技術 表示ムラ検査装置及び表示ムラ検査方法

0001

本発明は、液晶表示パネル等の液晶製品の自動生産（特に多種少量生産）において画像処理技術を応用して表示ムラ検査や偏光板の貼付作業を行う際、光軸に垂直な面内での素子の回転による色ムラを検出し、目視による定性的な品質を定量的に把握して品質を確保するために色状態を検出する表示ムラ検査装置及び表示ムラ検査方法に関する。

0002

液晶表示パネル等の液晶製品の品質においては、液晶基板の配向方向や基板間厚さ、内部構成材料の凝集等に起因する液晶の配置不良に伴う、色ムラや色分布状態等の視覚的な不良は、製品の表示状態に直接関連する欠陥である。また、液晶配向方向と基板に貼り付ける偏光板（偏光素子）との相対角度、一組の偏光素子間の相対角度の調整も表示状態の品質にとって重要であり、特異な波長吸収帯を持つ液晶構成材料に関して、これらの相対角度が変化することによりコントラストばかりでなく表示部分の色も変化する。

0003

現在、ガラス基板を用いた大きなサイズの液晶製品が多く出回っているが、ポリマー素材等、ガラスに変わる材料を基板とした製品も多数生産され、ポリマー基板を用いたもの等ではその加工の容易さにより様々な形状の液晶製品の製造が可能となっている。例えば、円形あるいは曲面を有する液晶製品を考慮した場合は何らかの目印を施さなければ、基板と偏光素子との相対角度を規定することは困難である。また、目視による色や明るさの表示状態の許容範囲を製品に反映するためには、製品自体の相対角度等を規定する方法の他に、規定範囲内の角度に組み付けできるような生産時の検出が重要である。

0004

従来の液晶製品の色ムラ、色分布状態の検出方法としては、カラーカメラを用い、その撮像から得られる赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色出力（ＲＧＢ信号）を組み合わせて新たな画像信号とし、この信号に空間フィルタを施してそのエッジ部分を顕在化する方法が提案されている。また、偏光素子の改良や光軸の設定によって色味の補正等を行い、色度の視野角依存特性を改善する方法も提案されている。

0005

この種の装置あるいは方法として関連するものには、特開平５−１８７９２０号公報、特開平１０−２１３７９７号公報がある。

0006

前記特開平５−１８７９２０号公報に開示された技術では、カラーカメラにより取得されたＲＧＢ信号を組み合わせて新たな色データ画像を作成し、その画像に空間フィルタを施して色変化のエッジ部分を顕在化しているが、これでは微小な色ムラを安定して検出できても、シェーディングのような全体的に大きな傾向を抽出することはできない。

0007

また、特開平１０−２１３７９７号公報に開示された技術では、偏光素子と液晶の光軸の角度を規定することによって視角特性を改善しようとしているが、円形等、任意形状の液晶製品に適用することは難しく、また、目視による表示状態の許容度を公差や外形基準等の組付け精度に反映させるのは困難で、精度及び効率に問題があり、無駄なコストが生じる恐れがある。

0008

本発明の目的は、このような問題点を改善し、従来は定性的な官能検査で検出していた表示ムラ（色ムラや色分布状態不良）を、カラー撮像手段を用いて定量的な特性として把握し、これによって表示ムラを効率的に検出することが可能な表示ムラ検査装置及び表示ムラ検査方法を提供することにある。

0009

請求項１記載の発明は、透明基板間に液晶を注入し、注入液晶をシールして形成した液晶セル基板の表示ムラ検査を、該液晶セル基板に対する偏光板の貼付け前に行う表示ムラ検査装置であって、液晶セル基板を保持する保持手段と、液晶セル基板と同一光軸上で該液晶セル基板の上方及び下方に配置された一組の偏光板と、下側の偏光板の下方に配置され、該偏光板を通して液晶セル基板を投射する照明手段と、上側の偏光板の上方に配置され、該偏光板を通して液晶セル基板への投射光を入射して該液晶セル基板の画像を取得するカラー撮像手段と、を備え、液晶セル基板の画像中の各画素のＲＧＢ値を比較することによって表示ムラを検出することに特徴がある。

