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技術 記録媒体用基板の供給装置および供給方法

出願人 住友重機械工業株式会社來徳科技股分有限公司株式会社ユーシン精機
発明者 水越芳信北村武彦林義文
出願日 2000年12月25日 (20年0ヶ月経過) 出願番号 2000-393040
公開日 2002年7月12日 (18年5ヶ月経過) 公開番号 2002-197736
状態 特許登録済
技術分野 倉庫・貯蔵装置 光記録担体の製造
主要キーワード スライド受け 進退アーム 直動ユニット 直動案内機構 一枚おき 押えガイド スプリングバネ 一時保管場所
関連する未来課題
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図面 (18)

課題

表面処理装置への記録媒体用基板の供給において、表面処理工程の前後の工程も含めた各作業を平準化し、表面処理工程の前後の工程における作業ユニットを効率良く稼動させるようにする。

解決手段

光ディスク装置に備えるディスク受渡し部2は、ディスク載置部3に対して両面未スパッタ光ディスク基板を取り出すと共に両面スパッタ済みの光ディスク基板を渡す一方、ディスクローダ12から受け取った片面スパッタ済みの光ディスク基板をその基板面を反転させると共に該基板面を反転させた片面スパッタ済みの光ディスク基板とディスク載置部3から受け取った両面未スパッタの光ディスク基板とをディスクローダ12に対して交互に渡すよう構成する。

概要

背景

例えば、図17に示すように、スパッタ装置700に付設された光ディスク基板供給装置600は、ディスク受渡し部200、ディスク載置部300、ディスク供給部400、およびディスク回収部500を備える。前記スパッタ装置700は、1度のスパッタ処理では光ディスク基板の片面側スパッタ膜を形成する装置であって、このスパッタ膜はアルミニウムニッケル等の金属膜からなり光ディスク記録層反射膜等を構成する。そして、このスパッタ装置700に成形後の光ディスク基板を供給する前記光ディスク基板供給装置600によると、前記ディスク供給部400から前記ディスク載置部300に光ディスク基板を一時保持し、次いでディスク受渡し部200によってディスク載置部300からスパッタ装置700に渡す。スパッタ装置700によって片面側にスパッタ処理された光ディスク基板は、ディスク受渡し部200に移し、このディスク受渡し部200にて基板面を反転させた後、再度スパッタ装置700に渡す。そして、両面ともにスパッタ処理された光ディスク基板は、前記ディスク受渡し部200によってディスク載置部300を経てディスク回収部500に送られる。このディスク回収部500ではスパッタ膜の品質検査も同時に行われる。

概要

表面処理装置への記録媒体用基板の供給において、表面処理工程の前後の工程も含めた各作業を平準化し、表面処理工程の前後の工程における作業ユニットを効率良く稼動させるようにする。

光ディスク装置に備えるディスク受渡し部2は、ディスク載置部3に対して両面未スパッタの光ディスク基板を取り出すと共に両面スパッタ済みの光ディスク基板を渡す一方、ディスクローダ12から受け取った片面スパッタ済みの光ディスク基板をその基板面を反転させると共に該基板面を反転させた片面スパッタ済みの光ディスク基板とディスク載置部3から受け取った両面未スパッタの光ディスク基板とをディスクローダ12に対して交互に渡すよう構成する。

目的

なお、前記問題は、スパッタ処理装置との関係以外の表面処理装置でも発生し、また、光ディスクのみならず磁気記録媒体等も含めたメディア全体の基板や半導体基板等における表裏両面に表面処理を施す装置への供給系統についても同様の問題が発生する。本発明は、前記事情に鑑みてなされたものであり、記録媒体用基板の供給装置および供給方法において、表面処理工程の前後の工程も含めた各作業を平準化し、表面処理工程の前後の工程における作業ユニットを効率良く稼動させるようにすることを課題とする。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

記録媒体用基板片面側表面処理を施す処理部および該処理部に対して前記記録媒体用基板を搬送する搬送部を備えた表面処理装置付設され、前記搬送部との間で前記記録媒体用基板の受け渡しを行う記録媒体用基板の供給装置において、前記記録媒体用基板を一時保持する基板載置部と、前記基板載置部に対して両面未処理の記録媒体用基板を取り出すと共に両面処理済みの記録媒体用基板を渡す一方、前記搬送部から受け取った片面処理済みの記録媒体用基板をその基板面を反転させると共に該基板面を反転させた片面処理済みの記録媒体用基板と前記基板載置部から受け取った両面未処理の記録媒体用基板とを前記搬送部に対して交互に渡すようにした基板受渡し部とを備えることを特徴とする記録媒体用基板の供給装置。

請求項2

請求項1に記載の記録媒体用基板の供給装置において、前記基板受渡し部は、移載ユニット反転ユニットとを備え、前記移載ユニットは、前記搬送部と前記反転ユニットとに前記記録媒体用基板の受渡しを行う受取り部を有し、前記反転ユニットは、前記移載ユニットから両面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて前記基板載置部に渡すと共に該基板載置部から両面未処理の記録媒体用基板を取り出し基板面を反転させずに前記移載ユニットに渡す一方、前記移載ユニットから片面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて該移載ユニットに渡すアーム部を有することを特徴とする記録媒体用基板の供給装置。

請求項3

請求項2に記載の記録媒体用基板の供給装置において、前記反転ユニットは、前記基板載置部と前記移載ユニットとの間で記録媒体用基板の受け渡しを行う第1反転アームと、前記移載ユニットとの間でのみ記録媒体用基板の受け渡しを行う第2反転アームとを備え、前記第1反転アームは、前記移載ユニットから両面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて前記基板載置部に渡すと共に該基板載置部から両面未処理の記録媒体用基板を取り出し基板面を反転させずに前記移載ユニットに渡す構成とし、前記第2反転アームは、前記移載ユニットから片面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて該移載ユニットに渡す構成とすることを特徴とする記録媒体用基板の供給装置。

