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技術 データ測定装置および方法

出願人 キヤノン株式会社
発明者 平井宏治
出願日 1998年6月17日 (22年5ヶ月経過) 出願番号 1998-170009
公開日 2000年1月7日 (20年10ヶ月経過) 公開番号 2000-002731
状態 拒絶査定
技術分野 その他の電気量の測定 電流・電圧の測定
主要キーワード 測定受信機 データ測定装置 位置不動 放射状態 オープンサイト 電界プローブ 放射位置 電流プローブ
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (6)

課題

電子機器電磁波の放射を良好な効率で対策できるようにするため、実際の電磁波の放射位置は何処なのか、どの対策により電子機器の状態が如何に変化するか、どの対策が如何なる理由により有効なのか、等を検証できるようにする。

解決手段

測定対象の電子機器31の導電部材32と測定プローブ12を相対移動手段15により相対移動させて接触させ、測定プローブ12の信号をスペクトラムアナライザ21により周波数成分の信号として測定する。この信号測定と相対移動とを繰り返させ、その移動位置と測定結果とを対応させてデータ処理し、処理結果を表示出力する。その表示画像により電子機器31の導電部材32の表面での電流電位分布状態を確認できるので、対策の前後での状態変化などから電磁波放射の位置や原因を類推できる。

概要

背景

従来、電子機器が動作するときに放射される電磁波は、他の電子機器にとってノイズとなり誤動作などの原因となる。このように電子機器の電磁波の放射源としては、電子機器の内部の回路基板、回路基板に接続されている信号ケーブル、回路基板を封入している導電部材、導電部材の間隙部分、等が想定される。

そこで、電子機器を製品化する場合には、他の電子機器に悪影響を及ぼすことを防止するため、電磁波の放射原因を特定して有効な対策を実行することが肝要である。このため、図5に示すように、従来は電磁暗室(図示せず)やオープンサイト1で電子機器2の電磁波を測定している。

このようなオープンサイト1では、電子機器2が放射する電磁波をアンテナ3で受信することにより、遠方での電界磁界周波数特性を測定することができる。従って、電子機器2が放射する電磁波を遮蔽する対策を実行した場合、オープンサイト1での測定結果から対策の効果を確認することができる。

概要

電子機器の電磁波の放射を良好な効率で対策できるようにするため、実際の電磁波の放射位置は何処なのか、どの対策により電子機器の状態が如何に変化するか、どの対策が如何なる理由により有効なのか、等を検証できるようにする。

測定対象の電子機器31の導電部材32と測定プローブ12を相対移動手段15により相対移動させて接触させ、測定プローブ12の信号をスペクトラムアナライザ21により周波数成分の信号として測定する。この信号測定と相対移動とを繰り返させ、その移動位置と測定結果とを対応させてデータ処理し、処理結果を表示出力する。その表示画像により電子機器31の導電部材32の表面での電流電位分布状態を確認できるので、対策の前後での状態変化などから電磁波放射の位置や原因を類推できる。

目的

本発明は上述のような課題に鑑みてなされたものであり、電磁波を放射する位置や原因を特定することができ、対策により電磁波の放射状態が如何に変化するかを評価することができるデータ測定装置および方法を提供することを目的とする。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

電流電位との少なくとも一方を測定する測定プローブと、測定対象電子機器導電部材と前記測定プローブとを相対移動させて接触させる相対移動手段と、該相対移動手段の移動位置と前記測定プローブによる測定結果とを対応させてデータ処理するデータ処理手段と、該データ処理手段の処理結果をデータ出力するデータ出力手段と、を具備しているデータ測定装置

請求項2

電流と電位との少なくとも一方を測定する測定プローブと、測定対象の電子機器の導電部材と前記測定プローブとを相対移動させて接触させる相対移動手段と、該相対移動手段の相対移動により前記導電部材に接触した前記測定プローブが測定する信号を周波数成分の信号として測定するスペクトラムアナライザと、該スペクトラムアナライザによる信号測定と前記相対移動手段による相対移動とを繰り返させる動作制御手段と、前記相対移動手段の移動位置と前記スペクトラムアナライザの測定結果とを対応させてデータ処理するデータ処理手段と、該データ処理手段の処理結果をデータ出力するデータ出力手段と、を具備しているデータ測定装置。

