図面 (/)

この項目の情報は公開日時点(2001年4月6日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (17)

課題

異常状況発生時の真空処理装置運転方法及びウエハの処理方法を提供する。

解決手段

各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置2−1,2,3,4と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置1と、前記各プロセス処理装置3及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置の運転方法またはウエハの処理方法であって、各々前記一連のプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置を含む少なくとも2組のウエハの処理経路を有する真空処理装置の運転方法において、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、該運転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハの処理を行う。

概要

背景

従来の真空処理装置は、例えば、特開昭63−133532号公報のように搬送室処理室を接続したシステムにおいて、正常な運転状態試料処理が実施される場合、別々のウェハを別々の処理室で同時に実行したり、又はウェハを順次2つ以上の処理室を経由して処理することのできる装置及びその搬送に関するものであった。

また他の従来の真空処理装置は、特開平3−274746号公報のように2つの経路プロセス処理を同時に行う運転で、一つの経路に含まれる処理室にメンテナンス作業を実施する場合は、他の経路の処理室を過渡的に2つの経路のプロセス処理に共用する装置の運転方法に関するものであった。

さらに、特開平11−67869号公報には、各プロセス処理装置の運転有効又は運転無効であることを示す各運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段を各プロセス処理装置毎に設け、その各運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段を設け、各運転情報信号を元にして運転無効である該プロセス処理装置を使用せず、他の運転有効なプロセス処理装置を使って運転続行する装置制御手段を設けたものが開示されている。

概要

異常状況発生時の真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法を提供する。

各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置2−1,2,3,4と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置1と、前記各プロセス処理装置3及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置の運転方法またはウエハの処理方法であって、各々前記一連のプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置を含む少なくとも2組のウエハの処理経路を有する真空処理装置の運転方法において、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、該運転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハの処理を行う。

目的

本発明の目的は、少なくとも2組以上のプロセス処理装置を使って処理する真空処理装置により運転中に、どれかの処理室が故障等で使用できなくなった時に、各2組を構成するプロセス処理装置の関係に拘束されず、正常な処理室を処理経路として使って運転してより稼働率を高めることのできる真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法を提供することにある。

本発明の他の目的は、クリーニング処理エージング処理に関しても、稼働率を高めることのできる真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法を提供することにある。

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
6件

この技術が所属する分野

ライセンス契約や譲渡などの可能性がある特許掲載中! 開放特許随時追加・更新中 詳しくはこちら

請求項1

ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置運転方法であって、各々前記一連のプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置を含む少なくとも2組のウエハの処理経路を有する真空処理装置の運転方法において、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、該運転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハの処理を行うことを特徴とする真空処理装置の運転方法。

請求項2

前記一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置の2組が、それぞれウエハの第一の処理及び第二の処理を行うプロセス処理装置を含み、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が、運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、該判断で1組のプロセス処理装置のうち第二の処理を行うプロセス処理装置が運転無効の場合、該第二の処理を行うプロセス処理装置のみを切り放し、2つの第一の処理を行うプロセス処理装置と1つの第二の処理を行うプロセス処理装置とを使用して、前記一連のプロセス処理を行うための2組の処理経路を再構築し、該2組の処理経路を前記ウェハの処理に使用することを特徴とする請求項1記載の真空処理装置の運転方法。

請求項3

前記一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置の2組が、それぞれウエハの第一の処理及び第二の処理を行うプロセス処理装置を含み、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が、運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、該判断で1組のプロセス処理装置の第一の処理を行うプロセス処理装置と、他の1組のプロセス処理装置のうち第二の処理を行うプロセス処理装置が運転無効の場合、該運転無効のプロセス処理装置を切り放し、前記他の1組の第一の処理を行うプロセス処理装置と、前記1組の第二の処理を行うプロセス処理装置とを使用して、前記一連のプロセス処理を行うための1組の処理経路を再構築し、該1組の処理経路を前記ウェハの処理に使用することを特徴とする請求項1記載の真空処理装置の運転方法。

請求項4

各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置の運転方法において、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、前記プロセス処理装置に運転無効が発生した場合、該プロセス処理装置に残存ウエハがある否かの判断を行い、残存ウエハがある場合、予め設定された複数の処理条件のいずれかを選択可能とし、該選択された処理条件に従って前記残存ウエハの処理を行うことを特徴とする真空処理装置の運転方法。

請求項5

前記残存ウエハの処理条件の選択肢の1つとして、異常の発生したウエハを搬出し元のカセット回収した後異常の発生した処理経路を自動運転から切り離して処理を継続する、処理条件を含むことを特徴とする請求項4記載の真空処理装置の運転方法。

請求項6

各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置の運転方法において、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、前記プロセス処理装置に運転無効が発生した場合、該プロセス処理装置に残存ウエハがある否かの判断を行い、残存ウエハがある場合、該残存ウエハの処理条件として次の(1)〜(5)を選択可能としたことを特徴とする真空処理装置の運転方法。(1)処理中断時間からリトライして、処理を継続する。(2)異常発生したウエハについてのみ、復旧用のレシピで処理し、次のウエハからは、元のレシピで処理を継続する。(3)異常の発生したウエハを搬出し、次のウエハを搬入して処理を継続する。(4)異常の発生したウエハを搬出し、元のカセットに回収した後、異常の発生した処理経路を自動運転から切り離して処理を継続する。(5)メンテナンスモードにして、運転を中断する。

請求項7

各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置の運転方法であって、前記各プロセス処理を行うための自動運転条件を設定した後、自動運転をスタートするものにおいて、前記自動運転条件の設定において、カセットと処理室に関して複数のペア関係を固定してウエハを搬送するパラレル処理経路または、前記カセットと処理室の対応関係を固定せずウエハを空いている方の処理室へ搬送する処理経路を設定可能としたことを特徴とする真空処理装置の運転方法。

請求項8

各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置の運転方法であって、前記各プロセス処理を行うための自動運転条件を設定した後、自動運転をスタートするものにおいて、前記自動運転条件の設定において、処理経路の指定が無い場合、一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置の組として、それぞれウエハの第一の処理及び第二の処理を行うプロセス処理装置のペアを含む処理経路を自動設定することを特徴とする真空処理装置の運転方法。

請求項9

各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置の運転方法であって、前記各プロセス処理を行うための自動運転条件を設定した後、自動運転をスタートするものにおいて、前記自動運転条件の設定において、それぞれウエハの第一の処理及び第二の処理を行うプロセス処理装置の1組または2組のペアについて、1回の処理ごとに、使用するプロセス処理装置を交互に切り替えることを特徴とする真空処理装置の運転方法。

請求項10

プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、これらを制御する制御装置とで構成され、少なくとも2つ以上のプロセス処理装置が搬送処理装置に取り付けられ、該2つ以上のプロセス処理装置を使ってウェハ処理する真空処理装置の運転方法であって、前記カセット内のウエハ処理を開始する前に、2つのプロセス処理装置にダミ−ウエハを同時に2枚搬送して、エージング処理並行に行う、ことを特徴とする真空処理装置の運転方法。

請求項11

各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置によるウエハの処理方法であって、各々前記一連のプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置を含む少なくとも2組のウエハの処理経路を有する真空処理装置によるウエハの処理方法において、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、該運転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハを処理することを特徴とする真空処理装置によるウエハの処理方法。