0010

請求項２に記載の発明は、請求項１において前記上側の偏光板を回転させる上側偏光板回転手段と、前記下側の偏光板を回転させる下側偏光板回転手段と、前記液晶セル基板を水平移動する液晶セル基板移動手段と、を備え、液晶セル基板を光軸上から退避させた状態で、偏光板を回転させながら前記照明手段からの投射光を前記撮像手段に入射させて画像を取得し、取得画像の各画素のＲＧＢ値を比較することによって、上側と下側の偏光板の相対角度を検出することに特徴がある。

0011

請求項３に記載の発明は、請求項２において前記液晶セル基板を回転させる液晶セル基板回転手段を備え、上側と下側の偏光板が所定の相対角度をもって配置された状態で、液晶セル基板を同一光軸上に復帰させた後、該液晶セル基板を回転させながら前記照明手段からの投射光を前記撮像手段に入射させて該液晶セル基板の画像を取得し、取得画像の各画素のＲＧＢ値を比較することによって、前記偏光板と液晶セル基板の相対角度を検出することに特徴がある。

0012

請求項４に記載の発明は、請求項３において前記上側の偏光板を液晶セル基板上面に貼り付ける上側偏光板貼付手段と、前記下側の偏光板を液晶セル基板下面に貼り付ける下側偏光板貼付手段と、を備え、偏光板と液晶セル基板が所定の相対角度をもって配置された状態で、該偏光板と液晶セル基板を貼り付けることに特徴がある。

0013

請求項５に記載の発明は、透明基板間に液晶を注入し、注入液晶をシールして形成した液晶セル基板に一対の偏光板を貼付けた液晶製品の表示ムラを検出する表示ムラ検査装置であって、液晶製品を保持する保持手段と、液晶製品の下方に配置され、該液晶製品を投射する照明手段と、液晶製品の上方に配置され、該液晶製品への投射光を入射して該液晶製品の画像を取得するカラー撮像手段と、を備え、液晶製品の画像中の各画素のＲＧＢ値を比較することによって表示ムラを検出することに特徴がある。

0014

請求項６に記載の発明は、透明基板間に液晶を注入し、注入液晶をシールして形成した液晶セル基板を保持する保持手段と、該液晶セル基板と同一光軸上で該液晶セル基板の上方及び下方に配置された一組の偏光板と、下側の偏光板の下方に配置され、該偏光板を通して液晶セル基板を投射する照明手段と、上側の偏光板の上方に配置され、該偏光板を通して液晶セル基板への投射光を入射して該液晶セル基板の画像を取得するカラー撮像手段と、を備えた装置を用い、液晶セル基板に偏光板を貼り付ける前の状態で表示ムラを検出する表示ムラ検査方法であって、前記照明手段が偏光板を通して液晶セル基板を投射した状態で、前記撮像手段により偏光板を通して液晶セル基板の画像を取得する画像取得工程と、該画像中の各画素のＲＧＢ値に基づき、該ＲＧＢ値の強度を検出する強度検出工程と、該画像中の各画素のＲＧＢ値に基づき、各座標でのＲＧＢ値のばらつきを検出するばらつき検出工程と、該画像中の各画素のＲＧＢ値に基づき、座標間のＲＧＢ値のばらつきを検出する座標間ばらつき検出工程と、該画像中の各画素のＲＧＢ値に基づき、色分布の空間周波数状態を検出する空間周波数状態検出工程と、を有することに特徴がある。

0015

請求項７に記載の発明は、透明基板間に液晶を注入し、注入液晶をシールして形成した液晶セル基板に一対の偏光板を貼付けた液晶製品を保持する保持手段と、該液晶製品の下方に配置され、該液晶製品を投射する照明手段と、該液晶製品の上方に配置され、該液晶製品への投射光を入射して該液晶製品の画像を取得するカラー撮像手段と、を備えた装置を用い、液晶セル基板に偏光板を貼り付けた後の状態で表示ムラを検出する表示ムラ検査方法であって、前記照明手段が液晶製品を投射した状態で、前記撮像手段により該液晶製品の画像を取得する画像取得工程と、該画像中の各画素のＲＧＢ値に基づき、該ＲＧＢ値の強度を検出する強度検出工程と、該画像中の各画素のＲＧＢ値に基づき、各座標でのＲＧＢ値のばらつきを検出するばらつき検出工程と、該画像中の各画素のＲＧＢ値に基づき、座標間のＲＧＢ値のばらつきを検出する座標間ばらつき検出工程と、該画像中の各画素のＲＧＢ値に基づき、色分布の空間周波数状態を検出する空間周波数状態検出工程と、を有することに特徴がある。