請求項4

請求項1ないし3のいずれかに記載の記録媒体用基板の供給装置において、前記記録媒体用基板は、貫通穴を設けた受けトレーと該受け側トレーよりも小径フタ側トレーとを有するトレーに収容させて前記搬送部に受け渡され、前記基板載置部においては前記トレーに前記記録媒体用基板を出し入れする際のフタ開けユニットが設置されており、前記フタ開けユニットは、支柱進退動可能に取り付けられて前記基板載置部の表側に配置された進退アーム部と、前記基板載置部の裏側における前記進退アーム部の対向位置に配置された直動ユニットとを備え、前記進退アーム部には、該進退アーム部の前進限時に前記受け側トレーの外周部を押え込む押えガイドと、前記フタ側トレーを把持する把持部とが設けられ、前記直動ユニットは、該直動ユニットの進動時に前記基板載置部および前記受け側トレーの貫通穴に挿通されて前記フタ側トレーを前記受け側トレーから分離させる突出ピンが設けられていることを特徴とする記録媒体用基板の供給装置。

請求項5

記録媒体用基板の片面側に表面処理を施す表面処理装置側と前記記録媒体用基板の受け渡しを行う記録媒体用基板の供給方法において、前記表面処理装置とは別に設けた前記記録媒体用基板を一時保持する基板載置部に対して両面未処理の記録媒体用基板を取り出すと共に両面処理済みの記録媒体用基板を渡す一方、前記表面処理装置側から受け取った片面処理済みの記録媒体用基板をその基板面を反転させると共に該基板面を反転させた片面処理済みの記録媒体用基板と前記基板載置部から受け取った両面未処理の記録媒体用基板とを前記表面処理装置側に対して交互に渡すようにしたことを特徴とする記録媒体用基板の供給方法。

技術分野

0001

本発明は、成形後の記録媒体用基板表面処理装置に供給する記録媒体用基板の供給装置および供給方法の技術分野に属し、記録媒体用基板の両面に表面処理を施せるように基板面を裏返す反転機能を有するものに関する。

背景技術

0002

例えば、図17に示すように、スパッタ装置700に付設された光ディスク基板供給装置600は、ディスク受渡し部200、ディスク載置部300、ディスク供給部400、およびディスク回収部500を備える。前記スパッタ装置700は、1度のスパッタ処理では光ディスク基板の片面側スパッタ膜を形成する装置であって、このスパッタ膜はアルミニウムニッケル等の金属膜からなり光ディスク記録層反射膜等を構成する。そして、このスパッタ装置700に成形後の光ディスク基板を供給する前記光ディスク基板供給装置600によると、前記ディスク供給部400から前記ディスク載置部300に光ディスク基板を一時保持し、次いでディスク受渡し部200によってディスク載置部300からスパッタ装置700に渡す。スパッタ装置700によって片面側にスパッタ処理された光ディスク基板は、ディスク受渡し部200に移し、このディスク受渡し部200にて基板面を反転させた後、再度スパッタ装置700に渡す。そして、両面ともにスパッタ処理された光ディスク基板は、前記ディスク受渡し部200によってディスク載置部300を経てディスク回収部500に送られる。このディスク回収部500ではスパッタ膜の品質検査も同時に行われる。

発明が解決しようとする課題

0003

ところで、前記スパッタ装置700は、1度のスパッタ処理で光ディスク基板の片面側にスパッタ膜を形成し、また、通常、複数単位で光ディスク基板に順次スパッタ処理を施す。そして、前記ディスク受渡し部200は、片面側がスパッタ処理された光ディスク基板をスパッタ装置700から受け取ると、これを裏返して再びスパッタ装置700へ送り込む。例えば、光ディスク基板を10枚連続して片面側にスパッタ処理を行い、このスパッタ処理後、裏返して再度連続してその反対面側にスパッタ処理を行う。このような複数単位の光ディスク基板を片面側ずつ連続してスパッタ装置700に送りこむと、スパッタ工程の前後の作業ユニット(ディスク載置部300、ディスク供給部400、ディスク回収部500)において待機状態とフル稼動状態とが繰り返されることとなる。特にフル稼動状態の際、ディスク回収部500における品質検査が律速となるので、ディスク受渡し部200やディスク載置部300での光ディスク基板の受渡しを待機させたり、あるいは品質検査前に多くの光ディスク基板の一時保管場所を設ける等の処置が必要となる。これでは、光ディスク基板に両面スパッタを施す作業効率の向上の大きな妨げとなる。

0004

なお、前記問題は、スパッタ処理装置との関係以外の表面処理装置でも発生し、また、光ディスクのみならず磁気記録媒体等も含めたメディア全体の基板や半導体基板等における表裏両面に表面処理を施す装置への供給系統についても同様の問題が発生する。本発明は、前記事情に鑑みてなされたものであり、記録媒体用基板の供給装置および供給方法において、表面処理工程の前後の工程も含めた各作業を平準化し、表面処理工程の前後の工程における作業ユニットを効率良く稼動させるようにすることを課題とする。

