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技術 ICテスタおよびその制御方法

出願人 横河電機株式会社
発明者 小野貴秀
出願日 2000年4月19日 (20年8ヶ月経過) 出願番号 2000-118109
公開日 2001年10月31日 (19年1ヶ月経過) 公開番号 2001-305186
状態 未査定
技術分野 個々の半導体装置の試験 電子回路の試験 電子回路の試験
主要キーワード マルチステーション シングルステーション デバイスプログラム テスト状態 ICテスト 測定効率 再テスト オートハンドラ
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この項目の情報は公開日時点(2001年10月31日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (7)

課題

マルチステーションモードで動作しているICテスタにおいて、片方ステーションテスト開始待ち状態となり、同時に2台のステーションがテスト状態にならない場合においても、効率よくICテストを行うことができるICテスタを提供することである。

解決手段

プログラム実行装置3は、設定装置1により設定される再テスト有効時間をICテスト実行とともにカウントダウンする。そして、あるステーション6aがテスト開始待ち状態になった場合、再テスト判定装置5は、カウントダウンされた再テスト有効時間が0になっていないことを確認すると、実行中のICテストを中止させる信号を出力し、その中止信号を入力されたプログラム実行装置3は、全てのステーション6a、6bに対し同時にICテストを再実行させる。

概要

背景

従来、ICデバイス量産のためのICテスタは、デバイスを設置するステーションとよばれる装置を2台備え、テストモードとして、テスト時にこの2台のステーションが同時に動作するマルチステーションモード、および1台のステーションが単独で動作するシングルステーションモード機能を有す。

図4に示すように、2台のステーションがマルチステーションモードで動作する場合は、図5に示すように、1台のステーションが単独で動作するシングルステーションモードの場合に比べて、テスト可能なデバイスの数が2倍となる。

すなわち、同じ数のデバイスをテストする場合、テストに要する時間は、マルチステーションモードでテストしたとすると、シングルステーションモードでテストした時間の半分ですむ。そのため、デバイス測定の生産効率は、シングルステーションモードで動作するよりマルチステーションモードで動作したほうが、明らかによい。

概要

マルチステーションモードで動作しているICテスタにおいて、片方のステーションがテスト開始待ち状態となり、同時に2台のステーションがテスト状態にならない場合においても、効率よくICテストを行うことができるICテスタを提供することである。

プログラム実行装置3は、設定装置1により設定される再テスト有効時間をICテスト実行とともにカウントダウンする。そして、あるステーション6aがテスト開始待ち状態になった場合、再テスト判定装置5は、カウントダウンされた再テスト有効時間が0になっていないことを確認すると、実行中のICテストを中止させる信号を出力し、その中止信号を入力されたプログラム実行装置3は、全てのステーション6a、6bに対し同時にICテストを再実行させる。

目的

本発明の課題は、マルチステーションモードで動作しているICテスタにおいて、片方のステーションがテスト開始待ちとなり、同時に2台のステーションがテスト状態にならない場合においても、効率よくテストを行うことができるICテスタを提供することである。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

ICテスト対象となる複数のデバイスを搭載する少なくとも2台以上のステーションを備え、当該各ステーションにより同時にICテストを実行するICテスタにおいて、前記一方のステーションがテスト開始待ち状態になった場合、あらかじめ設定された判定基準により、前記他方のステーションで実行中のICテストを中止するか否かを判定する判定手段と、前記判定手段により実行中のICテストを中止すると判定された場合は、前記他方のステーションにより実行中のICテストを中断させ、前記一方のステーションのテスト開始待ち状態の解除に応じて、当該一方および他方のステーションによるICテストを同時に再開させ、前記判定手段により実行中のICテストを中止しないと判定された場合は、前記他方のステーションにより実行中のICテストを継続させる制御手段と、をさらに備えることを特徴とするICテスタ。

請求項2

前記各ステーションにおけるICテスト開始後のテスト実行時間を計測する計測手段をさらに備え、前記判定手段は、前記計測手段により計測されたテスト実行時間を、あらかじめ設定された有効時間を判定基準として、実行中のICテストを中止するか否かを判定することを特徴とする請求項1記載のICテスタ。

請求項3

前記ICテストの中止を判定する判定基準となる有効時間を設定する設定手段をさらに備えることを特徴とする請求項2記載のICテスタ。

請求項4

ICテスト対象となる複数のデバイスを搭載する少なくとも2台以上のステーションを備え、当該各ステーションにより同時にICテストを実行するICテスタの制御方法であって、前記一方のステーションがテスト開始待ち状態になった場合、あらかじめ設定された判定基準により、前記他方のステーションで実行中のICテストを中止するか否かを判定する判定工程と、前記判定工程において、実行中のICテストを中止すると判定された場合は、前記他方のステーションにより実行中のICテストを中断させ、前記一方のステーションのテスト開始待ち状態の解除に応じて、当該一方および他方のステーションによるICテストを同時に再開させ、前記判定工程において、実行中のICテストを中止しないと判定された場合は、前記他方のステーションにより実行中のICテストを継続させる制御工程と、をさらに含むことを特徴とする制御方法。

