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技術 クリーンルーム内空気の浄化方法とその装置

出願人 株式会社神鋼環境ソリューション
発明者 檜山和成野田晃小出鉄一
出願日 1998年4月23日 (22年7ヶ月経過) 出願番号 1998-113590
公開日 1999年11月2日 (21年0ヶ月経過) 公開番号 1999-300140
状態 未査定
技術分野 換気3 吸収による気体分離
主要キーワード 浮遊微小粒子 外部流路 循環流路中 清浄度レベル 空調器 循環流路内 汚染物質除去 ケミカルフィルター
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(1999年11月2日)のものです。
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図面 (11)

課題

本発明は、クリーンルーム内空気の浄化方法とその装置、さらに詳しくは、半導体製造工場等において設置されているクリーンルーム内の空気を浄化する方法とその装置に関し、ケミカルフィルターを設置せずとも、汚染物質の所望の除去効果を生じさせ、従って製造ラインを停止させる必要がなく、ランニングコストを低減させることを課題とする。

解決手段

クリーンルーム1に供給される空気又はクリーンルーム1内の空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することにより、クリーンルーム1内の空気を浄化することを特徴とする。

概要

背景

周知のように、クリーンルームは、コンタミネーションコントロールが行われる限られた空間であって、空気中における浮遊微小粒子等が限定された清浄度レベル以下に管理され、また、その空間に供給される材料、薬品、水等についても要求される清浄度が保持され、必要に応じて温度、湿度、圧力等の環境条件についても管理が行われている空間である。

たとえば、半導体デバイス等の製造プロセスにおいては、これらの材料に空気中の塵埃が付着すると製品の性能を著しく劣化させ、良品率を低下させるので、塵埃を極力減少させた上記のようなクリーンルーム内で作製することが必要である。

従って、半導体製造工場等では、上記のようなクリーンルームが設置されている。

その一例としては、たとえば図10に示すように、クリーンルーム1aから排出される空気を再度クリーンルーム1aに返送して循環的に流通させうる内部循環流路14a を設け、その内部循環流路14a の途中部空調機17a を設けるとともに、前記内部循環流路14a におけるクリーンルーム1aの空気流入口部の手前側高性能濾過フィルター16a が設けられている。

また、このような内部循環流路14a には外気を導入する外部流路18a が接続され、その外部流路18a にも空調機21a やプレフィルター20a と称される濾過フィルターが設けられている。

概要

本発明は、クリーンルーム内空気の浄化方法とその装置、さらに詳しくは、半導体製造工場等において設置されているクリーンルーム内の空気を浄化する方法とその装置に関し、ケミカルフィルターを設置せずとも、汚染物質の所望の除去効果を生じさせ、従って製造ラインを停止させる必要がなく、ランニングコストを低減させることを課題とする。

クリーンルーム1に供給される空気又はクリーンルーム1内の空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することにより、クリーンルーム1内の空気を浄化することを特徴とする。

目的

本発明は、このような問題点をすべて解決するためになされたもので、上記のようなケミカルフィルターを設置せずとも、汚染物質の所望の除去効果を生じさせ、従って製造ラインを停止させる必要がなく、ランニングコストを低減させることを課題とするものである。

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
0件

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請求項1

クリーンルーム(1) に供給される空気又はクリーンルーム(1)内の空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することにより、クリーンルーム(1) 内の空気を浄化することを特徴とするクリーンルーム内空気の浄化方法

請求項2

クリーンルーム(1) から排出される空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収し、次に汚染物質吸収後の空気を前記クリーンルーム(1) に返送し、これを繰り返して該クリーンルーム(1) 内の空気を浄化することを特徴とするクリーンルーム内空気の浄化方法。

請求項3

クリーンルーム(1) から排出される空気を再度クリーンルーム(1) に返送する内部循環流路(14)内で空気を循環させ、且つ該内部循環流路(14)に外部流路(18)から外気を導入してクリーンルーム内の空気を浄化するクリーンルーム内空気の浄化方法において、前記内部循環流路(14)とは別に、前記クリーンルーム(1) から排出される空気を再度クリーンルーム(1) に返送し又は内部循環流路(14)に供給する循環流路で空気を循環させ、該循環流路内においてクリーンルーム(1) から排出される空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収した後、汚染物質吸収後の空気を前記クリーンルーム(1) に返送し、又は内部循環流路(14)に供給し、これを繰り返して該クリーンルーム(1) 内の空気を浄化することを特徴とするクリーンルーム内空気の浄化方法。