0016

以下、本発明の実施の一形態を図面を用いて説明する。
［第１の実施の形態］図１は、本発明の第１の実施の形態における表示ムラ検査装置の構成を示す。液晶セル基板７の表示ムラを検査する表示ムラ検査装置１００には、カラーＣＣＤエリアセンサ１、レンズ２、上側偏光板３、上側偏光板回転モータ６、ハンド１９、下側偏光板４、下側偏光板回転モータ８、バックライト照明５、制御部９を備える。

0017

カラーＣＣＤエリアセンサ１、レンズ２、等からなるカラー撮像手段は、上側偏光板３の上方に配置され、このレンズ２は多種少量生産における検査対象の最大サイズに撮像範囲を固定してカラーＣＣＤエリアセンサ１に設置されている。このカラー撮像手段は、上側偏光板３を通して液晶セル基板７の画像を取得し、制御部９へ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色出力（ＲＧＢ信号）を送出するように構成されている。

0018

上側偏光板３、下側偏光板４は、光軸上で液晶セル基板７の上下方にあって、ハンド１９によって保持された液晶セル基板７を挟むように配置されている。

0019

ハンド１９は、液晶セル基板７の画像取得時あるいは偏光板貼付け後の液晶製品（液晶パネル）の表示ムラ検査時に液晶セル基板７あるいは液晶製品のエッジ部分をチャックして所定位置にセットする。

0020

上側偏光板回転モータ６、下側偏光板回転モータ８は、それぞれ上側偏光板３、下側偏光板４を光軸上で回転させるための駆動モータ（ステッピングモータ）であり、制御部９によって駆動制御される。

0021

バックライト照明５は、蛍光ランプ等で構成され、表示ムラ検査時に液晶セル基板７の背面から投射するものである。このバックライト照明５の点灯時に、前記カラー撮像手段によって液晶セル基板７の画像を取得する。

0022

制御部９は、ＣＰＵ、必要データを格納し、画像メモリあるいはワークエリアとして使用されるＲＡＭ、ＣＰＵの制御プログラム（表示ムラ検査プログラムを含む）及びデータを格納したＲＯＭ、入力表示部、等からなり、前記カラー撮像手段からの３原色出力を入力してＲ、Ｇ、Ｂの明暗信号に変換する信号変換手段、この各色の明暗信号をＡ／Ｄ変換し、ディジタルデータとして画像メモリに格納するＡ／Ｄ変換手段、こうして得られたディジタルデータを基にＲＧＢ値（例えば、０〜２５５の数値範囲に分かれた輝度レベル値）の平均値、ばらつき値、標準偏差、空間分布状態、等を算出するための画像処理手段、を構成する。

0023

なお、液晶セル基板７は、偏光板貼付け前の液晶セル基板（透明電極パターンが形成された２枚の透明基板間に液晶が注入されたもの）であって、液晶表示を行うための表示エリア、２枚の透明基板を接着すると共に注入液晶をシールするためのシール剤塗布部、を有する。このシール剤はエポキシ樹脂等からなり、透明基板上にスクリーン印刷等の方法で塗布される。また、２枚の透明基板の間隔を均一にするためにスペーサが各基板間に散布されている。さらに、各基板自体あるいは内面上には液晶を均一に配列するための配向膜が被着されており、この配向膜に対して所定方向に予めラビング処理が施されている。なお、ラビング処理による液晶分子の配向方向に対して、完成後の液晶パネルの上下両側に貼付された偏光板と同じ状態に偏光板３、４を配置した状態を基準状態とすると、この基準状態で偏光板３、４の偏光軸は直交する方向に指向する。

0024

次に、本実施形態の表示ムラ検査方法について説明する。本実施形態では、透明電極（ＩＴＯ膜）等が形成された透明基板からなる液晶セル基板あるいは偏光板貼付け後の液晶製品の表示ムラ検査を偏光板の貼付け前あるいは貼付け後に行う。液晶セル基板７の表示ムラ検査は、この基準状態からバックライト照明５を点灯して、全色（白色）あるいは３原色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）を表示させ、偏光板３、４を光軸中心に回転駆動手段（偏光板回転モータ６、８）の駆動で回転させながら、前記カラー撮像手段により得られた液晶セル基板７の画像を画像処理することによって行う。