請求項5

前記各ステーションにおけるICテスト開始後のテスト実行時間を計測する計測工程をさらに含み、前記判定工程において、前記計測工程において計測されたテスト実行時間を、あらかじめ設定された有効時間を判定基準として、実行中のICテストを中止するか否かを判定することを特徴とする請求項4記載の制御方法。

請求項6

前記ICテストの中止を判定する判定基準となる有効時間を設定する設定工程をさらに含むことを特徴とする請求項5記載の制御方法。

技術分野

0001

本発明は、再テスト機能をもつICテスタおよびその制御方法に関する。

背景技術

0002

従来、ICデバイス量産のためのICテスタは、デバイスを設置するステーションとよばれる装置を2台備え、テストモードとして、テスト時にこの2台のステーションが同時に動作するマルチステーションモード、および1台のステーションが単独で動作するシングルステーションモード機能を有す。

0003

図4に示すように、2台のステーションがマルチステーションモードで動作する場合は、図5に示すように、1台のステーションが単独で動作するシングルステーションモードの場合に比べて、テスト可能なデバイスの数が2倍となる。

0004

すなわち、同じ数のデバイスをテストする場合、テストに要する時間は、マルチステーションモードでテストしたとすると、シングルステーションモードでテストした時間の半分ですむ。そのため、デバイス測定の生産効率は、シングルステーションモードで動作するよりマルチステーションモードで動作したほうが、明らかによい。

発明が解決しようとする課題

0005

しかしながら、デバイス測定においては、テストのためにステーションにデバイスを設置する作業を自動化するためのオートハンドラを使用している。そのため、片方のステーションのオートハンドラにおいて、ステーションへのデバイス設置時に何らかの動作不良が生じた場合、図6に示すように片方のステーションだけがテストを開始し、もう一方のステーションがテスト開始待ちとなり、同時に2台のステーションがテスト状態にならない状況が発生する。

0006

ICテスタがこのような状態になった場合、マルチステーションモードで動作するように設定されていても、それぞれのステーションのテストが同時に行われず、シングルステーションと同様の動作となり、生産効率の低下という問題があった。

0007

本発明の課題は、マルチステーションモードで動作しているICテスタにおいて、片方のステーションがテスト開始待ちとなり、同時に2台のステーションがテスト状態にならない場合においても、効率よくテストを行うことができるICテスタを提供することである。

課題を解決するための手段

0008

以上の課題を解決するために、請求項1記載の発明は、ICテスト対象となる複数のデバイスを搭載する少なくとも2台以上のステーション(例えば、図1のステーション6a、6b)を備え、当該各ステーションにより同時にICテストを実行するICテスタ(例えば、図2のICテスタ2)において、前記一方のステーション(例えば、図1のステーション6a)がテスト開始待ち状態になった場合、あらかじめ設定された判定基準により、前記他方のステーション(例えば、図1のステーション6b)で実行中のICテストを中止するか否かを判定する判定手段(例えば、図1の再テスト判定装置5)と、前記判定手段により実行中のICテストを中止すると判定された場合は、前記他方のステーションにより実行中のICテストを中断させ、前記一方のステーションのテスト開始待ち状態の解除に応じて、当該一方および他方のステーションによるICテストを同時に再開させ、前記判定手段により実行中のICテストを中止しないと判定された場合は、前記他方のステーションにより実行中のICテストを継続させる制御手段(例えば、図1プログラム実行装置3)と、をさらに備えることを特徴とする。

0009

また、請求項4記載の発明は、ICテスト対象となる複数のデバイスを搭載する少なくとも2台以上のステーションを備え、当該各ステーションにより同時にICテストを実行するICテスタの制御方法において、前記一方のステーションがテスト開始待ち状態になった場合、あらかじめ設定された判定基準により、前記他方のステーションで実行中のICテストを中止するか否かを判定する判定工程と、前記判定工程において、実行中のICテストを中止すると判定された場合は、前記他方のステーションにより実行中のICテストを中断させ、前記一方のステーションのテスト開始待ち状態の解除に応じて、当該一方および他方のステーションによるICテストを同時に再開させ、前記判定工程において、実行中のICテストを中止しないと判定された場合は、前記他方のステーションにより実行中のICテストを継続させる制御工程と、をさらに含むことを特徴とする。

