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技術 プロセス装置の決定装置、プロセス装置の決定方法及びプロセス装置の決定プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

出願人 パナソニック株式会社
発明者 松本茂
出願日 1998年3月30日 (21年11ヶ月経過) 出願番号 1998-083366
公開日 1999年10月12日 (20年5ヶ月経過) 公開番号 1999-277379
状態 拒絶査定
技術分野 多工程加工の機械及びシステム 総合的工場管理 物品の積み重ね及び付属装置 物流システム 特定用途計算機 計算機制御 数値制御
主要キーワード 製品開発過程 処理進行状況 予測手順 メンテナンス間隔 製品テーブル 処理遅れ 候補装置 処理候補
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(1999年10月12日)のものです。
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図面 (20)

課題

製品の特性や歩留を向上させ、プロセス装置故障による大幅な製品の処理遅れを防止する。

解決手段

処理性能蓄積手段はプロセス装置の処理性能を蓄積し、歩留蓄積手段は各プロセス装置で処理した製品の歩留を蓄積し、評価手段はプロセス装置の処理性能または製品の歩留を評価し、プロセス装置決定手段は評価した処理性能、または歩留に基づいて複数のプロセス装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定する。

概要

背景

従来のプロセス装置決定装置を図29に基づいて説明する。

従来のプロセス装置の決定装置は、処理フロー作成手段1001、処理待ち製品群作成手段1002、処理待ち時間評価手段1003及びプロセス装置決定手段1004によって構成され、特定工程の処理が可能な複数のプロセス装置群の中から、その工程を処理するプロセス装置を決定する。

処理フロー作成手段1001により、製品を完成させるための工程順序工程条件及び工程の処理装置を規定する。この時、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合は、処理候補装置群として複数のプロセス装置を規定する。処理待ち製品群作成手段1002により、プロセス装置における製品の処理状況を管理し、プロセス装置毎の処理待ち製品群を作成する。この時、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合は、全ての候補装置に対して、この製品を処理待ち状態とする。

処理待ち時間評価手段1003により、処理待ち製品群作成手段1002で作成したプロセス装置毎の処理待ち製品が、そのプロセス装置によって処理されるまでの待ち時間を算出する。処理フロー作成手段1001によって特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台規定されている場合には、プロセス装置決定手段1004により、処理待ち時間評価手段1003で評価した処理待ち時間が最も短いプロセス装置を、その工程の処理装置として決定する。

以上のように構成された従来のプロセス装置の決定装置においては、特定の工程を処理するためのプロセス装置を決定する場合、工程処理が可能な複数のプロセス装置群の中から、工程の処理待ち時間の最も短いプロセス装置を選択し、その工程を処理するプロセス装置としていた。

概要

製品の特性や歩留を向上させ、プロセス装置の故障による大幅な製品の処理遅れを防止する。

処理性能蓄積手段はプロセス装置の処理性能を蓄積し、歩留蓄積手段は各プロセス装置で処理した製品の歩留を蓄積し、評価手段はプロセス装置の処理性能または製品の歩留を評価し、プロセス装置決定手段は評価した処理性能、または歩留に基づいて複数のプロセス装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定する。

目的

本発明はこのような現状に鑑みてなされたものであり、製品の特性や歩留を向上させ、装置の故障による大幅な製品の処理遅れを防止することができる、プロセス装置の決定装置、決定方法、決定方法を実現するプログラムを提供することを目的とする。

効果

実績

技術文献被引用数
3件
牽制数
1件

この技術が所属する分野

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請求項1

プロセス装置によって順に並んだ工程を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセス装置を決定するプロセス装置の決定装置であって、プロセス装置群の処理性能蓄積する処理性能蓄積手段と、各プロセス装置で処理した製品の歩留を蓄積する歩留蓄積手段と、蓄積したプロセス装置の処理性能または製品の歩留を評価する評価手段と、評価した処理性能または歩留に基づいて複数のプロセス装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手段とを備えたことを特徴とするプロセス装置の決定装置。

請求項2

前記プロセス装置決定手段は、処理性能の高いプロセス装置または過去の製品の歩留が高いプロセス装置を選択する請求項1に記載のプロセス装置の決定装置。

請求項3

前記プロセス装置決定手段は、処理性能の安定しているプロセス装置または過去の製品の歩留が安定しているプロセス装置を選択する請求項1に記載のプロセス装置の決定装置。

請求項4

前記評価手段は、プロセス装置の処理性能を一定期間毎または品種毎に評価する請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のプロセス装置の決定装置。

請求項5

前記評価手段は、製品の歩留を一定期間毎または品種毎に評価する請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のプロセス装置の決定装置。

