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技術 板状部材存在状態検出装置

出願人 アズビル株式会社
発明者 佐々木宏小林孝次
出願日 1998年12月1日 (21年3ヶ月経過) 出願番号 1998-341745
公開日 2000年6月23日 (19年9ヶ月経過) 公開番号 2000-174103
状態 拒絶査定
技術分野 ウエハ等の容器,移送,固着,位置決め等 ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等
主要キーワード 周方向軸 側縁面 斜め差し 円柱側面 円柱座標 収納体内 周方向角度 くし状
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2000年6月23日)のものです。
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図面 (14)

課題

非接触で、しかも設計の制約を大幅に減らして、ウエハコンテナ内に並べられたウエハの存在状態を検出する。

解決手段

ウエハコンテナ1から覗くウエハ2(2−1〜2−n)を画像として捉えるようにビデオカメラ4をウエハコンテナ1の斜め上方に配置する。ビデオカメラ4が捉えている画像(図1(b))を幾何補正することによってθ−z平面画像を得る(図1(c))。このθ−z平面画像では、ウエハ2のエッジは、ウエハ2の並設方向に等間隔に並び円周方向に平行な直線群となる。この直線群の状態からウエハの有無、斜め差し、飛び出し、重なりを判定する(図1(d),(e),(f),(g))。

概要

背景

従来より、この種の装置として、ウエハコンテナ内に並べられたウエハの存在状態を検出するウエハ存在状態検出装置が用いられている。このウエハ存在状態検出装置として、くし状に配置された光電スイッチ群を用いる方式(従来技術1)とカメラを用いる方式(従来技術2)とがある。

〔従来技術1〕図13において、1はウエハコンテナ、2(2−1〜2−n)はウエハコンテナ1の各段の収納ラックに収められたウエハ、3はウエハ存在状態検出装置のセンサ部である。センサ部3はくし状に配置された光電スイッチ3−1〜3−nを有している。光電スイッチ3−1〜3−nは送光部3−1a〜3−naと受光部3−1b〜3−nbとからなる。この光電スイッチ3−1〜3−nが配置されたくし状部をウエハ2−1〜2−nの列に差し込むことによってウエハ2−1〜2−nの有無を検出する。

〔従来技術2〕ウエハコンテナ1を例えば透明部材としてその一方から照明を当て他方にできた影をカメラで取り込む。これにより、非接触で、ウエハコンテナ1の各段の収納ラックに正しくウエハ2−1〜2−nが収められているか否かを検出する。この方式は、例えば特開平7−147316号公報に示された検出装置に採用されている。

概要

非接触で、しかも設計の制約を大幅に減らして、ウエハコンテナ内に並べられたウエハの存在状態を検出する。

ウエハコンテナ1から覗くウエハ2(2−1〜2−n)を画像として捉えるようにビデオカメラ4をウエハコンテナ1の斜め上方に配置する。ビデオカメラ4が捉えている画像(図1(b))を幾何補正することによってθ−z平面画像を得る(図1(c))。このθ−z平面画像では、ウエハ2のエッジは、ウエハ2の並設方向に等間隔に並び円周方向に平行な直線群となる。この直線群の状態からウエハの有無、斜め差し、飛び出し、重なりを判定する(図1(d),(e),(f),(g))。

目的

本発明はこのような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、非接触で、しかも設計の制約を大幅に減らして、コンテナ内に並べられた板状部材の存在状態を検出することのできる板状部材存在状態検出装置を提供することにある。

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
3件

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請求項1

収納体内に並べられた板状部材存在状態を検出する板状部材存在状態検出装置において、前記収納体から覗く板状部材の画像を取り込む撮像手段と、この撮像手段によって取り込まれた画像を前記収納体内に並べられた板状部材の水平面に対する鉛直軸および周方向軸直交軸とする画像データに変換する画像データ変換手段と、この画像データ変換手段によって変換された画像データに基づいて前記収納体内の板状部材の存在状態を判定する存在状態判定手段とを備えたことを特徴とする板状部材存在状態検出装置。

