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図面 (2)

課題

より信頼性のある補助制御装置を提供すること。

解決手段

補助制御装置1は、ソレノイドバルブ3を制御するための主ユニット5が傷害を起こした場合にそれに置き換えられるもので、この目的のために提供されている上記主ユニットに接続するための端子7,9,11に差し込まれる。該補助制御装置1は、関連する給電端子9に接続されるべきものである制御電位を提供するためのライン14と、ソレノイドバルブに上記制御電位を印加するための関連するライン16との間に挿入された、各ソレノイドバルブのための手動操作スイッチ12と、該手動操作スイッチに上記制御電位を提供する安全装置手段20を制御するための、各手動操作スイッチのための関連する制御デバイス18とを有する。そして、上記安全装置手段20の動作は、上記少なくとも一つの手動操作スイッチの最初の開状態によってなされる。

概要

背景

超小形電子回路の製造には、例えばCl2,NH3,HCl,HBr,NF3,WF6,等の種々のいわゆる「ワーキングガスの使用を必要としているが、それらの大部分は、その毒性及び/又はその引火性のため、人体に危険なものと考えられている。

そのようなガスは、ガスキャビネットを介して、超小形電子回路の製造工場のような、それらが使用される場所まで運ばれる。

使用されるガスの毒性のため、そのような供給キャビネットの動作の安全制御は、絶対的な優先事項である。これが、そのようなキャビネットが一般に、当該キャビネット中に配された種々のバルブを制御し動作させるための自動制御装置を備えている理由である。

経済的な理由から、自動制御装置が傷害を起こしたときにも、バルブの動作が継続され得ることが必要である。

この目的のため、自動制御装置に置き換えられるよう設計され且つこの目的のために提供された自動制御装置接続端子に差し込まれた、ソレノイドバルブを制御するための補助制御装置が知られている。

このような補助制御装置は、自動制御装置の関連する電源端子に接続されるべきラインである制御電位を提供するためのラインと、所定のソレノイドバルブに上記制御電位を転送するための関連するラインと、の間に挿入された手動操作スイッチを、各ソレノイドバルブのために有している。

概要

より信頼性のある補助制御装置を提供すること。

補助制御装置1は、ソレノイドバルブ3を制御するための主ユニット5が傷害を起こした場合にそれに置き換えられるもので、この目的のために提供されている上記主ユニットに接続するための端子7,9,11に差し込まれる。該補助制御装置1は、関連する給電端子9に接続されるべきものである制御電位を提供するためのライン14と、ソレノイドバルブに上記制御電位を印加するための関連するライン16との間に挿入された、各ソレノイドバルブのための手動操作スイッチ12と、該手動操作スイッチに上記制御電位を提供する安全装置手段20を制御するための、各手動操作スイッチのための関連する制御デバイス18とを有する。そして、上記安全装置手段20の動作は、上記少なくとも一つの手動操作スイッチの最初の開状態によってなされる。

目的

本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、より信頼性のある補助制御装置を提供することを目的とする。

効果

実績

技術文献被引用数
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請求項1

少なくとも一つの電気的に動作される機能デバイス(3)を制御するための主ユニット(5)が傷害を起こした場合にそれに置き換えられるよう設計されており、この目的のために提供されている上記主ユニットに接続するための端子(7,9,11)に差し込まれることができる補助制御装置であって、関連する給電端子(9)に接続されるべきものである制御電位を提供するためのライン(14)と、上記少なくとも一つの機能デバイス(3)に上記制御電位を印加するための関連するライン(16)との間に挿入された、各機能デバイス(3)毎に設けられた手動操作スイッチ(12)と、上記少なくとも一つの手動操作スイッチ(12)に上記制御電位を提供する安全装置手段(20)を制御するための、各手動操作スイッチ(12)毎に設けられた制御デバイス(18)と、を具備し、上記安全装置手段(20)の動作は、上記少なくとも一つの手動操作スイッチ(12)の最初の開状態によってなされることを特徴とする補助制御装置。