課題を解決するための手段

0005

前記課題を解決するために講じた技術的手段は、次のようである。
(1)記録媒体用基板の片面側に表面処理を施す処理部および該処理部に対して前記記録媒体用基板を搬送する搬送部を備えた表面処理装置に付設され、前記搬送部との間で前記記録媒体用基板の受け渡しを行う記録媒体用基板の供給装置において、『前記記録媒体用基板を一時保持する基板載置部と、前記基板載置部に対して両面未処理の記録媒体用基板を取り出すと共に両面処理済みの記録媒体用基板を渡す一方、前記搬送部から受け取った片面処理済みの記録媒体用基板をその基板面を反転させると共に該基板面を反転させた片面処理済みの記録媒体用基板と前記基板載置部から受け取った両面未処理の記録媒体用基板とを前記搬送部に対して交互に渡すようにした基板受渡し部とを備えることを特徴とする。』
前記技術的手段は、次のように作用する。

0006

前記基板受渡し部によって前記搬送部に対して両面未処理の記録媒体用基板と片面処理済みの記録媒体用基板とが交互に渡される。これにより、前記搬送部からは前記処理部に両面未処理の記録媒体用基板と片面処理済みの記録媒体用基板とが交互に送られ、そして、前記処理部内での表面処理工程が完了すると、片面処理済みの記録媒体用基板と両面処理済みの記録媒体用基板とが交互に排出されてくる。また、前記片面処理済みの記録媒体用基板は、基板面を反転させてから前記両面未処理の記録媒体用基板と交互に前記搬送部に渡される。

0007

このように、片面処理済みの記録媒体用基板と両面処理済みの記録媒体用基板とが交互に出来上がってくるので、表面処理工程が完了する度に前工程から両面未処理の記録媒体用基板の供給作業が発生し、且つ、後工程では両面処理済みの記録媒体用基板の受け取り作業が発生する。従って、両面未処理の記録媒体用基板か、片面処理済みの記録媒体用基板かのいずれかを連続して前記搬送部に渡す場合と比べ、表面処理工程の前後の工程では表面処理工程が完了する度に待機状態とフル稼動状態との繰り返しという事態が起こらない。

0008

(2)前記技術的手段において、『前記基板受渡し部は、移載ユニット反転ユニットとを備え、前記移載ユニットは、前記搬送部と前記反転ユニットとに前記記録媒体用基板の受渡しを行う受取り部を有し、前記反転ユニットは、前記移載ユニットから両面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて前記基板載置部に渡すと共に該基板載置部から両面未処理の記録媒体用基板を取り出し基板面を反転させずに前記移載ユニットに渡す一方、前記移載ユニットから片面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて該移載ユニットに渡すアーム部を有する』ものでは、前記反転ユニットによると、片面処理済みの記録媒体用基板をその基板面を反転させて前記移載ユニットに渡すので、前記移載ユニットでは必ず未処理面が向けられた記録媒体用基板を受け取る。従って、表面処理装置の処理部に送られる記録媒体用基板は、その未処理面を必ず表面処理側に向けられる一方、裏側は表面未処理表面処理済みのものが交互に流されることとなる。なお、前記反転ユニットにおけるアーム部は、1本でも複数本でも良い。

0009

(3)前記技術的手段において、『前記反転ユニットは、前記基板載置部と前記移載ユニットとの間で記録媒体用基板の受け渡しを行う第1反転アームと、前記移載ユニットとの間でのみ記録媒体用基板の受け渡しを行う第2反転アームとを備え、前記第1反転アームは、前記移載ユニットから両面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて前記基板載置部に渡すと共に該基板載置部から両面未処理の記録媒体用基板を取り出し基板面を反転させずに前記移載ユニットに渡す構成とし、前記第2反転アームは、前記移載ユニットから片面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて該移載ユニットに渡す構成とする』ものでも前記同様の作用を奏する。

0010

(4)前記技術的手段において、『前記記録媒体用基板は、貫通穴を設けた受けトレーと該受け側トレーよりも小径フタ側トレーとを有するトレーに収容させて前記搬送部に受け渡され、前記基板載置部においては前記トレーに前記記録媒体用基板を出し入れする際のフタ開けユニットが設置されており、前記フタ開けユニットは、支柱進退動可能に取り付けられて前記基板載置部の表側に配置された進退アーム部と、前記基板載置部の裏側における前記進退アーム部の対向位置に配置された直動ユニットとを備え、前記進退アーム部には、該進退アーム部の前進限時に前記受け側トレーの外周部を押え込む押えガイドと、前記フタ側トレーを把持する把持部とが設けられ、前記直動ユニットは、該直動ユニットの進動時に前記基板載置部および前記受け側トレーの貫通穴に挿通されて前記フタ側トレーを前記受け側トレーから分離させる突出ピンが設けられていることを特徴とする。』

0011

このものでは、フタ側トレーを開ける際は、まず、前記進退アーム部が進動し前記押えガイドによってフタ側トレーよりも一回り大きい受け側トレーの外周部を押え込む。次いで、前記直動ユニットを進動させる。すると、この直動ユニットに設けた前記突出ピンが前記基板載置部および前記受け側トレーの貫通穴に挿通されて前記フタ側トレーを開ける方向に押す。これにより、受け側トレーからフタ側トレーが分離される。この分離されたフタ側トレーは、前記進退アーム部に設けた前記把持部に把持され、この把持状態で進退アーム部を後退させる。これにより、フタ側トレーが開けられる。そして、この状態を保持している間に受け側トレー内に記録媒体用基板を出し入れする。一方、フタ側トレーを閉める際は、前記と逆の動作を行うこととなる。この際、前記突出ピンが後退して前記進退アーム部を前進させると前記把持部によってフタ側トレーが受け側トレーに押し込まれるからフタ側トレーが受け側トレーに嵌合される。

