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技術 点位置決定装置、点位置決定方法および点位置決定プログラムを格納したコンピュータ読取り可能な記録媒体

出願人 株式会社東芝
発明者 福田寿一
出願日 1999年6月30日 (20年0ヶ月経過) 出願番号 1999-186724
公開日 2001年1月19日 (18年5ヶ月経過) 公開番号 2001-014493
状態 未査定
技術分野 CAD 本体に特徴のある半導体装置
主要キーワード 平面グラフ 横方向間隔 数列内 処理点 メッシュ要素 ドロネー三角形分割 形状処理 多角形情報
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (12)

課題

効率的な点位置決定処理を可能にする。

解決手段

走査線を移動する手段105と、走査線が多角形頂点を通過する際、多角形の頂点に接続する多角形の辺の内、これから走査される辺に関する情報を記憶領域に保存し、既に走査された辺に関する情報を記憶領域から削除する手段106と、走査線が要素を通過する際、走査線と要素との位置関係が所定の条件を満たす多角形の辺に関する情報を記憶領域から抽出する手段107と、抽出された辺に隣接する多角形の内、要素が属するものを選択する手段108とを有する。

概要

背景

一般に、半導体素子の製造プロセスを動的に解析するプロセスシミュレーション装置等といった、形状処理を伴う解析装置においては、解析領域を構成する複数の多角形(例えば、メッシュの要素等)の中で位置決定対象となる点が属するものを決定する点位置決定処理が必要になる場合がある。ここで、従来までの点位置決定処理の例を2つ紹介しよう。

従来までの点位置決定処理の第1例においては、位置決定対象点を通る半直線と解析領域を構成する多角形の交点の数により、多角形が位置決定対象点を含むか否かを決定する。すなわち、この第1例においては、図10(a)に示すように、位置決定対象点が通過する半直線が第1の多角形の各辺を交差するか否かを判別し、半直線が交差する辺の数が奇数ならばその点(P2)は多角形に属する、偶数ならばその点(P1)は多角形に属さないと判断する。そして、第1の多角形が位置決定処理を行う点を含んでいるならば処理を終了し、含んでいないならば、点を含む多角形が見つかる、又は、解析領域を構成する多角形全てに対して判定が終了するまで、同様の処理を実行する。

次に、従来までの点位置決定処理の第2例として、チェーン法が(F.P.Preparata, M.I.Shamos : Computational Geometry 3rd Edition, Springer-Verag Gmbh & Co.KG,1990)が知られている。チェーン法とは、始めに、解析領域を構成する平面グラフ(=多角形)を単純なチェーンの完全集合に変換する前修理を行い(図10(b))、続いて、各チェーン11a、11b、11cをその位置関係により二分木データ形式に保存し、さらに1つのチェーンを構成する枝を別の二分木データ形式で保存する。そして、この2種類の二分木データから位置決定を行う点が属する面(=多角形)を決定する。

尚、二分木データとは、数値大小関係等、データの判別処理を容易化するデータ構造の一つである。例えば、今、図11(a)に示すような、各要素間規則性を有さない、数値が小さいものから順に配置された数列があり、要素xをこの数列内に導入する処理を行うことを考えよう。この処理を実行する最も単純な方法は、要素xの値と数列の要素の一つ一つの値とを順次比較し、要素xの数列上の位置を探すというやり方である。しかしながら、この方法では、要素の数に比例してその作業量が増加してしまう。そこで、図11(b)に示すように、数列の要素を分岐(この場、分岐の数が2であるので二分木と呼ぶ)した階層構造形式で保存することにより、データの判別処理を容易にしている。この二分木データ構造によれば、判別処理を分岐点に置かれたポインタにおいて行うことにより検索範囲を狭めていくことができるので、検索処理に要する時間を短縮することができ、またデータの更新も容易となる。