請求項2

収納体内に並べられた板状部材の存在状態を検出する板状部材存在状態検出装置において、前記収納体から覗く板状部材の画像を取り込む撮像手段と、この撮像手段によって取り込まれた画像を前記収納体内に並べられた板状部材の水平面に対する鉛直軸および周方向軸を直交軸とする画像データに変換する画像データ変換手段と、この画像データ変換手段によって変換された画像データに対して各画素輝度を前記周方向軸について積分した前記鉛直軸方向に対する輝度分布を求める輝度分布手段と、この輝度分布手段によって求められた鉛直軸方向に対する輝度分布に基づいて前記収納体内の板状部材の存在状態を判定する存在状態判定手段とを備えたことを特徴とする板状部材存在状態検出装置。

請求項3

収納体内に並べられた板状部材の存在状態を検出する板状部材存在状態検出装置において、前記収納体から覗く板状部材の画像を取り込む撮像手段と、この撮像手段によって取り込まれた画像を前記収納体内に並べられた板状部材の水平面に対する鉛直軸および周方向軸を直交軸とする画像データに変換する画像データ変換手段と、この画像変換手段によって変換された画像データ上の直線をこの直線と直交する原点からの垂線の長さρとこの垂線と周方向軸との成す角度ψで表されるψ−ρ座標上の点に変換する座標変換手段と、この座標変換手段によって変換されたψ−ρ座標上の点に基づいて前記収納体内の板状部材の存在状態を判定する存在状態判定手段とを備えたことを特徴とする板状部材存在状態検出装置。

技術分野

0001

この発明は、収納体(例えば、ウエハコンテナ)内に並べられた板状部材(例えば、ウエハ)の存在状態を検出する板状部材存在状態検出装置に関するものである。

背景技術

0002

従来より、この種の装置として、ウエハコンテナ内に並べられたウエハの存在状態を検出するウエハ存在状態検出装置が用いられている。このウエハ存在状態検出装置として、くし状に配置された光電スイッチ群を用いる方式(従来技術1)とカメラを用いる方式(従来技術2)とがある。

0003

〔従来技術1〕図13において、1はウエハコンテナ、2(2−1〜2−n)はウエハコンテナ1の各段の収納ラックに収められたウエハ、3はウエハ存在状態検出装置のセンサ部である。センサ部3はくし状に配置された光電スイッチ3−1〜3−nを有している。光電スイッチ3−1〜3−nは送光部3−1a〜3−naと受光部3−1b〜3−nbとからなる。この光電スイッチ3−1〜3−nが配置されたくし状部をウエハ2−1〜2−nの列に差し込むことによってウエハ2−1〜2−nの有無を検出する。

0004

〔従来技術2〕ウエハコンテナ1を例えば透明部材としてその一方から照明を当て他方にできた影をカメラで取り込む。これにより、非接触で、ウエハコンテナ1の各段の収納ラックに正しくウエハ2−1〜2−nが収められているか否かを検出する。この方式は、例えば特開平7−147316号公報に示された検出装置に採用されている。

発明が解決しようとする課題

0005

しかしながら、従来技術1の方式では、ウエハコンテナ1の収納ラックに収められたウエハ2の有無は検出することができるが、ウエハ2が斜めに入っていたり、1段の収納ラックに複数枚のウエハが重なって入っていたり、飛び出して入っていたりすることは検出することができない。また、ウエハ2が斜めに入っていると、光電スイッチ3がウエハ2に接触し、ウエハ2を破損させてしまう虞れがある。

0006

これに対して、従来技術2の方式では、従来技術1の方式のような問題は発生しないものの、ウエハコンテナを透明部材としたり、前後方向に開口部を持たせる必要があり、そうではないウエハコンテナでは検出することができない。更に、この方式では、カメラや照明がウエハコンテナを取り巻いているので、ウエハコンテナからウエハを取り出す機構などと干渉しないように設置場所や方法を工夫する必要があり、設計の制約を受ける。