請求項12

各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置によるウエハの処理方法において、前記前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、前記プロセス処理装置に運転無効が発生した場合、該プロセス処理装置に残存ウエハがある否かの判断を行い、残存ウエハがある場合、予め設定された複数の処理条件のいずれかを選択可能とし、該選択された処理条件に従って前記残存ウエハの処理を行うことを特徴とする真空処理装置によるウエハの処理方法。

技術分野

0001

本発明は、プロセス処理を行うプロセス処理装置と、ウェハの搬送を行う搬送処理装置で構成され、少なくとも2つ以上のプロセス処理装置を使ってウェハ処理する真空処理装置運転方法及びウエハの処理方法に関する。

背景技術

0002

従来の真空処理装置は、例えば、特開昭63−133532号公報のように搬送室処理室を接続したシステムにおいて、正常な運転状態試料処理が実施される場合、別々のウェハを別々の処理室で同時に実行したり、又はウェハを順次2つ以上の処理室を経由して処理することのできる装置及びその搬送に関するものであった。

0003

また他の従来の真空処理装置は、特開平3−274746号公報のように2つの経路のプロセス処理を同時に行う運転で、一つの経路に含まれる処理室にメンテナンス作業を実施する場合は、他の経路の処理室を過渡的に2つの経路のプロセス処理に共用する装置の運転方法に関するものであった。

0004

さらに、特開平11−67869号公報には、各プロセス処理装置の運転有効又は運転無効であることを示す各運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段を各プロセス処理装置毎に設け、その各運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段を設け、各運転情報信号を元にして運転無効である該プロセス処理装置を使用せず、他の運転有効なプロセス処理装置を使って運転続行する装置制御手段を設けたものが開示されている。

発明が解決しようとする課題

0005

前記特開昭63−133532号公報や特開平3−274746号公報の真空処理装置では、2つ以上の処理室を処理経路として使って運転している運転中に、どれかの処理室が故障等で使用できなくなった時に正常な処理室を使って処理を続行する運転及び復旧処置については、考慮されていなかった。又、2つ以上の処理室を処理経路として使って運転中にその運転を一時中断させ、中断させる迄にその運転の処理経路に使っていなかった処理室を処理経路として使った割り込み処理優先的に実行し、その割り込み処理が終了した後は一時中断させていた処理を続行させる運転する方法、手順についても考慮されていなかった。

0006

一方、特開平11−67869号公報には、各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置の運転方法であって、各々前記一連のプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置を含む少なくとも2組のウエハの処理経路を有し、前記プロセス処理を複数並行して行いウェハを処理する真空処理装置の運転方法において、運転開始修復する必要のある処理室がある場合に、正常な処理室の組を使って、装置を運転する方法、手順について記載されている。しかし、組を構成する処理室の中に正常なものがある場合でも、その組を構成する処理室全体を切り離していた。

0007

例えば、同種の処理室が接続されている場合、運転中に他方の正常な処理室を使って運転を続行するという装置の運転方法については考慮されておらず、稼働率の低い装置であった。

0008

また、プロセス処理装置内異物を除去するために行うクリーニング処理や、ウエハ処理を行う前にプロセス処理装置内をウエハ処理状態にするために行うエージング処理に関しても、稼働率を高めるという観点で十分な配慮がなされていなかった。

0009

本発明の目的は、少なくとも2組以上のプロセス処理装置を使って処理する真空処理装置により運転中に、どれかの処理室が故障等で使用できなくなった時に、各2組を構成するプロセス処理装置の関係に拘束されず、正常な処理室を処理経路として使って運転してより稼働率を高めることのできる真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法を提供することにある。

0010

本発明の他の目的は、クリーニング処理やエージング処理に関しても、稼働率を高めることのできる真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法を提供することにある。

課題を解決するための手段

0011

上記目的を達成するために、本発明は、各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置の運転方法であって、各々前記一連のプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置を含む少なくとも2組のウエハの処理経路を有する真空処理装置の運転方法において、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、該運転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハの処理を行うことを特徴とする。

0012

本発明の他の特徴は、前記一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置の2組が、それぞれウエハの第一の処理(例えばエッチング処理)及び第二の処理(例えば後処理)を行うプロセス処理装置を含み、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が、運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、該判断で1組のプロセス処理装置のうち第二の処理を行うプロセス処理装置が運転無効の場合、該第二の処理を行うプロセス処理装置のみを切り放し、2つの第一の処理を行うプロセス処理装置と1つの第二の処理を行うプロセス処理装置とを使用して、前記一連のプロセス処理を行うための2組の処理経路を再構築し、該2組の処理経路を使って前記ウェハの処理を行うことにある。

0013

本発明の他の特徴は、各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置の運転方法において、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、前記プロセス処理装置に運転無効が発生した場合、該プロセス処理装置に残存ウエハがある否かの判断を行い、残存ウエハがある場合、予め設定された複数の処理条件のいずれかを選択可能とし、該選択された処理条件に従って前記残存ウエハの処理を行うことにある。

0014

本発明の他の特徴は、各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置の運転方法であって、前記各プロセス処理を行うための自動運転条件を設定した後、自動運転をスタートするものにおいて、前記自動運転条件の設定において、カセットと処理室に関して複数のペア関係を固定してウエハを搬送するパラレル処理経路または、前記カセットと処理室の対応関係を固定せずウエハを空いている方の処理室へ搬送する処理経路を設定可能としたことにある。

0015

本発明の他の特徴は、プロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、これらを制御する制御装置とで構成され、少なくとも2つ以上のプロセス処理装置が搬送処理装置に取り付けられ、該2つ以上のプロセス処理装置を使ってウェハ処理する真空処理装置の運転方法であって、前記カセット内のウエハ処理を開始する前に、2つのプロセス処理装置にダミ−ウエハを同時に2枚搬送して、エージング処理を並行に行うことにある。

0016

本発明の他の特徴は、各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置によるウエハの処理方法であって、各々前記一連のプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置を含む少なくとも2組のウエハの処理経路を有する真空処理装置によるウエハの処理方法において、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、該運転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハを処理することにある。

0017

本発明によれば、2組以上のプロセス処理装置を使って処理する真空処理装置により運転中に、どれかの処理室が故障等で使用できなくなった時に、各2組を構成するプロセス処理装置の関係に拘束されず、正常なプロセス処理装置を処理経路として使って運転してより稼働率を高めることのできる真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法を提供することができる。

0018

また、クリーニング処理やエージング処理に関しても、稼働率を高めることのできる真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法を提供することができる。

発明を実施するための最良の形態

0019

以下、本発明の一実施例を図1図15に示す。図1は、本発明の一実施例になる真空処理装置一実施例の構成図である。この実施例の真空処理装置では、4室のプロセス処理装置が1つの搬送処理装置に接続され、処理装置にウエハを搬入する為のカセットは処理装置本体の前に設置した大気搬送装置に設置し、該カセットから1枚ずつ取り出し処理装置に搬入し処理する装置構成を示している。なお、プロセス処理装置は、4室より多く接続されても構わない。

