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技術 プラズマパネルの製造方法

出願人 トムソンプラズマエスアーエス
発明者 ギュイバレピエール・ポールジョベール
出願日 2000年4月12日 (21年1ヶ月経過) 出願番号 2000-110836
公開日 2000年11月24日 (20年5ヶ月経過) 公開番号 2000-323028
状態 特許登録済
技術分野 電子管及び放電灯用電極の製造 ガス放電表示管
主要キーワード 動作表面 ガラス状相 ペースト体 実施モード プラズマ放電ガス 基本粒径 ミネラルフィラー 幾何学的形
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課題

本発明は、プラズマパネル製造において、より簡単で、より迅速にバリアを製造する方法を提供することを目的とする。

解決手段

お互いに対面する二枚のタイルからなり、少なくとも一つのタイルは多くの放電セルとそのセル画成する支持バリアのアレイを形成する働きのある電極アレイを有し、そのバリアは高くしかも開放多孔性をバリアに付与する材料からなり、プラズマ放電ガスを含むプラズマパネルの製造方法であって、そのバリアは上記材料と有機樹脂とからなるペーストを利用して単一段階で形成されることを特徴とする方法により達成される。その製造方法によれば、バリアは上記材料と有機樹脂とからなるペーストを利用して、単一段階で形成される。

概要

背景

PPは、電極アレイ幾何学的形状の輪郭をだどるロウカラム組織化されたセル二次元マトリックスからなることは公知である。この場合、バリアはセルのロウ又はカラムを分離させる目的のレリーフ要素である。あるパネルでは、バリアはセルのカラム及びロウの双方をも分離し、よって、セルのチェッカーボードパターンを形成する。バリアの役割は多目的である。よって、少なくともロウ若しくはカラムの方向に、各セルの空間を区分けすることにより、バリアが存在して、あるセルでの放電イオン効果による隣接するセルでの不必要な放電を誘発させない。したがって、バリアはクロストルク(cross-torque)現象を阻止する。さらに、バリアは隣接セル間光学スクリーンを構成し、各セルにて発光する放射の良好な閉じ込めを可能にする。この役割はカラーPPでは特に重要であり、隣接セルは異なる色のドットを構成し、例えば、トライアッドを構成する。この場合、バリアは良好な色飽和保証する。

さらに、バリアはパネルタイル間スペーサとして、しばしば作用する。よって、バリアが二枚のタイル間に必要な分離に対応する高さを有するという事実が活用される。この場合、バリアを備えていないタイルは、他のタイルに存在するバリアの頂部に位置する。

バリアはさまざまな構造を有している。しかしながら、仮に、バリアが支えられるようにされていれば、密度があり、硬い材料からなることが通常である。上記支持バリアは、一方のタイルが他方のタイルに作用するかなりの圧力に耐えなければならない。これは、低圧放電ガスの導入前に、二枚の対面するタイル間を真空引きする作業の間、バリアの単位面積当たりに作用する力は、パネル全面積に対するバリア面積の割合に依存し、106パスカル(10kg/cm2)ほどの値であるということである。現在の技術水準では、バリアは密度のある材料からなり、通常はガラス状相(glassy phase)であり、十分な破壊耐性があり、二枚のタイル間の一定空間を維持する。上記バリアは、例えば、ガラスフリットを含有するペーストスクリーン印刷により(10〜20回の連続層)、又はガラスフリットを含有する層をブラストすることにより製造される。バリアの幾何学的形状を製造した後に、上記層は450℃から600℃の間の温度(通常、550℃)で加熱され、その材料の密度を上げ、機械的に強度を向上させる。しかしながら、密度を上げた材料は、常に、全体で多孔性を示し、この多孔性はパネルを真空に引いている間は容易には真空に引くことができず、数時間持続する(一般には、150℃から350℃で4から15時間)。たとえ、この多孔性が低くても、たとえ、バリアの表面が完全にガラスに変化しても、除気はプラズマパネル寿命である数千時間のうちの数時間以上生じる。PPでのガス相汚染により、作動電圧に関して、発光効率に、又は発光寿命において明らかにされる作業上の変動が生じる。上記欠点を解消させるために、トムソンプラズマ名義による仏国特許出願第98/16093号では、実質的に開放的多孔性を付与する材料からのバリアを製造することを提案し、さらにその多孔性は比較的高いことが好ましい。この目的のため、出願人は、高い多孔性のあるバリアが製造されれば、真空引き中に除去することが可能となり、実際に全ての分子を除気することが可能であり、その後に除気をするパネルにリスクは殆ど存在しないことになる。この技術的効果は、PPの性能が影響を受けずに、真空引き工程の持続時間が数時間から一時間以内に、或いはたった30分に減少し得るという点で、顕著に現れる。