請求項2

関連する手動操作スイッチ(12)が備える可動付勢コンタクト(22)を含む安全装置手段(20)を制御するための関連するデバイスを更に具備し、上記可動付勢コンタクト(22)は、上記安全装置手段(20)を付勢するための付勢ライン(30)中に配され、且つ、上記少なくとも一つの機能デバイス(3)に上記制御電位が印加されることを許す上記手動操作スイッチ(12)の可動コンタクト(13)に結合されたものであることを特徴とする請求項1に記載の補助制御装置。

請求項3

上記安全装置手段(20)は、上記付勢ライン(30)を介して供給電位を受信けたときに作動して、その付勢状態において、上記少なくとも一つの手動操作スイッチ(12)に上記制御電位を提供する自己鎖錠継電器(40)を含むことを特徴とする請求項2に記載の補助制御装置。

請求項4

上記付勢ライン(30)は、上記自己鎖錠継電器(40)の上流で、上記少なくとも一つの手動操作スイッチ(12)が上記最初の開状態にあるときに、該自己鎖錠継電器(40)に上記供給電位を提供するために上記制御電位を提供するためのライン(14)に接続されていることを特徴とする請求項3に記載の補助制御装置。

請求項5

上記付勢ライン(30)は、上記少なくとも一つの手動操作スイッチ(12)が上記最初の開状態にあるときに、上記自己鎖錠継電器(40)に上記供給電位を提供するための、当該補助制御装置に備えられた電池に接続されていることを特徴とする請求項3に記載の補助制御装置。

請求項6

いくつかの機能デバイス(3)のためにいくつかの手動操作スイッチ(12)を具備し、上記安全装置手段(20)の作動は、上記手動操作スイッチ(12)の全ての最初の開状態によって行われることを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載の補助制御装置。

請求項7

関連する手動操作スイッチ(12)が備える可動付勢コンタクト(22)を含む安全装置手段(20)を制御するための関連するデバイスを更に具備し、上記可動付勢コンタクト(22)は、上記安全装置手段(20)を付勢するための付勢ライン(30)中に配され、且つ、上記少なくとも一つの機能デバイス(3)に上記制御電位が印加されることを許す上記手動操作スイッチ(12)の可動コンタクト(13)に結合されたものであり、いくつかの機能デバイス(3)のためにいくつかの手動操作スイッチ(12)を具備し、上記安全装置手段(20)の作動は、上記手動操作スイッチ(12)の全ての最初の開状態によって行われ、上記可動付勢コンタクト(22)は、各手動操作スイッチ(12)がその最初の開状態にあるときに上記安全装置手段(20)が作動されるように、上記付勢ライン(30)中に直列に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の補助制御装置。

請求項8

上記安全装置手段(20)の作動状態を表示するための手段(50)を更に具備することを特徴とする請求項1乃至7の何れかに記載の補助制御装置。

技術分野

0001

本発明は、例えば自動制御装置のような主制御ユニット傷害を起こしたときに、それに置き換えられるよう設計された、ソレノイドバルブのような電気的に動作される機能デバイスを制御するための補助制御装置に関し、特に、ガスキャビネットとして知られているガス配送施設バルブを制御するための補助制御装置に関する。

背景技術

0002

超小形電子回路の製造には、例えばCl2,NH3,HCl,HBr,NF3,WF6,等の種々のいわゆる「ワーキング」ガスの使用を必要としているが、それらの大部分は、その毒性及び/又はその引火性のため、人体に危険なものと考えられている。

0003

そのようなガスは、ガスキャビネットを介して、超小形電子回路の製造工場のような、それらが使用される場所まで運ばれる。

0004

使用されるガスの毒性のため、そのような供給キャビネットの動作の安全制御は、絶対的な優先事項である。これが、そのようなキャビネットが一般に、当該キャビネット中に配された種々のバルブを制御し動作させるための自動制御装置を備えている理由である。