0007

本発明はこのような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、非接触で、しかも設計の制約を大幅に減らして、コンテナ内に並べられた板状部材の存在状態を検出することのできる板状部材存在状態検出装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

0008

このような目的を達成するために、第1発明(請求項1に係る発明)は、収納体から覗く板状部材の画像を取り込む撮像手段と、この撮像手段によって取り込まれた画像を収納体内に並べられた板状部材の水平面に対する鉛直軸および周方向軸直交軸とする画像データに変換する画像データ変換手段と、この画像データ変換手段によって変換された画像データに基づいて収納体内の板状部材の存在状態を判定する存在状態判定手段とを設けたものである。この発明によれば、収納体から覗く板状部材の画像がその板状部材の水平面に対する鉛直軸(z軸)および周方向軸(θ軸)を直交軸とする画像データに変換され、この画像データに基づいて収納体内の板状部材の存在状態(板状部材の有無、斜め差し、飛び出し、重なりなど)が判定される。

0009

第2発明(請求項2に係る発明)は、収納体から覗く板状部材の画像を取り込む撮像手段と、この撮像手段によって取り込まれた画像を収納体内に並べられた板状部材の水平面に対する鉛直軸および周方向軸を直交軸とする画像データに変換する画像データ変換手段と、この画像データ変換手段によって変換された画像データに対して各画素輝度を周方向軸について積分した鉛直軸方向に対する輝度分布を求める輝度分布手段と、この輝度分布手段によって求められた鉛直軸方向に対する輝度分布に基づいて収納体内の板状部材の存在状態を判定する存在状態判定手段とを設けたものである。この発明によれば、コンテナから覗く板状部材の画像がその板状部材の水平面に対する鉛直軸(z軸)および周方向軸(θ軸)を直交軸とする画像データに変換され、この画像データに対して各画素の輝度を周方向軸について積分した鉛直軸方向に対する輝度分布が求められ、この鉛直軸方向に対する輝度分布に基づいて収納体内の板状部材の存在状態(板状部材の有無、飛び出し、重なりなど)が判定される。

0010

第3発明(請求項3に係る発明)は、収納体から覗く板状部材の画像を取り込む撮像手段と、この撮像手段によって取り込まれた画像を収納体内に並べられた板状部材の水平面に対する鉛直軸および周方向軸を直交軸とする画像データに変換する画像データ変換手段と、この画像変換手段によって変換された画像データ上の直線をこの直線と直交する原点からの垂線の長さρとこの垂線と周方向軸との成す角度ψで表されるψ−ρ座標上の点に変換する座標変換手段と、この座標変換手段によって変換されたψ−ρ座標上の点に基づいて収納体内の板状部材の存在状態を判定する存在状態判定手段とを設けたものである。この発明によれば、収納体から覗く板状部材の画像がその板状部材の水平面に対する鉛直軸(z軸)および周方向軸(θ軸)を直交軸とする画像データに変換され、この画像データ上の直線がψ−ρ座標上の点に変換され、この変換されたψ−ρ座標上の点に基づいてコンテナ内の板状部材の存在状態(板状部材の有無、斜め差し、飛び出し、重なりなど)が判定される。

発明を実施するための最良の形態

0011

以下、本発明を実施の形態に基づき詳細に説明する。先ず、実施の形態の説明に入る前に、図1を用いて本発明の原理について説明する。

0012

〔原理〕図1(a)において、4はビデオカメラであり、ウエハコンテナ1から覗くウエハ2(2−1〜2−n)を画像として捉えるように、ウエハコンテナ1の斜め上方に配置する。この図1(a)において、ウエハコンテナ1内に上下方向に並べられたウエハ2の列を円柱みなす。この場合、ウエハ2の側縁面エッジ)は、円柱側面模様となる。

