに適する測定ポイントを抽出する一方、当該テストパターンに対応したブロック内の信号状態を選択する。抽出した測定ポイントの内から仮選択されるN個の測定ポイントと選択された信号状態とに応じて、各測定ポイント毎の故障検出率を算出した後、これらN個の測定ポイントの内の1つを、N+1個目以降の測定ポイントに順次置き換えて故障検出率を算出し、その中で最も故障検出率が高い組合せとなるN個の測定ポイントを選定する。

目的

ところで、上述した従来の測定ポイント選択方法では、回路内の全てのネットを対象にしてN個のスタンバイ測定用のポイントを選択抽出したり、最初のN個の測定ポイントと交換して故障検出率が向上するか否かを全ての測定ポイントについて調べなければならない為、多大な処理時間を要するという問題がある。そこで本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、処理時間を短縮化することができる測定ポイント選択方法およびその方法を用いた試験装置を提供することを目的としている。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

半導体集積回路を構成する各ブロック毎の試験動作形態を表す複数のテストパターンの内からスクリーニング力を向上したいブロックに対応したテストパターンを選択するパターン選択過程と、このパターン選択過程にて選択されたテストパターンからIDDQテストに適する測定ポイントを抽出するポイント抽出過程と、前記パターン選択過程にて選択されたテストパターンに対応したブロック内の信号状態を選択する信号選択過程と、前記ポイント抽出過程で抽出された測定ポイントの内から仮選択される最初のN個の測定ポイントと前記信号選択過程で選択された信号状態とに応じて、最初に仮選択されたN個の測定ポイントの故障検出率を算出した後、これらN個の仮選択された測定ポイントの内の1つを、N+1個目以降の測定ポイントに順次置き換えて故障検出率を算出していき、その中で最も故障検出率が高い組合せとなるN個の測定ポイントを選定する測定ポイント選定過程とを具備することを特徴とする測定ポイント選択方法

請求項2

半導体集積回路のIDDQテストに用いる装置であって、半導体集積回路を構成する各ブロック毎の試験動作形態を表す複数のテストパターンの内からスクリーニング力を向上したいブロックに対応したテストパターンを選択するパターン選択過程と、このパターン選択過程にて選択されたテストパターンからIDDQテストに適する測定ポイントを抽出するポイント抽出過程と、前記パターン選択過程にて選択されたテストパターンに対応したブロック内の信号状態を選択する信号選択過程と、前記ポイント抽出過程で抽出された測定ポイントの内から仮選択される最初のN個の測定ポイントと前記信号選択過程で選択された信号状態とに応じて、最初に仮選択されたN個の測定ポイントの故障検出率を算出した後、これらN個の仮選択された測定ポイントの内の1つを、N+1個目以降の測定ポイントに順次置き換えて故障検出率を算出していき、その中で最も故障検出率が高い組合せとなるN個の測定ポイントを選定する測定ポイント選定過程とを具備することを特徴とする測定ポイント選択方法を用いた試験装置

請求項3

前記測定ポイント選定過程は、目標故障検出率を設定する設定過程を備え、算出した故障検出率が目標故障検出率に達した場合、その時に仮選択されているN個の測定ポイントを最終的な測定ポイントとして選定することを特徴とする請求項1記載の測定ポイント選択方法。

請求項4

前記測定ポイント選定過程は、目標故障検出率を設定する設定過程を備え、算出した故障検出率が目標故障検出率に達した場合、その時に仮選択されているN個の測定ポイントを最終的な測定ポイントとして選定することを特徴とする請求項2記載の測定ポイント選択方法を用いた試験装置。

請求項5

前記測定ポイント選定過程は、目標故障検出率を設定する設定過程を備え、算出した故障検出率が目標故障検出率に達しなかった場合には、目標故障検出率に達する迄、それまでに最も故障検出率が高い測定ポイントの組合せに測定ポイントを1つずつ加えて故障検出率を算出していき、その内で目標故障検出率に達した組合せを最終的な測定ポイントとして選定することを特徴とする請求項1記載の測定ポイント選択方法。