請求項4

クリーンルーム(1) から排出される空気を再度クリーンルーム(1) に返送する内部循環流路(14)内で空気を循環させ、且つ該内部循環流路(14)に外部流路(18)から外気を導入してクリーンルーム内の空気を浄化するクリーンルーム内空気の浄化方法において、前記内部循環流路(14)内においてクリーンルーム(1) から排出される空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収した後、汚染物質吸収後の空気を前記クリーンルーム(1) に返送し、これを繰り返して該クリーンルーム(1) 内の空気を浄化することを特徴とするクリーンルーム内空気の浄化方法。

請求項5

クリーンルーム(1) から排出される空気を再度クリーンルーム(1) に返送する内部循環流路(14)内で空気を循環させ、且つ該内部循環流路(14)に外部流路(18)から外気を導入してクリーンルーム内の空気を浄化するクリーンルーム内空気の浄化方法において、前記外部流路(18)中で、外部からの空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収した後、汚染物質吸収後の空気を前記内部循環流路(14)を介してクリーンルーム(1) に供給することによって該クリーンルーム(1) 内の空気を浄化することを特徴とするクリーンルーム内空気の浄化方法。

請求項6

クリーンルーム(1) に供給される空気又はクリーンルーム(1)内の空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することにより、クリーンルーム(1) 内の空気を浄化する気液接触空気浄化手段が設けられてなることを特徴とするクリーンルーム内空気の浄化装置

請求項7

クリーンルーム(1) から排出される空気を再度クリーンルーム(1) に返送する循環流路が該クリーンルーム(1) に接続して設けられ、且つ該循環流路中に、前記クリーンルーム(1) から排出される空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することによって空気を浄化する気液接触空気浄化手段が設けられてなることを特徴とするクリーンルーム内空気の浄化装置。

請求項8

クリーンルーム(1) から排出される空気を再度クリーンルーム(1) に返送する内部循環流路(14)が該クリーンルーム(1) に接続して設けられ、且つ該内部循環流路(14)に外気を導入する外部流路(18)が接続して設けられたクリーンルーム内空気の浄化装置において、前記クリーンルーム(1) には、前記内部循環流路(14)とは別に、該クリーンルーム(1) から排出される空気を再度クリーンルーム(1) に返送し又は内部循環流路(14)に供給する循環流路が接続して設けられ、且つ該循環流路中に、前記クリーンルーム(1) から排出される空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することによって空気を浄化する気液接触空気浄化手段が設けられてなることを特徴とするクリーンルーム内空気の浄化装置。

請求項9

クリーンルーム(1) から排出される空気を再度クリーンルーム(1) に返送する内部循環流路(14)が該クリーンルーム(1) に接続して設けられ、且つ該内部循環流路(14)に外気を導入する外部流路(18)が接続して設けられたクリーンルーム内空気の浄化装置において、前記内部循環流路(14)中に、前記クリーンルーム(1) から排出される空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することによって空気を浄化する気液接触空気浄化手段が設けられてなることを特徴とするクリーンルーム内空気の浄化装置。

請求項10

クリーンルーム(1) から排出される空気を再度クリーンルーム(1) に返送する内部循環流路(14)が該クリーンルーム(1) に接続して設けられ、且つ該内部循環流路(14)に外気を導入する外部流路(18)が接続して設けられたクリーンルーム内空気の浄化装置において、前記外部流路(18)中に、外部からの空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することによって空気を浄化する気液接触空気浄化手段が設けられてなることを特徴とするクリーンルーム内空気の浄化装置。

請求項11

前記気液接触空気浄化手段が、充填材(7) を具備した洗浄搭(4) である請求項6乃至10のいずれかに記載のクリーンルーム内空気の浄化装置。

技術分野

0001

本発明は、クリーンルーム内空気の浄化方法とその装置、さらに詳しくは、半導体製造工場等において設置されているクリーンルーム内の空気を浄化する方法とその装置に関する。

背景技術

0002

周知のように、クリーンルームは、コンタミネーションコントロールが行われる限られた空間であって、空気中における浮遊微小粒子等が限定された清浄度レベル以下に管理され、また、その空間に供給される材料、薬品、水等についても要求される清浄度が保持され、必要に応じて温度、湿度、圧力等の環境条件についても管理が行われている空間である。