前述の特許出願第98/16093号にて、バリアは通常の製造方法、例えば、スクリーン印刷、ブラスティング(blasting)及び光リソグラフィーを利用して製造される。よって、図1(A)から図1(C)に示すように、バリアはアドレス電極X1、X2...X5...を有するタイル1に作られる。例えば、上記バリアは製造工程の最後に、400μmピッチ、100μm幅で180μmの高さを有し、プラズマパネルとしては、TV解像度(560ロウ、700カラム)のある106cmの対角線に相当する動作領域を有する。公知の方法で、誘電体2の厚い層と酸化マグネシウム、つまりMgOの薄い層は、従来の技術を利用してアドレス電極で覆われたタイル1に堆積させる。

薄いMgO層3にスクリーン印刷により堆積させたペースト層10’の光リソグラフィーにより、バリアが製造される。その層を構成したペーストの成分は、以下のようである。

− 狭い粒子サイズ分布で、5ミクロン平均粒径を有するアルミナ粒子の形でのミネラルフィラーと−アルミナ質量の10%のレベルでの鉛ボロシリケート又はビスマスボロシリケートと、ペースト体積の50%を構成するネガ型感光性樹脂とを含むガラス状相とからなる。

ドクターブレード20を利用して、ペースト10’は、図1(A)に説明するように、タイルの動作領域のアスペクト比に対応する開口部を有するスクリーン印刷マスク21を介して、MgO層3に一様に広げられる。ペースト10’層は80℃で乾燥させる。この作業後,約20μmの厚さになる。

次に、光リソグラフィーマスク22がペースト10’層上に配置される。そのマスクは、MgO層3に被印刷バリアのパターンに対応する細長い開口部を有する。マスクにより表に現れた層の部分は紫外線露光され、図1(B)に示すように、現像に対して抵抗を有するようになる。

続いて、前記したように露光された層10’は、利用した樹脂のタイプに応じて、水又は炭酸ナトリウムを添加した水中につけ、その後、表面はエアーナイフを利用して乾燥させる。

その後、図1(C)に示すように、約20μmの基本的な高さを有するバリア材料10’の第一の層が得られる。

前述の工程は、バリアに必要な高さが得られるまで、連続して繰り返される。スクリーン印刷によるペースト10’のそれぞれの新しい堆積は、形成されたバリアの頂部を含み、タイルの動作領域を完全に覆う。上記工程の繰返し数に依存して、スクリーン印刷マスク21の垂直位置、又はそのマスクの深さは、タイルに存在する堆積層の変動に応じて、変更される。

前述の特許出願第98/16093号にて説明した方法には、必要な高さを有するバリアを製造することができるようにするためには、数多の工程が必要である。典型的には、その方法には3から5の堆積操作が必要である。なぜならば、個々の厚さは約15から30μmという小さな値であるからである。150μmの高さを有するバリアを堆積させるために、したがって、少なくとも5層が必要であり、途中に乾燥工程があり、堆積構造を安定化させ、有機化合物を焼き払うために、最終的に400℃から520℃で20から60分間の加熱が必要である。