請求項3

電流と電位との少なくとも一方を測定する測定プローブと、測定対象の電子機器の導電部材と前記測定プローブとを相対移動させて接触させる相対移動手段と、該相対移動手段の相対移動により前記測定プローブが前記導電部材に接触したことを検知する接触検知手段と、該接触検知手段により前記導電部材に接触したことが検知された前記測定プローブが測定する信号を周波数成分の信号として測定するスペクトラムアナライザと、該スペクトラムアナライザによる信号測定と前記相対移動手段による相対移動とを繰り返させる動作制御手段と、前記相対移動手段の移動位置と前記スペクトラムアナライザの測定結果とを対応させてデータ処理するデータ処理手段と、該データ処理手段の処理結果をデータ出力するデータ出力手段と、を具備しているデータ測定装置。

請求項4

前記接触検知手段は、前記導電部材に接触する部分が絶縁性圧電センサからなり、前記測定プローブの近傍に配置されている請求項3記載のデータ測定装置。

請求項5

前記データ処理手段は、移動位置と測定結果とを対応させて前記導電部材の表面での電流と電位との少なくとも一方の分布状態の画像データを生成し、前記データ出力手段は、前記データ処理手段が生成した画像データを表示出力する請求項1ないし4の何れか一記載のデータ測定装置。

請求項6

前記動作制御手段は、前記相対移動手段により立体構造の前記導電部材の複数の表面に前記測定プローブを相対移動させ、前記データ処理手段は、前記導電部材の複数の表面に対応した複数の画像データを合成して立体構造の画像データを生成する請求項5記載のデータ測定装置。

請求項7

電流と電位との少なくとも一方を測定する測定プローブと測定対象の電子機器の導電部材とを接触させ、該導電部材に接触した前記測定プローブが測定する信号を周波数成分の信号として測定し、この信号測定と測定プローブの前記導電部材に対する相対移動とを繰り返し、この移動位置と信号の測定結果とを対応させてデータ処理し、この処理結果をデータ出力するようにしたデータ測定方法

請求項8

前記測定プローブの移動位置と信号の測定結果とを対応させたデータ処理として、前記導電部材の表面での電流と電位との少なくとも一方の分布状態の画像データを生成するようにした請求項7記載のデータ測定方法。

請求項9

立体構造の前記導電部材の複数の表面に前記測定プローブを相対移動させ、前記導電部材の複数の表面に対応した複数の画像データを合成して立体構造の画像データを生成するようにした請求項8記載のデータ測定方法。

技術分野

0001

本発明は、導電部材の表面の電流電位を測定するデータ測定装置および方法に関する。

背景技術

0002

従来、電子機器が動作するときに放射される電磁波は、他の電子機器にとってノイズとなり誤動作などの原因となる。このように電子機器の電磁波の放射源としては、電子機器の内部の回路基板、回路基板に接続されている信号ケーブル、回路基板を封入している導電部材、導電部材の間隙部分、等が想定される。

0003

そこで、電子機器を製品化する場合には、他の電子機器に悪影響を及ぼすことを防止するため、電磁波の放射原因を特定して有効な対策を実行することが肝要である。このため、図5に示すように、従来は電磁暗室(図示せず)やオープンサイト1で電子機器2の電磁波を測定している。

0004

このようなオープンサイト1では、電子機器2が放射する電磁波をアンテナ3で受信することにより、遠方での電界磁界周波数特性を測定することができる。従って、電子機器2が放射する電磁波を遮蔽する対策を実行した場合、オープンサイト1での測定結果から対策の効果を確認することができる。

発明が解決しようとする課題

0005

上述したデータ測定方法では、電子機器2が放射している電磁波を測定できるので、その対策の効果を確認することができる。しかし、従来のデータ測定方法では、電子機器2が放射している電磁波を測定でき、その対策の効果は確認できるが、電磁波の放射原因や放射位置を特定することは困難である。