0005

経済的な理由から、自動制御装置が傷害を起こしたときにも、バルブの動作が継続され得ることが必要である。

0006

この目的のため、自動制御装置に置き換えられるよう設計され且つこの目的のために提供された自動制御装置接続端子に差し込まれた、ソレノイドバルブを制御するための補助制御装置が知られている。

0007

このような補助制御装置は、自動制御装置の関連する電源端子に接続されるべきラインである制御電位を提供するためのラインと、所定のソレノイドバルブに上記制御電位を転送するための関連するラインと、の間に挿入された手動操作スイッチを、各ソレノイドバルブのために有している。

発明が解決しようとする課題

0008

しかしながら、上記のような補助制御装置は、自動制御装置に当該装置を接続するときに、オペレータが一つ又はそれ以上のスイッチを誤って閉状態にセットしてしまう虞があり、これは、結果的にそれらのスイッチに関連するバルブが開けられて、機器あるいは人員にさえも重大な危害を与える虞があるという問題点を有している。

0009

本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、より信頼性のある補助制御装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0010

上記の目的を達成するために、本発明による補助制御装置は、少なくとも一つの電気的に動作される機能デバイスを制御するための主ユニットが傷害を起こした場合にそれに置き換えられるよう設計されており、この目的のために提供されている上記主ユニットに接続するための端子に差し込まれることができる補助制御装置であって、関連する給電端子に接続されるべきものである制御電位を提供するためのラインと、上記少なくとも一つの機能デバイスに上記制御電位を印加するための関連するラインとの間に挿入された、各機能デバイス毎に設けられた手動操作スイッチと、上記少なくとも一つの手動操作スイッチに上記制御電位を提供する安全装置手段を制御するための、各手動操作スイッチ毎に設けられた制御デバイスとを備え、上記安全装置手段の動作は、上記少なくとも一つの手動操作スイッチの最初の開状態によってなされることを特徴とする。

0011

本発明による補助制御装置は、更に、一つ以上の以下の特徴を有する。

0012

即ち、関連する手動操作スイッチが備える可動付勢コンタクトを含む安全装置手段を制御するための関連するデバイスを更に備え、上記可動付勢コンタクトは、上記安全装置手段を付勢するための付勢ライン中に配され、且つ、上記少なくとも一つの機能デバイスに上記制御電位が印加されることを許す上記手動操作スイッチの可動コンタクトに結合されたものであることを特徴とする。

0013

また、上記安全装置手段は、上記付勢ラインを介して供給電位を受信けたときに作動して、その付勢状態において、上記少なくとも一つの手動操作スイッチに上記制御電位を提供する自己鎖錠継電器を含むことを特徴とする。

0014

さらに、上記付勢ラインは、上記自己鎖錠継電器の上流で、上記少なくとも一つの手動操作スイッチが上記最初の開状態にあるときに、該自己鎖錠継電器に上記供給電位を提供するために上記制御電位を提供するためのラインに接続されていることを特徴とする。

0015

また、上記付勢ラインは、上記少なくとも一つの手動操作スイッチが上記最初の開状態にあるときに、上記自己鎖錠継電器に上記供給電位を提供するための、当該補助制御装置に備えられた電池に接続されていることを特徴とする。

0016

さらに、いくつかの機能デバイスのためにいくつかの手動操作スイッチを備え、上記安全装置手段の作動は、上記手動操作スイッチの全ての最初の開状態によって行われることを特徴とする。

0017

また、関連する手動操作スイッチが備える可動付勢コンタクトを含む安全装置手段を制御するための関連するデバイスを更に備え、上記可動付勢コンタクトは、上記安全装置手段を付勢するための付勢ライン中に配され、且つ、上記少なくとも一つの機能デバイスに上記制御電位が印加されることを許す上記手動操作スイッチの可動コンタクトに結合されたものであり、いくつかの機能デバイスのためにいくつかの手動操作スイッチを備え、上記安全装置手段の作動は、上記手動操作スイッチの全ての最初の開状態によって行われ、上記可動付勢コンタクトは、各手動操作スイッチがその最初の開状態にあるときに上記安全装置手段が作動されるように、上記付勢ライン中に直列に配置されていることを特徴とする。