0012

(5)一方、記録媒体用基板の片面側に表面処理を施す表面処理装置側と前記記録媒体用基板の受け渡しを行う記録媒体用基板の供給方法において、『前記表面処理装置とは別に設けた前記記録媒体用基板を一時保持する基板載置部に対して両面未処理の記録媒体用基板を取り出すと共に両面処理済みの記録媒体用基板を渡す一方、前記表面処理装置側から受け取った片面処理済みの記録媒体用基板をその基板面を反転させると共に該基板面を反転させた片面処理済みの記録媒体用基板と前記基板載置部から受け取った両面未処理の記録媒体用基板とを前記表面処理装置側に対して交互に渡すようにしたことを特徴とする』ものでも、前記装置と同様の作用を奏し、本供給方法を適用した専用機のみならず、他の機能をも兼ねる汎用機に適用して実施することができる。

発明の効果

0013

以上のように、本発明の記録媒体用基板の供給装置および供給方法によると、基板の表面処理工程の前後の工程では表面処理工程が完了する度に待機状態とフル稼動状態との繰り返しという事態が起こらず、各作業が平準化される。従って、表面処理工程の前後の工程における作業ユニットを効率良く稼動させることができ、ひいては記録媒体製造作業効率を向上することができる。

発明を実施するための最良の形態

0014

以下に、本発明の実施の形態を添付図面を参照しながら説明する。なお、以下では、表面処理装置としてのスパッタ装置に付設の光ディスク供給装置を例に挙げて説明する。図1は、前記光ディスク供給装置の全体構成を示す平面図である。図1に示すように、実施の形態による光ディスク供給装置は、スパッタ装置1に付設されて該スパッタ装置1と光ディスク基板の受渡しを行う装置であり、装置本体100内に、ディスク受渡し部2、ディスク載置部3、ディスク供給部4、およびディスク回収部5を備える。

0015

なお、前記スパッタ装置1は、光ディスク基板の片面側にスパッタ処理を施すスパッタチャンバー11および該スパッタチャンバー11に対して前記光ディスク基板を搬送するディスクローダ12を備える。スパッタチャンバー11は、P1〜P4のポジションが設けられて順次反時計方向間欠回転し各ポジションに保持された光ディスク基板にスパッタ膜を形成させる。前記光ディスク供給装置における工程の流れを、図1において簡単に説明する。

0016

成形後の光ディスク基板(両面未スパッタ)を前記ディスク供給部4に配置する。この両面未スパッタの光ディスク基板は、6枚単位でアーム6によってディスク載置部3に移す。ディスク載置部3において6枚の光ディスク基板は、トレー310内に収容される。そして、ディスク受渡し部2によって前記ディスク載置部3から光ディスク基板を収容したトレー310を取り出すと共にスパッタ装置1に渡す。次に、前記スパッタ装置1で両面ともスパッタ処理された光ディスク基板は、これを収容するトレー310をディスク受渡し部2によって前記ディスク載置部3に渡す。すると、アーム6によってトレー310から両面スパッタ済みの光ディスク基板が取り出され、この取り出された光ディスク基板は、1枚ずつアーム7によってディスク回収部5に渡す。以上で、成形後の光ディスク基板の両面にスパッタ膜が形成されてディスク回収部5で回収される。

0017

次に、前記ディスク供給装置における各部の構成を説明する。
(ディスク供給部4)前記ディスク供給部4は、スペーサーストックステージ41と、ディスク供給ステージ42と、2つの把持部を持つアーム43とを備える。

0018

ディスク供給ステージ42は、円盤状に形成されてディスク供給部4において回動可能に取付けられている。このディスク供給ステージ42には、図2に示すような、保持具9のポール91に光ディスク基板Dの中心穴D1を通して積み重ねたものを複数個並べられる。保持具9に積み重ねられた光ディスク基板Dは、一枚おきに中心穴S1を設けたスペーサーSを介在させて上下で接触しないようにしてある。これにより、光ディスク基板D同士の接触により基板面に傷が付くこともない。そして、このディスク供給ステージ42上に載置された光ディスク基板を前記アーム43で一枚ずつ取り出して隣接するテンポラリーステージT1に平置きして行く。これは、前記アーム43が二股に分かれて2つの把持部を有し中心部で回動するように構成されており、一方の把持部で光ディスク基板を把持してテンポラリーステージT1上に開放すると、他方の把持部がディスク供給ステージ42上のスペーサーを把持する。そして、このアーム43がテンポラリーステージT1上に光ディスク基板を開放し回動すると、前記一方の把持部がディスク供給ステージ42上の光ディスク基板を把持し、前記他方の把持部がスペーサーストックステージ41に移動して把持していたスペーサーを該スペーサーストックステージ41上に開放する。このような動作を繰り返し、ディスク供給ステージ42から光ディスク基板をテンポラリーステージT1上に移すと共にスペーサーをスペーサーストックステージ41に移す。なお、前記テンポラリーステージT1は、光ディスク基板が1枚置かれると、1ピッチ間欠回動し、前記スペーサーストックステージ41は、前記保持具9に収容していたスペーサーが移されると、1ピッチ分間欠回動する。また、本実施の形態では、光ディスク基板を6枚単位でスパッタ処理を行うので、前記テンポラリーステージT1上には、6枚の光ディスク基板が平置き状態に並べられる。