0006

特に、複数の導電部材の内部の回路基板が信号ケーブルで接続されている場合、その信号ケーブルが放射する電磁波の特性は、複数の導電部材の配置や複数の導電部材の接合部の強度に左右される。特に、導電部材の接合が弱い部分がアンテナとして作用することがあり、導電部材の開口部がスロットアンテナとして作用することもある。

0007

そこで、上述のように複数の導電部材の内部の回路基板が信号ケーブルで接続された構造の電子機器から電磁波が放射されている場合、複数の導電部材の配置の変更、複数の導電部材の接合部の強化、導電部材の開口部の遮蔽、等の対策を実行することになる。

0008

しかし、実際の電磁波の放射位置は何処なのか、どの対策により電子機器の状態が如何に変化するか、どの対策が如何なる理由により有効なのか、等を検証することができないため、電磁波の放射を良好な効率で対策することが困難である。

0009

本発明は上述のような課題に鑑みてなされたものであり、電磁波を放射する位置や原因を特定することができ、対策により電磁波の放射状態が如何に変化するかを評価することができるデータ測定装置および方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0010

本発明の第一のデータ測定装置は、電流と電位との少なくとも一方を測定する測定プローブと、測定対象の電子機器の導電部材と前記測定プローブとを相対移動させて接触させる相対移動手段と、該相対移動手段の移動位置と前記測定プローブによる測定結果とを対応させてデータ処理するデータ処理手段と、該データ処理手段の処理結果をデータ出力するデータ出力手段と、を具備している。

0011

従って、本発明のデータ測定装置におけるデータ測定方法では、測定対象の電子機器の導電部材と測定プローブとを相対移動手段により相対移動させて接触させ、測定プローブにより導電部材の電流と電位との少なくとも一方を測定する。この測定と移動とを繰り返し、測定結果と移動位置とをデータ処理手段が対応させてデータ処理する。この処理結果がデータ出力手段によりデータ出力されるので、その出力データにより電子機器の導電部材の表面での電流や電位の状態が確認される。例えば、電子機器の電磁波の放射を対策した場合、この対策により導電部材の表面での電流や電位が如何に変化したかを確認できる。

0012

本発明の第二のデータ測定装置は、電流と電位との少なくとも一方を測定する測定プローブと、測定対象の電子機器の導電部材と前記測定プローブとを相対移動させて接触させる相対移動手段と、該相対移動手段の相対移動により前記導電部材に接触した前記測定プローブが測定する信号を周波数成分の信号として測定するスペクトラムアナライザと、該スペクトラムアナライザによる信号測定と前記相対移動手段による相対移動とを繰り返させる動作制御手段と、前記相対移動手段の移動位置と前記スペクトラムアナライザの測定結果とを対応させてデータ処理するデータ処理手段と、該データ処理手段の処理結果をデータ出力するデータ出力手段と、を具備している。

0013

従って、本発明のデータ測定装置におけるデータ測定方法では、測定対象の電子機器の導電部材と測定プローブとを相対移動手段により相対移動させて接触させ、この導電部材に接触した測定プローブが測定する信号をスペクトラムアナライザにより周波数成分の信号として測定する。このスペクトラムアナライザによる信号測定と相対移動手段による相対移動とが動作制御手段により繰り返されるので、その移動位置と測定結果とがデータ処理手段により対応されてデータ処理される。この処理結果がデータ出力手段によりデータ出力されるので、その出力データにより電子機器の導電部材の表面での電流や電位の状態が確認される。例えば、電子機器の電磁波の放射を対策した場合、この対策により導電部材の表面での電流や電位が如何に変化したかを確認できる。