0010

したがって、一方のステーションのみがICテスト実行中でもう一方のステーションがテスト開始待ちの状態になった場合、あらかじめ設定された判定基準により、実行中のICテストを中断して、もう一方のステーションのテスト開始待ちの状態の解除に合わせて再テストを実行するか、もしくはそのままICテストを継続するかを判定することができる。

0011

すなわち、シングルステーションモードで実行中のICテストを中断し、再度マルチステーションモードでICテストを再開できるため、効率よくICテストを実行できる。

0012

請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明のICテスタにおいて、前記各ステーションにおけるICテスト開始後のテスト実行時間を計測する計測手段(例えば、図1の再テスト判定装置5)をさらに備え、前記判定手段は、前記計測手段により計測されたテスト実行時間を、あらかじめ設定された有効時間を判定基準として、実行中のICテストを中止するか否かを判定することを特徴とする。

0013

また、請求項5記載の発明は、請求項4記載の発明の制御方法において、前記各ステーションにおけるICテスト開始後のテスト実行時間を計測する計測工程をさらに含み、前記判定工程において、前記計測工程において計測されたテスト実行時間を、あらかじめ設定された有効時間を判定基準として、実行中のICテストを中止するか否かを判定することを特徴とする。

0014

したがって、例えば、判定基準となる有効時間を、ICテスト実行時間の半分未満と設定することにより、効率よくICテストを実行できる。

0015

請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明において、前記ICテストの中止を判定する判定基準となる有効時間を設定する設定手段(例えば、図1設定装置1)をさらに備えることを特徴とする。

0016

また、請求項6記載の発明は、請求項5記載の制御方法において、前記ICテストの中止を判定する判定基準となる有効時間を設定する設定工程をさらに含むことを特徴とする。

0017

したがって、実行するICテストに応じて判定基準となる有効時間を任意に設定することができ、さらに効率よく、ユーザの要求に応じたICテストを実行できる。

発明を実施するための最良の形態

0018

以下、図1図3を参照して実施の形態を詳細に説明する。まず構成を説明する。

0019

図1は、本発明を適用したICテスタ2の構成を示すブロック図である。同図において、ICテスタ2は、デバイスプログラムを実行するプログラム実行装置3、ICテスタ2全体を制御する制御装置4、再テストを実施するか否かを判定する再テスト判定装置5、および試験対象となるデバイスを設置する2台のステーション6a、6bから構成される。

0020

このICテスタ2は、設定装置1により、デバイスプログラムの作成および後述する再テスト有効時間t等のテスト条件が設定される。

0021

また、ICテスタ2は、再テスト判定装置5の判定結果により実行中のテストを再度開始する、再テスト実施機能を有する。

0022

この再テスト実施機能とは、片方のステーション6aがテストを開始し、後にもう一方のステーション6bがテスト開始待ちの状態になった場合、テスト中のステーション6が実行中のテストを中断し、両方のステーション6が同時にテストを開始し直す機能である。

0023

例えば、図2(a)に示すように、ICテスタ2に再テスト実施機能が無い場合、時間T(このTは、1回のテストにおける測定時間を表す。)内にテスト可能なデバイスの数をA個とすると、任意の時間P内にテスト可能なデバイスの個数次式で表される。
A/T*{(P−d)+(P−t−d)} [個]
ただし、dは、あるテストが終了してから次のテストが開始するまでの時間である。

0024

また、図2(b)に示すように、ICテスタ2に再テスト機能が有る場合、任意の時間P内にテスト可能なデバイスの個数は次式で表される。
A/T*(P−t−d)*2 [個]

0025

そして、再テスト機能が無い場合のテスト可能なデバイスの個数が、再テスト機能が有る場合のテスト可能なデバイス個数より小さくなる条件は、次式で表される。
A/T*{(P−d)+(P−t−d)}<A/T*(P−t−d)*2

0026

この式より、t<T/2 という条件が導き出される。すなわち、テスト開始からの経過時間tが測定時間Tの半分に満たない場合には、再テストを行うほうが効率的となる。したがって、再テスト有効時間tを測定時間Tの半分未満に設定することにより、再テスト機能を効率的に利用できる。

0027

なお、実行するデバイスプログラム毎に、テスト開始から終了までの測定時間は異なるため、再テスト有効時間tは、設定装置1においてユーザが作成するデバイスプログラム内で任意に設定できる。