0018

さらに、上記安全装置手段の作動状態を表示するための手段を更に備えることを特徴とする。

発明を実施するための最良の形態

0019

以下、本発明の一実施の形態を、図面を参照して説明する。

0020

図1は、例えばガスキャビネットのソレノイドバルブ3のような、少なくとも一つ、好ましくは数個の電気的に動作する機能デバイスを制御するための補助制御装置1である。

0021

この補助制御装置1は、自動制御装置のようなソレノイドバルブ3を制御するための主ユニット5が傷害を起こした場合に、その主ユニット5に置き換わるように設計されており、この目的のために提供された主ユニット5の端子7,9,11に差し込まれることができるものである。

0022

この補助制御装置1は、各ソレノイドバルブ3毎に対応する手動操作スイッチ12を有している。各手動操作スイッチ12は、第1可動コンタクト13を有しており、該第1可動コンタクト13は、当該手動操作スイッチ12の閉状態において、制御電位を所定の機能デバイス(ソレノイドバルブ3)に印加し、また、当該手動操作スイッチ12の開状態において、この制御電位の印加を停止させるものである。

0023

この目的のために、各手動操作スイッチ12は、主ユニット5の関連する電源端子、即ち接続端子9に接続されるべきものである制御電位を提供するためのライン14と、関連する出力端子、即ち接続端子7に接続されるべきものである所定のソレノイドバルブ3に上記制御電位を印加するための関連するライン16との間に、挿入されている。

0024

そして、補助制御装置1は、当該補助制御装置1を主ユニット5の端子7,9,11に接続する際に、その補助制御装置1が偶発的にソレノイドバルブ3を動作させてしまうことがないように、各手動操作スイッチ12に上記制御電位を印加する安全装置手段20を制御するための、関連する制御デバイス18を各手動操作スイッチ12のために有している。

0025

各制御デバイス18は、それに対応する手動操作スイッチ12が備える第2可動コンタクト22によって付随的に形成されるものである。この第2可動コンタクト22は、上記制御電位を印加するための第1可動コンタクト13に結合されており、それが開状態のときには閉状態に、逆に、それが開状態のときには閉状態となるものである。以下、この第2可動コンタクト22を、「可動付勢コンタクト」と称するものとする。

0026

図1に示されるように、これらの可動付勢コンタクト22は、安全装置手段20を作動させるための付勢ライン30に直列に配されている。この付勢ライン30は、端子7,9,11に当該補助制御装置1が接続された後は常に上記制御電位にあるライン14の部分33に接続されたブランチ32を介して、ソレノイドバルブ3のための制御電位が供給されている。

0027

従って、補助制御装置1が端子7,9,11に接続された後は、手動操作スイッチ12の全てが開状態にされ、その結果として、全ての可動付勢コンタクト22が閉状態となった後にのみ、制御電位がこの安全装置手段20に導かれることになる。

0028

安全装置手段20は、上記ライン14中の部分33の下流に配された自己鎖錠継電器40を有している。この自己鎖錠継電器40は、例えば、上記付勢ライン30を介して制御電位のような電源電位を受けたときに作動されるものである。該自己鎖錠継電器40の付勢状態においては、そのコンタクト45が閉状態となったときに、各手動操作スイッチ12に対する制御電位の印加が許され、ここで、手動操作スイッチ12の一つがその後に閉状態に切り替えられて、付勢ライン30を介した該自己鎖錠継電器40への印加が停止したとしてえも、上記部分33に接続された常に制御電位にある入力側のコンタクト46が閉状態にあるため、該自己鎖錠継電器40は付勢され続ける。この自己鎖錠継電器40の非付勢状態においては、コンタクト45は開状態にあり、手動操作スイッチ12に対する制御電位の提供を停止する。