0014

本発明の第三のデータ測定装置は、電流と電位との少なくとも一方を測定する測定プローブと、測定対象の電子機器の導電部材と前記測定プローブとを相対移動させて接触させる相対移動手段と、該相対移動手段の相対移動により前記測定プローブが前記導電部材に接触したことを検知する接触検知手段と、該接触検知手段により前記導電部材に接触したことが検知された前記測定プローブが測定する信号を周波数成分の信号として測定するスペクトラムアナライザと、該スペクトラムアナライザによる信号測定と前記相対移動手段による相対移動とを繰り返させる動作制御手段と、前記相対移動手段の移動位置と前記スペクトラムアナライザの測定結果とを対応させてデータ処理するデータ処理手段と、該データ処理手段の処理結果をデータ出力するデータ出力手段と、を具備している。

0015

従って、本発明のデータ測定装置におけるデータ測定方法では、測定対象の電子機器の導電部材と測定プローブとを相対移動手段により相対移動させて接触させ、この接触が接触検知手段により検知されると測定プローブが測定する信号をスペクトラムアナライザにより周波数成分の信号として測定する。このスペクトラムアナライザによる信号測定と相対移動手段による相対移動とが動作制御手段により繰り返されるので、その移動位置と測定結果とがデータ処理手段により対応されてデータ処理される。この処理結果がデータ出力手段によりデータ出力されるので、その出力データにより電子機器の導電部材の表面での電流や電位の状態が確認される。例えば、電子機器の電磁波の放射を対策した場合、この対策により導電部材の表面での電流や電位が如何に変化したかを確認できる。

0016

上述のようなデータ測定装置において、前記接触検知手段は、前記導電部材に接触する部分が絶縁性圧電センサからなり、前記測定プローブの近傍に配置されている。この場合、接触検知手段が圧電センサからなり、測定プローブの近傍に配置されているので、接触検知手段が導電部材の表面に圧接されることで、測定プローブが導電部材の表面に接触したことが検知される。ただし、接触検知手段の導電部材に接触する部分が絶縁性なので、接触検知手段が接触しても導電部材の表面の電流や電位は変化せず、測定プローブの測定結果に影響しない。

0017

上述のようなデータ測定装置において、前記データ処理手段は、前記相対移動手段の移動位置と前記スペクトラムアナライザの測定結果とを対応させて前記導電部材の表面での電流と電位との少なくとも一方の分布状態の画像データを生成し、前記データ出力手段は、前記データ処理手段が生成した画像データを表示出力する。

0018

この場合、データ処理手段により相対移動手段の移動位置とスペクトラムアナライザの測定結果とが対応されて導電部材の表面での電流と電位との少なくとも一方の分布状態の画像データが生成されるので、データ出力手段には導電部材の表面での電流や電位の分布状態が画像表示される。

0019

上述のようなデータ測定装置において、前記動作制御手段は、前記相対移動手段により立体構造の前記導電部材の複数の表面に前記測定プローブを相対移動させ、前記データ処理手段は、前記導電部材の複数の表面に対応した複数の画像データを合成して立体構造の画像データを生成する。

0020

この場合、動作制御手段に制御される相対移動手段により立体構造の導電部材の複数の表面を測定プローブが移動し、導電部材の複数の表面に対応した複数の画像データがデータ処理手段により合成して立体構造の画像データが生成されるので、データ出力手段には導電部材の複数の表面での電流や電位の分布状態が立体的に画像表示される。

0021

なお、本発明で云う各種手段は、その機能を実現するように形成されていれば良く、例えば、専用のハードウェア、適正な機能がプログラムにより付与されたコンピュータ、適正なプログラムによりコンピュータの内部に実現された機能、これらの組み合わせ、等を許容する。

0022

また、本発明で云う電子機器とは、電磁波を放射する可能性がある電子的な動作を実行するもので、集積回路が形成された回路基板を金属筐体の内部に配置した回路装置などを許容する。さらに、導電部材とは、電子機器の電子的な動作で信号の伝送などには利用されない導電性の部材を意味しており、例えば、金属ベース、金属筐体、アース板放熱板シールドボックス、等を許容する。

発明を実施するための最良の形態

0023

本発明の実施の一形態を図1ないし図3を参照して以下に説明する。なお、図1は本実施の形態のデータ測定装置の要部を示す斜視図、図2は全体構造を示すブロック図、図3は測定対象の電子機器を示す斜視図である。