0020

図1において、2−1〜2−4は、ウェハのプロセス処理を行うプロセス処理装置である。この処理装置としては、エッチング処理、後処理、成膜スパッタCVD、水処理等、ウエハのプロセス処理を行う処理であれば、何であっても良い。1はウェハの搬送を行う搬送処理装置であり、ロードロック室3のウエハをウエハの搬送スケジュールに従ってプロセス処理装置2−1〜2−4に搬送し、あるプロセス処理装置で処理終了したウエハを次のプロセス処理装置に搬送し、全てのプロセス処理が終了したウエハをアンロードロック4室に搬送する。

0021

ロードロック室3は大気搬送装置6にあるウエハを搬送処理装置に搬入する室、アンロードロック室4は真空処理室にあるウエハを大気搬送装置6に搬出する室である。5は搬送処理装置内に設置されウェハの搬送を行う真空ロボット、6はウェハを収納したカセットを設置するための大気搬送装置、7は処理するウェハを収納したカセットであり製品用ウエハを収納したカセットやクリーニング用ウエハを収納したカセットである。8は大気ロボットであり、大気搬送装置上のカセット内のウェハをカセットから搬出し、ロードロック室3に搬入し、またアンロードロック室4のウエハを元のカセットに戻す。11は、装置全体を制御する主制御部であり、表示手段13、入力手段14を備えている。オペレーターは、この表示手段13、入力手段14を使って主制御部11に対して運転条件の設定を行った後運転の開始指示を行う。

0022

19−1〜19−4は、プロセス処理装置2−1〜2−4の運転有効/無効であることを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段である。本実施例では、プロセス処理装置に設けているが、どこにあっても良い。

0023

また、補助操作盤22内にある表示手段26、入力手段25を使って、真空処理装置を保守メンテナンスするための操作をすることができる。この補助操作盤22は可搬型操作端末(例えばノートハ゜ソコン)であり、真空処理装置の近くまで持ち運び装置状態目視しながら表示手段26に表示される装置情報(例えば入出力ビットのON/OFF情報、エラー情報等)を保守、メンテナンスの操作に活用でき、保守、メンテナンスの操作性を向上させているものである。この補助操作盤22では、主制御部11と同じ機能を有しているが、オペレータに対する安全性を確保する為に主制御部11と補助操作盤22とで同時に操作する場合は、片方しか操作入力できないように誤操作防止機能を設けてある。

0024

図2は、本実施例の制御装置の構成図を示す。本実施例は、装置全体の主制御装置11が搬送処理装置1に搭載されている場合を示す。制御手段としては、本発明の特徴に関係する部分のみを抜き出して記述しており、装置を動かす上での必要な入出力制御部分(DI/O、AI/O)については、記述していない。尚、装置全体の主制御部11は、搬送処理装置以外にあっても構わない。また表示手段13、入力手段14は主制御部11とは別の制御ユニットとして構成しても良い。

0025

12は、中央制御手段であり例えば、CPU(Central Processor Unit)である。13は、運転状態、運転条件の設定内容、運転の開始指示/終了の表示を行う表示手段であり、例えばCRTである。14は、運転条件の設定、運転の開始指示入力プロセス処理条件、保守やメンテナンスの操作入力等を行う入力手段であり、例えばキーホ゛ート゛である。16は、真空処理装置内でのウェハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段であり、例えばRAM(Random Access Memory)である。このウェハの処理順序は、運転開始前に表示手段13、入力手段14とを使ってオペレータによって入力されたテ゛ータが記憶される。17は、プロセス処理装置2−1〜2−4の運転有効/無効であることを示す運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段であり、例えばRAMである。

0026

15は装置制御手段であり、上記プロセス処理装置2−1〜2−4の運転有効/無効であることを示す運転情報信号状態を判断し、自動運転中にプロセス処理装置2−1〜2−4のどれかが運転不可となっても該プロセス処理装置を使用せず、他のプロセス処理装置を使って運転続行する処理手順を記憶する手段であり、例えばROM(Read Only Memory)である。上記13〜17は、中央制御手段12により制御される。

0027

運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段19−1〜19−4として、
1)プロセス処理装置の装置電源遮断信号を用いる、あるいは
2)プロセス処理装置の使用の有効/無効を設定する運転切り替え信号(例えば、切り替えスイッチ)を用いる、あるいは
3)プロセス処理装置の使用の有効/無効を示す運転制御信号として、オペレータが設定入力した入力情報を用いる、ことができる。

0028

20と21は、装置全体を制御する主制御部11と補助操作盤22とを接続する通信手段である。補助操作盤22、25、26は上述した用途に使用するものである。24は補助操作盤での端末機能を制御する処理手順を記憶した端末制御手段である。23は上記21、24から26を制御する中央制御手段であり、例えば、CPU(Central Processor Unit)である。

0029

通常の運転にあたっては、オペレータは、製品用ウエハを収納したカセット7−1(又は7−2)とクリーニング用ウエハを収納したカセット7−3を大気搬送装置6に設置する。表示手段13、入力手段14を使って運転条件の設定を行った後運転の開始指示を行う。運転が開始されるとウェハの搬送が開始しプロセス処理装置2−1(2−2〜2−4も含む)に搬送され、プロセス処理を行って元のカセットに戻される。元のカセット内のウェハが全て処理されるとそのカセットの回収の為にこの図に示していないフ゛サ゛ーを鳴らし、オペレータにカセット回収要求通報し、オペレータがカセットを取り除く。

0030

製品用ウエハを収納したカセットの処理が終了すると、カセット7−3からクリーニング用ウエハをプロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に搬出し、クリーニング処理を行ってカセット7−3に戻す。この場合、1枚のクリーニング用ダミーウエハを使って順次プロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に搬出し、クリーニング処理を行うことも可能であり、また別の方法としてプロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に1枚づつ搬送し、クリーニング処理を同時に行うことも可能である。また前述のクリーニング処理は製品用ウエハを収納したカセットの処理が終了すると、カセット7−3からクリーニング用ダミーウエハをプロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に搬出し、クリーニング処理を行ったが、クリーニング用ダミーウエハをプロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に搬出しないでクリーニング処理を行うことも可能である。

0031

また、以上のように1カセット分の製品用ウエハの処理終了後にクリーニング処理を行うことに加えて、クリーニング周期として処理した製品ウエハ枚数毎(この枚数は適宜設定可能)にカセット7−3からクリーニング用ダミーウエハをプロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に搬出し、クリーニング処理を行うことも可能である。またクリーニング周期として処理した製品ウエハの枚数毎(この枚数は適宜設定可能)にカセット7−3からクリーニング用ダミーウエハをプロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に搬出しないで、クリーニング処理を行うことも可能である。また、製品用ウエハを収納したカセットの処理が予め設定されたカセット数実施後に、カセット7−3からクリーニング用ダミーウエハをプロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に搬出し、クリーニング処理を行うことも可能である。

0032

次に、製品ウエハを収納したカセットの処理開始前にカセット7−3からダミーウエハをプロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に搬出しないでエージング処理後に上記ウエハ処理を行うことも可能である。また、製品ウエハを収納したカセットの処理開始前にカセット7−3からダミーウエハをプロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に搬出し、エージング処理した後ダミーウエハをカセット7−3に戻し、本エージング処理を予め設定したウエハ枚数分実施後に上記ウエハ処理を行うことも可能である。