請求項6

前記測定ポイント選定過程は、目標故障検出率を設定する設定過程を備え、算出した故障検出率が目標故障検出率に達しなかった場合には、目標故障検出率に達する迄、それまでに最も故障検出率が高い測定ポイントの組合せに測定ポイントを1つずつ加えて故障検出率を算出していき、その内で目標故障検出率に達した組合せを最終的な測定ポイントとして選定することを特徴とする請求項2記載の測定ポイント選択方法を用いた試験装置。

技術分野

0001

本発明は、半導体集積回路IDDQテストに用いて好適な測定ポイント選択方法およびその方法を用いた試験装置に関する。

背景技術

0002

CMOS集積回路微細化および高集積化に伴いテスト工程の負担が増加しつつある。現在、テスト工程ではファンクションテストが主流であるが、回路規模の増大化や複雑化により、ファンクションテストだけでは例えば開放故障ショート故障などの新たな故障モードに対応しきれない状況になってきている。そこで、近年では開放故障やショート故障などの新たな故障モードを検出できる新たなテスト手法として、IDDQテスト(静止電源電流検査)が開発されている。

0003

IDDQテストとは、静止状態にあるCMOS集積回路に流れる微小電源電流を測定するものであり、その電流値の大小によって開放故障やショート故障などを検出するものである。これは、正常なCOMS集積回路では、静止状態において電源電流は僅かしか流れないことを利用するものである。すなわち、静止状態において回路に多くの電流が流れる場合には、回路内に何からの欠陥故障)を含んでいることを意味する。通常、集積回路が動作している時は、その内部状態時々刻々変化しており、動作中のテストパターンにおいて静止状態となるサイクルでは、静止電源電流IDDQを測定することができる。

0004

テストの品質、すなわちテストの故障検出能力だけを考慮するならば、できるだけ多様な内部状態でのテストを行った方が良く、従って、静止状態が実現されている全てのサイクルについてIDDQテストを実施することが最も望ましい。しかしながら、実際にはテスト時間がそのまま製造コストに影響を与える為、テストの品質を一定のレベルに保ちつつ、できるだけ測定回数を減らすことが望まれる。それには、静止状態を測定可能な全てのポイントでIDDQテストを行うのではなく、テスト品質を維持するのに必要十分な測定ポイントを選択することが要求される。

0005

従来、こうした要求を満たす測定ポイント選択方法として、例えば特開平9−127213号公報に開示の技術が知られている。この公報には、テストパタンファイルから読み出したN個の仮選択パタン故障検出率を算出した後、これらN個の仮選択パタンの内の1つを他のパタンに順次置き換えて故障検出率を算出していき、この算出した故障検出率が最も高いN個のテストパタンを最終的に選択したパタンとし、それらを用いてIDDQテストを行う旨が記載されている。

発明が解決しようとする課題

0006

ところで、上述した従来の測定ポイント選択方法では、回路内の全てのネットを対象にしてN個のスタンバイ測定用のポイントを選択抽出したり、最初のN個の測定ポイントと交換して故障検出率が向上するか否かを全ての測定ポイントについて調べなければならない為、多大な処理時間を要するという問題がある。そこで本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、処理時間を短縮化することができる測定ポイント選択方法およびその方法を用いた試験装置を提供することを目的としている。

課題を解決するための手段

0007

上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、半導体集積回路を構成する各ブロック毎の試験動作形態を表す複数のテストパターンの内からスクリーニング力を向上したいブロックに対応したテストパターンを選択するパターン選択過程と、このパターン選択過程にて選択されたテストパターンからIDDQテストに適する測定ポイントを抽出するポイント抽出過程と、前記パターン選択過程にて選択されたテストパターンに対応したブロック内の信号状態を選択する信号選択過程と、前記ポイント抽出過程で抽出された測定ポイントの内から仮選択される最初のN個の測定ポイントと前記信号選択過程で選択された信号状態とに応じて、最初に仮選択されたN個の測定ポイントの故障検出率を算出した後、これらN個の仮選択された測定ポイントの内の1つを、N+1個目以降の測定ポイントに順次置き換えて故障検出率を算出していき、その中で最も故障検出率が高い組合せとなるN個の測定ポイントを選定する測定ポイント選定過程とを具備することを特徴とする。