0028

次に動作を説明する。ICテスタ2の動作を、図3に示すフローチャートに基づいて説明する。

0029

まず、ユーザは、設定装置1において、実行するICテストに対応するデバイスプログラム、および再テスト実施の判定基準条件となる再テスト有効時間tを設定する。

0030

次いで、ICテスタ2の制御装置4は、シングルステーションモードもしくはマルチステーションモードのどちらでICテストを実行するかを確認し(ステップS1)、シングルステーションモードで実行する場合(ステップS1:シングル)、別途設定されるシングルモード処理を実行させる(ステップS11)。また、マルチステーションモードで実行する場合(ステップS1:マルチ)、ICテスト2は、以下の処理を順次実行する。

0031

まず、制御装置4は、設定装置1により設定されたデバイスプログラムを、プログラム実行装置3に実行開始させる(ステップS2)。そして、制御装置4は、実行中のデバイスプログラム中の再テスト機能実行命令を確認すると(ステップS3)、設定装置1により設定された再テスト有効時間tを再テスト判定装置5に設定する(ステップS4)。それとともに、制御装置4は、再テスト判定装置5よりテスト中止信号を受信するまで、そのデバイスプログラムの実行を継続する。

0032

また、再テスト有効時間tを設定された再テスト判定装置5は、その設定直後から該再テスト有効時間tのカウントダウンを開始する(ステップS5)。

0033

片方のステーション6aがテストを開始し(ステップS6:YES)、それとともに、もう一方のステーション6bがテスト開始待ちの状態になると(ステップS7:YES)、再テスト判定装置5は、カウントダウンした再テスト有効時間tが、再テストの実行が有効な時間内であるかを判定する(ステップS8)。

0034

再テスト有効時間tがカウントダウンされて0になっている場合、すなわち再テスト実行の有効時間切れの場合は(ステップS8:NO)、制御装置4は、片方のステーション6aのみのシングルステーションモードでテストを継続させる。

0035

また、再テスト有効時間が0になってない場合、すなわち再テストの有効時間内である場合(ステップS8:YES)、再テスト判定装置5は、実行中のテストを中断させるためのテスト中止信号をプログラム実行装置3へ送信する(ステップS9)。

0036

再テスト判定装置5からテスト中止信号を受信したプログラム実行装置3は(ステップS10:YES)、実行中のデバイスプログラムを中断してステップS2に処理を移行し、マルチステーションモードで全てのステーション6a、6bのテストを再度開始する。

0037

以上のように、片方のステーション6aのみがテスト中でもう一方のステーション6bがテスト開始待ちの状態、かつ再テスト有効時間内であることが判定されると、シングルステーションモードで実行中のテストを中断し、再度マルチステーションモードでテストを開始するようにICテスタ2を構成する。このことにより、時間あたりにテスト可能なデバイスの数が増加し、デバイス測定効率の向上が実現できる。

0038

また、ユーザの作成するデバイスプログラムにより再テスト有効時間を設定するため、テスト時間がそれぞれに異なるデバイスプログラムに合わせて、任意の再テスト有効時間を設定することができる。

発明の効果

0039

請求項1または4記載の発明によれば、一方のステーションのみがICテスト実行中でもう一方のステーションがテスト開始待ちの状態になった場合、あらかじめ設定された判定基準により、実行中のICテストを中断して、もう一方のステーションのテスト開始待ちの状態の解除に合わせて再テストを実行するか、もしくはそのままICテストを継続するかを判定することができる。

0040

すなわち、シングルステーションモードで実行中のICテストを中断し、再度マルチステーションモードでICテストを再開できるため、効率よくICテストを実行できる。

0041

請求項2または5記載の発明によれば、請求項1記載の発明の効果に加え、判定基準となる有効時間を、ICテスト実行時間の半分未満と設定することにより、効率よくICテストを実行できる。

0042

請求項3または6記載の発明によれば、請求項2記載の発明の効果に加え、実行するICテストに応じて判定基準となる有効時間を任意に設定することができ、さらに効率よく、ユーザの要求に応じたICテストを実行できる。

図面の簡単な説明

0043

図1本発明を適用したICテスタ2の構成を示すブロック図である。
図2マルチステーションモードで動作し、(a)再テスト機能無し、および(b)再テスト機能有りの場合の、各ステーションの状態を表すタイムチャートである。
図3ICテスタ2の動作を説明するフローチャートである。
図4マルチステーションモードで動作した場合の、各ステーション6a、6bの状態を表すタイムチャートである。
図5従来のシングルステーションモードで動作した場合の、各ステーションの状態を表すタイムチャートである。
図6従来のマルチステーションモードにおいて、片方のステーション2がテスト開始待ち状態になった場合の、各ステーションの状態を表すタイムチャートである。

--

0044

1設定装置
2ICテスタ
3プログラム実行装置
4制御装置
5再テスト判定装置
6a、6b ステーション

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