概要

本発明は、プラズマパネル製造において、より簡単で、より迅速にバリアを製造する方法を提供することを目的とする。

お互いに対面する二枚のタイルからなり、少なくとも一つのタイルは多くの放電セルとそのセルを画成する支持バリアのアレイを形成する働きのある電極アレイを有し、そのバリアは高くしかも開放的多孔性をバリアに付与する材料からなり、プラズマ放電ガスを含むプラズマパネルの製造方法であって、そのバリアは上記材料と有機樹脂とからなるペーストを利用して単一段階で形成されることを特徴とする方法により達成される。その製造方法によれば、バリアは上記材料と有機樹脂とからなるペーストを利用して、単一段階で形成される。

目的

本発明は上述の点を鑑みてなされたものであり、より簡単で、より迅速にバリアを製造する方法を提供することを目的とする。

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
0件

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請求項1

互いに対面する二枚のタイル具備し、少なくとも一つのタイルは多くの放電セルと前記セル画成する支持バリアのアレイとを形成する働きのある電極アレイを有し、前記バリアはそのバリアに高くしかも開放多孔性を付与する材料からなり、プラズマ放電ガスを含むプラズマパネルの製造方法であって、前記バリアは前記材料と有機樹脂とを含むペーストを利用して、単一段階で形成されることを特徴とする方法。

請求項2

前記方法は、− 前記バリアを受けるタイルにペーストの一様な層を堆積させ、− バリアのパターンを有するモールドを前記層に供給し、− 堆積させた層に前記パターンを押圧することにより印刷する段階からなることを特徴とする請求項1記載の方法。

請求項3

前記ペーストに含有される前記有機樹脂は熱可塑性樹脂であることを特徴とする請求項2記載の方法。

請求項4

前記熱可塑性樹脂は60℃から200℃の間の軟化温度を有することを特徴とする請求項3記載の方法。

請求項5

前記有機樹脂はポリビニルアルコールポリビニルピロリドン及びポリビニルブチラールから選択された化合物を含むことを特徴とする請求項3又は4記載の方法。

請求項6

前記有機樹脂は前記ペーストの全質量の25から75%含まれることを特徴とする請求項2乃至5のうち何れか1項記載の方法。

請求項7

前記押圧は70℃から150℃の間の温度で実行されることを特徴とする請求項2記載の方法。

請求項8

前記方法は、− 前記ペーストでバリアのパターンを有するモールドに充填し、− バリアを受けるタイルの表面に前記モールドを押圧し、− 加熱することにより前記ペーストを接着させる段階からなることを特徴とする請求項1記載の方法。

請求項9

前記ペーストに含有される前記有機樹脂は硬化可能な化合物を含むことを特徴とする請求項8記載の方法。

請求項10

前記硬化可能な化合物はビニル又はセルロース化合物から選択されることを特徴とする請求項9記載の方法。

請求項11

バリアを受ける表面は前記ペーストを接着させるために、80℃から150℃の間の温度に加熱することを特徴とする請求項8乃至10の何れか1項記載の方法。

請求項12

前記バリアの材料は1から20μmの間の平均基本粒径を有するパウダーの形のミネラルフィラーを含むことを特徴とする請求項1乃至11のうち何れか1項記載の方法。

請求項13

前記ミネラルフィラーはアルミナ及びシリカから選択された酸化物であることを特徴とする請求項12記載の方法。

請求項14

前記バリアの材料は前記ミネラルフィラーの質量の10%と同量若しくはその10%以下の量の硬化剤を含むことを特徴とする請求項1乃至13のうち何れか1項記載の方法。

請求項15

前記硬化剤は鉛ボロシリケート又はビスマスボロシリケートのようなガラス状相、若しくは鉛シリケートケイ酸ナトリウムケイ酸リチウムケイ酸カリウム、鉛ホスフェート亜鉛ホスフェートのような化合物であり、前記方法の残部に関係する加熱処理の温度で化学結合を形成することが可能であることを特徴とする請求項14記載の方法。