0033

尚、運転条件設定の1部である処理経路の設定においては、その処理に使用するプロセス処理装置をウェハの処理する順序にプロセス処理装置の記号等を使って設定する。

0034

図3は、本実施例の運転情報の信号図である。各プロセス処理装置毎に運転の有効/無効を示す情報が記憶される。この場合では、有効な場合は、1を、無効な場合は、0を示すが区別できる内容であれば、記号や数字であっても良い。この情報は、運転情報信号発生手段19−1〜19−4の信号状態が反映されたものであり、運転情報信号記憶手段17に記憶される。

0035

図4は、本実施例の処理順序情報図である。運転条件設定の一つとして、オペレータが運転開始前に表示手段13、入力手段14とを使ってウェハの処理する順序を設定した情報である。この情報は処理順序情報記憶手段に記憶される。

0036

このウエハの処理順序の一例を、運転モードとして図5に示す。以下のこの運転モードの説明ではプロセス処理装置2−2と2−3は同一のプロセス処理を(この実施例ではエッチング処理とする)、プロセス処理装置2−1と2−4は同一のプロセス処理を(この実施例では後処理とする)するものとして説明する。またプロセス処理の実施例としては、プロセス処理装置2−2又は2−3を使ったエッチング処理を行った後、プロセス処理装置2−1又は2−4を使った後処理を行うものとする。尚、1カセット分の製品用ウエハの処理の後にカセット7−3からクリーニング用ウエハをプロセス処理装置2−3(又2−2)からプロセス処理装置2−4(又は2−1)に搬送し、クリーニング処理を行うクリーニング処理を行う運転について説明する。

0037

ただし、本発明は、図5の運転モードに限定されるものではなく、ウエハの処理条件によってはエッチング処理のみであっても良い。また、プロセス処理装置2−2と2−3及びプロセス処理装置2−1と2−4は、エッチング処理、後処理、成膜、スパッタ、CVD、水処理等、ウエハのプロセス処理を行う処理であれば、どのような組み合わせであっても良い。また、同一のプロセス処理を行う処理室の数も、実施例のものに限定する必要は無い。

0038

1)1カセット1レシピ並列運転
同一のプロセス処理条件(以下では、プロセス処理条件をレシピと称する)で処理するウエハが収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハから、順番にカセットから抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理をするものである。ウエハは、プロセス処理装置2−2でエッチング処理した後プロセス処理装置2−1で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Aという)と、プロセス処理装置2−3でエッチング処理した後プロセス処理装置2−4で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Bという)の両方を使って処理される。

0039

この実施例での処理順序は、
経路A:カセット7−1→プロセス処理装置2−2→プロセス処理装置2−1→カセット7−1
経路B:カセット7−1→プロセス処理装置2−3→プロセス処理装置2−4→カセット7−1
の組み合わせとしたが、
経路C:カセット7−1→プロセス処理装置2−2→プロセス処理装置2−4→カセット7−1
経路D:カセット7−1→プロセス処理装置2−3→プロセス処理装置2−1→カセット7−1
の組み合わせであっても良い。

0040

ウエハの処理は、1枚目のウエハは経路A、2枚目は経路B、3枚目のウエハは経路A、4枚目は経路B、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ迄処理を行う。

0041

図6は、本実施例の装置運転フロー図を示す。オペレータは運転開始前に処理装置として構成されているプロセス処理装置の内、故障等で運転に使用できない、又は保守(プラズマクリーニングも含む)の為使用しないプロセス処理装置があるか否かを判断する(30)。使用できない(又は、使用しない)プロセス処理装置があれば、運転情報信号発生手段19を用いて図3に記述した状態になるように設定する(32)。この設定の方法の一つとして、
1)プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる場合は、該プロセス処理装置の装置電源供給電磁開閉器をOFFする。これにより、遮断信号が発生し、運転情報信号記憶手段17に伝えられ、図3に記載された情報として記憶される。

0042

2)プロセス処理装置の使用の有無を設定する運転切り替え信号(例えば、切り替えスイッチ)を用いる場合は、該プロセス処理装置に割り当てられた切り替えスイッチを有効又は無効の状態に設定する。これにより、切り替え信号確定し、運転情報信号記憶手段17に伝えられ、図3に記載された情報として記憶される。

0043

3)プロセス処理装置の使用の有効/無効を示す運転制御信号として、オペレータが設定入力した入力情報を用いる場合は、オペレータは、該プロセス処理装置に割り当てられた設定情報を入力手段14より入力する。これにより、設定情報が確定し、運転情報信号記憶手段17に伝えられ、図3に記載された情報として記憶される。装置接続構成を決定した後、自動運転条件を設定し(34)、自動運転をスタートする(36)。

0044

自動運転条件の設定(34)では、ウェハの処理する順序を、以下のように製品処理条件として設定する。

0045

1)ウエハの運転モードを選択する。

0046

「1カセット1レシピ並列」、「2カセット1レシピ並列」、「2カセット2レシピ並列」、「1カセット1レシピ直列」のいずれかを選択
2)ウエハの搬送経路を設定する。

0047

カセット毎にウエハの処理経路をプロセス処理装置の記号を使ってパラレルまたはシリーズ処理を設定する。代表的な設定例を以下に示す。(ウエハ処理経路は、前述のように組み合わせが可能である)
2−1)パラレル処理の場合:
カセット7−1:E1→A1、カセット7−1:E2→A2
カセット7−2:E1→A1、カセット7ー2:E2→A2
E1:プロセス処理装置2−2、E2:プロセス処理装置2−3
A1:プロセス処理装置2−1、A2:プロセス処理装置2−4
2−2)シリーズ処理の場合:
カセット7−1:E1→E2→A1
カセット7−2:E2→E1→A2
3)プロセス処理室毎にプロセス処理条件(プロセスレシピともいう)を設定する。

0048

図7は、自動運転条件の設定(34)の一例としての、ウエハの搬送経路を指定する方法の説明図である。図7のAは、カセットと処理室に関して2組のペア関係を固定してウエハを搬送するパラレル処理を設定したものである。図7のBは、カセットと処理室の対応関係を固定せず、ウエハを空いている方の処理室へ搬送する場合を示している。

0049

なお、自動運転条件の設定において、処理経路の指定が無い場合、一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置の組として、それぞれウエハのエッチング及び後処理を行うプロセス処理装置のペアを含む処理経路を自動設定するようにしても良い。

0050

また、それぞれウエハのエッチング及び後処理を行うプロセス処理装置の1組または2組のペアについて、1回の処理ごとに、使用するプロセス処理装置を交互に切り替え、各プロセス処理装置の消耗度を揃えるようにしても良い。

0051

以上の製品処理条件を設定した後、自動運転をスタートする(36)。図8は、本実施例の自動運転のフロー図を示す。自動運転を開始すると、処理すべきウェハを全て搬送したかを判断し、搬送済であれば処理が終了し、搬送が必要であれば、自動運転処理に進む(40)。自動運転中に異常等が発生し、運転が一時中断した状態にあるか否かを判断する(42)。異常が無ければ、運転を続行する(44へ)。運転に使用できないプロセス処理装置がある場合は、該プロセス処理装置を使わないで運転続行が可能か否かをオペレータが判断する(70)。続行が不可能な場合は、オペレータが自動運転の中止設定を行うことにより、装置は自動運転停止処理を行う(90)。続行が可能な場合でも、プロセス処理装置にウェハが残っている場合、真空ロボットのハント゛上にウェハが残っている場合、ロートロック室アンロート゛ロック室にウェハが残っている場合等がある。