0025

特に、限度見本の画像を目視によって確認し、前記カラー撮像手段によって得られた画像から各座標のＲＧＢ値の平均値範囲、ばらつき範囲を限定し、良／不良の曖昧な対象に関しては、さらに空間周波数状態とその振幅を組み合わせることにより、視角性を官能検査に対応させる。なお、液晶セル基板７と偏光素子（偏光板３、４）が相対的に回転し、相対角度を変化させることによって、図２、図３に示すような特性を有するＲＧＢ値（画素値＝輝度レベル）が得られる。図２は全体的に高いＲＧＢ値が得られたことを示し、図３は全体的にＲＧＢ値が低く、しかもばらついていることを示している。

0026

本実施形態では、全画面の画素数をｎ×ｍ画素とすると、まず、数式（１）に示すようにＲＧＢ値の平均Ｉが全画面に関して設定閾値Ｔ1より大きい場合、画面の明るさ（ＲＧＢ値の強度）においては「良」と判定する。また、ＲＧＢ値の平均Ｉが全画面に関して設定閾値Ｔ1より小さい場合には、画面の明るさにおいて「不良」と判定し、偏光板３、４を回転して補正作業を行う。

0027

次いで、数式（２）に示すように画像中の明るさＩのばらつきＳを求め、このばらつきＳが設定閾値Ｔ2より小さい場合は明るさばらつき（座標間のＲＧＢ値のばらつき）において「良」と判定する。また、Ｔ2≒Ｓの場合には、画像面内の有効画素数による折り返し誤差を考慮し、高速フーリエ変換（ＦＦＴ）によって明るさＩの空間分布状態（色分布の空間周波数状態）を得る。この空間分布状態から低周波成分のみの画像である場合は「良」と判定する。

0028

次いで、数式（３）に示すようにＲＧＢ値の各座標での標準偏差Ｕ（各座標でのＲＧＢ値のばらつき）を求め、この標準偏差Ｕが設定閾値Ｔ3より大きい場合は、前記平均Ｉと標準偏差Ｕから、白色から離れた色ばらつき欠陥と判定する。また、Ｔ3≒Ｕの場合には、画像面内の有効画素数による折り返し誤差を考慮し、高速フーリエ変換（ＦＦＴ）によって明るさＩの空間分布状態（色分布の空間周波数状態）を得る。この空間分布状態から低周波成分のみの画像である場合は「良」と判定する。

0029

次いで、数式（４）に示すように画像中のＲＧＢ値の各平均Ｖを求め、その各２色間の差が設定閾値Ｔ4より大きい場合は、白色から離れた液晶セル基板７と偏光板３、４との相対角度欠陥と判定する。そして、偏光板の回転時間を短縮するため、回転方向は平均Ｖ1の符号に基づいて決定し、相対角度の補正作業を行う。

0030

なお、設定閾値Ｔ1〜Ｔ4は、予め限度見本の画像を目視によって確認し、その画像から限定された値である。

0031

本実施形態では、前記カラー撮像手段によって取得した画像中の各画素のＲＧＢ値に基づき、そのＲＧＢ値の強度（ＲＧＢ値の平均Ｉ＝画面の明るさ）、各座標でのＲＧＢ値のばらつき（各座標でのＲＧＢ値の標準偏差Ｕ）、座標間のＲＧＢ値のばらつき（ＩのばらつきＳ）、色分布の空間周波数状態（明るさＩの空間分布状態）、等を算出し、予め限度見本の目視で設定された閾値に基づいて判定するので、表示ムラを人間の視覚特性に近い定量的な特性として把握できる。

0032

[第２の実施の形態]図４は、本発明の第２の実施の形態における表示ムラ検査装置の構成を示す。なお、第１の実施形態と同様の構成には同一符号を付与して説明を省略する。

0033

本実施形態では、液晶セル基板７を把持して、水平方向にスライド移動させ、あるいは光軸中心に回転させる液晶セル回転移動スライダ１０を備える。また、制御系１１は前述の信号変換手段、Ａ／Ｄ変換手段、画像処理手段、等を構成するとともに、この液晶セル回転移動スライダ１０のスライド用モータ及び回転用モータを駆動制御するように構成されている。