概要

効率的な点位置決定処理を可能にする。

走査線を移動する手段105と、走査線が多角形の頂点を通過する際、多角形の頂点に接続する多角形の辺の内、これから走査される辺に関する情報を記憶領域に保存し、既に走査された辺に関する情報を記憶領域から削除する手段106と、走査線が要素を通過する際、走査線と要素との位置関係が所定の条件を満たす多角形の辺に関する情報を記憶領域から抽出する手段107と、抽出された辺に隣接する多角形の内、要素が属するものを選択する手段108とを有する。

目的

本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、効率的な点位置決定処理を可能にする点位置決定装置を提供することにある。

また、本発明の他の目的は、効率的な点位置決定処理を可能にする点位置決定方法を提供することにある。

さらに、本発明の他の目的は、効率的な点位置決定処理を可能にする点位置決定プログラムを格納したコンピュータ読取り可能な記録媒体を提供することにある。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

複数の多角形から構成される解析領域内における点集合の各要素の位置を決定する点位置決定装置において、前記解析領域を走査線走査し、走査線が多角形の頂点と要素を通過する際に、前記点集合の各要素の位置決定処理を行うことを特徴とする点位置決定装置。

請求項2

複数の多角形から構成される解析領域内における点集合の各要素の位置を決定する点位置決定方法において、前記解析領域を走査線で走査し、走査線が多角形の頂点と要素を通過する際に、前記点集合の各要素の位置決定処理を行うことを特徴とする点位置決定方法。

請求項3

前記走査線を移動する手段と、前記走査線が前記多角形の頂点を通過する際、多角形の頂点に接続する多角形の辺の内、これから走査される辺に関する情報を記憶領域に保存し、既に走査された辺に関する情報を当該記憶領域から削除する手段と、前記走査線が前記要素を通過する際、走査線と要素との位置関係が所定の条件を満たす前記多角形の辺に関する情報を前記記憶領域から抽出する手段と、抽出された前記辺に隣接する多角形の内、前記要素が属するものを選択する手段とを有することを特徴とする請求項1に記載の点位置決定装置。

請求項4

前記走査線を移動するステップと、前記走査線が前記多角形の頂点を通過する際、多角形の頂点に接続する多角形の辺の内、これから走査される辺に関する情報を記憶領域に保存し、既に走査された辺に関する情報を当該記憶領域から削除するステップと、前記走査線が前記要素を通過する際、走査線と要素との位置関係が所定の条件を満たす前記多角形の辺に関する情報を前記記憶領域から抽出するステップと、抽出された前記辺に隣接する多角形の内、前記要素が属するものを選択するステップとを有することを特徴とする請求項2に記載の点位置決定方法。

請求項5

前記走査線を移動する処理と、前記走査線が前記多角形の頂点を通過する際、多角形の頂点に接続する多角形の辺の内、これから走査される辺に関する情報を記憶領域に保存し、既に走査された辺に関する情報を当該記憶領域から削除する処理と、前記走査線が前記要素を通過する際、走査線と要素との位置関係が所定の条件を満たす前記多角形の辺に関する情報を前記記憶領域から抽出する処理と、抽出された前記辺に隣接する多角形の内、前記要素が属するものを選択する処理とを含み、これらの処理をコンピュータに実行させることを特徴とする点位置決定プログラムを格納したコンピュータ読取り可能な記録媒体

請求項6

前記辺に関する情報は二分木形式にて前記記憶領域に保存することを特徴とする請求項3に記載の点位置決定装置。

請求項7

前記辺に関する情報は二分木形式にて前記記憶領域に保存することを特徴とする請求項4に記載の点位置決定方法。

請求項8

前記辺に関する情報は二分木形式にて前記記憶領域に保存することを特徴とする請求項5に記載の点位置決定プログラムを格納したコンピュータ読取り可能な記録媒体。

技術分野

0001

本発明は、複数の多角形から構成される解析領域内における点集合の各要素の位置を決定する点位置決定装置点位置決定方法および点位置決定プログラムを格納したコンピュータ読取り可能な記録媒体に関し、特に、効率的な点位置決定処理を可能にする技術に関する。