0013

この円柱のジオメトリ(後述)が既知である場合、円柱側面の画像(図1(b))をビデオカメラ4から見えている範囲内で幾何補正することによって、平面に展開円柱座標投影)することができる(図1(c))。この平面に展開された画像では、ウエハ2のエッジは、ウエハ2の並設方向に等間隔に並び円周方向に平行な直線群となる。

0014

この平行な直線がウエハコンテナ1の収納ラックの各段に相当する位置にあるか否かで、その段にウエハ2が入っているか否かを検出することができる。ウエハ2が抜けている場合、図1(d)に破線で示すように、その段に相当する位置には直線が出ない。

0015

また、ウエハ2がウエハコンテナ1の収納ラックに誤って斜めに入れられていた場合、その段のウエハ2のエッジが作る直線は円周方向と平行ではなく斜めになる(図1(e))。これによって、ウエハ2が収納ラックに斜めに入っているか否かを検出することができる。

0016

また、ウエハ2がウエハコンテナ1の収納ラックに正しく収まっておらず、わずかに手前に飛び出している場合、飛び出しているウエハ2は展開された画像中で正しい位置からわずかに下方向に移動する(図1(f))。これによって、ウエハ2が収納ラックから飛び出していることを検出することができる。

0017

また、ウエハ2がウエハコンテナ1のある段の収納ラックに複数枚重なって収められていた場合、ウエハ2のエッジが作る直線は一枚収められている場合に比べて太くなる(図1(g))。これによって、ウエハ2が同一の収納ラックに複数枚重なって収められていることを検出することができる。

0018

図2はウエハコンテナ1内に並べられたウエハ2の列を円柱とみなした場合の座標系およびジオメトリを示す図である。同図において、2Aはウエハ2の列を円柱とみなした場合の円柱、4−1はビデオカメラ4のレンズ、zは円柱2Aの中心軸(ウエハ2の水平面に対する鉛直軸)、Lはレンズ4−1の光軸(ビデオカメラ4の光軸)、z0は光軸Lと中心軸zとの交点のz座標位置、rは円柱の半径、x0は中心軸zからレンズ4−1の中心までの垂直距離、θは中心軸zからみた円柱2Aの側面上の回転角度周方向角度)、4−2はビデオカメラ4の撮像面、aはレンズ4−1の中心から座標位置z0までの距離、bはレンズ4−1の中心から撮像面4−2までの距離、(θ,z)は円柱2Aの側面上の座標点、(u,v)は撮像面4−2上の座標点である。

0019

下記(1)式は撮像面4−2上の座標点(u,v)を示す式である。すなわち、円柱2Aの側面上の座標点(θ,z)がビデオカメラ4により取り込まれた画像中のどの点(u,v)に対応するかを表す式である。
(u,v)={(k・rsinθ・z0)/(z−r・cosθ+x0),k(
r・cosθ−x0)・〔(x02 +z02 )〕1/2/(z−r・cosx0)
} ・・・・(1)

0020

この式(1)を使って、ビデオカメラ4により取り込まれた画像(図1(b))を円柱座標に投影し、θ−z平面画像を得る(図1(c))。なお、上記(1)式において、x0,z0はビデオカメラ4と円柱2Aとの位置関係を実測して代入する。また、kは光学系の倍率であり、k=b/aとして代入する。

0021

なお、図1ではビデオカメラ4をウエハコンテナ1の斜め上方に配置しているが、斜め下方に配置したり、横に配置したりしてもよい。ビデオカメラ4の位置を変えても、同様の処理を行うことによって、ウエハコンテナ1におけるウエハ2の存在状態を判定することが可能である。

0022

また、上述においては、ビデオカメラ4の光軸L上に円柱2Aの中心軸zがあると仮定して式(1)を導いているが、ビデオカメラ4の光軸L上に円柱2Aの中心軸zがなくても式が複雑になるだけで、式(1)に相当する座標変換式を求めることができる。