0008

請求項2に記載の発明は、半導体集積回路のIDDQテストに用いる装置であって、半導体集積回路を構成する各ブロック毎の試験動作形態を表す複数のテストパターンの内からスクリーニング力を向上したいブロックに対応したテストパターンを選択するパターン選択過程と、このパターン選択過程にて選択されたテストパターンからIDDQテストに適する測定ポイントを抽出するポイント抽出過程と、前記パターン選択過程にて選択されたテストパターンに対応したブロック内の信号状態を選択する信号選択過程と、前記ポイント抽出過程で抽出された測定ポイントの内から仮選択される最初のN個の測定ポイントと前記信号選択過程で選択された信号状態とに応じて、最初に仮選択されたN個の測定ポイントの故障検出率を算出した後、これらN個の仮選択された測定ポイントの内の1つを、N+1個目以降の測定ポイントに順次置き換えて故障検出率を算出していき、その中で最も故障検出率が高い組合せとなるN個の測定ポイントを選定する測定ポイント選定過程とを具備することを特徴とする。

0009

上記請求項1に従属する請求項3に記載の発明では、前記測定ポイント選定過程は、目標故障検出率を設定する設定過程を備え、算出した故障検出率が目標故障検出率に達した場合、その時に仮選択されているN個の測定ポイントを最終的な測定ポイントとして選定することを特徴とする。

0010

上記請求項2に従属する請求項4に記載の発明では、前記測定ポイント選定過程は、目標故障検出率を設定する設定過程を備え、算出した故障検出率が目標故障検出率に達した場合、その時に仮選択されているN個の測定ポイントを最終的な測定ポイントとして選定することを特徴とする。

0011

上記請求項1に従属する請求項5に記載の発明では、前記測定ポイント選定過程は、目標故障検出率を設定する設定過程を備え、算出した故障検出率が目標故障検出率に達しなかった場合には、目標故障検出率に達する迄、それまでに最も故障検出率が高い測定ポイントの組合せに測定ポイントを1つずつ加えて故障検出率を算出していき、その内で目標故障検出率に達した組合せを最終的な測定ポイントとして選定することを特徴とする。

0012

上記請求項2に従属する請求項6に記載の発明では、前記測定ポイント選定過程は、目標故障検出率を設定する設定過程を備え、算出した故障検出率が目標故障検出率に達しなかった場合には、目標故障検出率に達する迄、それまでに最も故障検出率が高い測定ポイントの組合せに測定ポイントを1つずつ加えて故障検出率を算出していき、その内で目標故障検出率に達した組合せを最終的な測定ポイントとして選定することを特徴とする。

0013

本発明では、半導体集積回路を構成する各ブロック毎の試験動作形態を表す複数のテストパターンの内からスクリーニング力を向上したいブロックに対応したテストパターンを選択すると、この選択されたテストパターンからIDDQテストに適する測定ポイントが抽出される一方、選択されたテストパターンに対応したブロック内の信号状態が選択される。そして、抽出された測定ポイントの内から仮選択される最初のN個の測定ポイントと選択された信号状態とに応じて、最初に仮選択されたN個の測定ポイントの故障検出率を算出した後、これらN個の仮選択された測定ポイントの内の1つを、N+1個目以降の測定ポイントに順次置き換えて故障検出率を算出していき、その中で最も故障検出率が高い組合せとなるN個の測定ポイントを選定する。つまり、スクリーニング力を向上したいブロックの信号状態のみを選択対象にするから、従来のものに比べて取り扱うノードの数が減少し、これ故、最適化された測定ポイントを選択するのに要する処理時間を短縮化し得る。

