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技術 大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置及び搬送方法

出願人 三菱重工業株式会社
発明者 中島洋一郎笹川英四郎宮園直之
出願日 2000年11月30日 (19年7ヶ月経過) 出願番号 2000-366033
公開日 2002年6月14日 (18年0ヶ月経過) 公開番号 2002-170861
状態 特許登録済
技術分野 特殊目的用コンベヤ 物理蒸着 ウエハ等の容器,移送,固着,位置決め等 ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等
主要キーワード 台車ベース 進退駆動力 変換歯車 回転搬送装置 ピニオンギヤー 接続室 台車レール 先願技術
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図面 (6)

課題

複数の処理室基板次々に搬送して処理するクラスタ型真空処理システムにおいて、2基の搬送台車回転台と回転台上に敷設された該搬送台車を載せる2組のレール動力伝達機構と回転台回転モーターと搬送台車進退モーターとを備え、大型基板台車真空に保たれた共通搬送室内で回転し、且つ真空に保たれた複数の室に進退させる回転搬送装置であって、モーター類が特殊仕様でなく且つ静止固定可能で、配線上、操作上の難点ない大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置および方法の提供をし、大形基板製造装置コスト低減、大形基板製造における操作性の向上による更なる生産性の向上を目的とする。

解決手段

回転台の下側に動力伝達機構収納部を設け、該収納部に収納された動力伝達機構の入力端シール部を介して共通搬送室外に突出して共通搬送室の外部に配置した前記モーターと連結し、回転台回転と搬送台車進退を行なうよう構成した。

概要

背景

近年太陽電池などの製造を目的として、大型の基板真空中でプラズマCVDスパッタリングドライエッチング等の処理を均質・連続・大量に施す必要性が益々高まっている。本発明者等は今まで一連の関連技術の発明を出願、開示してきたが、生産性を高める目的で、複数の処理室に基板を次々に搬送して処理するクラスタ型真空処理システムについて特願平11−304195にその発明の1つを出願した。

前記先願技術(非公知)の要点を図5、図3を参照しながら説明する。図5はクラスタ型真空処理システムであって、2は基板受渡しステージ、5Aはローダー、5Bはアンローダー、6A〜Fは基板搬送台車、10はロード室、20はアンロード室、22は基板受渡しステージ、30は共通搬送室、40A〜Hは接続室、70A〜Eは真空処理室、80は予備室、101A、Bは台車ベース、104A、Bは台車レール、Gは基板である。

図5、図3において、該システムは中央に台車ベース101A、Bを含む台車6E、6Fを台車レール104A、B上に載置して、真空状態で回転する回転台を有する共通搬送室30を備え、その周囲を取り囲むようにロード室10、アンロード室20、5つの真空処理室70A〜E、予備室80が配置されている。これら各室ゲート弁を介して、接続室40A〜Hにそれぞれ連通し、さらに接続室は中央の共通搬送室にそれぞれ連通している。

ロード室10には2台の搬送台車6A、6Bが、アンロ−ド室20にも2台の搬送台車6C、6Dが、共通搬送室30の回転台105上には搬送台車6E、6Fが配置されシステム全体では少なくとも6台の複数の搬送台車が各所に配置されている。そして共通搬送室30の回転台105は360°回転することができて、回転台上に敷設されたレールに載置されている台車を、接続室を介して各室に向けてレール方向を一致させ、進退可能なように構成されている。

基板Gの搬送操作は、先ず、大気圧下にある基板受渡しステージ2において、2台の搬送台車6A、6Bに、基板Gを搬送台車上に傾斜安定角度で起立載置し、基板Gを保持した搬送台車を、接続室40F側のゲート弁は閉とし、基板受渡しステージ2側のゲート弁を開として、ロード室を大気圧とし、基板台進退機構を用い、該基板Gを保持した搬送台車をロード室内に搬送する。しかる後、基板受渡しステージ2側のゲート弁を閉じ、真空装置に接続したバルブを開いてロード室10を真空にする。

かくして、ロード室10の気圧が接続室及び/若しくは共通搬送室と同様の真空状態となったとき、接続室40F側のゲート弁を開けて、ロード室10内2台の基板搬送台車を、共通搬送室の回転台に敷設されたレール上に移動する。