0052

処理装置内に残存しているウェハの処置例を以下に示す。まず、装置内に残存ウェハがあるか否か判断する(72)。装置内に残存しているウエハをそのままにして運転を継続するか否かを判断する(73)。

0053

すなわち、オペレーターは、次の(1)、(2)のいずれかを選択する。

0054

(1)装置内に残存しているウエハをそのままにして運転を継続する。

0055

(2)装置内に残存しているウエハをそのままにして運転を継続することはせず、必要な処置を行って運転を再開する。これは自動運転中に異常が発生した時点では処理装置内の全ウェハの搬送・処理のスケシ゛ュールが確定しているため、異常が発生した機器にあるウェハを取り出したカセット7に戻さないとウェハの搬送・処理のスケシ゛ュールが狂ってしまい、自動運転の一時中断状態からの再開、自動運転続行ができなくなるためである。

0056

装置内に残存しているウエハをそのままにして運転を継続する場合は、該ウエハを該ウエハを元のカセットに搬出したようにウエハ情報の変更を行う(77)。すなわち、異常が発生した機器内に残存しているウェハを元のカセットに搬出しないで該ウエハを異常が発生した機器内に残存させたまま、該ウエハを元のカセットに搬出したようにウエハ情報の変更を行なう。例えば、異常発生で処理装置内に残存しているウエハをそのままにしておき、該ウエハを元のカセットに搬出したようにウエハ情報の変更を行なった上で、仕掛かりのウエハについて一時中断状態からの再開、自動運転を続行させひとまとまり(1ロット)処理を終了させ、自動運転を終了させた後、残存しているウエハを元のカセットに戻す場合に用いられる。なお。他の実施例として、異常が発生した機器内に残存しているウェハを元のカセットに搬出しないで該ウエハを異常が発生した機器内に残存させたまま仕掛かりのウエハについて一時中断状態からの再開、自動運転を続行させひとまとまりの処理を終了させ、自動運転を終了させた後、残存しているウエハを元のカセットに戻すことも可能である。

0057

装置内に残存しているウエハをそのままにして運転を継続しない場合は、残存しているウェハのうちエッチンク゛処理をするか否かを判断する(74)。

0058

エッチンク゛処理をする場合には、残存ウエハの処理条件を選択する(75)。残存ウエハの処理条件としては、例えば図9に示すように、予め5つの選択肢を用意しておく。

0059

(1)処理中断時間からリトライして、処理を継続する。

0060

(2)異常発生したウエハについてのみ、復旧用のレシピで処理し、次のウエハからは、元のレシピで処理を継続する。

0061

(3)異常の発生したウエハを搬出し、次のウエハを搬入して処理を継続する。

0062

(4)異常の発生したウエハを搬出し、元のカセットに回収した後、異常の発生した処理経路を自動運転から切り離して処理を継続する。

0063

(5)メンテナンスモードにして、運転を中断する。

0064

図8に戻って、処理室内に残存しているウェハのうち、エッチンク゛処理の途中で異常が発生した場合は、残りのエッチンク゛処理を実施した後(76)、ウェハを元のカセットに戻す(78)。

0065

これは。できうる限りウェハを救済するために行なうものである。また真空ロボットのウェハハント゛上にウェハが残っている場合や、ロート゛ロック室アンロート゛ロック室にウェハが残っている場合は、機器個別の操作(ロック室の排気/リーク、ウェハの搬送)を行なって、そのウェハを元のカセットに戻す(78)。

0066

以上のように、異常の発生した機器にあったウェハは必要な処置を実施し元のカセットに戻した後、一時中断していた自動運転を再開する操作を行なう。このようにすることで異常が発生した機器(処理室や真空ロボット等)にあったウェハのトラキンク゛情報は、正常な経路で処理されたのと同等となり、自動運転が再開できることになる。以上のような処理装置内に残存していたウェハの処置を行なった後、使用しないプロセス処理装置に対して図6の(32)にて示した内容と同じ運転情報信号発生手段の切り替え操作(80)を行う。異常発生情報をリセットし(82)、自動運転を続行する。

0067

正常な運転状態では、次のウェハの搬送経路を処理順序情報記憶手段16に記憶されてある情報を読み出し(44)、運転情報信号記憶手段17に記憶されてある情報と整合処理搬送順路を決定する(46)。決定した搬送順路はカセットより搬出するウェハ毎に搬送順路テ゛ータを持っても良いし、処理順序情報記憶手段16とは別の処理順序情報テーフ゛ルを作成し、ウェハを搬送する際には、このテーフ゛ルを参照するようにしても良い。搬送順路が決定すると大気ロボット8はカセット7よりウェハを搬出し(48)、上記決定した搬送順路に登録されてあるプロセス処理装置に搬送し(50)、ウェハの処理を行う(52)。

0068

このウェハ搬送処理及びプロセス処理で異常が発生した場合は、引き続き自動運転を継続する為に処理続行可能な処理はその個々の処理を終了させるまで実行した後、自動運転を一時中断状態にする。例えばN枚目のウェハのエッチンク゛処理中であれば、そのN枚目のウェハのエッチンク゛処理が終了するまでエッチンク゛処理を継続し、終了した時点で自動運転を一時中断する。また真空ロボット5によるウェハ搬送中に他の処理で異常が発生したら、真空ロボット5は、所定の場所へのウェハ搬送を終了した時点で自動運転を一時中断する。この後異常発生したことを示す異常発生情報(図示せず)を記憶させた後、装置を一時中断状態にオペレータに中断したことを表示手段13に表示するとともに図示しないフ゛サ゛ーを鳴らす。この後(42)に戻り、所定のフローで処理する。

0069

次に、図10で本発明によるクリーニング運転のフローを説明する。最終ウエハをカセット7−1に搬入されると、クリーニング用ウエハがカセット7−3からロードロック室3に搬入される(図10−A)。次に、プロセス処理装置2−2内にあった最終ウエハがプロセス処理装置2−1に搬送されてあれば、クリーニング用ウエハをプロセス処理装置2−2に搬送し、クリーニング処理を開始させる(図10−B)。

0070

プロセス処理装置2−3でのクリーニング処理が終了すると、クリーニング用ウエハをプロセス処理装置2−3からプロセス処理装置2−4に搬送し、クリーニング処理を行う。この時迄に次の製品用カセット7−1が設置されてあれば、カセット7−1から製品用ウエハの2枚目をプロセス処理装置2−2に搬送し、プロセス処理を行う。プロセス処理装置2−4でのクリーニング処理が終了すると、クリーニング用ウエハをロードロック室4に戻す。(図10−C)。又、カセット7−1内の全てのウエハの処理終了するとカセット7−1の処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす。

0071

カセット7−1の処理が全て終了したら、カセット7−2の処理を行う。また、プロセス処理装置2−2でのクリーニング処理が終了すると、クリーニング用ウエハをプロセス処理装置2−2からプロセス処理装置2−1に搬送し、クリーニング処理を行う。クリーニング処理が終了すると、クリーニング用ウエハをカセット7−3に戻す。

0072

以上のようにカセット7−2についてもカセット7−1の場合と同じ順序で処理を行い、カセット7−2内の全てを処理終了するとカセット7−2の処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす(図10−D)。