発明を実施するための最良の形態

0014

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
(1)第1実施形態
図1図2は、第1実施形態による測定ポイント選択方法を説明するためのフローチャートである。これらの図に示す測定ポイント選択方法は、図示されていない周知のICテスタ等に適用される。第1実施形態では、まず図1のステップSA1に処理を進め、各ブロック毎のファンクションテストおよびスキャンテストの内容が記述された複数のテストパターンファイルの内から、スクリーニング力を向上したいブロックに対応するテストパターンファイルを選択する。なお、選択対象となるテストパターンファイルとは、シミュレーションツール等で生成されるものである。また、選択するテストパターンファイルは、複数であっても構わない。

0015

スクリーニング力を向上したいブロックに対応するテストパターンファイルを選択し終えると、ステップSA2に進み、選択したテストパターンファイルからIDDQテストに適するサイクルを抽出する。この抽出したサイクルを測定ポイントと称す。上記ステップSA1にて複数のテストパターンファイルが選択された場合には、選択した各テストパターンファイル毎にIDDQテストに適する測定ポイントをそれぞれ抽出しておく。

0016

なお、IDDQテストに適する測定ポイント足り得るかどうかを判断する技術は公知であり、例えば下記(イ)〜(ニ)の条件を満たす場合にIDDQテストに適する測定ポイントであると判断される。すなわち、
(イ)複数のゲート出力信号競合バスコンフリクト)する状態でない事。
(ロ)バスに接続されている全てのゲート出力ハイインピーダンス状態でない事。
(ハ)プルアップ付きのノードの論理値が「H」である事。
(ニ)プルダウン付きのノードの論理値が「L」である事。

0017

こうしてIDDQテストに適する測定ポイントが抽出されると、ステップSA3に進む。ステップSA3では、選択したテストパターンファイルの内か1つのテストパターンファイルを選択する。次いで、ステップSA4では、全内部ネットの信号状態から、選択したテストパターンファイルがファンクションテストおよびスキャンテストを行っているブロック内の信号状態のみを選択する。この後、ステップSA5に進み、抽出した測定ポイントの内から最初のN個を仮選択する。そして、図2に示すステップSA6に処理を進め、上記ステップSA5にて仮選択されたN個の測定ポンイトに基づいて故障検出率を算出する。

0018

故障検出率は、(S0+S1)/(S×2)により算出する。ここで、S0は仮選択された測定ポイントで一度でも「0」になったノードの数、S1は仮選択された測定ポイントで一度でも「1」になったノードの数、Sは全ノードの数をそれぞれ表す。ここで、「ノード」とは、半導体集積回路内部の信号線を言う。上記の算出式縮退故障モデルを用いている為、より多くのノードが「0」および「1」にセットされる測定ポイントを検索すれば良い。この式では、全ノードの数の内どれだけのノードが「0」および「1」にセットされているかを表したものなので、算出値が大きい程、故障検出率が高い、ということになる。なお、本実施の形態では、縮退故障モデルを一例に挙げたが、他の故障モードに対応させるにはそのモードに合った故障モデルに基づく算出式を用いれば良い。

0019

さて、仮選択されたN個の測定ポンイトに基づいて故障検出率を算出すると、ステップSA7に進み、次の測定ポイントを読み込む。続いて、ステップSA8では、全ての測定ポイントについて後述の入れ換え処理を行い終えたか否かを判断する。全ての測定ポイントについて入れ換え処理を行い終えていなければ、判断結果は「NO」となり、ステップSA9に処理を進める。

0020

ステップSA9では、測定ポイントの組合せを最適化する入れ換え処理を実行する。この入れ換え処理では、ステップSA7にて読み込んだ測定ポイントを、N個の測定ポイントの1番目の測定ポイントからN番目の測定ポイントまで順に入れ換えてN個の故障検出率を算出し、算出した故障検出率の中で最も検出率が向上し、かつ既に仮選択されていた測定ポイントの検出率と比べて高くなっているものがあれば、その最も故障検出率が向上した組合せを新たな測定ポイントに設定する。なお、本実施の形態の場合、算出した故障検出率の値が同一であれば、先に入れ換えた測定ポイントの組合せを優先する。