次に、回転台105を回転させて空の真空処理室70A〜E若しくは予備室80に向けて台車の載置されているレール方向を定め、接続室のレールと合致させて、台車を意図した室に移送する。処理室では基板を処理ユニット受渡した後、台車は再び共通搬送室へと戻す。また、場合によっては台車は予備室で待機状態にして、共通搬送室を空け、別の台車の操作をすることもできる。

真空処理室中の真空処理の終了した基板は、共通搬送室から接続室とのゲートを開けて入ってきた台車に受け取られ、共通搬送室へ進み、更に台車回転台の回転によって、方向をアンロード室に向けた後、処理済基板を載置した台車はアンロード室内に入る。ここでアンロード室の接続室側の弁を閉じた後、真空を大気に戻し、台車はさらに基板受渡しステージまで退く。ここで、基板は台車より基板受渡しステージ上の搬送ローラー上へ降ろされる。

これらの操作では、互いに影響の受けない操作は、同時にそれぞれ独立して操作若しくは継続することができる。例えば、前記真空処理室へ基板を装填している操作手順の間中、これらの操作には影響されずに、別の真空処理室ではゲートを閉じて真空処理を継続することができる。

以上のような装置、方法の構成によって、待ち時間アイドルを避け、真空装置の規模を節約して大型基板の処理が可能な、生産性の高いクラスタ型真空処理システムとしたのであるから、その構成の特徴の1つである共通搬送室における基板搬送台車が回転し、台車を進退させる機構および操作は重要である。特に真空中でこれらの操作を可能とする装置が必要である。

さて、共通搬送室内の台車回転搬送装置は真空下で動力を得て、台車を回転し、且つ台車を台車長手方向に進退させなければならない。図4はこの目的を果たすための1例である。即ち、115なる器壁を持つ真空容器(室)内、この場合には共通搬送室内に、モーター400A、400Bを軸支する部材を含めた回転台105がコロ108A、Bによって支えられ、回転可能に設けられている。そして、該回転台はその中心を同一にして、外側に歯のある環状の歯車106を具えていて、回転駆動軸に固定されたピニオン107に噛合している。ピニオン軸磁性流体シール116Pを介して真空室外に突出し、真空容器(室)外に固定配置された回転台回転モーター113に連結している。而して、回転台回転モーター113の回転によって、前記した、歯車機構で回転台105は回転可能となっている。

図4で、台車を構成する台車ベースは回転台上に敷設されたレール104A、B上を紙面に垂直に進退させる必要がある。台車ベース101A、Bは内側の側端にラック103A、Bが固定されており、これがピニオンギヤー102A、Bと噛合し、ピニオン軸は回転台を貫いて垂下し、該回転台と一体となった部材に軸支されたA、B側台進退モーター400A、Bと連結し、回転駆動され、ラックと噛合して台車ラックを進退させるよう構成されている。

このような構成とした場合、モーター400A、Bは真空室(共通搬送室)内に配置しなければならず、モーターの仕様特種なものとなり、高価になる。更に、モーターに供給する電力など電気配線を回転台の回転に伴って、動くモーターに接続しなければならないので、操作が困難になるなどの難点がある。

概要

複数の処理室に基板を次々に搬送して処理するクラスタ型真空処理システムにおいて、2基の搬送台車と回転台と回転台上に敷設された該搬送台車を載せる2組のレールと動力伝達機構と回転台回転モーターと搬送台車進退モーターとを備え、大型基板台車を真空に保たれた共通搬送室内で回転し、且つ真空に保たれた複数の室に進退させる回転搬送装置であって、モーター類が特殊仕様でなく且つ静止固定可能で、配線上、操作上の難点ない大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置および方法の提供をし、大形基板製造装置コスト低減、大形基板製造における操作性の向上による更なる生産性の向上を目的とする。

回転台の下側に動力伝達機構収納部を設け、該収納部に収納された動力伝達機構の入力端シール部を介して共通搬送室外に突出して共通搬送室の外部に配置した前記モーターと連結し、回転台回転と搬送台車進退を行なうよう構成した。