0034

ここで、液晶セル基板７及び偏光板３、４の相対角度補正方法について説明する。これは、第１の実施形態における表示ムラ検査結果が液晶セル基板７と偏光板３、４との相対角度欠陥である場合の処理を示す。

0035

まず、液晶セル回転移動スライダ１０を駆動して液晶セル基板７を光軸上から退避させるとともにバックライト照明５を点灯し、上側偏光板回転モータ６あるいは下側偏光板回転モータ８を駆動することによって、上側偏光板３あるいは下側偏光板４を回転させながら、前記カラー撮像手段によってその画像を取得する。そして、前述の画像処理を施し、ＲＧＢ値のばらつきが設定閾値以下であって強度（輝度レベル）において全体に設定閾値以下の画像が得られるような偏光板同士の正しい相対角度を検出する。この正しい相対角度に偏光板３、４を設定した場合の各色の明るさは図５に示す通りである。

0036

次いで、偏光板３、４が正しい相対角度に固定された状態で、液晶セル回転移動スライダ１０を駆動して液晶セル基板７を光軸上に移動させ、その偏光板３、４間で液晶セル基板７を回転させながら、前記カラー撮像手段によってその画像を取得する。そして、前述の画像処理を施し、偏光板３、４と液晶セル基板７の正しい相対角度を検出する。

0037

［第３の実施の形態］図６は、本発明の第３の実施の形態における表示ムラ検査装置の構成を示す。なお、第１の実施形態と同様の構成には同一符号を付与して説明を省略する。

0038

本実施形態では、上側偏光板３を光軸中心に回転させるととも垂直方向に昇降させる上側偏光板昇降回転スライダ１２と、下側偏光板４を光軸中心に回転させるとともに垂直方向に昇降させる下側偏光板昇降回転スライダ１８と、を備える。また、制御系１７は前述の信号変換手段、Ａ／Ｄ変換手段、画像処理手段、等を構成するとともに、この上側偏光板昇降回転スライダ１２及び下側偏光板昇降回転スライダ１８の回転用モータ及び昇降用モータを駆動制御するように構成されている。

0039

このような構成により、前述のように偏光板同士の正しい相対角度を検出した後に液晶セル基板７と偏光板３、４との正しい相対角度を検出した時点で、上側偏光板昇降回転スライダ１２を下降させ、下側偏光板昇降回転スライダ１８を上昇させることによって、液晶セル基板７の上下面に上側偏光板３及び下側偏光板４を貼り付ける。

0040

次いで、こうして得られた液晶製品（偏光板貼付け後の液晶セル基板７）に対する色ムラ検査あるいは色分布状態検出を行う。すなわち、液晶セル回転移動スライダ１０に把持された液晶製品から前記カラー撮像手段によってその画像を取得し、これに対して第１の実施形態で示した一連の画像処理を施して表示ムラ検査を行う。

0041

この場合、第１の実施形態（図１）から上側偏光板３、上側偏光板回転モータ６、下側偏光板４、及び下側偏光板回転モータ８を除去あるいは取り外し、液晶セル基板７に替えて前記液晶製品をハンド１９で把持するように構成してもよい。

0042

また、前述の各実施形態において、前記カラー撮像手段によって取得した画像を制御部９、１１、１７の入力表示部にモニタ表示し、偏光板３、４あるいは液晶セル基板を回転して相対角度を変化させながら、検査者がその画像を目視して変化する色状態を確認し、許容される画像を選択してその許容範囲を決定し、その画像に対して制御部９、１１、１７が画像処理機能によって画面中の座標ごとの明るさばらつき、色ばらつき、等を計算し、その値（許容範囲）を液晶セル基板あるいは液晶製品検査の指標として反映するように構成してもよい。

0043

このように定性的な目視による画像確認に基づき、官能検査において画像の色ムラ、色分布状態を定量的な値で規定し、色ムラ、色分布状態の指標とすることによって、人間の視覚特性に近い表示ムラ検査を液晶セル基板あるいは液晶製品の生産時に実施することができる。当然ながら、ポリマー・フィルム基板等による任意形状の液晶製品の生産時にも適用可能である。