0019

そして、このテンポラリーステージT1上に平置きされた6枚の光ディスク基板は、アーム6によって一度に前記ディスク載置部3におけるトレー310に移される。このアーム6は、2つの把持部を有し、これら把持部には6枚の光ディスク基板を同時に把持する吸着機構が設けられており、一方の把持部では前記テンポラリーステージT1から前記ディスク載置部3に光ディスク基板を移し、他方の把持部では前記ディスク載置部3からスパッタ処理済みの光ディスク基板をテンポラリーステージT2に移す。

0020

(ディスク載置部3)前記ディスク載置部3は、メインステージ31と、フタ開けユニット32とを備える。前記メインステージ31は、図3に示すように、略楕円状に形成されており、その長手側の両側に光ディスク基板を6枚収容するトレー310をそれぞれ載置できるようにし、且つ、中心部で回動する構成となっている。なお、前記トレー310は、上側トレー(フタ側トレー)と下側トレー(受け側トレー)とからなり、これら上側トレーと下側トレーとは嵌合状態となってこの間に光ディスク基板を挟持させる。従って、このトレー310は、傾けても上側トレーと下側トレーは簡単には分離されない。

0021

前記フタ開けユニット32は、前記トレー310に光ディスク基板を出し入れする際に下側トレーから上側トレーを分離させるものであり、前記メインステージ31における前記ディスク供給部4寄り側に配置されている。このフタ開けユニット32は、図4に示すように、支柱321に上下動可能に取り付けられてメインステージ31の上方に配置された進退アーム部322と、メインステージ31の下方に配置された昇降ユニット(直動ユニット)とを備える。この昇降ユニットは、エアシリンダー323、フロートジョイント324、直動案内機構325、突出ピン326を有する。前記進退アーム部322は、その下部に2つの押えガイド332,333と、この押えガイド332,333間に配置された把持部331とを備える。そして、メインステージ31上に載置されたトレー310のフタに相当する上側トレー311aは、次のようにして開けられる。まず、進退アーム部322が下降し両側の押えガイド332,333によって上側トレー311aよりも一回り大きい下側トレー311bの外周部を押え込む。そして、昇降ユニットのエアシリンダー323を駆動させ、フロートジョイント324と直動案内機構325とを介して突出ピン326を上昇させる。トレー311を配置するメインステージ31には前記突出ピン326と対応する位置に案内孔が設けられており、また、前記下側トレー311bには、前記メインステージ31の案内孔に対応して前記突出ピン326の貫通穴hが設けられている。従って、上昇してきた突出ピン326は、前記案内孔および前記貫通穴hに挿通されて上側トレー311aを下から持ち上げる。これにより、下側トレー311bから上側トレー311aが分離される。すると、持ち上げられた上側トレー311aは、電磁石等よりなる把持部331に吸着される(図4中の円で囲んだ拡大部を参照)。そして、この状態で進退アーム部322を上昇させる。これにより、フタに相当する上側トレー311aが開けられる。この間に、下側トレー311b内に光ディスク基板を出し入れする。一方、上側トレー311aを閉める際は、前記と逆の動作を行う。この際、前記把持部331と前記進退アーム部322の下部との間にスプリングバネ等の付勢部334が介在されており、上側トレー311aが下側トレー311bに押し込まれて両者が確実に嵌合される。

0022

(ディスク受渡し部2)前記ディスク受渡し部2は、移載ユニット21と、反転ユニット22とを備える。前記移載ユニット21は、左右にトレー受取り部211,212を有し、中心部を軸にして回動する構成である。この移載ユニット21は、一方のトレー受取り部211(212)で前記反転ユニット22と6枚の光ディスク基板を収容したトレー310の受け渡しを行い、他方のトレー受取り部212(211)でスパッタ装置1のディスクローダ12と6枚の光ディスク基板を収容したトレー310の受け渡しを行う。

0023

前記反転ユニット22は、第1反転アーム221と、第2反転アーム222と、スライド機構部226とを備える。図5に示すように、前記第1、第2反転アーム221,222は、略U字形に形成されて両端部分が拡縮自在に構成され、光ディスク基板を収容するトレー310の保持および開放を行う。前記第1反転アーム221は、前記メインステージ31と移載ユニット21との間でトレー310の受渡しを行い、前記第2反転アーム222は、移載ユニット21とだけトレー310の受渡しを行うものである。また、前記第1、第2反転アーム221,222は、ともにロータリーアクチュエータ等よりなる反転駆動手段223,224に接続され、この反転駆動手段223,224の駆動によって第1、第2反転アーム221,222がそれぞれ180度反転するように構成されている。また、前記第1反転アーム221における反転駆動手段223には、カップリング228を介してモータ等の駆動手段225と接続され、図6に示すように、この駆動手段225の駆動によって第1反転アーム221を直立状態水平状態とに移動させるように構成されている。なお、第2反転アーム222は、常に直立状態にあり水平状態に移動することはない。

0024

前記スライド機構部226は、図5図6を参照して、モータ等の駆動部227と、スライド受け部材228と、スライド部材229とを備え、駆動部227の駆動によってスライド部材229がスライド受け部材228上でスライド可能に構成されている。また、このスライド部材229には、前記反転駆動手段223,224および前記駆動手段225が取付けられているため、スライド部材229のスライドに伴って前記第1、第2反転アーム221,222も同時にスライドすることとなる。

0025

次に、前記ディスク受渡し部2での動作を簡単に説明する。図7は、ディスク受渡し部2での動作を説明するための模式図である。なお、図7中で、+を付したトレー310は、表面側を向いていることを示し、−を付したトレー310は、裏面側を向いていることを示す。