目的

本発明はこのような問題点に鑑みなされたもので、複数の処理室に基板を次々に搬送して処理するクラスタ型真空処理システムにおいて、2基の搬送台車と回転台と回転台上に敷設された該搬送台車を載せる2組のレールと動力伝達機構と回転台回転モーターと搬送台車進退モーターとを備え、大型基板台車を真空に保たれた共通搬送室内で回転し、且つ真空に保たれた複数の室に進退させる回転搬送装置であって、モーター類が特殊仕様でなく且つ静止固定可能で、配線上、操作上の難点ない大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置および方法の提供をし、大形基板製造装置のコスト低減、大形基板製造における操作性の向上による更なる生産性の向上を目的とする。

効果

実績

技術文献被引用数
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請求項1

複数の処理室基板次々に搬送して処理するクラスタ型真空処理システムにおいて、2基の搬送台車回転台と回転台上に敷設された該搬送台車を載せる2組のレール動力伝達機構と回転台回転モーターと搬送台車進退モーターとを備え、大型基板台車真空に保たれた共通搬送室内で回転し、且つ真空に保たれた複数の室に進退させる回転搬送装置であって、回転台の下側に動力伝達機構収納部を設け、該収納部に収納された動力伝達機構の入力端シール部を介して共通搬送室外に突出して共通搬送室の外部に配置した前記モーターと連結し、回転台回転と搬送台車進退を行うよう構成したことを特徴とする大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置。

請求項2

前記搬送台車進退モーターの回転を伝達する動力伝達機構は、真空室外に配置された2つのモーターのシール部を介して真空室内部に貫く回転軸を二つの入力端とする同心伝達機構であることを特徴とする請求項1記載の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置。

請求項3

前記搬送台車進退モーターの回転を伝達する動力伝達機構は、真空室外に配置された1つのモーターのシール部を介して真空室内部に貫く回転軸を入力端とする2軸分配機構であることを特徴とする請求項1記載の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置。

請求項4

前記同心伝達機構は、回転台の中心に軸支された、伝達機構の回転中心軸を備え、該中心軸には一方のピニオン軸を回転させるよう噛合する歯車機構ともう一方のピニオン軸を回転させるよう噛合する別の歯車機構を同じ前記回転中心軸に備え、1つのモーターの回転軸が真空室外部より真空室内にシール部を介して貫き、その先端に固定された歯車が一方の前記回転中心軸の歯車機構に動力を伝達し、もう1つのモーターの回転軸が真空室外部より真空室内にシール部を介して貫き、その先端に固定された歯車がもう一方の前記回転中心軸の歯車機構に動力を伝達することを特徴とする請求項2記載の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置。

請求項5

前記2軸分配機構は、1つのモーターの回転軸が真空室外部より真空室内にシール部を介して貫き、その先端に固定された歯車を備え、回転台に軸支された一方のピニオン軸に固定された歯車と噛合して該一方のピニオンに回転を伝え、同じ軸に固定されたさらに別の歯車を備え、該別の歯車は回転台に軸支されたもう一方のピニオン軸に固定された歯車と噛合して該もう一方のピニオンに回転を伝えることを特徴とする請求項3記載の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置。

請求項6

前記2基の搬送台車の台車ベースは回転台中心側の側面にラックをそれぞれ備え、前記搬送台車進退モーターの回転を伝達する動力伝達機構の最終端回転駆動される2軸に固定された2つのピニオンを備え、該ラックと該ピニオンはそれぞれ噛合して2基の搬送台車を進退させることを特徴とする請求項1乃至5何れかの項記載の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置。

請求項7

前記回転台はその裏面に、外周に歯を持つ環状歯車をその中心を回転台中心と同一にして備え、前記回転台回転モーターに回転駆動される軸は、該軸に固定されたピニオンを先端に備え、該環状歯車と該ピニオンはそれぞれ噛合して前記回転台を回転させることを特徴とする請求項1記載の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置。