0023

〔実施の形態1〕図3は上述した原理に従うウエハ存在状態検出装置のシステム構成図である。ビデオカメラ4に対しては画像取り込み装置ビデオキャプチャー)5が設けられている。ビデオカメラ4から取り込まれた画像は画像取り込み装置5へ与えられ、静止画として、画像処理部6へ与えられる。画像処理部6はCPU6−1とROM6−2とRAM6−3とを備えている。CPU6−1は、画像取り込み装置5からの静止画を得て、ROM6−2に格納されたプログラムに従い、RAM6−3にアクセスしながら、ウエハ存在状態の判定処理を行う。判定処理した結果はセンサ出力として、シリアル通信あるいはパラレル通信によって、上位機器へ送られる。

0024

〔ウエハの有無の判定〕図4はCPU6−1におけるウエハ有無の判定処理を示すフローチャートである。CPU6−1は、ビデオカメラ4が捉えている画像を画像取り込み装置5を介して取り込み、すなわちウエハコンテナ1から覗いているウエハ2(2−1〜2−n)の画像を取り込み(ステップ401:図1(b))、この画像を幾何補正することによって円柱座標に投影し、θ−z平面画像を得る(ステップ402:図1(c))。

0025

そして、CPU6−1は、このθ−z平面画像に対してその画像の各画素の輝度をθについて積分し、z軸方向に対する輝度分布を求める(ステップ403)。図5(a)にこの場合の輝度分布を例示する。同図において、zi(i=1〜n)はi番目のウエハが存在するz座標位置を示し、この例では存在するべき3番目の段にウエハが存在していないので、輝度分布のピークが出ていない。

0026

CPU6−1は、この求めた輝度分布について、予め定められている適当なしきい値thによって2値化し、図5(b)に示すような2値化結果を得る(ステップ404)。この場合、ウエハが存在するz座標位置の2値化結果は「1」となり、ウエハが存在しないz座標位置の2値化結果は「0」となる。CPU6−1は、この2値化結果に基づき、各段に対応するz座標位置毎にウエハがあるか否かをチェックし、その結果をセンサ出力として上位機器へ送る(ステップ405)。

0027

〔ウエハの飛び出し判定〕図6はCPU6−1におけるウエハの飛び出し判定処理を示すフローチャートである。CPU6−1は、ビデオカメラ4が捉えている画像を画像取り込み装置5を介して取り込み(ステップ601:図1(b))、この画像を幾何補正することによって円柱座標に投影し、θ−z平面画像を得る(ステップ602:図1(c))。

0028

そして、CPU6−1は、このθ−z平面画像に対してその画像の各画素の輝度をθについて積分し、z軸方向に対する輝度分布を求める(ステップ603)。図7(a)にこの場合の輝度分布を例示する。同図において、zi(i=1〜n)はi番目のウエハが存在するz座標位置を示し、この例では3番目の段に入れられたウエハが飛び出しているので、輝度分布のピークが座標位置z3に対してずれている。

0029

CPU6−1は、この求めた輝度分布について、予め定められている適当なしきい値thによって2値化し、図7(b)に示すような2値化結果を得る(ステップ604)。この場合、ウエハが存在するz座標位置の2値化結果は「1」となり、ウエハが存在しないz座標位置の2値化結果は「0」となる。

0030

CPU6−1は、この2値化結果に基づき、本来ウエハがあるべきz座標位置の2値化結果が「1」になっていたらウエハが正常な状態で存在していると判断し、これ以外のz座標位置において2値化の結果が「1」になっていたらウエハが飛び出して存在していると判断し、その結果をセンサ出力として上位機器へ送る(ステップ605)。

