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課題

本発明の課題は、上記問題点に鑑み、平板状の電子材料静電吸着搬送において、任意に、確実に吸着脱離を行う脱離方法及び受け渡し方法を提供することにある。

解決手段

少なくとも平板状の電子材料を複数の静電吸着搬送手段を介して受け渡しながら搬送する方法において、電子材料を吸着させた第一の静電吸着搬送手段の吸着面に、第二の静電吸着搬送手段の吸着面側を接触付勢し、第一の静電吸着手段に印加される電圧よりも第二の静電吸着搬送手段に印可される電圧を高くして第一及び第二の静電吸着手段を引き離すこと。

概要

背景

平板状の電子材料、例えばプリント配線板シャドウマスクのような薄板状でも多数の穴が空いた材料の枚葉毎の搬送においては、穴の空いていない部分を小径吸着パッドを介して減圧吸着して搬送したり、高流量ブロアを用いて多数吸着口を有する吸着面で吸着して搬送する手段がとられていた。

上記のような搬送手段では、搬送する電子材料のロット替わりに際して、吸着パッド位置を調整が必要であったり、また減圧するための高流量用の配管を引き回す必要があるため設計上の制約が生じたり機械が大型化するなど不都合を生じていた。

そこで、吸着手段として、静電吸着方式による薄板状の電子材料の搬送方法の提案もなされている。静電吸着方式では、減圧吸着方式に比べ、小径孔を多数有するプリント配線板やシャドウマスクを効率よく吸着することが可能で、大流量の配管等の取り回しがいらないため、搬送装置の設計の自由度も向上する。しかし、吸着した電子材料を脱離させる時には印加電圧を切断しても、雰囲気温湿度等の要因によって、吸着面に電荷が残存し、電子材料等の吸着物が任意に脱離出来ない場合があった。また複数の静電吸着搬送手段を介して吸着面を対向させて受け渡しを行う場合には、送付側電源を切断しても残留電位が受手側の印加電圧よりも高くなる場合があり、うまく受け渡しできない場合があった。

概要

本発明の課題は、上記問題点に鑑み、平板状の電子材料の静電吸着搬送において、任意に、確実に吸着脱離を行う脱離方法及び受け渡し方法を提供することにある。

少なくとも平板状の電子材料を複数の静電吸着搬送手段を介して受け渡しながら搬送する方法において、電子材料を吸着させた第一の静電吸着搬送手段の吸着面に、第二の静電吸着搬送手段の吸着面側を接触付勢し、第一の静電吸着手段に印加される電圧よりも第二の静電吸着搬送手段に印可される電圧を高くして第一及び第二の静電吸着手段を引き離すこと。

目的

本発明の課題は、上記問題点に鑑み、平板状の電子材料の静電吸着搬送において、任意に、確実に吸着脱離を行う脱離方法及び受け渡し方法を提供することにある。

効果

実績

技術文献被引用数
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牽制数
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請求項1

少なくとも平板状の電子材料を複数の静電吸着搬送手段を介して受け渡しながら搬送する方法において、電子材料を吸着させた第一の静電吸着搬送手段の吸着面に、第二の静電吸着搬送手段の吸着面側を接触付勢し、第一の静電吸着手段に印加される電圧よりも第二の静電吸着搬送手段に印可される電圧を高くして第一及び第二の静電吸着手段を引き離すことを特徴とする静電吸着板を用いた電子材料搬送における受け渡し方法

請求項2

静電吸着板に吸着された平版状の電子材料を脱離する際に、静電吸着板に高電圧を供給する印加電圧供給回路瞬時遮断を行わずに、印加電圧供給回路の出力電圧下降させることを特徴とする静電吸着板を用いた電子材料搬送における脱離方法

技術分野

0001

本発明は、電気電子機器に用いられる平板状の電子材料、特にプリント配線板シャドウマスク等の小径孔を多数有する電子材料を、吸着して搬送するための吸着搬送手段に用いられる静電吸着手段を複数用いた受け渡し方法及び脱離方法に関する。

背景技術

0002

平板状の電子材料、例えばプリント配線板やシャドウマスクのような薄板状でも多数の穴が空いた材料の枚葉毎の搬送においては、穴の空いていない部分を小径吸着パッドを介して減圧吸着して搬送したり、高流量ブロアを用いて多数吸着口を有する吸着面で吸着して搬送する手段がとられていた。

0003

上記のような搬送手段では、搬送する電子材料のロット替わりに際して、吸着パッド位置を調整が必要であったり、また減圧するための高流量用の配管を引き回す必要があるため設計上の制約が生じたり機械が大型化するなど不都合を生じていた。

0004

そこで、吸着手段として、静電吸着方式による薄板状の電子材料の搬送方法の提案もなされている。静電吸着方式では、減圧吸着方式に比べ、小径孔を多数有するプリント配線板やシャドウマスクを効率よく吸着することが可能で、大流量の配管等の取り回しがいらないため、搬送装置の設計の自由度も向上する。しかし、吸着した電子材料を脱離させる時には印加電圧を切断しても、雰囲気温湿度等の要因によって、吸着面に電荷が残存し、電子材料等の吸着物が任意に脱離出来ない場合があった。また複数の静電吸着搬送手段を介して吸着面を対向させて受け渡しを行う場合には、送付側電源を切断しても残留電位が受手側の印加電圧よりも高くなる場合があり、うまく受け渡しできない場合があった。