請求項16

バリア形成後、従来の堆積方法を利用して、蛍光物質をバリア間に堆積させることを特徴とする請求項1乃至15のうち何れか1項記載の方法。

請求項17

前記バリアを有するタイルは400℃から550℃の間、好ましくは400℃から450℃の間の温度で最終加熱させることを特徴とする請求項1乃至16のうち何れか1項記載の方法。

技術分野

0001

本発明は、プラズマパネル(PP)、つまりフラットディスプレイスクリーン係り表示画像は多くの光放電点からなる。光放電は二枚の絶縁タイル間に含有されたガス中で発生し、各点は少なくとも一つのタイル支えられた電極アレイでの交差に対応する。本発明は、より詳細には、少なくとも一つのパネルのタイルのバリアの製造方法に関し、上記バリア自体はPPの分野では周知な構造要素である。

背景技術

0002

PPは、電極アレイの幾何学的形状の輪郭をだどるロウカラム組織化されたセル二次元マトリックスからなることは公知である。この場合、バリアはセルのロウ又はカラムを分離させる目的のレリーフ要素である。あるパネルでは、バリアはセルのカラム及びロウの双方をも分離し、よって、セルのチェッカーボードパターンを形成する。バリアの役割は多目的である。よって、少なくともロウ若しくはカラムの方向に、各セルの空間を区分けすることにより、バリアが存在して、あるセルでの放電イオン効果による隣接するセルでの不必要な放電を誘発させない。したがって、バリアはクロストルク(cross-torque)現象を阻止する。さらに、バリアは隣接セル間光学スクリーンを構成し、各セルにて発光する放射の良好な閉じ込めを可能にする。この役割はカラーPPでは特に重要であり、隣接セルは異なる色のドットを構成し、例えば、トライアッドを構成する。この場合、バリアは良好な色飽和保証する。

0003

さらに、バリアはパネルタイル間のスペーサとして、しばしば作用する。よって、バリアが二枚のタイル間に必要な分離に対応する高さを有するという事実が活用される。この場合、バリアを備えていないタイルは、他のタイルに存在するバリアの頂部に位置する。

0004

バリアはさまざまな構造を有している。しかしながら、仮に、バリアが支えられるようにされていれば、密度があり、硬い材料からなることが通常である。上記支持バリアは、一方のタイルが他方のタイルに作用するかなりの圧力に耐えなければならない。これは、低圧放電ガスの導入前に、二枚の対面するタイル間を真空引きする作業の間、バリアの単位面積当たりに作用する力は、パネル全面積に対するバリア面積の割合に依存し、106パスカル(10kg/cm2)ほどの値であるということである。現在の技術水準では、バリアは密度のある材料からなり、通常はガラス状相(glassy phase)であり、十分な破壊耐性があり、二枚のタイル間の一定空間を維持する。上記バリアは、例えば、ガラスフリットを含有するペーストスクリーン印刷により(10〜20回の連続層)、又はガラスフリットを含有する層をブラストすることにより製造される。バリアの幾何学的形状を製造した後に、上記層は450℃から600℃の間の温度(通常、550℃)で加熱され、その材料の密度を上げ、機械的に強度を向上させる。しかしながら、密度を上げた材料は、常に、全体で多孔性を示し、この多孔性はパネルを真空に引いている間は容易には真空に引くことができず、数時間持続する(一般には、150℃から350℃で4から15時間)。たとえ、この多孔性が低くても、たとえ、バリアの表面が完全にガラスに変化しても、除気はプラズマパネルの寿命である数千時間のうちの数時間以上生じる。PPでのガス相汚染により、作動電圧に関して、発光効率に、又は発光寿命において明らかにされる作業上の変動が生じる。上記欠点を解消させるために、トムソンプラズマ名義による仏国特許出願第98/16093号では、実質的に開放的多孔性を付与する材料からのバリアを製造することを提案し、さらにその多孔性は比較的高いことが好ましい。この目的のため、出願人は、高い多孔性のあるバリアが製造されれば、真空引き中に除去することが可能となり、実際に全ての分子を除気することが可能であり、その後に除気をするパネルにリスクは殆ど存在しないことになる。この技術的効果は、PPの性能が影響を受けずに、真空引き工程の持続時間が数時間から一時間以内に、或いはたった30分に減少し得るという点で、顕著に現れる。