0021

このような入れ換え処理が完了すると、上述したステップSA7に処理を戻し、テストパターンファイルから次の測定ポイントを読み込み、以後、全ての測定ポイントについて入れ換え処理を行い終えるまでステップSA7〜SA9を繰り返す。そして、全ての測定ポイントについて入れ換え処理を行い終えると、ステップSA8の判断結果が「YES」となり、ステップSA10に処理を進め、最適化された測定ポイントを出力する。次いで、ステップSA11では、選択した全てのテストパターンファイルについて処理し終えたか否かを判断する。処理し終えていなければ、判断結果は「NO」となり、前述したステップSA3以降を繰り返す。そして、選択した全てのテストパターンファイルについて処理し終えると、このステップSA11の判断結果が「YES」となり、測定ポイント選択動作を完了させる。

0022

このように、第1実施形態によれば、スクリーニング力を向上したいブロックの信号状態のみを選択対象にするから、従来のものに比べて取り扱うノードの数が減少する結果、最適化された測定ポイントを選定するのに要する処理時間が短縮化される。これは特に他のブロックに対して極端に故障検出率が低いブロックが存在する場合に有効となる。

0023

(2)第2実施形態
次に、図3図4を参照して第2実施形態について説明する。第2実施形態が上述した第1実施形態と相違する点は、ステップSB5およびステップSB8を設け、設定した目標故障検出率に達した時点で測定ポイントの選択を終了させ、その時点で仮選択されていたN個の測定ポイントを最終的に選択された測定ポイントの組合せとして結果出力するようにしたことにある。すなわち、図3に示すステップSB1〜SB4では、前述した第1実施形態のステップSA1〜SA4と同様の処理を行い、続くステップSB5では目標となる故障検出率を設定する。

0024

この後、前述したステップSA5〜SA6と同様、ステップSB6にて初めのN個の測定ポイントを仮選択し、続くステップSB7では仮選択されたN個の測定ポンイトに基づいて故障検出率を算出する。そして、図4のステップSB8では、算出した故障検出率が上記ステップSB5において設定した目標故障検出率に達しているかどうかを判断する。達しているならば、ここでの判断結果は「YES」となり、この時点で測定ポイントの選択を終了してステップSB12に進み、仮選択されていたN個の測定ポイントを最終的に選択される測定ポイントの組合せとしてその結果を出力する。一方、目標の故障検出率に達しなかった場合には、上記ステップSB8の判断結果は「NO」となり、ステップSB9以降に処理を進める。この場合、前述した第1実施形態におけるステップSA7〜SA11と同様の、ステップSB9〜SB13を実行する。

0025

このように、第2実施形態によれば、目標となる故障検出率を予め設定しておき、その故障検出率に達した場合に、その時点で仮選択されているN個の測定ポイントを最終的に選択された測定ポイントの組合せにする為、無駄な測定ポイント選択を行わずに済む結果、測定ポイント選択に要する処理時間を短縮化し得るようになっている。

0026

(3)第3実施形態
次に、図5図13を参照して第3実施形態について説明する。ここでは、テストサイクル数が「6」、ブロック内ノード数が「10」(つまりS=10)、測定ポイント数Nが「2」、目標故障検出率が「1」の場合を想定した具体的な処理動作について述べる。まず、図5のステップSA1において、各ブロック毎のファンクションテストおよびスキャンテストの内容が記述された複数のテストパターンファイルの内から、スクリーニング力を向上したいブロックに対応するテストパターンファイルを選択する。これにより、例えば図7(イ)に図示する内容のテストパターンファイルが選択されたとする。この一例によるテストパターンファイルには、測定ポイント1から測定ポイント6までの6つが含まれている。

0027

この後、ステップSC2〜SC4を経てIDDQテストに適する測定ポイントを抽出し、ブロック内の信号状態を選択する。そして、ステップSC5では、目標故障検出率を「1」に設定する。次いで、ステップSC6では、図7(イ)に図示したテストパターンファイルから初めのN個の測定ポイント、すなわち、測定ポイント1および測定ポイント2を仮選択する(図7(ロ)参照)。次に、ステップSC7では、この仮選択された測定ポイント1および測定ポイント2に基づいて故障検出率を、(S0+S1)/(S×2)にて算出する。この場合、図7(ロ)に示されるように、一度でも「0」になるノードはノード番号6,7,8,9の4つ(すなわち、S0=4)、一度でも「1」になるノードはノード番号0,1,2,3,4,5,6,7の8つ(すなわち、S1=8)なので、縮退故障モデルによる故障検出率は(4+8)/(10×2)=0.6となる。