0003

たとえば、半導体デバイス等の製造プロセスにおいては、これらの材料に空気中の塵埃が付着すると製品の性能を著しく劣化させ、良品率を低下させるので、塵埃を極力減少させた上記のようなクリーンルーム内で作製することが必要である。

0004

従って、半導体製造工場等では、上記のようなクリーンルームが設置されている。

0005

その一例としては、たとえば図10に示すように、クリーンルーム1aから排出される空気を再度クリーンルーム1aに返送して循環的に流通させうる内部循環流路14a を設け、その内部循環流路14a の途中部空調機17a を設けるとともに、前記内部循環流路14a におけるクリーンルーム1aの空気流入口部の手前側高性能濾過フィルター16a が設けられている。

0006

また、このような内部循環流路14a には外気を導入する外部流路18a が接続され、その外部流路18a にも空調機21a やプレフィルター20a と称される濾過フィルターが設けられている。

発明が解決しようとする課題

0007

このような従来の設備においては、外部流路18a からの粉塵等の流入をある程度阻止することで、クリーンルーム1a内の清浄度を維持することはできるが、半導体製造工場においては、一般の粉塵のみならず、有機物質SOx、NOx等の無機汚染物質がクリーンルーム1a内で発生し、これが製品に影響を与えるという問題が生じていた。

0008

そこで、これを解決するために、ケミカルフィルター19a と称される汚染物質除去専用のフィルターを上記の外部流路18a 又は内部循環流路14a に設置することも試みられている。

0009

図10では、その一例として外部流路18a のプレフィルター20a の下流側に設けた状態を示している。

0010

しかし、このようなケミカルフィルターは、それ自体が高価であり、その反面フィルターとして機能する寿命が数カ月程度と短いものであった。

0011

従って、その分、ランニングコストも高くついていた。

0012

また、このような寿命がくればケミカルフィルターを交換する必要があるが、その交換作業時には、製造ライン全体を停止させなければならず、作業効率が低下することとなっていた。

0013

特に、汚染物質の濃度上昇を防止するためには、外部流路18a よりも内部循環流路14a 内に設ける方が効果的であるが、上記のようなケミカルフィルターを交換する際の製造ラインの停止に伴う作業効率の低下やランニングコストの増大という問題点は、外部流路18a に設けるよりも内部循環流路14a 内に設けた場合の方が顕著であった。

0014

本発明は、このような問題点をすべて解決するためになされたもので、上記のようなケミカルフィルターを設置せずとも、汚染物質の所望の除去効果を生じさせ、従って製造ラインを停止させる必要がなく、ランニングコストを低減させることを課題とするものである。

課題を解決するための手段

0015

本発明は、このような課題を解決するために、クリーンルーム内空気の浄化方法とその装置としてなされたもので、浄化方法としての特徴は、クリーンルーム1に供給される空気又はクリーンルーム1内の空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することにより、クリーンルーム1内の空気を浄化することにある。

0016

また、他の浄化方法としての特徴は、クリーンルーム1から排出される空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収し、次に汚染物質吸収後の空気を前記クリーンルーム1に返送し、これを繰り返して該クリーンルーム1内の空気を浄化することにある。

0017

さらに、他の浄化方法としての特徴は、クリーンルーム1から排出される空気を再度クリーンルーム1に返送する内部循環流路14内で空気を循環させ、且つ該内部循環流路14に外部流路18から外気を導入してクリーンルーム内の空気を浄化するクリーンルーム内空気の浄化方法において、前記内部循環流路14とは別に、前記クリーンルーム1から排出される空気を再度クリーンルーム1に返送し又は内部循環流路14に供給する循環流路で空気を循環させ、該循環流路内においてクリーンルーム1から排出される空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収した後、汚染物質吸収後の空気を前記クリーンルーム1に返送し、又は内部循環流路14に供給し、これを繰り返して該クリーンルーム1内の空気を浄化することにある。

0018

さらに、他の浄化方法としての特徴は、クリーンルーム1から排出される空気を再度クリーンルーム1に返送する内部循環流路14内で空気を循環させ、且つ該内部循環流路14に外部流路18から外気を導入してクリーンルーム内の空気を浄化するクリーンルーム内空気の浄化方法において、前記内部循環流路14内においてクリーンルーム1から排出される空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収した後、汚染物質吸収後の空気を前記クリーンルーム1に返送し、これを繰り返して該クリーンルーム1内の空気を浄化することにある。