0029

勿論、付勢ライン30、従って自己鎖錠継電器40はまた、例えば当該補助制御装置1に設けられた電池のような、上記主ユニット5から独立した電源によって給電されることができる。

0030

さらに、自己鎖錠継電器40は、ライン42を介してゼロ電位を提供する端子11に接続されている。

0031

また、補助制御装置1は、安全装置手段20の作動状態を表示するための表示手段50を備えている。この表示手段50は、ブランチ56で直列に接続された発光ダイオード52と抵抗54によって形成されており、その一端がゼロ電位に、他端が各手動操作スイッチ12に制御電位を提供するためのライン14に接続されている。

0032

この補助制御装置1は、以下のように動作する。

0033

まず最初に、上記手動操作スイッチのうちの一つ、例えば安全装置手段20のすぐ横に配されている手動操作スイッチが、主ユニット5に当該補助制御装置1が接続されたときに閉状態にあるものとする。

0034

当該補助制御装置1がスタート時には給電されていない故に、自己鎖錠継電器のコンタクト45及び46は開状態にあり、該安全装置手段20のすぐ横に配された手動操作スイッチが閉状態にあり、この付勢ライン30がその可動付勢コンタクト22によってカットされているので、制御電位は、付勢ライン30を介して該自己鎖錠継電器40に達することはできない。その結果として、手動操作スイッチ12のいずれに対しても制御電位が印加されることはなく、オペレータが不注意にソレノイドバルブ3を動作させてしまうことを防ぐことができる。

0035

自己鎖錠継電器40は、電気的に給電されているときにのみ作動される。これを行うために、この手動操作スイッチ12は、制御電位が該自己鎖錠継電器40に達してそのコンタクト45及び46を閉じることができるように、最初の開状態に手動で切り替えられなければならない。手動操作スイッチのための「最初の開状態」とは、この補助制御装置1が接続される間に当該手動操作スイッチ12が閉状態にあったかどうかに係りなく、あるいは、その後にオペレータによってこの状態にされたのかどうかに係りなく、当該手動操作スイッチが主ユニット5に接続された後に開状態にされた最初の時を意味する。

0036

そして、ひとたび、自己鎖錠継電器40が給電されたならば、制御電位がライン14を介して各手動操作スイッチ12に提供される。この継電器40が自己鎖錠継電器であるならば、上記手動操作スイッチ12のうちの一つが後で閉状態に切り替えられたとしても、そのコンタクト46が閉状態にあるため、給電され続ける。

0037

該自己鎖錠継電器40の作動状態は、上記表示手段50によって、即ち、発光ダイオード52によって発せられた光によって、オペレータに報知される。

0038

勿論、いくつかの手動操作スイッチ12が当該補助制御装置1の接続のときに閉状態にあったならば、自己鎖錠継電器40に給電するための一端の付勢ライン30と他端のライン42とを含む回路を閉じるために、各手動操作スイッチ12を最初の開状態に切り替えることが必要である。

0039

以上の説明は、各手動操作スイッチ12がまず最初の開状態にされたときにのみ、手動操作スイッチ12にソレノイドバルブ3のための制御電位が給電されるので、本発明の補助制御装置1がオペレータのためにより安全性を提供するということを示している。

0040

なお、以上図面を参照して本発明の一実施の形態を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更変形が可能なことは勿論である。

発明の効果

0041

以上詳述したように、本発明によれば、より信頼性のある補助制御装置を提供することができる。

図面の簡単な説明

0042

図1本発明の一実施の形態にかかる補助制御装置の電気的な回路構成を示す図である。

--

0043

1補助制御装置
3ソレノイドバルブ(機能デバイス)
5主ユニット
7,9,11端子
12手動操作スイッチ
13 第1可動コンタクト
14,16,42ライン
18制御デバイス
20安全装置手段
22 第2可動コンタクト(可動付勢コンタクト)
30 付勢ライン
32,56ブランチ
33 部分
40自己鎖錠継電器
45,46 コンタクト
50 表示手段
52発光ダイオード
54 抵抗

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