0026

反転ユニット22の第1反転アーム221は、メインステージ31から表面側のトレー310を受け取る(図7(1))。また、反転ユニット22の第2反転アームは、表面側のトレー310を掴んだ状態にある。そして、反転ユニット22において第1反転アームが移載ユニット21の対向位置までスライドする(図7(2))。このとき、第2反転アームが反転し(180度回転)、掴んでいるトレー310を表面側から裏面側へ裏返す。次いで、第1反転アームは、表面側のトレー310を移載ユニットに渡す(図7(3))。移載ユニットは、第1反転アームから表面側のトレー310を受け取ると、180度回転した後(図7(4))、裏側面のトレー310を第1反転アームに渡す(図7(5))。そして、反転ユニット22において第2反転アームが移載ユニット21の対向位置までスライドする(図7(6))。このとき、第1反転アームが反転し(180度回転)、掴んでいるトレー310を裏面側から表面側へ裏返す。そして、第2反転アームは、裏面側のトレー310を移載ユニットに渡し、また、第1反転アームは、表面側のトレー310をメインステージに渡す(図7(7))。以後は、前記動作を繰り返す。

0027

このように、前記反転ユニットによって前記移載ユニットに表面側のトレー310と裏面側のトレー310とが交互に渡される。すなわち、第1反転アームはメインステージ31から受け取った表面側のトレー(両面未スパッタの光ディスク基板を収容)を移載ユニットに渡す一方、第2反転アームは移載ユニットから受け取った表面側のトレー(片面スパッタ済みの光ディスク基板)を反転させて裏面側にしたトレーを移載ユニットに渡す。よって、前記移載ユニットからは前記ディスクローダに対して両面未スパッタの光ディスク基板と片面スパッタ済みの光ディスク基板とが交互に渡される。これにより、スパッタチャンバー内でのスパッタ工程が完了すると、片面スパッタ済みの光ディスク基板と両面スパッタ済みの光ディスク基板とが交互に排出され、両面スパッタ済みの光ディスク基板はメインステージに渡され、前記片面スパッタ済みの光ディスク基板は基板面を反転させてから両面未スパッタの光ディスク基板と交互に前記ディスクローダに渡される。従って、片面スパッタ済みの光ディスク基板と両面スパッタ済みの光ディスク基板とが交互に出来上がってくるので、スパッタ工程が完了する度に前工程から両面未スパッタの光ディスク基板の供給作業が発生し、且つ、後工程では両面スパッタ済みの光ディスク基板を受け取り作業が発生する。その結果、両面未スパッタの光ディスク基板か、片面スパッタ済みの光ディスク基板かのいずれかを連続して前記ディスクローダに渡す場合と比べ、スパッタ工程の前後の工程ではスパッタ工程が完了する度に待機状態とフル稼動状態との繰り返しという事態が起こらない。以上より、スパッタ装置1におけるスパッタ工程の前後の工程ではスパッタ工程が完了する度に待機状態とフル稼動状態との繰り返しという事態が起こらず、平準化されるので、スパッタ工程の前後の工程における作業ユニットを効率良く稼動させることができる。

0028

(ディスク回収部5)前記ディスク回収部5には、前記ディスク載置部3から両面スパッタ済みの光ディスク基板を回収するためのユニットである。このディスク回収部5は、スペーサーストックステージ51と、ディスク回収ステージ52と、2つの把持部を持つアーム53と、品質検査ステージ54と、NGステージ55とを備える。

0029

前記スペーサーストックステージ51と前記ディスク回収ステージ52は、前記ディスク供給部4におけるスペーサーストックステージ41とディスク供給ステージ42と同様な構成を有するが、スペーサーストックステージ51には、予め多数のスペーサーが配置され、また、ディスク回収ステージ52には、光ディスク基板を未収容の保持具9(図2を参照。)が配置されている。

0030

前記品質検査ステージ54は、光ディスク基板の両面に形成されたスパッタ膜の膜厚などが一定レベル品質にあるか否かを検査するためのステージである。また、前記NGステージ55は、前記品質検査ステージ54でNGとされた光ディスク基板を回収するステージである。そして、前記ディスク載置部3から両面スパッタ済みの光ディスク基板を回収するには、まずアーム6の一方の把持部によってメインステージ31上の光ディスク基板(両面スパッタ済み)を6枚同時に把持してテンポラリーステージT2に一旦移される。このテンポラリーステージT2からはアーム7によって光ディスク基板を1枚ずつ取り出し、スキャナー8に移されてこのスキャナー8にて光ディスク基板の表裏面ともスキャンしてその表面状態を見る。これによって、メインステージ31から移されてきた光ディスク基板の両面ともにスパッタ膜が形成されているか否かの確認が行われる。そして、前記アーム7がスキャナー8上の光ディスク基板を把持した後、テンポラリーステージT3まで回転しこのテンポラリーステージT3上に把持していた光ディスク基板を開放する。すると、テンポラリーステージT3が180度回転した後、前記アーム53によってテンポラリーステージT3上の光ディスク基板を把持し品質検査ステージ54に移す。この品質検査ステージ54で一定の品質を満たしている光ディスク基板は、前記アーム53によってディスク回収ステージ52に移されるが、一定以上の品質を満たしていない光ディスク基板は、前記NGステージ55に移される。前記アーム53の一方の把持部が光ディスク基板をディスク回収ステージ52に開放している間、このアーム53の他方の把持部はスペーサーストックステージ51からスペーサーを1つ把持する。そして、前記アーム53が回転し一方の把持部が再びテンポラリーステージT3に戻ると、他方の把持部がディスク回収ステージ52にてスペーサーを渡す。これによって、ディスク回収ステージ52上では、前記保持具9に両面スパッタ済みの光ディスク基板とスペーサーとが交互に積み重ねられた状態となり、光ディスク基板同士の接触によりスパッタ処理面が傷付けられることもない。