請求項8

複数の処理室に基板を次々に搬送して処理するクラスタ型真空処理システムにおいて、2基の搬送台車と回転台と回転台上に敷設された該搬送台車を載せる2組のレールと動力伝達機構と回転台回転モーターと搬送台車進退モーターとを用いて、大型基板台車を真空に保たれた共通搬送室内で回転し且つ真空に保たれた複数の室に進退させる回転搬送方法であって、回転台の回転によって動力伝達機構が相対的に動き、台車ラックと噛合するピニオンを回転させ、意図せぬ動きを台車に与えるのを防ぐよう、台車進退モーターを駆動して前記ピニオンの回転を相殺することを特徴とする大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送方法。

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0001

本発明は、プラズマCVDスパッタリングドライエッチング等の処理を次々大型基板に施すためのクラスタ型大型基板用真空処理システムに用いる大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置及び搬送方法に関わる。

背景技術

0002

近年太陽電池などの製造を目的として、大型の基板真空中でプラズマCVD、スパッタリング、ドライエッチング等の処理を均質・連続・大量に施す必要性が益々高まっている。本発明者等は今まで一連の関連技術の発明を出願、開示してきたが、生産性を高める目的で、複数の処理室に基板を次々に搬送して処理するクラスタ型真空処理システムについて特願平11−304195にその発明の1つを出願した。

0003

前記先願技術(非公知)の要点図5図3を参照しながら説明する。図5はクラスタ型真空処理システムであって、2は基板受渡しステージ、5Aはローダー、5Bはアンローダー、6A〜Fは基板搬送台車、10はロード室、20はアンロード室、22は基板受渡しステージ、30は共通搬送室、40A〜Hは接続室、70A〜Eは真空処理室、80は予備室、101A、Bは台車ベース、104A、Bは台車レール、Gは基板である。

0004

図5図3において、該システムは中央に台車ベース101A、Bを含む台車6E、6Fを台車レール104A、B上に載置して、真空状態で回転する回転台を有する共通搬送室30を備え、その周囲を取り囲むようにロード室10、アンロード室20、5つの真空処理室70A〜E、予備室80が配置されている。これら各室ゲート弁を介して、接続室40A〜Hにそれぞれ連通し、さらに接続室は中央の共通搬送室にそれぞれ連通している。

0005

ロード室10には2台の搬送台車6A、6Bが、アンロ−ド室20にも2台の搬送台車6C、6Dが、共通搬送室30の回転台105上には搬送台車6E、6Fが配置されシステム全体では少なくとも6台の複数の搬送台車が各所に配置されている。そして共通搬送室30の回転台105は360°回転することができて、回転台上に敷設されたレールに載置されている台車を、接続室を介して各室に向けてレール方向を一致させ、進退可能なように構成されている。

0006

基板Gの搬送操作は、先ず、大気圧下にある基板受渡しステージ2において、2台の搬送台車6A、6Bに、基板Gを搬送台車上に傾斜安定角度で起立載置し、基板Gを保持した搬送台車を、接続室40F側のゲート弁は閉とし、基板受渡しステージ2側のゲート弁を開として、ロード室を大気圧とし、基板台進退機構を用い、該基板Gを保持した搬送台車をロード室内に搬送する。しかる後、基板受渡しステージ2側のゲート弁を閉じ、真空装置に接続したバルブを開いてロード室10を真空にする。

0007

かくして、ロード室10の気圧が接続室及び/若しくは共通搬送室と同様の真空状態となったとき、接続室40F側のゲート弁を開けて、ロード室10内2台の基板搬送台車を、共通搬送室の回転台に敷設されたレール上に移動する。

0008

次に、回転台105を回転させて空の真空処理室70A〜E若しくは予備室80に向けて台車の載置されているレール方向を定め、接続室のレールと合致させて、台車を意図した室に移送する。処理室では基板を処理ユニット受渡した後、台車は再び共通搬送室へと戻す。また、場合によっては台車は予備室で待機状態にして、共通搬送室を空け、別の台車の操作をすることもできる。

0009

真空処理室中の真空処理の終了した基板は、共通搬送室から接続室とのゲートを開けて入ってきた台車に受け取られ、共通搬送室へ進み、更に台車回転台の回転によって、方向をアンロード室に向けた後、処理済基板を載置した台車はアンロード室内に入る。ここでアンロード室の接続室側の弁を閉じた後、真空を大気に戻し、台車はさらに基板受渡しステージまで退く。ここで、基板は台車より基板受渡しステージ上の搬送ローラー上へ降ろされる。