0024

本実施の形態のデータ測定装置11は、図1に示すように、電子機器31を測定対象とし、その導電部材である金属ベース32の表面の電流を測定する。この測定対象の電子機器31は、平板状の一個の金属ベース32を具備しており、この金属ベース32は一つのスリット33により二つの領域が形成されている。この金属ベース32の二つの領域には二個の回路基板34,35が個々に搭載されており、これらの回路基板34,35が一個の信号ケーブル36で接続されている。

0025

回路基板34,35は、表面に集積回路(図示せず)が形成されており、この集積回路(図示せず)が各種のデータ処理を実行する。信号ケーブル36は回路基板34,35の集積回路が発生する各種信号を適宜転送し、金属ベース32は、例えば、回路基板34,35の集積回路のグランドシールドとして機能する。

0026

本実施の形態のデータ測定装置11は、上述のような電子機器31の金属ベース32の表面の電流を測定するため、測定プローブである電流プローブ12を具備している。さらに、接触検知手段である圧電センサ13も具備しており、電流プローブ12と圧電センサ13とが一個のヘッドユニット14の下面に並設されている。

0027

電流プローブ12は先端に接触する金属ベース32の表面の電流を測定し、圧電センサ13は先端に対する金属ベース32の接触の有無を検知する。なお、圧電センサ13は先端部分が絶縁体で形成されており、この絶縁性の先端部分で金属ベース32に接触する。

0028

ヘッドユニット14は、相対移動手段であるプローブ移動機構15により移動自在に支持されているので、これで電流プローブ12が圧電センサ13とともにプローブ移動機構15により前後方向と左右方向と上下方向とに移動自在に支持されている。

0029

より詳細には、プローブ移動機構15は、H字形状本体ベース16を具備しており、この本体ベース16の左右方向(X方向)に細長い中央部の上面には、支持柱17がX方向に移動自在に支持されている。この支持柱17は上下方向(Z方向)に細長く形成されており、その前面には支持梁18がZ方向に移動自在に支持されている。この支持梁18は前後方向(Y方向)に細長く形成されており、その下面にヘッドユニット14がY方向に移動自在に支持されている。

0030

また、電流プローブ12にはスペクトラムアナライザ21が接続されており、図2に示すように、圧電センサ13には測定受信機22が接続されている。スペクトラムアナライザ21は、電流プローブ12が測定する信号を周波数特性の信号として測定し、測定受信機22は、圧電センサ13の出力信号から物体の接触の有無を判定する。

0031

スペクトラムアナライザ21と測定受信機22とはデータ処理手段であるデータ処理部23に接続されており、このデータ処理部23にデータ出力手段であるデータ表示部24が接続されている。また、データ処理部23には動作制御手段である動作制御部25も接続されており、この動作制御部25がプローブ移動機構15に接続されている。

0032

動作制御部25は、事前に適正な制御プログラム実装されたマイクロコンピュータからなり、プローブ移動機構15の動作を制御することにより、例えば、電流プローブ12と圧電センサ13とを移動させてから測定対象の電子機器31の金属ベース32に再度接触させる。

0033

データ処理部23も、事前に適正な制御プログラムが実装されたマイクロコンピュータからなり、動作制御部25の動作を制御するとともにスペクトラムアナライザ21と測定受信機22との測定信号をデータ処理する。より詳細には、データ処理部23は、測定受信機22の測定信号から電流プローブ12が金属ベース32に接触したことを検知し、この検知に対応して動作制御部25の動作を制御する。

0034

また、この動作制御部25の移動位置とスペクトラムアナライザ21の測定結果とを対応させてデータ処理することにより、金属ベース32の表面での電流の分布状態の画像データを生成してデータ表示部24に転送する。このデータ表示部24は、例えば、CRT(Cathode-Ray Tube)等のディスプレイデバイスからなり、外部入力される画像データを表示出力する。

0035

上述のような構成において、本実施の形態のデータ測定装置11におけるデータ測定方法では、プローブ移動機構15の本体ベース16の位置に測定対象の電子機器31を配置し、動作制御部25によりプローブ移動機構15を駆動して電流プローブ12を金属ベース32に接触させる。