0073

以降この運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する場合は、主制御部11から運転終了の操作入力を行うことで運転が終了する。

0074

処理を終了する方法として、以下の5モードがある。

0075

ア)ウエハ供給停止:処理中のカセットからのウエハ取り出しを中止する。

0076

(2カセットを1ロットとして運転している場合は、指定した方のカセットからのウエハ取り出しを中止する。)
イ)カセット供給停止:現在処理中のカセット内のウエハを全て処理終了した後、その処理終了迄に設置されてあったカセットの処理を中止する。

0077

(2カセットを1ロットとして運転している場合は、指定した方のカセット内のウエハを全て処理終了した後、その時迄に設置されてあったカセットの処理を中止する。)
ウ)サイクル停止:現在実行中のプロセス処理、排気、リーク、搬送等の動作終了後その場で停止する。

0078

エ)処理室一時停止指定処理室について、現在処理中のプロセス処理終了後停止する。この場合は、運転の再開操作により一時停止した状態から運転を再開することができる。またその処理室のみ手動操作は可能である。

0079

オ)即停止:実行中の全ての動作を即時停止する。

0080

処理終了に当たってはいずれの方法によっても良い。

0081

2) 2カセット1レシピ並列運転
同一のプロセス処理条件(レシピ)で処理するウエハが収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハから順番に抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理をするものである。この場合、カセットから抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理をする運転が前記の「1カセット1レシピ並列運転」の場合と異なる。前記の「1カセット1レシピ並列運転」の場合は、同一カセットから順次ウエハを抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理を実施し、そのカセットのウエハを全て終了した後次のカセットのウエハの処理に移ったが、本「2カセット1レシピ並列運転」では、カセット7−1とカセット7−2から交互にウエハを抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理を実施する。ウエハの処理経路は前記の「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同様に、プロセス処理装置2−2でエッチング処理した後プロセス処理装置2−1で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Aという)と、プロセス処理装置2−3でエッチング処理した後プロセス処理装置2−4で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Bという)の両方を使って処理する。

0082

この実施例での処理順序の経路A、Bもしくは経路C、Dについては前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同じである。

0083

ウエハの処理は、1枚目のウエハはカセット7−1からの1枚目を経路A、2枚目はカセット7−2からの1枚目を経路B、3枚目のウエハはカセット7−1からの2枚目を経路A、4枚目はカセット7−2からの2枚目を経路B、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ迄処理を行う。カセット7−1もしくはカセット7−2内の全てのウエハを処理終了するとカセット7−1(または7−2)の処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす。この終了したカセットが取り除かれ新しいカセットが設置されるまでは、他方のカセット側の処理のみ継続されている。新しいカセットが設置されると前記のようにカセット7−1と7−2から交互ににウエハを抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理を実施する。以降この運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する場合は、主制御部11から運転終了の操作入力を行う事で運転が終了する。終了方法は前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同じである。又、クリーニング処理については、上記1)と同様である。

0084

3)2カセット2レシピ並列運転
この運転では、カセット7−1とカセット7−2とのウエハ処理レシピが異なる事によりプロセス処理装置での処理時間が異なることがある。この場合、カセット7−1とカセット7−2からのウエハ搬出は交互ではなく、プロセス処理装置での処理が終わり、他のプロセス処理装置へウエハを搬送した後次のウエハを該プロセス処理装置に搬送する処理以外は前記「2カセット1レシピ並列運転」と同じある。該ウエハの又、クリーニング処理については、上記1)と同様である。

0085

4)1カセット1レシピ直列運転
この運転では、同一のプロセス処理条件(レシピ)で処理するウエハが収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハから順番にカセットから抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理をすることは前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同じである。ところがウエハの処理経路は前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と異なる。本「1カセット1レシピ直列運転」では、ウエハはプロセス処理装置2−2(もしくはプロセス処理装置2−3)でエッチング処理した後、更にプロセス処理装置2−3(もしくはプロセス処理装置2−2)でエッチング処理した後、プロセス処理装置2−1(もしくはプロセス処理装置2−4)で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Eという)で処理する。

0086

ウエハの処理は、1枚目のウエハは経路E、2枚目は経路E、3枚目のウエハは経路E、4枚目は経路E、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ迄処理を行う。カセット7−1内の全てを処理終了するとカセット7−1の処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす。

0087

この時迄にカセット7−2が設置されてあれば、カセット7−1の処理終了に引き続きカセット7−2の処理に移る。カセット7−2についてもカセット7−1の場合と同じ順序で処理を行い、カセット7−2内の全てウエハを処理終了するとカセット7−2の処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす。この時迄にカセット7−1が設置されてあれば、カセット7−2の処理終了に引き続きカセット7−1の処理に移る。以降この運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する場合は、主制御部11から運転終了の操作入力を行う事で運転が終了する。終了方法は前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同じである。又、クリーニング処理については、上記1)と同様である。

0088

以上、1)から4)の運転方法は、代表事例について説明したもので、カセット、レシピと、並列/直列運転の組み合わせとにより他の運転方法が考えられ、本発明は上記1)から4)の運転方法に限定されるものではない。

0089

図11は、異常発生後の自動経路変更の処理図を示す。図11のAは図5の「1カセット1レシピ並列運転」の運転モードであり、ウエハの搬送経路が次の様になっている。

0090

カセット7−1:E1→A1及びE2→A2
カセット7−2:E1→A1及びE2→A2
ここで、E2では(N)枚目のウエハがエッチング処理中でA1では(N−1)枚目のウエハが後処理中の時に、図11のBに示すようにA2で異常が発生すると、以降は運転モードの処理経路からA2を使用しないで、運転を続行する。すなわち、図11のCに示すようにウエハの後処理はすべてA1で処理する。

0091

カセット7−1:E1→A1及びE2→A1
カセット7−2:E1→A1及びE2→A1にて運転できる。

0092

この実施例によれば、「1カセット1レシピ並列運転」時に、1レシピ運転を構成する1つのペアの処理室のいずれか1つが故障した場合、ペア関係を解除し、1つのペアを構成していた有効な処理室を、他のペアを構成していた処理室と組み合わせて、新たな搬送経路を構成して処理するので、故障時の効率低下を低く抑えることが出来る。

0093

たとえば、故障した処理室が後処理室であり、エッチング処理に比べて後処理の所要時間が1/2であったとすると、故障していない2つの処理室と1つの後処理室を使うことで、全体の処理時間に殆ど影響を及ぼすことなく、処理を行うことが出来る。

0094

また、前記判断で1組のプロセス処理装置のエッチング処理を行うプロセス処理装置と、他の1組のプロセス処理装置のうち後処理を行うプロセス処理装置が運転無効の場合、運転無効のプロセス処理装置を切り放し、他の1組のエッチング処理を行うプロセス処理装置と、1組の後処理を行うプロセス処理装置とを使用して、一連のプロセス処理を行うための1組の処理経路を再構築し、この1組の処理経路を使って前記ウェハの処理を行うようにしても良い。

0095

さらに、図12は、復旧レシピのリトライを説明する図である。図12のAは図5の「1カセット1レシピ並列運転」の運転モードである。図12のBに示すように、処理室(E2)に異常が発生した場合、オペレーターは、次の残存ウエハの処理条件のいずれかを選択し、次の様なリトライを行う。