0031

次に、前記光ディスク供給装置の動作を説明する。図8から図16は、光ディスク基板を収容するトレー310の流れに注目したフロー図である。これらの図中で、数字の1から8は、光ディスク供給装置およびスパッタ装置に滞留するトレー310の番号を示し、前記番号に+を付したトレー310は、表面側を向いていることを示し、前記番号に−を付したトレー310は、裏面側を向いていることを示し、また、上に小丸印を付したトレー310は、表面側のスパッタ処理済みであることを示し、下にも小丸印を付したトレー310は、裏面側のスパッタ処理済みであることを示す。なお、この例では、1番から8番で示す8つのトレー310が光ディスク供給装置およびスパッタ装置に常に滞留する。

0032

以下は、主に1番のトレー310の流れに着目して説明する。図8を参照して、この場合、最初は図8(1)に示すように、スパッタ装置1のスパッタチャンバー11内に7番、5番、8番、4番の4枚のトレー310が配置され、移載ユニット21の一方のディスク受渡し部122(121)(スパッタ装置11寄り側)に3番のトレー310が把持され、反転ユニット22の第2反転アーム222に6番のトレー310が掴まれており、メインステージ3にはそれぞれ1番と2番のトレー310が配置されている。

0033

この状態から、メインステージ31のディスク供給部4寄り側に配置され1番のトレー310は、フタ開けユニット32によって上側トレー311aが開けられ(図8(1))、6枚の光ディスク基板がこの1番のトレー310に挿入され(図8(2))、上側トレー311aを閉じた後(図8(3))、メインステージ31が回転し(図8(4))、光ディスク基板を収容した1番のトレー310がディスク受渡し部2寄り側に移される。

0034

次に、反転ユニット22の第1反転アーム221が直立状態から水平状態になって前記メインステージ31上の1番のトレー310を取り出し(図8(5))直立状態に戻ると、この反転ユニット22をスライドさせ(図8(6))、第1反転アーム221が移載ユニット21と対向する位置に移動される。なお、このとき、第2反転アーム222は、反転駆動手段224によって180度反転されて掴んでいた6番のトレー310が裏面側に向けられる。第1反転アーム221は、反転しないから1番のトレー310の向きはそのまま表面側を向いている。そして、第1反転アーム221に掴まれている1番のトレー310を移載ユニット22が受け取った後(図8(7))、この移載ユニット21が180度回転し(図8(8))、1番のトレー310は、スパッタ装置1寄り側に移される。このとき、移載ユニット21の他方のトレー受取り部212(211)に把持していた3番のトレー310は、反転ユニット22寄り側に移される。なお、図8(5)から図8(7)の工程の間に、メインステージ31にある2番のトレー310には6枚の光ディスク基板が挿入される。

0035

次に、図9を参照して、移載ユニット22に把持していた1番のトレー310は、スパッタ装置1のディスクローダ12に渡される(図9(9))。また、このとき、移載ユニット22の他方のトレー受取り部212(211)に把持していた3番のトレー310は、反転ユニット22の第1反転アーム221に渡される。そして、前記ディスクローダ12が180度回転し1番のトレー310は、スパッタチャンバー11に納められる(図9(10))。このとき、前記ディスクローダ12の他方のトレー受取り部121(122)で把持していた7番のトレー310は移載ユニット22寄り側に移され、また、反転ユニット22がスライドすると共に3番のトレー310を掴んでいた第1反転アーム221が180度回転し3番のトレー310を表面側に裏返す。そして、スパッタチャンバー11が反時計方向に間欠的に1回転し、ポジションP4にあった1番のトレー310はポジションP1に移動される(図9(11))。このとき、第1反転アーム221で掴んでいた表面側を向いた3番のトレー310は、メインステージ31に渡され、第2反転アーム222で掴んでいた裏面側を向いた6番のトレー310は、移載ユニット21に渡される。また、ディスクローダ12に把持していた7番のトレー310は、移載ユニット21に渡される。そして、メインステージ31および移載ユニット21がそれぞれ180度回転し、把持していたトレー310の位置関係がそれぞれ逆にされる(図9(12))。

0036

一方、前記1番のトレー310に収容する光ディスク基板は、ポジションP1で1段階のスパッタ処理が行われ、以後、スパッタチャンバー11が反時計回りに順次間欠回転し、ポジションP2で2段階のスパッタ処理、ポジションP3で3段階のスパッタ処理が行われて、光ディスク基板の表面側にスパッタ膜が形成される(図9(12)から図10(23)まで)。

0037

次に、反転ユニット22は、メインステージ31から2番のトレー310を受け取ると共に移載ユニット21から7番のトレー310を受け取る(図9(13))。また、移載ユニット21からディスクローダ12に6番のトレー310が渡される。この間、メインステージ31にある3番のトレー310は、上側トレー311aが開けられる。そして、反転ユニット22がスライドし、第2反転アーム222が180度反転し、7番のトレー310が裏面側に向けられる(図9(14))。また、ディスクローダ12は、180度回転されて6番のトレー310がスパッタチャンバー11に移される。この間、メインステージ31にある3番のトレー310に6枚の光ディスク基板が挿入される。そして、移載ユニット21は、ディスクローダ12から4番のトレー310を受け取ると共に、第1反転アーム221から2番のトレー310を受け取る(図9(15))。また、スパッタチャンバー11が反時計方向に間欠的に1回転し、ポジションP1にあった1番のトレー310はポジションP2に移動される。この間、メインステージ31にある3番のトレー310は、上側トレー311aが閉じられる。そして、移載ユニット21は、180度回転されて把持するトレー310(2番、4番)の位置関係が逆転される(図9(16))。