背景技術

0002

一般に、半導体素子の製造プロセスを動的に解析するプロセスシミュレーション装置等といった、形状処理を伴う解析装置においては、解析領域を構成する複数の多角形(例えば、メッシュの要素等)の中で位置決定対象となる点が属するものを決定する点位置決定処理が必要になる場合がある。ここで、従来までの点位置決定処理の例を2つ紹介しよう。

0003

従来までの点位置決定処理の第1例においては、位置決定対象点を通る半直線と解析領域を構成する多角形の交点の数により、多角形が位置決定対象点を含むか否かを決定する。すなわち、この第1例においては、図10(a)に示すように、位置決定対象点が通過する半直線が第1の多角形の各辺を交差するか否かを判別し、半直線が交差する辺の数が奇数ならばその点(P2)は多角形に属する、偶数ならばその点(P1)は多角形に属さないと判断する。そして、第1の多角形が位置決定処理を行う点を含んでいるならば処理を終了し、含んでいないならば、点を含む多角形が見つかる、又は、解析領域を構成する多角形全てに対して判定が終了するまで、同様の処理を実行する。

0004

次に、従来までの点位置決定処理の第2例として、チェーン法が(F.P.Preparata, M.I.Shamos : Computational Geometry 3rd Edition, Springer-Verag Gmbh & Co.KG,1990)が知られている。チェーン法とは、始めに、解析領域を構成する平面グラフ(=多角形)を単純なチェーンの完全集合に変換する前修理を行い(図10(b))、続いて、各チェーン11a、11b、11cをその位置関係により二分木データ形式に保存し、さらに1つのチェーンを構成する枝を別の二分木データ形式で保存する。そして、この2種類の二分木データから位置決定を行う点が属する面(=多角形)を決定する。

0005

尚、二分木データとは、数値大小関係等、データの判別処理を容易化するデータ構造の一つである。例えば、今、図11(a)に示すような、各要素間規則性を有さない、数値が小さいものから順に配置された数列があり、要素xをこの数列内に導入する処理を行うことを考えよう。この処理を実行する最も単純な方法は、要素xの値と数列の要素の一つ一つの値とを順次比較し、要素xの数列上の位置を探すというやり方である。しかしながら、この方法では、要素の数に比例してその作業量が増加してしまう。そこで、図11(b)に示すように、数列の要素を分岐(この場、分岐の数が2であるので二分木と呼ぶ)した階層構造形式で保存することにより、データの判別処理を容易にしている。この二分木データ構造によれば、判別処理を分岐点に置かれたポインタにおいて行うことにより検索範囲を狭めていくことができるので、検索処理に要する時間を短縮することができ、またデータの更新も容易となる。

発明が解決しようとする課題

0006

以上述べたように、現在、形状処理を伴う解析装置においては、解析領域を構成する複数の多角形の中で位置決定対象点が属するものを決定する点位置決定処理が必要とされているが、従来までの点位置決定処理には、以下に示すような技術的問題がある。

0007

第1に、従来までの点位置決定処理は、点位置の判別を一つ一つの点に対して順次行っていくものであり、複数の点に対して同時に点位置を決定を行うことができないために、点位置決定処理の効率が非常に悪い。

0008

第2に、(従来の技術)で述べた第1例の点位置決定処理の場合、領域内に存在する多角形の頂点数がm、判定する点の数がnであるとすると、最悪の場合、O(mn)の手間が必要となり、点位置決定処理に多大な時間を要する。

0009

第3に、(従来の技術)で述べた第2例の点位置決定処理の場合、多角形の頂点数がm、判定する点の数がnであるとすると、O(mlog(m))の手間の前処理およびO(m)の記憶領域を用いて、O(nlog2(m))の手間が必要となる。すなわち、この処理においては、余分な点位置決定処理のための記憶領域が必要とされる上に、処理に時間がかかるという問題があるのである。