0019

さらに、他の浄化方法としての特徴は、クリーンルーム1から排出される空気を再度クリーンルーム1に返送する内部循環流路14内で空気を循環させ、且つ該内部循環流路14に外部流路18から外気を導入してクリーンルーム内の空気を浄化するクリーンルーム内空気の浄化方法において、前記外部流路18中で、外部からの空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収した後、汚染物質吸収後の空気を前記内部循環流路14を介してクリーンルーム1に供給することによって該クリーンルーム1内の空気を浄化することにある。

0020

本発明の浄化装置としての特徴は、クリーンルーム1に供給される空気又はクリーンルーム1内の空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することにより、クリーンルーム1内の空気を浄化する気液接触空気浄化手段が設けられてなることにある。

0021

また、他の浄化装置としての特徴は、クリーンルーム1から排出される空気を再度クリーンルーム1に返送する循環流路を該クリーンルーム1に接続して設け、且つ該循環流路中に、前記クリーンルーム1から排出される空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することによって空気を浄化する気液接触空気浄化手段が設けられてなることにある。

0022

さらに、他の浄化装置としての特徴は、クリーンルーム1から排出される空気を再度クリーンルーム1に返送する内部循環流路14が該クリーンルーム1に接続して設けられ、且つ該内部循環流路14に外気を導入する外部流路18が接続して設けられたクリーンルーム内空気の浄化装置において、前記クリーンルーム1には、前記内部循環流路14とは別に、該クリーンルーム1から排出される空気を再度クリーンルーム1に返送し又は内部循環流路(14)に供給する循環流路が接続して設けられ、且つ該循環流路中に、前記クリーンルーム1から排出される空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することによって空気を浄化する気液接触空気浄化手段が設けられてなることにある。

0023

さらに、他の浄化装置としての特徴は、クリーンルーム1から排出される空気を再度クリーンルーム1に返送する内部循環流路14が該クリーンルーム1に接続して設けられ、且つ該内部循環流路14に外気を導入する外部流路18が接続して設けられたクリーンルーム内空気の浄化装置において、前記内部循環流路14中に、前記クリーンルーム1から排出される空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することによって空気を浄化する気液接触空気浄化手段が設けられてなることにある。

0024

さらに、他の浄化装置としての特徴は、クリーンルーム1から排出される空気を再度クリーンルーム1に返送する内部循環流路14が該クリーンルーム1に接続して設けられ、且つ該内部循環流路14に外気を導入する外部流路18が接続して設けられたクリーンルーム内空気の浄化装置において、前記外部流路18中に、外部からの空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することによって空気を浄化する気液接触空気浄化手段が設けられてなることにある。

0025

気液接触空気浄化手段としては、たとえば充填材7を具備した洗浄搭4が用いられる。

発明を実施するための最良の形態

0026

以下、本発明の実施形態について図面に従って説明する。

0027

先ず、本実施形態のクリーンルーム内空気の浄化装置の構成について説明すると、図1において、1はクリーンルームで、そのクリーンルーム1から排出される空気の流路2の下流側には、ファン3が設けられている。

0028

4は、クリーンルーム1からの空気を純水で浄化するための洗浄搭で、その洗浄搭本体5内には、純水6が充填されている。

0029

7は、前記洗浄搭本体5内に設けられた充填材で、図2に示すように、側面及び平面が略波形に形成された多数の板材8,…を集積して構成されている。

0030

この充填材7〔神鋼パンテツク社製,スーパーパック6P(商品名)〕は、上記のような多数の板材8,…間に形成された通路が、空気及び純水の通路となり、横方向からは、前記クリーンルーム1から排出された空気が充填材7の板材8,…間の通路に侵入し、上方向からは、純水が充填材7の板材8,…間の通路に侵入する。

0031

9は、その純水を上方向から充填材7に噴射させるための散水管で、該充填材7の上部に配設されている。

0032

10は、洗浄搭本体5内に充填された純水を、洗浄搭本体5から排出させて前記散水管9へ供給するための循環ポンプを示す。

0033

11は、前記洗浄搭本体5内の充填材7で純水との気液接触により粉塵や汚染物質が吸収されて浄化された空気を、前記洗浄搭本体5から排出するための流路で、この流路11は、浄化された空気を前記クリーンルーム1に返送すべく、前記クリーンルーム1に接続されている。