発明が解決しようとする課題

0005

本発明の課題は、上記問題点に鑑み、平板状の電子材料の静電吸着搬送において、任意に、確実に吸着脱離を行う脱離方法及び受け渡し方法を提供することにある。

課題を解決するための手段

0006

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、以下の発明を見出した。

0007

本発明は、少なくとも平板状の電子材料を複数の静電吸着搬送手段を介して受け渡しながら搬送する方法において、電子材料を吸着させた第一の静電吸着搬送手段の吸着面に、第二の静電吸着搬送手段の吸着面側を接触付勢し、第一の静電吸着手段に印加される電圧よりも第二の静電吸着搬送手段に印可される電圧を高くして第一及び第二の静電吸着手段を引き離すことを特徴としている。

0008

また第二の発明は、静電吸着板に吸着された平版状の電子材料を脱離する際に、静電吸着板に高電圧を供給する印加電圧供給回路瞬時遮断を行わずに、印加電圧供給回路の出力電圧下降させることを特徴としている。

発明を実施するための最良の形態

0009

本発明の受け渡し方法では、複数の静電吸着手段を介して吸着面を対向させて受け渡しを行う場合には、送付側の電源を切断せず、印加電圧を下降させる、あるいは受手側の印加電圧を高くすることで、吸着面の静電気電荷をコントロールすることができるので、吸着受け渡しが良好に行える。また脱離方法では、平板状の電子材料、特にプリント配線板やシャドウマスクが静電吸着なされた後に脱離させる時に、予め吸着物が脱離する印加電圧を測定しておき、脱離させたいタイミングでその電圧まで下降させることにより脱離させることが可能となる。

0010

本発明に用いられる静電吸着板は、例えば特公昭57−58872号公報、特開昭59−108915号公報に記載されているように、吸着面シートとして108〜1012Ωcm程度の電気抵抗率を有したプラステックシートと電気抵抗率1015Ωcm以上の絶縁物の間に櫛歯状電極が設けられて構成されたものである。

0011

上記のような静電吸着板の櫛歯状電極に高圧電源が接続され、電極間に100V〜10KVの高電圧が印加されて静電吸着力クーロン力)が発現するようになっている。この高圧電源には通常、自励発振方式のDC−DCコンバータが用いられており、数V程度の入力で上記高電圧が得られるようになっている。出力電圧は可変のものが好ましいが、出力電圧が固定のものを複数用いて切り替えて使用することも出来る。

0012

脱離時に下降させる電圧は、吸着時の電圧の50%以下好ましくは20%以下となるように連続的に下降させることが好ましい。また徐々に下降させる場合には最終的に0Vまたは電源遮断してもよい。

0013

以下本発明を実施例により詳説するが、本発明はその趣旨を逸脱しない限り、下記実施例に限定されるものではない。

0014

実施例
電子材料として、両面銅張り積層板(500×600mm)を使用し、常法に従って配線パターン形成し、プリント配線板を作製した。

0015

静電吸着板として、ガラスエポキシ基材(0.1mm厚)の片面銅張りプリント配線板(銅厚18μm)を用いて銅を櫛歯状にエッチングして櫛歯状電極とし、この銅電極面ポリ塩化ビニル樹脂板(板厚2mm)を接着して作製したものを用いた。櫛歯状電極には出力可変の高電圧出力電源(トレック社製610B)を接続した。

0016

上記プリント配線板を静電吸着板に接触させて、静電吸着板に3KVの電圧を印加したところ、吸着した。この静電吸着板を垂直にして、高電圧出力電源のスイッチを遮断したところ、プリント配線板は吸着されたままであり、30秒後に脱離した。次に同様に吸着させた後にスイッチを遮断せずに印加電圧を下降させたところ、1KVでプリント配線板が脱離した。繰り返して同様に吸着させて印加電圧を1KVにすると脱離することが確認出来た。

0017

上記静電吸着板を2組用いて、片方の静電吸着板に3KVの印加電圧でプリント配線板を吸着させ、他方を吸着面を対向させるようにして5KVの電圧を印加しながら吸着されているプリント配線板に接触させた。この後にこの2組の静電吸着板を離したところ、5KVが印可された静電吸着板の方にプリント配線板が吸着されたことを確認した。

発明の効果

0018

以上説明したごとく、本発明の静電吸着板を用いた電子材料搬送における受け渡し方法及び脱離方法によれば、電子材料、特に小径孔を多数有するプリント配線板やシャドウマスクが確実に静電吸着され、また脱離させたい時に、任意に、また確実にタイミング良く脱離させることが出来る。また少なくとも平板状の電子材料を複数の静電吸着搬送手段を介して受け渡しながら搬送する場合でも、確実に送り手側から受け手側に吸着物を受け渡すことが可能となる。従って本発明の方法を用いれば、雰囲気温湿度、吸着搬送物表面状態等の要因によらず確実に受け渡し搬送及び脱離が出来る秀逸な効果をもたらす。

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