0036

このとき、電流プローブ12とともに圧電センサ13も金属ベース32に接触するため、この圧電センサ13の出力信号を測定受信機22からデータ処理部23が検知する。このデータ処理部23が動作制御部25の動作を制御するので、これで電流プローブ12は金属ベース32に適正に接触することになる。

0037

このような状態で電子機器31の回路基板34,35を駆動すると、これらの回路基板34,35や信号ケーブル36が電磁波を放射するため、これに対応して金属ベース32に電流が発生する。この金属ベース32の電流は電流プローブ12により測定されるので、これがスペクトラムアナライザ21により周波数成分の信号として測定される。

0038

ただし、上述のような測定状態で動作制御部25がプローブ移動機構15により電流プローブ12を金属ベース32に対して移動させるので、この移動位置とスペクトラムアナライザ21の測定結果とを対応させてデータ処理部23がデータ処理する。

0039

このデータ処理により金属ベース32の表面での電流の分布状態の画像データが生成されるので、この画像データがデータ表示部24により表示出力される。本実施の形態のデータ測定装置1によるデータ測定方法では、金属ベース32の表面での電流の分布状態を測定して画像表示することができるので、これで作業者は電子機器31での電磁波を放射する原因や位置を類推することができる。

0040

例えば、図1および図3(a)に示すように、通常状態の電子機器31で上述のような測定を実行してから、図3(b)に示すように、電子機器31の電磁波の放射の対策として金属ベース32の二つの領域を金属板37で接続し、このような状態の電子機器31で上述のような測定を実行することもできる。

0041

この場合、金属板37による対策の前後での金属ベース32の表面の電流の分布状態の相違を比較することにより、金属板37の装着により電子機器31の状態が如何に変化するか、この金属板37による対策がどれほど有効なのか、等を検証することができるため、電子機器31の電磁波の放射を良好な効率で対策することができる。

0042

また、本実施の形態のデータ測定装置11でのデータ測定方法では、圧電センサ13が電流プローブ12の近傍に配置されているので、電流プローブ12が金属ベース32の表面に接触したことを圧電センサ13により簡単な構造で確実に検知することができる。

0043

それでいて、この圧電センサ13の金属ベース32に接触する部分は絶縁性に形成されているので、圧電センサ13が接触しても金属ベース32の表面の電流は変化せず、電流プローブ12により金属ベース32の表面の電位を正確に測定することができる。

0044

なお、本発明は上記形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。例えば、上記形態では測定プローブである電流プローブ12により金属ベース32の表面の電流を測定することを例示したが、測定プローブである電界プローブ(図示せず)により電位を測定することも可能である。

0045

また、上記形態ではデータ出力手段としてデータ表示部24を設け、データ処理部23が生成する画像データを表示出力することにより、処理結果を迅速に確認できることを例示した。しかし、このようなデータ出力手段として画像データを印刷出力するプリンタ装置を設けることや、処理結果をFD(Floppy Disc)に格納するFDD(FD Drive)を設けるようなことも可能である。

0046

また、上記形態では相対移動手段としてプローブ移動機構15を設け、位置不動に保持した電子機器31に対して電流プローブ12を移動させることを例示したが、例えば、電流プローブ12を固定したまま電子機器31を移動させることも可能であり、両方を移動させることも可能である。

0047

さらに、上記形態ではプローブ移動機構15により電流プローブ12で金属ベース32の上面のみ走査し、この一面の電流の分布状態を測定して画像データを生成することを例示したが、立体構造の金属筐体の複数の表面を測定して立体構造の画像データを生成することも可能である。

0048

例えば、図4に示すように、電子機器41の導電部材である金属筐体42がボックス形状などの立体構造で形成されている場合、その四面の各所にスリット43,44や開口孔45が形成されていると、これが電磁波を放射する位置や原因となることがある。