0010

これらの操作では、互いに影響の受けない操作は、同時にそれぞれ独立して操作若しくは継続することができる。例えば、前記真空処理室へ基板を装填している操作手順の間中、これらの操作には影響されずに、別の真空処理室ではゲートを閉じて真空処理を継続することができる。

0011

以上のような装置、方法の構成によって、待ち時間アイドルを避け、真空装置の規模を節約して大型基板の処理が可能な、生産性の高いクラスタ型真空処理システムとしたのであるから、その構成の特徴の1つである共通搬送室における基板搬送台車が回転し、台車を進退させる機構および操作は重要である。特に真空中でこれらの操作を可能とする装置が必要である。

0012

さて、共通搬送室内の台車回転搬送装置は真空下で動力を得て、台車を回転し、且つ台車を台車長手方向に進退させなければならない。図4はこの目的を果たすための1例である。即ち、115なる器壁を持つ真空容器(室)内、この場合には共通搬送室内に、モーター400A、400Bを軸支する部材を含めた回転台105がコロ108A、Bによって支えられ、回転可能に設けられている。そして、該回転台はその中心を同一にして、外側に歯のある環状の歯車106を具えていて、回転駆動軸に固定されたピニオン107に噛合している。ピニオン軸磁性流体シール116Pを介して真空室外に突出し、真空容器(室)外に固定配置された回転台回転モーター113に連結している。而して、回転台回転モーター113の回転によって、前記した、歯車機構で回転台105は回転可能となっている。

0013

図4で、台車を構成する台車ベースは回転台上に敷設されたレール104A、B上を紙面に垂直に進退させる必要がある。台車ベース101A、Bは内側の側端にラック103A、Bが固定されており、これがピニオンギヤー102A、Bと噛合し、ピニオン軸は回転台を貫いて垂下し、該回転台と一体となった部材に軸支されたA、B側台進退モーター400A、Bと連結し、回転駆動され、ラックと噛合して台車ラックを進退させるよう構成されている。

0014

このような構成とした場合、モーター400A、Bは真空室(共通搬送室)内に配置しなければならず、モーターの仕様特種なものとなり、高価になる。更に、モーターに供給する電力など電気配線を回転台の回転に伴って、動くモーターに接続しなければならないので、操作が困難になるなどの難点がある。

発明が解決しようとする課題

0015

本発明はこのような問題点に鑑みなされたもので、複数の処理室に基板を次々に搬送して処理するクラスタ型真空処理システムにおいて、2基の搬送台車と回転台と回転台上に敷設された該搬送台車を載せる2組のレールと動力伝達機構と回転台回転モーターと搬送台車進退モーターとを備え、大型基板台車を真空に保たれた共通搬送室内で回転し、且つ真空に保たれた複数の室に進退させる回転搬送装置であって、モーター類が特殊仕様でなく且つ静止固定可能で、配線上、操作上の難点ない大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置および方法の提供をし、大形基板製造装置コスト低減、大形基板製造における操作性の向上による更なる生産性の向上を目的とする。

課題を解決するための手段

0016

本発明は、複数の処理室に基板を次々に搬送して処理するクラスタ型真空処理システムにおいて、2基の搬送台車と回転台と回転台上に敷設された該搬送台車を載せる2組のレールと動力伝達機構と回転台回転モーターと搬送台車進退モーターとを備え、大型基板台車を真空に保たれた共通搬送室内で回転し、且つ真空に保たれた複数の室に進退させる回転搬送装置であって、回転台の下側に動力伝達機構収納部を設け、該収納部に収納された動力伝達機構の入力端シール部を介して共通搬送室外に突出して共通搬送室の外部に配置した前記モーターと連結し、回転台回転と搬送台車進退を行うよう構成したことを特徴とする大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置である。

0017

本発明の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置は更に、前記搬送台車進退モーターの回転を伝達する動力伝達機構が、真空室外に配置された2つのモーターのシール部を介して真空室内部に貫く回転軸を二つの入力端とする同心伝達機構であることを特徴とする。