0005

前述の特許出願第98/16093号にて、バリアは通常の製造方法、例えば、スクリーン印刷、ブラスティング(blasting)及び光リソグラフィーを利用して製造される。よって、図1(A)から図1(C)に示すように、バリアはアドレス電極X1、X2...X5...を有するタイル1に作られる。例えば、上記バリアは製造工程の最後に、400μmピッチ、100μm幅で180μmの高さを有し、プラズマパネルとしては、TV解像度(560ロウ、700カラム)のある106cmの対角線に相当する動作領域を有する。公知の方法で、誘電体2の厚い層と酸化マグネシウム、つまりMgOの薄い層は、従来の技術を利用してアドレス電極で覆われたタイル1に堆積させる。

0006

薄いMgO層3にスクリーン印刷により堆積させたペースト層10’の光リソグラフィーにより、バリアが製造される。その層を構成したペーストの成分は、以下のようである。

0007

− 狭い粒子サイズ分布で、5ミクロン平均粒径を有するアルミナ粒子の形でのミネラルフィラーと−アルミナ質量の10%のレベルでの鉛ボロシリケート又はビスマスボロシリケートと、ペースト体積の50%を構成するネガ型感光性樹脂とを含むガラス状相とからなる。

0008

ドクターブレード20を利用して、ペースト10’は、図1(A)に説明するように、タイルの動作領域のアスペクト比に対応する開口部を有するスクリーン印刷マスク21を介して、MgO層3に一様に広げられる。ペースト10’層は80℃で乾燥させる。この作業後,約20μmの厚さになる。

0009

次に、光リソグラフィーマスク22がペースト10’層上に配置される。そのマスクは、MgO層3に被印刷バリアのパターンに対応する細長い開口部を有する。マスクにより表に現れた層の部分は紫外線露光され、図1(B)に示すように、現像に対して抵抗を有するようになる。

0010

続いて、前記したように露光された層10’は、利用した樹脂のタイプに応じて、水又は炭酸ナトリウムを添加した水中につけ、その後、表面はエアーナイフを利用して乾燥させる。

0011

その後、図1(C)に示すように、約20μmの基本的な高さを有するバリア材料10’の第一の層が得られる。

0012

前述の工程は、バリアに必要な高さが得られるまで、連続して繰り返される。スクリーン印刷によるペースト10’のそれぞれの新しい堆積は、形成されたバリアの頂部を含み、タイルの動作領域を完全に覆う。上記工程の繰返し数に依存して、スクリーン印刷マスク21の垂直位置、又はそのマスクの深さは、タイルに存在する堆積層の変動に応じて、変更される。

0013

前述の特許出願第98/16093号にて説明した方法には、必要な高さを有するバリアを製造することができるようにするためには、数多の工程が必要である。典型的には、その方法には3から5の堆積操作が必要である。なぜならば、個々の厚さは約15から30μmという小さな値であるからである。150μmの高さを有するバリアを堆積させるために、したがって、少なくとも5層が必要であり、途中に乾燥工程があり、堆積構造を安定化させ、有機化合物を焼き払うために、最終的に400℃から520℃で20から60分間の加熱が必要である。

発明が解決しようとする課題

0014

本発明は上述の点を鑑みてなされたものであり、より簡単で、より迅速にバリアを製造する方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0015