0034

上記のようなクリーンルーム1から洗浄搭4に至る流路2と、洗浄搭4からクリーンルーム1に至る流路11によって、空気の循環流路が形成されることとなる。

0035

そして、このような流路2及び流路11は、図3に示すように、既設の内部循環流路14や外部循環流路18を有する空気の浄化装置において、内部循環流路14内に設けられたクリーンルーム1に接続されて、該内部循環流路14とは別の循環流路として組み込まれるものである。

0036

図3において、16は高性能の濾過フィルター、17は空調器、19はケミカルフィルター、20はプレフィルター、21は空調機で、いずれも上記図8に示した従来の空気の浄化装置にも設けられているものである。

0037

次に、本実施形態のクリーンルーム内空気の浄化装置によって、クリーンルーム内空気を浄化する方法について説明する。

0038

先ず、クリーンルーム1から排出される空気は、流路2を通過し、ファン3によって洗浄搭4に供給される。

0039

クリーンルーム1から排出される空気は、粉塵や汚染物質を含んでおり、前記洗浄搭4内の充填材7を通過する際に浄化される。

0040

これをより詳細に説明すると、先ず洗浄搭4内に供給された空気は、充填材7に対して横方向から供給され、充填材7の板材8,…間の通路に侵入する。

0041

一方、充填材7の上部に配設された散水管9から純水が散布され、その純水が充填材7の板材8,…間の通路に上方向から侵入する。

0042

このように横方向から通路に侵入する空気と、上方向から通路に侵入する純水との気液接触により、空気中の粉塵や汚染物質が純水に吸収されることとなる。

0043

従って、充填材7を通過した空気は、粉塵や汚染物質が除去された状態で洗浄搭4から排出され、流路11を介してクリーンルーム1へ返送される。

0044

このように、クリーンルーム1内の空気は、流路2から洗浄搭4を通過して流路11を介して再度クリーンルーム1へ返送されるので、流路2及び流路11によって形成される循環流路を循環することとなる。

0045

従って、クリーンルーム1内で粉塵や汚染物質が空気に含有されても、流路2及び流路11を循環するときに、洗浄搭4内の充填材7を通過するので、その充填材7での上述のような気液接触によって浄化され、粉塵や汚染物質等の除去が好適になされることとなる。

0046

尚、上記実施形態では、洗浄搭4を通過した空気がクリーンルーム1へ返送されるべく、洗浄搭4が流路11を介して直接クリーンルーム1に接続されていたが、これに限らず、たとえば図4に示すように、洗浄搭4とクリーンルーム1との間にケミカルフィルター12を設けてもよい。

0047

これによって、粉塵や汚染物質の除去効率が一層良好になるという利点がある。

0048

また、このようにしてケミカルフィルター12を設けた場合でも、洗浄搭4によって汚染物質等が好適に除去されるため、ケミカルフィルター自体の寿命も従来に比べて大幅に伸ばすことができる。

0049

さらに、洗浄搭4内の純水6を散水管9側へ供給する流路に、図5に示すように熱交換器13を設けることも可能である。

0050

この場合には、クリーンルーム1内の湿度を調整できるという利点がある。

0051

すなわち、上記図1のような装置においては、洗浄搭4で気液接触した空気が水分を含んでいるため、このような空気が流路2、流路11、及びクリーンルーム1を循環することによって、クリーンルーム1内の湿気が徐々に増大することなるが、上記のような熱交換器13によって、温度を下げることによって空気の絶対湿度が下げられることとなり、従って、クリーンルーム内の湿度は一定に保たれることになる。

0052

よって、このような熱交換器13によって、クリーンルーム1内の湿度を好適に維持することができるのである。

0053

10は、洗浄搭本体5内に充填された純水を、洗浄搭本体5から排出させて前記散水管9へ供給するための循環ポンプを示す。

0054

さらに、上記実施形態では、既設されている内部循環流路14や外部流路18を有する空気の浄化装置の内部循環流路14内に設けられたクリーンルーム1に流路2や流路11を接続して前記内部循環流路14とは別の循環流路として流路2や流路11を組み込んだが、このような既設の装置に組み込む場合に限らず、クリーンルーム1に流路2や流路11を接続した単独の空気の浄化装置として使用することも可能である。

0055

また、上記図3のような実施形態とは異なるシステムに上記流路2や流路11を有する装置を組み込んで使用することも可能である。

0056

さらに、上記実施形態では、既設されている内部循環流路や外部流路とは別に流路2や流路11を設けて洗浄搭4を設けたため、既設の設備をそのまま利用して浄化装置のみを取り付けることができるという好ましい効果があるが、これに限らず、たとえば図6に示すように内部循環流路14内に組み込んで設置することも可能である。