0028

こうして、故障検出率が算出されると、ステップSC8に進み、算出した故障検出率が目標に達したか否かを判断する。この一例では、目標故障検出率を「1」としているので、判断結果は「NO」となり、ステップSC9に進み、次の測定ポイント3を図7(イ)に図示したテストパターンファイルから読み込む。次いで、図6に示すステップSC10では、全測定ポイントについて処理し終えたかどうかを判断するが、ここでは未だ処理し終えていないので、判断結果は「NO」となり、ステップSC11に進む。

0029

ステップSC11では、この測定ポイント3と仮選択されている測定ポイント1,2とをそれぞれ入れ換えて故障検出率を算出する。すなわち、測定ポイント3および測定ポイント2に基づく故障検出率は、図8(イ)に図示する通り、0.6となり、測定ポイント3および測定ポイント1に基づく故障検出率は、図8(ロ)に図示する通り、0.6となる。このように、測定ポイント3と仮選択されている測定ポイント1,2とをそれぞれ入れ換えて故障検出率を算出しても故障検出率は向上しない為、図5のステップSC8の判断結果が「NO」となり、ステップSC9に進み、次の測定ポイント4を図7(イ)に図示したテストパターンファイルから読み込む。次いで、図6のステップSC10では、全測定ポイントについて処理し終えたかどうかを判断するが、ここでは未だ処理し終えていないので、判断結果は「NO」となり、再びステップSC11に進む。

0030

ステップSC11では、この測定ポイント4と仮選択されている測定ポイント1,2とをそれぞれ入れ換えて故障検出率を算出する。測定ポイント4および測定ポイント2に基づく故障検出率は、図9(イ)に図示する通り、0.7となり、測定ポイント4および測定ポイント1に基づく故障検出率は、図9(ロ)に図示する通り、0.7となる。この場合、先の組合せ時より故障検出率が向上しているため、組合せを最適化するが、前述したように、先に入れ換えた方を優先するので、測定ポイント2,4が新たな組合せとなる。

0031

しかしながら、この組合せであっても目標故障検出率に達しない為、再度ステップSC9を実行し、次の測定ポイント5を図7(イ)に図示したテストパターンファイルから読み込み、ステップSC11にて、この測定ポイント5と仮選択されている測定ポイント2,4とをそれぞれ入れ換えて故障検出率を算出する。そして、測定ポイント5および測定ポイント4に基づく故障検出率は、図10(イ)に図示する通り、0.8となり、測定ポイント2および測定ポイント5に基づく故障検出率は、図10(ロ)に図示する通り、0.8となる。

0032

この場合も、先の組合せ時より故障検出率が向上しているため、組合せを最適化するが、先に入れ換えた方を優先するので、測定ポイント4,5が新たな組合せとなる。この組合せでも目標故障検出率に達しない為、再びステップSC9を実行し、次の測定ポイント6を図7(イ)に図示したテストパターンファイルから読み込み、ステップSC11にて、この測定ポイント6と仮選択されている測定ポイント4,5とをそれぞれ入れ換えて故障検出率を算出する。測定ポイント6および測定ポイント5に基づく故障検出率は、図11(イ)に図示する通り、0.9となり、測定ポイント4および測定ポイント6に基づく故障検出率は、図10(ロ)に図示する通り、0.8となる結果、測定ポイント5,6が新たな組合せとなる。