0049

このような場合、同図に一変形例として例示するデータ測定装置51のように、電流プローブ12をXYZ方向に移動させる相対移動手段であるプローブ移動機構52とともに、Z方向に軸心が連通する試料回転ステージ53も相対移動手段として設け、この試料回転ステージ53で電子機器41を回転自在に軸支することが好適である。

0050

上述のような構成のデータ測定装置51では、その動作制御手段である動作制御部(図示せず)が、プローブ移動機構52とともに試料回転ステージ53を動作制御することにより、電子機器41の立体構造の金属筐体42の四面が順番に走査される。

0051

これで立体構造の金属筐体42の四面に個々に対応した四つの画像データがデータ処理手段であるデータ処理部(図示せず)により生成されるので、このデータ処理部は四つの画像データを合成して立体構造の一つの画像データを生成することができる。

0052

このような画像データは、例えば、ワイヤフレームコンピュータグラフィックとしてデータ出力手段であるデータ表示部24により表示出力することができるので、ユーザは立体構造の電子機器41の電磁波の放射状態を立体的に確認することができる。

発明の効果

0053

本発明は以上説明したように構成されているので、以下に記載するような効果を奏する。

0054

本発明のデータ測定装置におけるデータ測定方法では、測定対象の電子機器の導電部材と測定プローブとを相対移動手段により相対移動させて接触させ、この接触が接触検知手段により検知されると測定プローブが測定する信号をスペクトラムアナライザにより周波数成分の信号として測定し、この信号測定と相対移動手段による相対移動とを動作制御手段が繰り返させ、その移動位置と測定結果とを対応させてデータ処理手段がデータ処理し、この処理結果がデータ出力手段によりデータ出力されることにより、電子機器の導電部材の表面での電流や電位の状態を確認することができるので、例えば、電子機器の電磁波放射の対策により導電部材の表面での電流や電位が如何に変化したかを確認することにより、電磁波を放射する位置や原因を特定することができ、対策により電磁波の放射状態が如何に変化するかを評価することもできる。

0055

上述のようなデータ測定装置において、接触検知手段が圧電センサからなり、測定プローブの近傍に配置されており、接触検知手段の導電部材に接触する部分が絶縁性であることにより、接触検知手段を導電部材の表面に接触させることで、測定プローブが導電部材の表面に接触したことを簡単な構造で確実に検知することができ、それでいて接触検知手段が接触しても導電部材の表面の電流や電位は変化しないので、測定プローブにより導電部材の表面の電流や電位を正確に測定することができる。

0056

上述のようなデータ測定装置において、データ処理手段により相対移動手段の移動位置とスペクトラムアナライザの測定結果とが対応されて導電部材の表面での電流と電位との少なくとも一方の分布状態の画像データが生成されることにより、導電部材の表面での電流や電位の分布状態を画像表示することができるので、導電部材の表面での電流や電位の分布状態をユーザに一目で確認させることができる。

0057

上述のようなデータ測定装置において、動作制御手段に制御される相対移動手段により立体構造の導電部材の複数の表面を測定プローブが移動し、導電部材の複数の表面に対応した複数の画像データがデータ処理手段により合成して立体構造の画像データが生成されることにより、導電部材の複数の表面での電流や電位の分布状態を立体的に画像表示することができるので、導電部材の表面での電流や電位の立体的な分布状態をユーザに一目で確認させることができる。

図面の簡単な説明

0058

図1本発明の実施の一形態のデータ測定装置の要部を示す斜視図である。
図2データ測定装置の全体構造を示すブロック図である。
図3電磁波放射の対策を実行する前後の電子機器を示す斜視図である。
図4一変形例のデータ測定装置の要部を示す斜視図である。
図5一従来例のデータ測定方法を示す模式図である。

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0059

11データ測定装置
12測定プローブである電流プローブ
13接触検知手段である圧電センサ
15,52相対移動手段であるプローブ移動機構
21スペクトラムアナライザ
23データ処理手段であるデータ処理部
24データ出力手段であるデータ表示部
25動作制御手段である動作制御部
31,41電子機器
32,42導電部材である金属筐体
53 相対移動手段である試料回転ステージ

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