0010

本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、効率的な点位置決定処理を可能にする点位置決定装置を提供することにある。

0011

また、本発明の他の目的は、効率的な点位置決定処理を可能にする点位置決定方法を提供することにある。

0012

さらに、本発明の他の目的は、効率的な点位置決定処理を可能にする点位置決定プログラムを格納したコンピュータ読取り可能な記録媒体を提供することにある。

課題を解決するための手段

0013

上記の問題を解決するために、発明者は、解析領域を走査線走査し、走査線が解析領域を構成する多角形の頂点と位置決定対象点を通過する際に、位置決定処理を行うことにより効率的な点位置決定処理が可能になるという考えに至った。

0014

この考えを反映して、本発明の第1の特徴は、複数の多角形から構成される解析領域内における点集合の各要素の位置を決定する点位置決定装置において、解析領域を走査線で走査し、走査線が多角形の頂点と要素を通過する際に、点集合の各要素の位置決定処理を行う点位置決定装置であることにある。

0015

これにより、効率的な点位置決定処理が可能になる。

0016

また、本発明の第2の特徴は、複数の多角形から構成される解析領域内における点集合の各要素の位置を決定する点位置決定方法において、解析領域を走査線で走査し、走査線が前記多角形の頂点と要素を通過する際に、点集合の各要素の位置決定処理を行う点位置決定方法であることにある。

0017

これにより、効率的な点位置決定処理を行うことができる。

0018

尚、ここでいう「コンピュータ読取り可能な記録媒体」としては、例えば、半導体メモリ磁気ディスク光ディスク光磁気ディスク磁気テープ等を用いることが考えられる。

0019

また、点位置決定処理は、走査線を移動するステップと、走査線が多角形の頂点を通過する際、多角形の頂点に接続する多角形の辺の内、これから走査される辺に関する情報を記憶領域に保存し、既に走査された辺に関する情報を記憶領域から削除するステップと、走査線が要素を通過する際、走査線と要素との位置関係が所定の条件を満たす多角形の辺に関する情報を記憶領域から抽出するステップと、抽出された辺に隣接する多角形の内、要素が属するものを選択するステップとを有すると良い。

0020

さらに、辺情報を記憶する記憶領域としては、平衡二分木データ領域を使用することが望ましい。

0021

これにより、点位置決定するための辺を抽出する処理の効率を上げることができ、全体の処理時間を大幅に短縮することができる。

0022

また、位置決定される点との位置関係が所定の条件を満たす辺を抽出する際は、走査線との交点で定義される走査線上の区間に位置決定される点が属するものを0個、1個又は2個抽出するようにすることが望ましい。

0023

これにより、解析領域外にある点に対しても位置決定処理を行うことができる。

0024

また、抽出された辺に隣接する面の内、点が属するものを選択する場合は、抽出された辺が0個の時は、解析領域を分割する多角形の内、1番外側のものを選択し、抽出された辺が1個の時は、その辺に隣接する2つの面の内、点が属するものを選択し、抽出された辺が2つの時は、これに隣接する共通の多角形を選択するようにすると良い。

0025

これにより、点が属する多角形情報を容易且つ高速に抽出することができる。

0026

さらに、本発明の点位置決定装置、点位置決定方法および点位置決定プログラムを格納したコンピュータ読取り可能な記録媒体は、プロセスシミュレーション装置等の製造プロセス解析手段内に導入しても良い。

0027

これにより、メッシュが設定されている解析領域の形状が変化した場合に、メッシュ節点が解析領域外にあるか否かの判別を容易且つ高速に行うことが可能となり、半導体素子製造プロセスの工期短縮経費削減を実現することができる。さらに、点がメッシュ要素が設定された解析領域内に存在する場合に、不純物等の物理量の補間処理の際等に必要となる、点が属するメッシュ要素を特定する処理が容易且つ高速に行うことが可能となるので、半導体素子製造プロセスの工期短縮、経費削減を実現することができる。