0096

(1)処理中断時間からリトライして、処理を継続する。

0097

(2)異常発生したウエハについてのみ、復旧用のレシピで処理し、次のウエハからは、元のレシピで処理を継続する。

0098

(3)異常の発生したウエハを搬出し、次のウエハを搬入して処理を継続する。

0099

(4)異常の発生したウエハを搬出し、元のカセットに回収した後、異常の発生した処理経路を自動運転から切り離して処理を継続する。

0100

(5)メンテナンスモードにして、運転を中断する。

0101

このように、異常発生時、機械的に処理するのではなく、オペレーターがエラーのないように応じて残存ウエハの処理条件を選択できるため、装置の状況に即した適切な回復処置を採用することができる。

0102

オペレーターの判断を助けるために、異常発生時に真空処理装置の状態に関する出来るだけ多くの情報を、表示手段13、26に表示するのが望ましい。

0103

なお、残存ウエハの処理条件は、上記した5つに限定されるものではなく、必要に応じて適宜変更すればよい。

0104

次に、図13は、パラレル処理時にA2で異常が発生したことに伴う、邪魔なウエハーの回収を説明する図である。図13のAは図5の「1カセット1レシピ並列運転」の運転モードである。図13のBにおいて、カセット7−1から異常が発生した処理室(E2)に搬送予定のウエハは、真空ロボット5を使って、図13のCに示すように、アンロードロック室4を経由して元のカセットカセット7−1に戻される。そして、図13のDに示すように、運転モードの処理経路から処理室E2とA2を切り離した状態で、運転継続する。

0105

次に、図14は、メンテナンスモードからの自動運転復帰を説明する図である。図14のAは図5での「1カセット1レシピ並列運転」の運転モードであり、ウエハの搬送経路が次の様になっている。

0106

カセット7−1:E1→A1及びE2→A2
カセット7−2:E1→A1及びE2→A2
ここで、E2では(N)枚目のウエハがエッチング処理中であり、A1では(N−1)枚目のウエハが後処理中の時に、図14のBに示すように処理室E2で異常が発生したものとする。この状態で、エッチング処理は終了し、A1の(N−1)枚目のウエハは後処理終了後、アンロードロック室4に搬出しないで自動運転を一時中断する。

0107

その後、図14のCに示すように、異常が発生した処理室E2のウエハをカセット7−2に回収する。そして、E2、A2については図8の運転情報信号発生手段による切替操作(ステップ80)を行い、図3で示したようにプロセス処理装置4(A2)の運転情報を「無効:0」とする。この後異常発生情報をリセット(図8の82)し、自動運転を継続する。

0108

再開後は、図14のDのようにA2の(N−1)枚目のウエハはアンロードロック室4に搬送され、以降は運転モードの処理経路からE2、A2を使用しないで、運転を続行する。

0109

次に、運転情報を「無効:0」としたプロセス処理装置4(A2)については、補助操作盤22を使って異常原因を究明する為に、プロセス処理装置4(A2)に対して機器動作を行う為の操作入力が行える。例えば、プロセス処理装置4(A2)内の本図に示していないウエハ押し上げ操作を行い動作を確認する。

0110

このような操作により異常原因を対策でき、「無効:0」としたプロセス処理装置4(A2)をウエハの処理経路に復帰させる。

0111

上記実施例では、自動運転中にE2とA2を自動運転処理経路から切り離す手段として運転停止操作により停止指示を出すことで切り離しを行ったが、別の方法として処理装置内に組み込んだ検出器の機能によって停止指示を出すこともできる。一例としては、処理装置内に組み込んだ異物モニタ装置からの異物測定モニタ値が運転前に設定した設定値超過したことを検知し、この超過した信号をもって自動運転中にE2とA2に停止指示を出すことで運転停止操作と同じ機能を行える。

0112

次に、図15は、シリーズエージングを説明する図である。エージングウエハは、図15のAに示すとおりシリーズに搬送してエージングを進めても良いし、Bに示すとおり同時に2枚、搬送してエージングを並行して進めても良い。エージングを並行して行うことにより、エージングの時間を短縮することができる。

0113

以上述べたとおり、本発明の実施例によれば、自動運転中にその処理に使用していない処理室を使った処理、及びその処理室への操作ができ片肺運転を実行することができる。

0114

図16は、本発明の別の一実施例あり、プロセス処理装置が搬送処理装置に4室接続され、処理装置にウエハを搬入する為のカセットは処理装置本体内のロードロック室3Aに設置し、カセットから1枚ずつ取り出し処理装置に搬入し処理する装置構成図を示す。プロセス処理装置がこれ以上接続されても構わない。装置構成としては図1に示す構成からウェハを収納したカセットを設置するための大気搬送装置6、大気ロボット8を削除したものである。ウエハのカセットからの搬出がロードロック室3Aからとなり、カセットへの収納がアンロードロック室4Aとなる以外の各機器の機能及び構成は図1と同じである。

0115

また、クリーニング処理としては、クリーニング用ウエハを収納したカセットをロードロック室3A(又はアンロードロック室4A)に設置し、クリーニング用ウエハをプロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に搬出し、クリーニング処理を行って元のカセットに戻す。

0116

また運転モードにおいては、
1)1カセット1レシピ並列運転
同一のプロセス処理条件(レシピ)で処理するウエハが収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハから順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処理をするものである。ウエハは、プロセス処理装置2−2でエッチング処理した後プロセス処理装置2−1で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Aという)と、プロセス処理装置2−3でエッチング処理した後プロセス処理装置2−4で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Bという)の両方を使って処理する。

0117

この実施例での処理順序は
経路A:ロードロック室3A内カセット7−1A→プロセス処理装置2−2→プロセス処理装置2−1→アンロードロック室4A内カセット7−2A
経路B:ロードロック室3A内カセット7−1A→プロセス処理装置2−3→プロセス処理装置2−4→アンロードロック室4A内カセット7−2A
又は、
経路C:ロードロック室3A内カセット7−1A→プロセス処理装置2−2→プロセス処理装置2−4→アンロードロック室4A内カセット7−2A
経路D:ロードロック室3A内カセット7−1A→プロセス処理装置2−3→プロセス処理装置2−1→アンロードロック室4A内カセット7−2A
の組み合わせであっても良い。また上記処理順序では処理したウエハはアンロードロック室4A内カセット7−2Aに戻したがウエハを取り出したロードロック室3A内カセット7−1Aに戻すこともできる。

0118

本実施例では経路Aと経路Bを並行してロードロック室3A内のカセット7−1Aから抜き出したウエハはアンロードロック室4A内のカセット7−2Aに戻す処理の例を示す。ウエハの処理は、1枚目のウエハは経路A、2枚目は経路B、3枚目のウエハは経路A、4枚目は経路B、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ迄処理を行う。ロードロック室3A内カセット7−1A内の全てを処理終了するとロードロック室内カセットとアンロードロック4A室内カセット7−2Aの処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす。次に新たな未処理ウエハの入ったカセットをロードロック室3Aに、空のカセットをアンロードロック室4A設置して、以降この運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する場合は、主制御部11から運転終了の操作入力を行う事で運転が終了する。終了方法は前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同じである。

0119

2)2カセット1レシピ並列運転
同一のプロセス処理条件(以下では、プロセス処理条件をレシピと称する)で処理するウエハが収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハから順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処理をするものである。