0044

前述の各実施形態では、ハンド１９あるいは液晶セル回転移動スライダ１０が保持手段を構成し、バックライト照明５が照明手段を構成し、カラーＣＣＤエリアセンサ１、レンズ２、等がカラー撮像手段を構成し、上側偏光板回転モータ６あるいは上側偏光板昇降回転スライダ１２が上側偏光板回転手段を構成し、上側偏光板昇降回転スライダ１２が上側偏光板貼付手段を構成し、下側偏光板回転モータ８あるいは下側偏光板昇降回転スライダ１８が下側偏光板回転手段を構成し、下側偏光板昇降回転スライダ１８が下側偏光板貼付手段を構成し、液晶セル回転移動スライダ１０が液晶セル基板移動手段あるいは液晶セル基板回転手段を構成する。

0045

請求項１、６に記載の発明によれば、液晶セル基板に偏光板を貼付する前に、カラー撮像手段（カラーＣＣＤエリアセンサ、等）によって液晶セル基板の画像を同一光軸上に配置された偏光板を通して取得し、その画像中の各画素のＲＧＢ値を比較するので、従来は定性的な官能検査として曖昧だった色ムラや色分布状態を、定量的な特性として把握し、この特性によって表示ムラを検出することができる。よって、生産時に表示ムラの検出を効率的に行い、液晶製品の品質を向上させることができる。

0046

請求項２に記載の発明によれば、請求項１において液晶セル基板を光軸上から退避させた状態で、偏光板を回転させながら前記カラー撮像手段によって画像を取得し、取得画像の各画素のＲＧＢ値を比較することによって上側と下側の偏光板の正しい相対角度を検出するので、液晶セル基板に偏光板を貼付する前に、前記表示ムラの検出結果に従って偏光板（偏光素子）の相対角度を正しく補正することができる。

0047

請求項３に記載の発明によれば、請求項２において前記偏光板が正しい相対角度となるように配置された状態で、液晶セル基板を光軸上に復帰させた後、その液晶セル基板を回転させながら画像を取得し、随時得られる各画素のＲＧＢ値を比較することによって、偏光板と液晶セル基板の正しい相対角度を検出するので、液晶セル基板に偏光板を貼付する前に、前記表示ムラの検出結果に従って偏光板と液晶セル基板の相対角度を正しく補正することができる。

0048

請求項４に記載の発明によれば、請求項３において前記偏光板と液晶セル基板が正しい相対角度にあるように配置された状態で、その偏光板と液晶セル基板を貼り付けるので、液晶セル基板に偏光板を貼付する前に、前記表示ムラの検出結果に従って偏光板同士及び偏光板と液晶セル基板の相対角度を正しく補正し、その状態を保持したまま液晶製品を生産することができる。

0049

請求項５、７に記載の発明によれば、カラー撮像手段によって取得した液晶製品（一組の偏光板で挟んだ液晶セル基板）の画像中の各画素のＲＧＢ値を比較することによって表示ムラを検出するので、色ムラや色分布状態を定量的な特性として把握し、この特性によって偏光板貼付け後に表示ムラを検出し、その結果を液晶製品の生産時検査に反映することができる。

0050

このように本発明によれば、定性的な官能検査で検出していた表示ムラ（色ムラ等）を、カラー撮像手段を用いて定量的な特性として把握し、これによって表示ムラを効率的に検出することが可能である。

0051

図１本発明の第１の実施の形態における表示ムラ検査装置の構成を示す図である。
図２液晶セル基板と偏光板の角度変化による各色の明るさ（高輝度でばらつき小）を示す図である。
図３液晶セル基板と偏光板の角度変化による各色の明るさ（低輝度でばらつき大）を示す図である。
図４本発明の第２の実施の形態における表示ムラ検査装置の構成を示す図である。
図５液晶セル基板と偏光板の角度変化による各色の明るさ（低輝度でばらつき小）を示す図である。
図６本発明の第３の実施の形態における表示ムラ検査装置の構成を示す図である。

0052

１カラーＣＣＤエリアセンサ
２レンズ
３ 上側偏光板
４ 下側偏光板
５バックライト照明
６ 上側偏光板回転モータ
７液晶セル基板
８ 下側偏光板回転モータ
９、１１、１７ 制御部
１０スライダ
１２ 上側偏光板昇降回転スライダ
１８ 下側偏光板昇降回転スライダ
１９ハンド
１００表示ムラ検査装置