発明を実施するための最良の形態

0028

以下、本発明の実施形態に係わる点位置決定装置、点位置決定方法および点位置決定プログラムを格納したコンピュータ読取り可能な記録媒体について説明する。

0029

始めに、図1を用いて本発明の実施形態に係わる点位置決定装置の構成について説明する。

0030

本発明の実施形態に係わる点位置決定装置100は、装置100内の構成要素を制御する種々のパラメータや入力データを入力するための入力手段120、装置100内の構成要素からの各種出力データを出力するための出力手段121を備えており、点位置決定装置100は、幾何データ構造の複製を生成する領域複製手段101、解析領域内に新メッシュ節点の点集合を発生させる新メッシュ節点発生手段、新メッシュ節点と旧メッシュ節点の点集合とを統合し、格納する点集合格納手段103、点集合格納手段103内の点集合情報をソートするソート手段104、点集合格納手段103内の点集合の各要素に走査線を移動する走査線移動手段105、走査線が交差する辺に関する情報を平衡二分木データ形式で保存する平衡二分木データ生成手段106、平衡二分木データ生成手段106内に保存されている辺の中で、走査線との交点で定義される走査線上の区間内に所定の点が属するものを抽出する辺抽出手段107、辺抽出手段107から抽出された辺に共通に隣接する面を抽出する面抽出手段108、点集合内の要素を削除する点削除手段109、新メッシュ節点63の物理量を旧メッシュ節点の物理量を用いて線形補間により求める物理量補間手段110を具備している。

0031

ここで、入力手段120としてはキーボードマウスライトペン等の入力装置、出力手段121としてはディスプレイ装置プリンタ装置等の出力装置を用いることが望ましい。

0032

次に、本発明の第1および第2の実施形態に係わる点位置決定方法について説明する。

0033

(第1の実施形態)本発明の第1の実施形態に係わる点位置決定方法は、半導体素子の素子特性を抽出するために使用するプロセスシミュレーション装置の内部処理において、半導体素子領域を構成するメッシュ節点を削除する際に用いるものである。これは、例えば、図3に示すように、エッチング工程等によって解析領域が変形した場合において、元の解析領域30に設定されていたメッシュ節点31の内、変形によって解析領域外に出てしまったものを削除する際等に用いるものである。

0034

本発明の第1の実施形態に係わる点位置決定方法により点位置決定処理を行う際は、
(1)(点集合統合、ステップS201)始めに、新領域32の頂点33の点集合と旧領域30のメッシュ節点31の点集合とを統合する。尚、統合する際は、各点には多角形の頂点33であるのか、メッシュ節点31であるのかを区別するための識別子を付けておくようにする。

0035

(2)(ソート処理、ステップS202)次に、統合された点集合の各点の座標辞書式順序でソートする。すなわち、先に2点{P1、P2}のy座標の比較を行い、2点のy座標が異なり且つ点P1のy座標が点P2のそれよりも大きければ点P2の方が先にくる順序、2点のy座標が等しい場合にはx座標の比較を行い、点P1のx座標が点P2のそれよりも小さければ点P1の方が先にくる順序でソートする。

0036

(3)(走査線配置、ステップS203)続いて、解析領域の座標軸のx軸に平行な走査線を統合した点集合の1番目の要素を通るように設定する。この際、平衡二分木データ領域に走査線と交差する多角形の辺に関する情報(辺の端点座標値等)を保存する。

0037

(4)(旧メッシュ節点判別、S204)次に、走査線上の点がメッシュ節点31であるか否か判別する。

0038

・メッシュ節点である場合→ (有界判別処理、ステップS205)へ
・メッシュ節点でない(=多角形の頂点である)場合→ (平衡二分木データ更新、ステップS212)へ
(5)(有界判別、ステップS205)続いて、メッシュ節点31が属する走査線上の区間が有界であるか否か判別する。ここで、「有界である」とは、図4(a)に示すように、メッシュ節点41aが多角形40の辺により区切られる走査線42aの区間内にある場合を意味し、「有界でない」とは、メッシュ節点の属する走査線の区間が、走査線全体である場合(図4(b))や半区間である場合(図4(c))を意味する。