0057

この図6の実施例では、クリーンルーム1の下流側で、ケミカルフィルター15の上流側に設けられている。

0058

また図6の実施例では、内部循環流路14内に高性能の濾過フィルター16と空調器17とが設けられ、外部流路18にはケミカルフィルター19、プレフィルター20、および空調器21が設けられている。

0059

さらに、このような内部循環流路14内に限らず、図7に示すように外部流路18の外気取入口の下流であってケミカルフィルター19の上流側に設けることも可能である。

0060

さらに、上記図3の実施形態では、内部循環流路14とは別に設けられた循環流路において、洗浄搭4で気液接触して浄化された空気がクリーンルーム1に返送されたが、この循環流路中で浄化された空気は、図8に示すように、内部循環流路14に供給されてもよい。

0061

さらに、上記各実施形態では、クリーンルーム1に浄化された空気が供給されるように、洗浄搭4がクリーンルーム1の外部に設けられていたが、この洗浄搭4は、図9に示すようにクリーンルーム1の内部に設けることも可能である。

0062

この場合には、クリーンルーム1内の空気が洗浄搭4で直接浄化されることとなる。

0063

さらに、上記実施形態では、洗浄搭4内に具備された充填材7として、横方向及び上方向から見て波形に形成された多数の板材8,…間に通路の形成された充填材7を用いたが、充填材7の形状はこれに限定されるものではない。

0064

たとえば多数の通路を備えた略円筒状のものであってもよい。

0065

さらに、上記実施形態では、上方向から洗浄搭4に散布される水に対して、空気は横方向、すなわち水の供給方向と交差する方向から洗浄搭4に供給されたが、これに限らず、下方向すなわち水の供給方向と対面する方向から空気を洗浄搭4に供給することも可能である。

0066

さらに、上記実施形態では、クリーンルーム1から排出された空気と純水との気液接触を行う手段として、所望形状の充填材7を具備した洗浄搭4を用いたが、湿式洗浄を行う手段はこのような洗浄搭4に限定されるものではない。

0067

たとえば、上記のような充填材7を用いることなく、単なる純水の噴射によって気液接触を行ってもよい。

0068

さらに、上記実施形態では、気液接触を行う液体として純水を用いたが、純水に限らず超純水を用いることも可能であり、また一般の水道水を用いることも可能である。要は水が用いられていればよい。

発明の効果

0069

叙上のように、本発明は、クリーンルームから排出される空気を再度クリーンルームに返送する循環流路を該クリーンルームに接続して設け、且つ該循環流路中に、前記クリーンルームから排出される空気に水を接触させて空気中に含有される汚染物質を吸収することによって空気を浄化する気液接触空気浄化手段を設けたものであるため、クリーンルーム内で発生する粉塵や汚染物質は、上記気液接触空気浄化手段で水に吸収され、従って空気内の粉塵や汚染物質を好適に除去することができるという効果がある。

0070

ちなみに、本発明では、汚染物質等の低濃度汚染物質を90〜99%除去することができ、また粉塵等の粒子状物質も90%以上除去することができた。

0071

また、上記のように汚染物質等の除去効率を向上できる結果、従来のようなケミカルフィルターをクリーンルームの循環流路に設ける必要がなく、従ってケミカルフィルターをクリーンルームの循環流路に設けた場合のように製造ラインを停止させる必要がなく、また、ランニングコストも著しく低減させることができるという効果がある。

0072

さらに、クリーンルーム内の空気は循環して流通させながら湿式浄化装置で水と気液接触させるため、空気内の汚染物質等を吸収した水を排出することによって、工業用水として再利用することができるという利点がある。

図面の簡単な説明

0073

図1クリーンルーム内空気の浄化装置の概略ブロック図。
図2洗浄搭に具備された充填材の概略斜視図。
図3図1の浄化装置を既設の浄化装置に組み込んだ状態の概略ブロック図。
図4他実施例の概略ブロック図。
図5他実施例の概略ブロック図。
図6他実施例の概略ブロック図。
図7他実施例の概略ブロック図。
図8他実施例の概略ブロック図。
図9他実施例の概略ブロック図。
図10 従来のクリーンルーム内空気の浄化装置を示す概略ブロック図。

--

0074

1…クリーンルーム4…洗浄搭
7…充填材

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