上記の目的は、お互いに対面する二枚のタイルからなり、少なくとも一つのタイルは多くの放電セルとそのセルを画成する支持バリアのアレイを形成する働きのある電極アレイを有し、そのバリアは高くしかも開放的多孔性をバリアに付与する材料からなり、プラズマ放電ガスを含むプラズマパネルの製造方法であって、そのバリアは前記材料と有機樹脂とからなるペーストを利用して単一段階で形成されることを特徴とする方法により達成される。

0016

二つの標準方法が単一段階で、つまり、その方法を構成する成形タイプ又はその方法を構成する移動タイプによる方法が、バリアを製造するために利用された。

0017

製造方法を構成する成形タイプに関係する実施の第一のモードによれば、前記製造方法は以下の段階からなる:
−バリアを受けるタイルにペーストの一様な層を堆積させ、
−バリアのパターンを有するモールドを前記層に適用し、
−堆積層に前記パターンの押圧により印刷する段階からなる。

0018

この場合、ペーストに含有される有機樹脂は、60℃から200℃の間に軟化温度を有することが好ましい熱可塑性樹脂である。

0019

典型的には、上記有機樹脂には、ポリビニルアルコールポリビニルピロリドン及びポリビニルブチラールから選択された化合物を含む。加えて、その樹脂はペーストの全質量の25から75%を含む。さらに、この方法では、70℃から150℃の間の温度で押圧が実行される。

0020

製造方法を構成する移動タイプに関係する実施の別のモードによれば、その製造方法は以下の段階からなる:
−前記ペーストにより、バリアのパターンを有するモールドを充填し、
−バリアを受けるタイルの表面に前記モールドを押圧し、
−加熱によりペーストを接着させる段階からなる。

0021

この場合、ペーストに含有される有機樹脂は、80℃から150℃の間の軟化温度を有する硬化可能な化合物からなり、ビニル又はセルロース化合物から選択される。バリアを受けるタイルの表面にペースト材料が接着するようにするために、上記表面は80℃から150℃の温度に加熱される。

0022

高くしかも開放的多孔性を有するバリアの材料は、実施の両モードにて同一である。さらに、前述の特許出願第98/16093号に開示された材料と同一である。通常、上記材料には、1から20μmの平均基本粒径を有するパウダーの形であるミネラルフィラーを含む。そのミネラルフィラーは、アルミナシリカから選択された酸化物であることが好ましい。

0023

任意には、バリアの材料には、ミネラルフィラーの質量の10%と同等若しくはその10%以下の量の硬化剤が含まれる。この硬化剤はガラス状相であり、ガラスの場合、処理温度以下の軟化温度である。このガラス状相は鉛ボロシリケート、ビスマスシリケートや、鉛スルフェート、鉛ホスフェート亜鉛ホスフェート、ケイ酸ナトリウムケイ酸カリウムケイ酸リチウムケイ酸鉛のような化合物から選択され、上記化合物は処理温度で化学結合を形成させることができる。

0024

本発明の別の特徴によれば、バリア形成後、スクリーン印刷又は光リソグラフィー方法のような従来の堆積方法を利用して、蛍光物質をバリア間に堆積させる。

0025

蛍光物質を一旦堆積させると、その後、バリアを有するタイルは400℃から500℃、好ましくは400℃から450℃の温度で最終的に加熱され、ガラスからなるタイルは変形しない。これは、ガラスの寸法安定性が460℃以上で維持することが難しいということである。

発明を実施するための最良の形態

0026

以下に、本発明の特徴及び利点は、下記の添付図を引用した説明とともに、各実施モードを詳細に説明することにより、明らかとなる。

0027

図面の説明を簡潔にするために、同じ要素は同じ参照番号を有するものとする。図2(A)から図2(D)及び図3(A)から図3(C)を参照して、二つの特定方法を説明し、単一製造段階で、高くしかも開放的多孔性を有するバリアが製造可能となる。