0038

これ以降は、図9で説明した動作を繰り返し、トレー310を順次受渡して行く。一方、スパッタチャンバー11内のポジションP1〜P3を経て光ディスク基板の表面側にスパッタ膜が形成された1番のトレー310は、ポジションP4に移し(図9(11)〜図10(23))、ディスクローダ12を180度回転させてスパッタチャンバー11外に移される(図10(24)〜図11(26))。そして、この1番のトレー310は、移載ユニット21を介して反転ユニット22の第2反転アーム222に渡される(図11(27))〜図11(29))。そして、反転ユニット22においてその第1反転アーム221が移載ユニット21の対向位置にスライドする間に第2反転アーム222を反転させて1番のトレー310を裏返し(図11(30))、これによって光ディスク基板の裏側面(スパッタ未処理面)がスパッタ被処理側に向けられる。そして、第1反転アーム221と移載ユニット21との間で他のトレー310(4番、6番)の受渡し後(図11(31)〜図12(33))、再び第2反転アーム222を移載ユニット22の対向位置にスライドさせ(図12(34))、第2反転アーム222から裏面側を向けた1番のトレー310を移載ユニット22に渡す(図12(35))。そして、移載ユニット22を180度回転させ(図12(36))、この裏面側向きの1番のトレー310をディスクローダ12に渡し(図12(37))、次いでディスクローダ12を180度回転させて1番のトレー310をスパッタチャンバー11内に送る(図12(38))。すると、この1番のトレー310に収容する光ディスク基板は、スパッタチャンバー11内のポジションP1〜P3をその裏面側にスパッタ膜が形成される(図12(39)〜図14(51))。これにより、1番のトレー310に収容する光ディスク基板は、表面側および裏面側の両面ともスパッタ膜が形成されることとなる。そして、この両面スパッタ済みの光ディスク基板を収容するトレー310は、ディスクローダ12によってスパッタチャンバー11外に移された後(図14(54))、移載ユニット21を介して反転ユニット22の第1反転アーム221に移される(図14(55)〜図15(57))。そして、反転ユニット22においてその第1反転アーム221がメインステージ31の対向位置にスライドする間に第1反転アーム221を反転させて1番のトレー310を裏返し(図15(58))、これによってトレー310が表面側に向けられる。そして、この1番のトレー310は、第1反転アーム221からメインステージ31に渡され(図15(59))、次いでメインステージが180度回転し1番のトレー310をフタ開けユニット側に移す(図15(60))。そして、この1番のトレー310は、フタ開けユニット32によって上側トレーが開けられ、両面スパッタ済みの光ディスク基板を取り出すと共に、新たに未スパッタ処理の光ディスク基板を挿入する(図15(61)〜(63))。その後、両面スパッタ済みとなった2番のトレー310が移載ユニット21、第1反転アーム221を通じてメインステージ31に送られてくると(図15(64)〜図16(67))、メインステージ31を回転させ(図16(68))、再び1番のトレーを移載ユニットに送り込む。

0039

これ以後は、図7(5)からの動作を繰り返すこととなる。以上のように、スパッタ装置には、両面未スパッタの光ディスク基板と片面スパッタ済みの光ディスク基板とが交互に送り込まれるから、スパッタ工程の前後の工程ではスパッタ工程が完了する度に待機状態とフル稼動状態との繰り返しという事態が起こらず、平準化される。従って、スパッタ工程の前後の工程における作業ユニットを効率良く稼動させることができる。

0040

なお、本実施の形態において、ディスク受渡し部の反転ユニットは、2本のアームにて構成するが、1本のアームにより構成しても良い。また、トレー310は、光ディスク基板を6枚収容するものとするが、これに限らず任意の枚数を収容するトレーでも良い。さらに、本発明における供給装置および供給方法は、前記実施の形態のようなスパッタ処理装置との関係以外の表面処理装置との関係にも適用でき、また、光ディスクのみならず磁気記録媒体等も含めたメディア全体の基板や半導体基板等における表裏両面に表面処理を施す装置への供給系統について適用可能なことは言うまでもない。

図面の簡単な説明

0041

図1実施の形態による光ディスク供給装置の全体構成を示す平面図である。
図2光ディスク基板の保持具を示す平面図である。
図3ディスク載置部の平面図である。
図4ディスク載置部の側面図である。
図5反転ユニットの正面図である。
図6反転ユニットの側面図である。
図7ディスク受渡し部での動作を説明するための模式図である。
図8実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
図9実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
図10実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
図11実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
図12実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
図13実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
図14実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
図15実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
図16実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
図17従来の光ディスク供給装置を示す構成図である。

--

0042

1スパッタ装置
2ディスク受渡し部
3 ディスク載置部
4 ディスク供給部
5ディスク回収部
6,7,43,53アーム
8スキャナー
9保持具
11スパッタチャンバー
12ディスクローダ
21 移載ユニット
22反転ユニット
31メインステージ
32フタ開けユニット
41,51スペーサーストックステージ
42 ディスク供給ステージ
52 ディスク回収ステージ
54品質検査ステージ
55 NGステージ
100 装置本体
221 第1反転アーム
222 第2反転アーム
310トレー
311a 上側トレー(フタ側トレー)
311b 下側トレー(受け側トレー)
322進退アーム部
323エアシリンダ
324フロートジョイント
325直動案内機構
326突出ピン
331把持部
332,333押えガイド
h貫通穴
T1,T2,T3 テンポラリーステージ

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