0031

〔同一収納ラック中の複数枚存在判定〕図8はCPU6−1における同一収納ラック中のウエハの複数枚存在判定処理を示すフローチャートである。CPU6−1は、ビデオカメラ4が捉えている画像を画像取り込み装置5を介して取り込み(ステップ801:図1(b))、この画像を幾何補正することによって円柱座標に投影し、θ−z平面画像を得る(ステップ802:図1(c))。

0032

そして、CPU6−1は、このθ−z平面画像に対してその画像の各画素の輝度をθについて積分し、z軸方向に対する輝度分布を求める(ステップ803)。図9(a)にこの場合の輝度分布を例示する。同図において、zi(i=1〜n)はi番目のウエハが存在するz座標位置を示し、この例では3番目の段の収納ラックに複数枚のウエハが入れられているので、輝度分布のピークの幅が太くなっている。

0033

CPU6−1は、この求めた輝度分布について、予め定められている適当なしきい値thによって2値化し、図9(b)に示すような2値化結果を得る(ステップ804)。この場合、ウエハが存在するz座標位置の2値化結果は「1」となり、ウエハが存在しないz座標位置の2値化結果は「0」となる。

0034

CPU6−1は、この2値化結果に基づき、各段に対応するz座標位置毎に2値化の結果をチェックし、2値化の結果が「0」ならばウエハなしと判断し、連続して「1」となる部分の幅がウエハ1枚分に相当する場合はウエハが1枚あると判断し、連続して「1」となる部分の幅がウエハ2枚分に相当する幅以上である場合はウエハが複数枚あると判断し、その結果をセンサ出力として上位機器へ送る(ステップ805)。

0035

〔実施の形態2〕上述した「θ−z平面画像に対してその画像の各画素の輝度をθについて積分し、z軸方向に対する輝度分布を求める」方法では、ウエハの存在するところと存在しないところの輝度値の差が大きくなりS/N比が良好となるという点、判定時間が短い(処理が簡単)という点で優れているが、斜め差し検出ができないという難点もある。

0036

そこで、この実施の形態2では、ウエハの有無の判定、ウエハの飛び出し判定、同一収納ラック中の複数枚存在判定に加えて、斜め差し判定も行える方法として、ハフ(Hough )変換による直線抽出法を採用する。

0037

図10ハフ変換による直線抽出法を採用した場合のCPU6−1におけるウエハの存在状態判定処理を示すフローチャートである。CPU6−1は、ビデオカメラ4が捉えている画像を画像取り込み装置5を介して取り込み(ステップ101:図11(a))、この画像を幾何補正することによって円柱座標に投影し、θ−z平面画像を得る(ステップ102:図11(b))。

0038

そして、CPU6−1は、θ−z平面画像上の直線をこの直線と直交するθ−z平面の原点からの垂線の長さρとこの垂線とθ軸との成す角度ψで表されるψ−ρ座標上の点に変換する(ステップ103:図12(a),(b)参照)。この直線抽出法をハフ変換という。ハフ変換については文献1(画像解析ハンドブック:東京大出版、P.572)に示されている。

0039

ハフ変換された画像では(ρ,ψ)で示される直線が輝点として表現される。図11(c)はウエハコンテナ1の各段にウエハ2が全て収納されている正常な場合のハフ変換画像を示している。この場合、ψ=90゜の輝点は、ウエハ2が存在するべき各段の位置すなわちρ座標におけるzi位置に出現している。

0040

これに対して、例えば、図11(b)のz3の位置に直線がないとすると、すなわちz3の位置にウエハがないとすると、ψ=90゜の輝点はρ座標のz3位置には出現しない(図11(d))。

0041

また、図11(b)のz3の位置の直線が10゜傾いていると、すなわちz3の位置のウエハが10゜傾いていると、ρ座標のz3位置に現れる輝点のψ座標位置は10゜ずれて80゜となる(図11(e))。

0042

また、図11(b)のz3の位置の直線が下方にずれていると、すなわちz3の位置のウエハが手前に飛び出していると、ψ=90゜の輝点はρ座標のz3位置には出現せず、Z2位置側にずれる(図11(f))。