0028

実施のための両モードでは、フィラー及び樹脂を含有するペーストが利用され、そのフィラーは実施のモードがどのモードであろうとも同じタイプである。フィラーは仏国特許出願第98/16093号に記載された材料からなる。好ましくは、上記フィラーはパウダーの形のミネラルフィラーであり、1から20μmの範囲内にあることが好ましい、つまり5から8μmの平均基本粒径を有する。これは、約5から8μmの間にある狭い粒子サイズ分布が特に適し、良好な塗布密着性を付与するということである。粒子サイズ分布の上記選択から生じるバリアは、さらなる要素を添加することなしに、7x105パスカル(約7kg/cm2)までの範囲を圧力に耐え得ることができ、最大の多孔性を有する。そのフィラーはアルミナ又はシリカのような酸化物からなることが好ましい。ミネラルフィラーの質量の10%と同量の、若しくはそれ以下の硬化剤を含ませても差し支えない。上記硬化剤は、鉛ボロシリケート又はビスマスボロシリケートのようなガラス状相から、或いは鉛スルフェート、鉛ホスフェート、亜鉛ホスフェート、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム又はケイ酸リチウムのような化合物から選択され、上記化合物は処理温度で化学結合を形成することが可能である。例に示したように、以下の実施のモードに利用されるフィラーは、5μmの平均粒径を有するアルミナと、アルミナの質量の10%量の鉛シリケートのような硬化剤と組合わせて利用される。本発明の両実施モードでは、フィラーはペーストを構成する樹脂と組合わせ、図1(A)から図1(C)にて説明した実施モードを参照して言及したように、MgO層に堆積させる。利用した製造方法に応じて、樹脂は60℃から200℃の間の軟化温度を有する熱可塑性タイプの樹脂である。この熱可塑性タイプの樹脂には、ポリビニルアルコール若しくはポリビニルピロリドン又はポリビニルブチラールのようなタイプの化合物が含まれる。上記化合物はペーストの全質量の25から70%を構成する。別の製造方法では、樹脂は80℃から150℃の間の軟化温度を有する硬化可能な化合物を含む。上記樹脂はビニル又はセルロース化合物から選択される。化合物のタイプにより基板への良好な接着が可能となる。

0029

バリアのある実施態様では、そのバリアは成形方法を利用して製造され、具体的には図2(A)から図2(D)にて説明する。図2(A)に示すように、動作は、予めアドレス電極アレイX1、X2、...、X5、...、X7を備えたガラスタイル1にて開始し、上記アレイは、従来の技術を利用して、厚い誘電体層2と酸化マグネシウム、つまりMgOの薄い層3が塗布されている。本実施例にて、バリアは前述したペースト層を成形させることにより製造される。よって、本発明によれば、ペースト層30’は、薄いMgO層3上にスクリーン印刷することにより堆積される。この場合、ペーストの成分は、平均基本粒径5μmを有し、狭い粒子サイズ分布のあるアルミナ粒子の形でのミネラルフィラーと、この場合、アルミナ質量の10%に達する鉛ボロシリケートと熱可塑性樹脂、具体的には水に溶解させたポリビニルアルコールとを含む。

0030

図2(A)に示すように、ドクターブレード20を利用して、ペースト30’をスクリーン印刷用マスク21を介して、層3上に一様に塗布した。そのスクリーン印刷用マスク21はタイルの動作領域のアスペクト比に対応する開口部を有している。ペーストを一旦乾燥させると、約30μmの厚さになり、その厚さは被形成バリアの体積により決定される。

0031

図2(B)に示すように、好ましくは、商標登録名「テフロン」として周知であるタイプのフッ素含有化合物のような非粘着性層を備えた金属モールド40が、バリアを製造するために利用される。このモールド40は被形成バリアのパターンを表わす突起41を具備している。

0032

本発明と図2(C)に示したように、約90℃の温度に加熱させたそのモールドは、スクリーン印刷された層30’を有する基板に対して押圧される。その基板自体も90℃の温度に加熱される。被形成層を有するタイル若しくはモールド、又は双方の要素を加熱することにより同じ結果を得られることは、当業者には明白なことである。前記加熱は70℃から150℃の間の温度で実行される。バリア30が形成された後、そのモールドは除去され、蛍光物質50R、50G、50Bが当業者には公知な方法により堆積される。