0039

・有界である場合→ (辺抽出、ステップS206)へ
・有界でない場合→ (点削除、ステップS210)へ
(6)(辺抽出、ステップS206)次に、平衡二分木データ領域内に保存されている辺の中で、走査線との交点で定義される走査線上の区間内にメッシュ節点31が属する2辺を抽出する。

0040

(7)(面抽出、ステップS207)続いて、抽出された2辺に共通に隣接する面を抽出する。

0041

(8)(面判別、ステップS208)次に、抽出した面が所望の面であるか否か判別する。

0042

・所望の面である(=メッシュ節点は多角形の内部にある)場合→ (未処理点判別、ステップS209)へ
・所望の面でない(=メッシュ節点は多角形の内部にない)場合→ (点削除、ステップS211)へ
(9)(未処理点判別、ステップS209)続いて、他に位置決定処理を行っていない点が存在するか否か判別する。

0043

・未処理の点がある場合→ (走査線移動、ステップS213)へ
・未処理の点がない場合→ 点位置決定処理終了
(10)(平衡二分木データ更新、ステップS212)次に、平衡二分木データ内に保存された辺の内、多角形の頂点33に接続し且つ走査線が既に通過したものを削除し、多角形の頂点33に接続し且つ走査線がこれから通過する辺を平衡二分木データ領域内に保存する。

0044

(11)(点削除、ステップS210、S211)続いて、メッシュ節点31を削除する。

0045

(12)(走査線移動、ステップS213)次に、統合した点集合内の次の要素を通る位置に走査線を移動する。この際、平衡二分木データ領域内に、走査線がある点から次の点に移動するまでに交差する多角形の辺に関する情報(辺の端点の座標値等)を保存する。

0046

このように、本発明の第1の実施形態に係わる点位置決定方法によれば、複数の点の位置を同時に決定することができるので、点位置決定処理に要する時間は短くなり、処理を効率的に実行することが可能となり、また、プロセスシミュレーション装置に応用した場合、解析領域外にあるメッシュ節点の削除処理を高速に行うことができる。

0047

(第2の実施形態)本発明の第2の実施形態に係わる点位置決定方法は、第1の実施形態と同じプロセスシミュレーション装置の内部処理において、解析精度の向上のために、既に設定されているメッシュを再発生する際等に用いるものである。尚、メッシュ再発生処理を行う際には、図6に示すように、旧メッシュ節点61の各々に割り当てられたこれまでの解析結果を新メッシュ節点63に反映させるために、旧メッシュ節点61上の物理量(不純物濃度等)を新メッシュ節点63上に移すようにする。

0048

本発明の第2の実施形態に係わる点位置決定方法により点位置決定処理を行う際は、
(1)(領域複製、ステップS501)始めに、全ての幾何データ構造の複製を作成する。

0049

(2)(メッシュ消去、ステップS502)次に、対象とする解析領域内のメッシュを全ての削除する。

0050

(3)(新メッシュ節点発生、ステップS503)続いて、解析領域内に新メッシュ節点の点集合を発生させる。例えば、対象とする解析領域を包含する長方形を設定し、長方形内に縦方向横方向間隔が均一な格子点を発生させ、格子点の内、解析領域の外部にあるものを(第1の実施形態)に係わる点位置決定方法を用いて削除し、解析領域内の点を新メッシュ節点とすると良い。

0051

(4)(ドロネー三角形分割、ステップS504)発生させた新メッシュ節点と多角形の頂点の集合を用いてドロネー三角形分割処理(図6(b)参照)を行う。

0052

(5)(点集合統合、ステップS505)始めに、新メッシュ節点63と旧メッシュ節点61の点集合とを統合する。尚、統合する際は、各点には新メッシュ節点63であるのか、旧メッシュ節点61であるのかを区別するための識別子を付けておくようにする。