0018

本発明の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置は更に、前記搬送台車進退モーターの回転を伝達する動力伝達機構が、真空室外に配置された1つのモーターのシール部を介して真空室内部に貫く回転軸を入力端とする2軸分配機構であることを特徴とする。

0019

本発明の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置は更に、前記同心伝達機構が、回転台の中心に軸支された、伝達機構の回転中心軸を備え、該中心軸には一方のピニオン軸を回転させるよう噛合する歯車機構ともう一方のピニオン軸を回転させるよう噛合する別の歯車機構を同じ前記回転中心軸に備え、1つのモーターの回転軸が真空室外部より真空室内にシール部を介して貫き、その先端に固定された歯車が一方の前記回転中心軸の歯車機構に動力を伝達し、もう1つのモーターの回転軸が真空室外部より真空室内にシール部を介して貫き、その先端に固定された歯車がもう一方の前記回転中心軸の歯車機構に動力を伝達することを特徴とする。

0020

本発明の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置は更に、前記2軸分配機構が、1つのモーターの回転軸が真空室外部より真空室内にシール部を介して貫き、その先端に固定された歯車を備え、回転台に軸支された一方のピニオン軸に固定された歯車と噛合して該一方のピニオンに回転を伝え、同じ軸に固定されたさらに別の歯車を備え、該別の歯車は回転台に軸支されたもう一方のピニオン軸に固定された歯車と噛合して該もう一方のピニオンに回転を伝えることを特徴とする。

0021

本発明の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置は更に、前記2基の搬送台車の台車ベースが回転台中心側の側面にラックをそれぞれ備え、前記搬送台車進退モーターの回転を伝達する動力伝達機構の最終端は回転駆動される2軸に固定された2つのピニオンを備え、該ラックと該ピニオンはそれぞれ噛合して2基の搬送台車を進退させることを特徴とする。

0022

本発明の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置は更に、前記回転台はその裏面に、外周に歯を持つ環状歯車をその中心を回転台中心と同一にして備え、前記回転台回転モーターに回転駆動される軸は、該軸に固定されたピニオンを先端に備え、該環状歯車と該ピニオンはそれぞれ噛合して前記回転台を回転させることを特徴とする。

0023

本発明は更に、複数の処理室に基板を次々に搬送して処理するクラスタ型真空処理システムにおいて、2基の搬送台車と回転台と回転台上に敷設された該搬送台車を載せる2組のレールと動力伝達機構と回転台回転モーターと搬送台車進退モーターとを用いて、大型基板台車を真空に保たれた共通搬送室内で回転し且つ真空に保たれた複数の室に進退させる回転搬送方法であって、回転台の回転によって動力伝達機構が相対的に動き、台車ラックと噛合するピニオンを回転させ、意図せぬ動きを台車に与えるのを防ぐよう、台車進退モーターを駆動して前記ピニオンの回転を相殺することを特徴とする大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送方法である。

発明を実施するための最良の形態

0024

以下に図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を例示的に説明する。但し本実施例に記載される製品材質、形状、寸法、その相対配置等は本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。

0025

(実施例1)図1は本発明の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置の1例の概要図である。図1において、101A、Bは搬送台車ベース、102A、Bはピニオンギヤ−、103A、Bは台車進退駆動用ラック、104A、Bは台車レール、105は回転台、106は回転台環状歯車、107は回転台回転用ピニオン、108A、Bは回転台支持コロ、109は回転中心軸、109L、MはB側駆動力伝達歯車、110は台車進退モーター軸歯車、110AはA側モーター軸歯車、110BはB側モーター軸歯車、111はA側駆動力伝達歯車、112AはA側ピニオン軸歯車、112BはB側ピニオン軸歯車、113は回転台回転モーター、114AはA側台車進退モーター、114BはB側台車進退モーター、115は真空容器となっている共通搬送室である。