0043

また、図11(b)のz3の直線が太いと、すなわちz3の位置にウエハが複数枚存在していると、ψ=90゜の輝点はρ座標のz3位置に出現するが、その輝点の幅がウエハの枚数分長くなる(図11(g))。

0044

CPU6−1は、このような点に着目し、ウエハの有無の判定、ウエハの飛び出し判定、同一収納ラック中の複数枚存在判定、ならびに斜め差し判定を行う(ステップ104)。

0045

なお、上述した実施の形態では、ウエハの存在状態を検出するものとして説明したが、ウエハに限られるものではなく、コンテナ内に並べられる板状部材であればどのようなものであってもよい。例えば、CD(コンパクトディスク)やLD(レーザディスク)、DVD(デジタルビデオディスク)、レコード板など、種々の板状部材が考えられる。

発明の効果

0046

以上説明したことから明らかなように本発明(第1〜第3発明)によれば、収納体から覗く板状部材の画像をその板状部材の水平面に対する鉛直軸(z軸)および周方向軸(θ軸)を直交軸とする画像データに変換し、この画像データに基づいて収納体内の板状部材の存在状態を判定するようにしたので、収納体内に並べられた板状部材の存在状態を非接触で検出することができ、板状部材を破損させてしまう虞れがない。また、収納体を透明部材としたり、前後方向に開口部を持たせたりする必要がなく、特別な照明も必要としないので、設計の制約を大幅に減らすことができる。第2発明では、上述の画像データに対して各画素の輝度を周方向軸について積分した鉛直軸方向に対する輝度分布を求め、この鉛直軸方向に対する輝度分布に基づいて収納体内の板状部材の存在状態を判定するようにしているので、S/N比を良好とすることができ、判定時間を短くすることができる。第3発明では、上述の画像データ上の直線をψ−ρ座標上の点に変換し、この変換したψ−ρ座標上の点に基づいて収納体内の板状部材の存在状態を判定するようにしているので、「板状部材の有無」、「飛び出し」、「重なり」に加えて、「斜め差し」の検出を行うことができる。

図面の簡単な説明

0047

図1本発明の原理を説明する図である。
図2図1に示した原理図においてウエハコンテナ内に並べられたウエハの列を円柱とみなした場合の座標系およびジオメトリを示す図である。
図3図1を用いて説明した原理に従うウエハ存在状態検出装置のシステム構成図である。
図4このウエハ存在状態検出装置のCPUにおけるウエハ有無の判定処理を示すフローチャートである。
図5このウエハ有無の判定処理に際して求められた輝度分布および2値化結果を示す図である。
図6このウエハ存在状態検出装置のCPUにおけるウエハの飛び出し判定処理を示すフローチャートである。
図7このウエハの飛び出し判定処理に際して求められた輝度分布および2値化結果を示す図である。
図8このウエハ存在状態検出装置のCPUにおける同一収納ラック中のウエハの複数枚存在判定処理を示すフローチャートである。
図9このウエハの複数枚存在判定処理に際して求められた輝度分布および2値化結果を示す図である。
図10ハフ変換による直線抽出法を採用した場合のCPUにおけるウエハの存在状態判定処理を示すフローチャートである。
図11ハフ変換による直線抽出法を採用した場合のウエハの有無の判定、ウエハの飛び出し判定、同一収納ラック中の複数枚存在判定、斜め差し判定に際する輝点の出現状況を例示する図である。
図12ハフ変換を説明する図である。
図13従来技術1を説明する図である。

--

0048

1…ウエハコンテナ、2(2−1〜2−n)…ウエハ、2A…円柱、4…ビデオカメラ、4−1…レンズ、4−2…撮像面、5…画像取り込み装置、6…画像処理部、6−1…CPU、6−2…ROM、6−3…RAM。

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