0120

前記の「1カセット1レシピ並列運転」の場合は、同一カセットから順次ウエハを抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処理を実施し、そのカセットのウエハを全て終了した後次のカセットのウエハの処理に移ったが、本「2カセット1レシピ並列運転」では、ロードロック室3A内のカセット7−1Aとアンロードロック室4A内のカセット7−2Aから交互にウエハを抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処理を実施する。ウエハの処理経路は前記の「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同様に、プロセス処理装置2−2でエッチング処理した後プロセス処理装置2−1で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Aという)と、プロセス処理装置2−3でエッチング処理した後、プロセス処理装置2−4で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Bという)の両方を使って処理する。

0121

この実施例での処理順序の経路A、Bもしくは経路C、Dについては前記前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同じである。

0122

ウエハの処理は、1枚目のウエハはロードロック室3A内のカセット7−1Aからの1枚目を経路A、2枚目はアンロードロック室内のカセットからの1枚目を経路B、3枚目のウエハはロードロック室3A内のカセット7−1Aからの2枚目を経路A、4枚目はアンロードロック室4A内のカセット7−2Aからの2枚目を経路B、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ迄処理を行う。ロードロック室3A内もしくはアンロードロック室4Aカセット7−2A内の全てのウエハを処理終了するとロードロック室3A内(またはアンロードロック室4A内)カセットの処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす。この終了したカセットが取り除かれ新しいカセットが設置されるまでは、他方のカセット側の処理のみ継続されている。新しいカセットが設置されると前記のようにロードロック室3A内とアンロードロック室4A内カセットから交互ににウエハを抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処理を実施する。以降この運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する場合は、主制御部11から運転終了の操作入力を行う事で運転が終了する。終了方法は前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同じである。

0123

3)2カセット2レシピ並列運転
この運転では、ロードロック室3A内のカセット7−1Aとアンロードロック室4A内のカセット7−2Aとのウエハ処理レシピが異なる事がある。この場合、カセット7−1とカセット7−2からのウエハ搬出は交互ではなく、プロセス処理装置での処理が終わり、他のプロセス処理装置へウエハを搬送した後次のウエハを該プロセス処理装置に搬送する処理以外は前記「2カセット1レシピ並列運転」と同じある。該ウエハの又、クリーニング処理については、上記1)と同様である。

0124

4)1カセット1レシピ直列運転
この運転では、同一のプロセス処理条件(以下では、プロセス処理条件をレシピと称する)で処理するウエハが収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハから順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処理をすることは前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同じである。ところがウエハの処理経路は、前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と異なる。

0125

本「1カセット1レシピ直列運転」では、ウエハはプロセス処理装置2−2(もしくはプロセス処理装置2−3)でエッチング処理した後、更にプロセス処理装置2−3(もしくはプロセス処理装置2−2)でエッチング処理した後、プロセス処理装置2−1(もしくはプロセス処理装置2−4)で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Eという)で処理する。

0126

本実施例では、経路Eでロードロック室3A内のカセット7−1Aから抜き出したウエハはアンロードロック室4A内のカセット7−2Aに戻す処理の例を示す。

0127

ウエハの処理は、1枚目のウエハは経路E、2枚目は経路E、3枚目のウエハは経路E、4枚目は経路E、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ迄処理を行う。カセット内の全てを処理終了するとロードロック室3A内カセット7−1Aとアンロードロック室4A内カセット7−2Aの処理終了と交換をオペレータに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす。次に新たな未処理ウエハの入ったカセットをロードロック室3Aに、空のカセットをアンロードロック室4Aに設置して、以降この運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する場合は、主制御部11から運転終了の操作入力を行う事で運転が終了する。終了方法は前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同じである。

発明の効果

0128

以上説明したように、本発明によれば、2組以上のプロセス処理装置を使って処理する真空処理装置により運転中に、どれかの処理室が故障等で使用できなくなった時に、各2組を構成するプロセス処理装置の関係に拘束されず、正常な処理室を処理経路として使って運転して稼働率を高めることのできる真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法を提供することができる。

0129

また、クリーニング処理やエージング処理に関しても、稼働率を高めることのできる真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法を提供することができる。

図面の簡単な説明

0130

図1本発明による真空処理装置の一実施例を示す平面図である。
図2図1の真空処理装置における装置制御手段の制御構成図である。
図3図1の真空処理装置における装置制御手段の運転情報信号を示す図である。
図4図1の真空処理装置における装置制御手段の処理順序情報を示す図である。
図5図1の真空処理装置における、運転モードの説明図である。
図6図1の真空処理装置における装置制御手段の自動運転のフロー図である。
図7図1の真空処理装置における、経路指定方法の説明図である。
図8図6の自動運転フローの詳細を示すフロー図である。
図9図1の真空処理装置における、残存ウエハの処理条件の例を示す図である。
図10本発明によるクリーニング運転のフロー図である。
図11図1の真空処理装置における、異常発生時の搬送経路変更の動作状態を示す図である。
図12図1の真空処理装置における、復旧レシピの、リトライ処理時の状態を示す図である。
図13図1の真空処理装置における、パラレル処理時の邪魔ウエハの回収処理の動作状態を示す図である。
図14図1の真空処理装置における、メンテナンスモードからの自動運転時の状態を示す図である。
図15本発明によるシリーズエージング処理時の状態を示す図である。
図16本発明による真空処理装置の他の実施例を示す平面図である。

--

0131

1…搬送処理装置、2−1、2、3、4…プロセス処理装置、3、3A…ロート゛ロック室、4、4A…アンロート゛ロック室、5…真空ロボット、6…大気搬送装置、7…カセット、8…大気ロボット、11…主制御部、12…中央制御手段、13…表示手段、14…入力手段、15…装置制御手段、16…処理順序情報記憶手段、17…運転情報信号記憶手段、19−1、2、3、4…運転情報信号発生手段、20、21…通信手段、22…補助操作盤、23…中央制御手段、24…端末制御手段、25…入力手段、26…表示手段、27、28…ブレーカ、29、30…手動バルブ

ページトップへ

この技術を出願した法人

この技術を発明した人物

ページトップへ

関連する挑戦したい社会課題

関連する公募課題

該当するデータがありません

ページトップへ

技術視点だけで見ていませんか?

この技術の活用可能性がある分野

分野別動向を把握したい方- 事業化視点で見る -

ページトップへ

おススメ サービス

おススメ astavisionコンテンツ

新着 最近 公開された関連が強い技術

この 技術と関連性が強い人物

関連性が強い人物一覧

この 技術と関連する社会課題

関連する挑戦したい社会課題一覧

この 技術と関連する公募課題

該当するデータがありません

astavision 新着記事

サイト情報について

本サービスは、国が公開している情報(公開特許公報、特許整理標準化データ等)を元に構成されています。出典元のデータには一部間違いやノイズがあり、情報の正確さについては保証致しかねます。また一時的に、各データの収録範囲や更新周期によって、一部の情報が正しく表示されないことがございます。当サイトの情報を元にした諸問題、不利益等について当方は何ら責任を負いかねることを予めご承知おきのほど宜しくお願い申し上げます。

主たる情報の出典

特許情報…特許整理標準化データ(XML編)、公開特許公報、特許公報、審決公報、Patent Map Guidance System データ