0053

(6)(ソート処理、ステップS506)次に、統合された点集合の各点の座標を辞書式順序でソートする。

0054

(7)(走査線配置、ステップS507)続いて、解析領域の座標軸のx軸に平行な走査線を統合した点集合の1番目の要素を通るように設定する。この際、平衡二分木データ領域に走査線と交差する旧メッシュの辺に関する情報(辺の端点の座標値等)を保存する。

0055

(8)(新メッシュ節点判別、S508)次に、走査線上の点が新メッシュ節点63であるか否か判別する。

0056

・新メッシュ節点である場合→ (辺抽出、ステップS509)へ
・新メッシュ節点でない(=旧メッシュ節点である)場合→ (平衡二分木データ更新、ステップS513)へ
(9)(辺抽出、ステップS509)次に、平衡二分木データ領域内に保存されている辺の中で、走査線との交点で定義される走査線上の区間内に新メッシュ節点63が属する2辺を抽出する。

0057

(10)(三角形抽出、ステップS510)続いて、抽出された2辺に共通に隣接する三角形を抽出する。

0058

(8)(線形補間、ステップS511)次に、新メッシュ節点63の物理量を抽出された三角形の三頂点に割り当てられた物理量を用いて線形補間により求め、新メッシュ節点63の物理量として設定する(図7参照)。

0059

(9)(未処理点判別、ステップS512)続いて、他に位置決定処理を行っていない点が存在するか否か判別する。

0060

・未処理の点がある場合→ (走査線移動、ステップS514)へ
・未処理の点がない場合→ 点位置決定処理終了
(10)(平衡二分木データ更新、ステップS513)次に、平衡二分木データ内に保存された辺の内、旧メッシュ節点61に接続し且つ走査線が既に通過したものを削除し、旧メッシュ節点61に接続し且つ走査線がこれから通過する辺を平衡二分木データ領域内に保存する。

0061

(11)(走査線移動、ステップS514)次に、統合した点集合内の次の要素を通る位置に走査線を移動する。この際、平衡二分木データ領域内に、走査線がある点から次の点に移動するまでに交差する旧メッシュの辺に関する情報(辺の端点の座標値等)を保存する。

0062

このように、本発明の第2の実施形態に係わる点位置決定方法によれば、複数の点の位置を同時に決定することができるので、点位置決定処理に要する時間は短くなり、処理を効率的に実行することが可能となり、また、プロセスシミュレーション装置に応用した場合、新メッシュ節点上に物理量を設定する処理を高速に行うことができる。

0063

尚、本発明の実施形態に係わる点位置決定装置100は、例えば、図8に示す構成のような概観を有する。つまり、本発明の実施形態に係わる点位置決定装置100はコンピュータシステム80内に点位置決定装置100の各要素を内蔵することにより構成される。コンピュータシステム80は、フロッピーディスクドライブ81および光ディスクドライブ83を備えている。そして、フロッピーディスクドライブ81に対してはフロッピーディスク82、光ディスクドライブ83に対しては光ディスク84を挿入し、所定の読み出し操作を行うことにより、これらの記録媒体に格納された半導体素子製造プログラムをコンピュータシステム80内にインストールすることができる。また、所定のドライブ装置を接続することにより、例えば、メモリ装置役割を担うROM85や、磁気テープ装置の役割を担うカートリッジ86を用いて、インストールやデータの読み書きを実行することもできる。