0026

共通搬送室30は真空容器(室)115の器壁の上部であって、図示されていない真空装置により上部は真空状態を保つよう構成されており、回転台10がコロ108A、Bによって支えられ、真空中で回転可能に設けられている。回転台下部、真空容器器壁115上部との間に、動力伝達機構収納部が設けてあり、ここに台車進退関係の動力伝達機構(109、109L、109M、110A、110B、112A、112B)が中心付近に、回転台回転関係の動力伝達機構(106、107)が回転台周辺付近に配置されている。

0027

台車進退関係の動力伝達機構は同心伝達機構であって、回転台105の中心に軸支された、伝達機構の回転中心軸109を備え、該中心軸109には一方のピニオンギヤー102Aの軸に回転を伝達する歯車112Aと噛合する歯車機構であるA側動力伝達歯車111と、もう一方のピニオンギヤー102Bの軸に回転を伝達する歯車112Aと噛合する別の歯車機構であるB側動力伝達歯車109Lを一体的に備え、1つのA側台車進退モーター114Aの回転軸が真空室外部より真空室内にシール部即ち磁性流体シール116Rを介して貫き、その先端に固定されたA側モーター軸歯車110Aが一方の前記回転中心軸の歯車機構のA側動力伝達歯車111に動力を伝達し、もう1つのB側台車進退モーター114Bの回転軸が真空室外部より真空室内にシール部即ち磁性流体シール116Qを介して貫き、その先端に固定された歯車110Bがもう一方の前記回転中心軸の歯車機構のB側動力伝達歯車109Mに動力を伝達する。

0028

更に、2基の搬送台車の台車ベース101A、Bは回転台105中心側の側面に台車進退駆動用ラック103A、Bをそれぞれ備え、前記で説明した搬送台車進退モーター114A、Bの回転を伝達する動力伝達機構によって、その最終端である2つのピニオンギヤー102A、Bを回転駆動するから、該ラックと該ピニオンはそれぞれ噛合して2基の搬送台車ベース101A、Bを含む搬送台車を台車レール104A、B上で進退させる。

0029

一方、回転台回転関係の動力伝達機構は回転台105の裏面に、外周に歯を持つ回転台環状歯車106をその中心を回転台中心と同一にして備え、回転台回転モーター113に回転駆動される軸は、該軸に固定された回転台回転用ピニオン107を先端に備え、該環状歯車106と該回転台回転用ピニオン107はそれぞれ噛合して前記回転台を回転中心軸109周りに回転させる。

0030

また、本構成では回転台を回転させることで台車進退関係の動力伝達機構が相対的に動き、最終端であるピニオンを回し台車が動いてしまうので、回転台の回転角度に応じて、台車進退モーターを駆動して、ピニオンの回転を相殺することにより、意図しない台車の進退を防止する。

0031

このように構成することにより、モーターを真空室外部に配置でき、しかも二つの台車を別々に進退可能となる。また、回転台回転と台車進退関係伝達機構の中心が同軸となるので、真空容器内の熱による熱歪みよる影響が少ない。

0032

(実施例2)図2は本発明の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置の第2の例である。図2において、101A、Bは搬送台車ベース、102A、Bはピニオンギヤ−、103A、Bは台車進退駆動用ラック、104A、Bは台車レール、105は回転台、106は回転台環状歯車、107は回転台回転用ピニオン、108A、Bは回転台支持コロ、110は台車進退モーター軸歯車、210は台車進退駆動力伝達歯車、211A、Bは回転方向変換歯車、113は回転台回転モーター、114は台車進退モーター、115は真空容器となっている共通搬送室である。

0033

共通搬送室30は真空容器(室)115の器壁の上部であって、図示されていない真空装置により上部は真空状態を保つよう構成されており、回転台10がコロ108A、Bによって支えられ、真空中で回転可能に設けられている。回転台下部、真空容器器壁115上部との間に、動力伝達機構収納部が設けてあり、ここに台車進退関係の動力伝達機構(110、210、211A、211B)が中心付近に、回転台回転関係の動力伝達機構(106、107)が回転台周辺付近に配置されている。