0033

したがって、各蛍光物質では、体積比1:1の蛍光フィラーと感光性樹脂とからなるペーストが調製される。このペーストは、スクリーン印刷によりタイルの動作表面上に一様に堆積され、バリアを包み込むのに十分な厚さの層を形成する。光リソグラフィマスクは蛍光物質ストライプにより覆われべき領域に相当するカットアウトパターンを有する。全ての蛍光物質ストライプが堆積されると、その集合体は有機化合物を焼き払うために、420℃で1時間加熱される。したがって、本実施モードでは、バリアのパターンは単一段階で得られる。さらに、利用した樹脂のタイプに応じて、単一の最終加熱はバリア及び蛍光物質に対して、400℃から450℃の間の温度で行われ、450℃以上で発生するガラスの寸法変動を未然に回避することが可能となる。

0034

移動タイプ方法を利用して製造されたバリアの実施例は、図3(A)から図3(C)を参照して説明される。図3(A)に示すように、基板は、誘電材料2の厚い層で覆われた電極アレイX1、X2、...、X7を備えたタイル1からなり、その誘電材料2は薄いMgO層3により覆われている。移動タイプ方法の場合、形成されるべきユニット60’を有するモールド60が利用される。このモールドは前述したフィラーを含み、この場合ビニル又はセルロース化合物から選択された硬化可能な化合物からなる有機樹脂とを組合わせたペースト70’で充填される。ペースト材料が基板に接着するようにさせるために、硬化可能な化合物は80℃から150℃の間の軟化温度を有する。

0035

図3(B)に示すように、ペースト70’を用意したモールドは基板の頂部表面に、つまり、MgO層3の表面に供給される。そのペーストを基板に接着するようにするために、MgO層は80℃から150℃の間の温度へ加熱させる。このようにして、図3(C)に示すように、樹脂を硬化させてMgO層3に接着させ、バリア70を形成する。

0036

その後、蛍光物質は、図2(D)を参照して説明したのと同じ方法で堆積させる。蛍光物質が一旦堆積すると、その集合体は、ガラス基板を変形させないように、400℃から500℃、好ましくは400℃から450℃の温度で最終加熱が行われる。硬化可能な化合物は、結果として、400℃から450°の間で完全に分解する化合物である。

0037

加熱温度による単一段階でのバリアの製造にて、その段階は蛍光物質の堆積後に実行され、その製造は上記バリア製造技術により得られる。

0038

前述した方法は多くの他の利点を有している。特に、前記方法ではブラスティングによる製造の場合に観測された汚染残留物が発生しない。さらに、パネルのポンピングは、バリアの高い多孔性のため、かなり容易となる。加えて、利用された材料は従来の材料よりもあまり高価でなく、平面性に対する制約は、密度のあるバリアの場合よりも厳しくはない。なぜなら、バリアの局部的な厚さは、ポンピングサイクル中のプラズマパネルにて真空が生じる際に、材料の局部的に密にするとこにより、バリアの平均的高さに減少させるからである。

0039

成形又は移動方法は他のタイプのモールドとともに利用でき、特に成形は円筒形タイプのモールドを利用して実行でき、移動方法はローラを利用して実行できることは、当業者には明白であろう。

図面の簡単な説明

0040

図1図1(A)から図1(C)は、先行技術の方法での主要な段階を説明する図である。
図2図2(A)から図2(D)は、本発明による成形タイプ方法での主要段階を説明する図である。
図3図3(A)から図3(C)は、本発明による移動タイプ方法での主要段階を説明する図である。

--

0041

1タイル
2誘電体層
酸化マグネシウム層
20ドクターブレード
21スクリーン印刷用マスク
30バリア
30’ペースト層
40金属モールド
41突起
50R、50G、50B蛍光物質
60モールド
70 バリア
70’ ペースト

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