0064

また、本発明の実施形態に係わる点位置決定装置100は、プログラム化コンピュータ読み取り可能な記録媒体に保存しても良い。そして、点位置決定処理を実行する際は、この記録媒体をコンピュータシステムに読み込ませ、コンピュータシステム内のメモリ等の記憶部にプログラムを格納し、点位置決定プログラムを演算装置で実行することにより、本発明の点位置決定装置およびその方法を実現することができる。ここで、記録媒体とは、例えば、半導体メモリ、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、磁気テープなどのプログラムを記録することができるようなコンピュータ読み取り可能な記録媒体等が含まれる。

0065

さらに、本発明の実施形態に係わる点位置決定装置100は、記述の通り、プロセスシミュレーション装置等の製造プロセス解析手段90内に導入することができる。これにより、半導体素子の製造プロセスの解析を効率的に行うことが可能となり、さらに、図9に示すように、デバイスシミュレーション装置等の製造プロセス解析手段90の解析結果を用いて半導体素子の素子特性を解析する素子特性解析手段91、素子特性の解析結果から所望の素子特性を有した半導体素子を製造すための製造条件を抽出する製造条件抽出手段92、抽出された製造条件に基づいて半導体素子を製造する半導体素子製造装置93と組み合わせることにより、半導体素子の製造プロセスを効率的に実行することが可能となり、半導体素子製造プロセスの工期短縮、経費削減を実現することができる。

0066

このように、本発明はここでは記載していない様々実施の形態等を包含するということは十分に理解すべきである。したがって、本発明はこの開示から妥当な特許請求の範囲に係わる発明特定事項によってのみ限定されるものでなければならない。

発明の効果

0067

以上述べてきたように、本発明の点位置決定装置によれば、点位置決定処理を走査線を走査することにより行い、複数の点に対して同時に点位置決定処理を行うことができるので、効率的な点位置決定処理を行うことができる。

0068

また、本発明の点位置決定方法によれば、点位置決定処理を走査線を走査することにより行い、複数の点に対して同時に点位置決定処理を行うことができるので、効率的な点位置決定処理を行うことができる。

0069

さらに、本発明の点位置決定プログラムを格納したコンピュータ読取り可能な記録媒体によれば、点位置決定処理を走査線で走査することにより行い、複数の点に対して同時に点位置決定処理を行うことができるので、効率的な点位置決定処理を行うことができる。

図面の簡単な説明

0070

図1本発明の実施形態に係わる点位置決定装置の構成を示すブロック図である。
図2本発明の第1の実施形態に係わる点位置決定方法を示すフローチャート図である。
図3本発明の第1の実施形態に係わる点位置決定方法を説明するための模式図である。
図4本発明の第1の実施形態に係わる点位置決定方法を説明するための模式図である。
図5本発明の第2の実施形態に係わる点位置決定方法を示すフローチャート図である。
図6本発明の第2の実施形態に係わる点位置決定方法を説明するための模式図である。
図7本発明の第2の実施形態に係わる点位置決定方法を説明するための模式図である。
図8本発明の実施形態に係わる点位置決定装置の概観を示す図である。
図9本発明の実施形態に係わる点位置決定装置の応用例を示す模式図である。
図10従来までの点位置決定方法を説明するための模式図である。
図11従来までの点位置決定方法を説明するための模式図である。

--

0071

10a、10b 半直線
11a、11b、11c 完全集合要素
30 旧領域
31 旧メッシュ節点
32 新領域
33頂点
40 面
41a、41b、41c 点要素
42a、42b、42c走査線
60 旧領域
61 旧メッシュ節点
62 新領域
63 新メッシュ節点
80コンピュータシステム
81フロッピーディスクドライブ
82フロッピーディスク
83光ディスクドライブ
84光ディスク
85 ROM
86カートリッジ
90製造プロセス解析手段
91素子特性解析手段
92製造条件抽出手段
93半導体素子製造装置
100 点位置決定装置
101 領域複製手段
102 新メッシュ節点発生手段
103点集合格納手段
104ソート手段
105 走査線移動手段
106平衡二分木データ生成手段
107 辺抽出手段
108 面抽出手段
109 点削除手段
110物理量補間手段
120入力手段
121 出力手段

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