0034

台車進退関係の動力伝達機構は2軸分配機構であって、1つの台車進退モーター114の回転軸が真空室外部より真空室内にシール部即ち磁性流体シール116Sを介して貫き、その先端に固定された台車進退モーター軸歯車を備え、回転台に軸支された一方のピニオンギヤー102Bの軸に固定された台車進退駆動力伝達歯車210と噛合して該一方のピニオンギヤー102Bに回転を伝え、同じ軸に固定されたさらに別の回転方向変換歯車211Bを備え、該別の回転方向変換歯車211Bは回転台に軸支されたもう一方のピニオンギヤー102Aの軸に固定された回転方向変換歯車211Aと噛合して該もう一方のピニオンギヤー102Aに回転を伝える。

0035

更に、2基の搬送台車の台車ベース101A、Bは回転台105中心側の側面に台車進退駆動用ラック103A、Bをそれぞれ備え、前記で説明した搬送台車進退モーター114の回転を伝達する動力伝達機構によって、その最終端である2つのピニオンギヤー102A、Bを回転駆動するから、該ラックと該ピニオンはそれぞれ噛合して2基の搬送台車ベース101A、Bを含む搬送台車を台車レール104A、B上で進退させる。

0036

一方、回転台回転関係の動力伝達機構は回転台105の裏面に、外周に歯を持つ回転台環状歯車106をその中心を回転台中心と同一にして備え、回転台回転モーター113に回転駆動される軸は、該軸に固定された回転台回転用ピニオン107を先端に備え、該環状歯車106と該回転台回転用ピニオン107はそれぞれ噛合して前記回転台を回転中心軸109周りに回転させる。

0037

また、本構成では回転台を回転させることで台車進退関係の動力伝達機構が相対的に動き、最終端であるピニオンを回し台車が動いてしまうので、回転台の回転角度に応じて、台車進退モーターを駆動して、ピニオンの回転を相殺することにより、意図しない台車の進退を防止する。

0038

このように構成することにより、モーターを真空室外部に配置でき、しかも二つの台車を同時同一方向に進退可能となる。また、回転台回転と台車進退関係伝達機構の中心が同軸となるので、真空容器内の熱による熱歪みよる影響が少ない。

発明の効果

0039

以上説明したように本発明により、複数の処理室に基板を次々に搬送して処理するクラスタ型真空処理システムにおいて、2基の搬送台車と回転台と回転台上に敷設された該搬送台車を載せる2組のレールと動力伝達機構と回転台回転モーターと搬送台車進退モーターとを備え、大型基板台車を真空に保たれた共通搬送室内で回転し、且つ真空に保たれた複数の室に進退させる回転搬送装置であって、モーター類が特殊仕様でなく且つ静止固定可能で、配線上、操作上の難点のない大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置および方法の提供をし、大形基板製造装置のコスト低減、大形基板製造における操作性の向上による更なる生産性の向上を図ることができた。

図面の簡単な説明

0040

図1本発明の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置の1例の概要図
図2本発明の大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置の第2の例の概要図
図3大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置平面概要図
図4大型基板搬送台車共通搬送室内回転搬送装置の例の概要図
図5クラスタ型真空処理システムの全体斜視図

--

0041

2基板受渡しステージ
5Aローダー
5Bアンローダー
6A〜F基板搬送台車
10ロード室
20アンロード室
22 基板受渡しステージ
30共通搬送室
40A〜H接続室
70A〜E真空処理室
80予備室
G 基板
101A、B搬送台車ベース
102A、Bピニオンギヤ−
103A、B台車進退駆動用ラック
104A、B台車レール
105回転台
106 回転台環状歯車
107 回転台回転用ピニオン
108A、B 回転台支持コロ
109回転中心軸
109L、M B側駆動力伝達歯車
110 台車進退モーター軸歯車
110A A側モーター軸歯車
110B B側モーター軸歯車
111 A側駆動力伝達歯車
112A A側ピニオン軸歯車
112B B側ピニオン軸歯車
113 回転台回転モーター
114 台車進退モーター
114A A側台車進退モーター
114B B側台車進退モーター
115真空容器
116P、Q、R、S磁性流体シール
210 台車進退駆動力伝達歯車
211A、B 回転方向変換歯車
400A A側台車進退モーター(真空仕様
400B B側台車進退モーター(真空仕様)
401 回転台中央部

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