0033

この組合せでは、目標故障検出率に達していないが、全ての測定ポイントについて処理し終えた為、ステップSC10の判断結果が「YES」となり、ステップSC12に処理を進める。ステップSC12では、測定ポイント数Nを1増やして「3」とし、最終的に仮選択された測定ポイント5,6を記憶しておく。次に、ステップSC13では、最終的に仮選択された測定ポイント5,6に、測定ポイント1を追加して故障検出率を算出する。測定ポイント5,6,1に基づく故障検出率は、図12(イ)に図示する通り、0.95となるが、この組合せでは目標故障検出率に達していない為、ステップSC14の判断結果が「NO」となり、ステップSC15に進む。ステップSC15では、全ての測定ポイントについて処理し終えたかどうかを判断するが、ここでは処理し終えていないので、判断結果は「NO」となり、ステップSC16に進み、最後に仮選択された測定ポイントに次の測定ポイントを加えて故障検出率を算出する。

0034

この場合、最終的に仮選択された測定ポイント5,6に、測定ポイント2を追加して故障検出率を算出すると、図12(ロ)に図示する通り、0.95となる。そして、この組合せであっても目標故障検出率に達せず、しかも全ての測定ポイントについて処理し終えていない状況なので、再びステップSC16に進み、最終的に仮選択された測定ポイント5,6に、測定ポイント3を追加して故障検出率を算出すると、図13(イ)に図示する通り、0.95となる。したがって、再びステップSC12〜SC15を経てステップSC16に進み、最終的に仮選択された測定ポイント5,6に、測定ポイント4を追加して故障検出率を算出する。

0035

すると、図13(ロ)に図示する通り1となり、目標故障検出率に達する。目標故障検出率に達すると、ステップSC14の判断結果が「YES」となり、ステップSC17に進み、その結果を出力する。上述した一例の場合、測定ポイント4,5,6が選択される。以後、選択したテストパターンファイルの全てについて処理し終えるまで上述したステップSC1〜SC17を繰り返し、選択したテストパターンファイルの全てについて処理し終えると、ステップSC18の判断結果が「YES」となり、動作を完了させる。

0036

以上のように、第3実施形態によれば、仮選択した測定ポイントから得られる故障検出率が目標値に達しなかった場合には、目標値に達する迄、最も故障検出率が高い測定ポイントの組合せに測定ポイントを1つずつ加えるようにしたので、従来に比べて処理時間の短縮化を図ることが可能になる。

発明の効果

0037

請求項1,2に記載の発明によれば、スクリーニング力を向上したいブロックの信号状態のみを選択対象にするから、従来のものに比べて取り扱うノードの数が減少し、これ故、最適化された測定ポイントを選択するのに要する処理時間を短縮化することができる。請求項3,4に記載の発明によれば、予め目標故障検出率を設定しておき、その目標故障検出率に達した場合に、その時点で仮選択されているN個の測定ポイントを最終的な測定ポイントに選定する為、無駄な測定ポイント選択を行わずに済む結果、測定ポイント選択に要する処理時間を短縮化し得る。請求項5,6に記載の発明によれば、算出した故障検出率が目標故障検出率に達しなかった場合には、目標故障検出率に達する迄、それまでに最も故障検出率が高い測定ポイントの組合せに測定ポイントを1つずつ加えて故障検出率を算出していき、その内で目標故障検出率に達した組合せを最終的な測定ポイントとして選定するので、従来に比べて処理時間の短縮化を図ることができる。

図面の簡単な説明

0038

図1第1実施形態による測定ポイント選択方法を説明するためのフローチャートである。
図2第1実施形態による測定ポイント選択方法を説明するためのフローチャートである。
図3第2実施形態による測定ポイント選択方法を説明するためのフローチャートである。
図4第2実施形態による測定ポイント選択方法を説明するためのフローチャートである。
図5第3実施形態による測定ポイント選択方法を説明するためのフローチャートである。
図6第3実施形態による測定ポイント選択方法を説明するためのフローチャートである。
図7第3実施形態の具体的動作を説明するための図である。
図8第3実施形態の具体的動作を説明するための図である。
図9第3実施形態の具体的動作を説明するための図である。
図10第3実施形態の具体的動作を説明するための図である。
図11第3実施形態の具体的動作を説明するための図である。
図12第3実施形態の具体的動作を説明するための図である。
図13第3実施形態の具体的動作を説明するための図である。

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0039

SA1〜SA11,SB1〜SB13,SC1〜SC18…処理ステップ。

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