請求項6

プロセス装置によって順に並んだ工程を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセス装置を決定するプロセス装置の決定装置であって、プロセス装置の故障率を蓄積する故障率蓄積手段と、蓄積した故障率を評価する評価手段と、評価したプロセス装置の故障率に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手段とを備えたことを特徴とするプロセス装置の決定装置。

請求項7

前記プロセス装置決定手段は、過去のプロセス装置の故障率が低い装置を選択することに決定する請求項6に記載のプロセス装置の決定装置。

請求項8

前記プロセス装置決定手段は、過去の装置の安定度が高いプロセス装置を選択することに決定する請求項6に記載のプロセス装置の決定装置。

請求項9

前記故障率蓄積手段は、プロセス装置のメンテナンス作業を記録し、前記プロセス装置決定手段は、装置のメンテナンス間隔が長いプロセス装置を選択することに決定する請求項6に記載のプロセス装置の決定装置。

請求項10

前記故障率蓄積手段は、プロセス装置のメンテナンス作業を記録し、前記プロセス装置決定手段は、装置の前回メンテナンスからの経過時間が短いプロセス装置を選択することに決定する請求項6に記載のプロセス装置の決定装置。

請求項11

前記評価手段は、プロセス装置の稼働率プロセス工程毎に評価する請求項6ないし請求項10のいずれかに記載のプロセス装置の決定装置。

請求項12

プロセス装置によって順に並んだ工程を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセス装置を決定するプロセス装置の決定装置であって、製品完成時の歩留を予測する製品歩留予測手段と、製品の完成予定日を予測する製品完成日予測手段と、予測した製品の歩留及び製品の完成予定日を評価する評価手段と、評価した製品の歩留及び完成予定日に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手段とを備えたことを特徴とするプロセス装置の決定装置。

請求項13

前記プロセス装置決定手段は、評価した製品の歩留が所定の歩留より高い場合には、複数の装置群の中から、処理が早く完了するプロセス装置で工程を処理することを決定する請求項12に記載のプロセス装置の決定装置。

請求項14

前記プロセス装置決定手段は、評価した製品の完成予定日が所定の日時より早い場合には、複数の装置群の中から、処理性能が高く、安定したプロセス装置、または過去の製品の歩留が高く、安定した装置で工程処理することを決定する請求項12または請求項13に記載のプロセス装置の決定装置。

請求項15

プロセス装置によって順に並んだ工程を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセス装置を決定するプロセス装置の決定方法であって、プロセス装置群の処理性能を蓄積する処理性能蓄積工程と、各プロセス装置で処理した製品の歩留を蓄積する歩留蓄積工程と、蓄積したプロセス装置の処理性能または製品の歩留を評価する評価工程と、評価した処理性能または歩留に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定工程とを備えたことを特徴とするプロセス装置の決定方法。

請求項16

前記プロセス装置決定工程は、処理性能の高いプロセス装置または過去の製品の歩留が高いプロセス装置を選択する請求項15に記載のプロセス装置の決定方法。

請求項17

前記プロセス装置決定工程は、処理性能の安定しているプロセス装置または過去の製品の歩留が安定しているプロセス装置を選択する請求項15に記載のプロセス装置の決定方法。

請求項18

前記評価工程は、プロセス装置の処理性能を一定期間毎または品種毎に評価する請求項15ないし請求項17のいずれかに記載のプロセス装置の決定方法。

請求項19

前記評価工程は、製品の歩留を一定期間毎、または品種毎に評価する請求項15ないし請求項18のいずれかに記載のプロセス装置の決定方法。

請求項20

プロセス装置によって順に並んだ工程を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセス装置を決定するプロセス装置の決定方法であって、プロセス装置の故障率を蓄積する故障率蓄積工程と、蓄積した故障率を評価する評価工程と、評価したプロセス装置の故障率に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定工程とを備えたことを特徴とするプロセス装置の決定方法。

請求項21

前記プロセス装置決定工程は、過去のプロセス装置の故障率が低い装置を選択することに決定する請求項20に記載のプロセス装置の決定方法。

請求項22

前記プロセス装置決定工程は、過去の装置の安定度が高いプロセス装置を選択することに決定する請求項20に記載のプロセス装置の決定方法。

請求項23

前記故障率蓄積工程は、プロセス装置のメンテナンス作業を記録し、前記プロセス装置決定工程は、装置のメンテナンス間隔が長いプロセス装置を選択することに決定する請求項20に記載のプロセス装置の決定方法。

請求項24

前記故障率蓄積工程は、プロセス装置のメンテナンス作業を記録し、前記プロセス装置決定工程は、装置の前回のメンテナンスからの経過時間が短いプロセス装置を選択することに決定する請求項20に記載のプロセス装置の決定方法。

請求項25

前記評価工程は、プロセス装置の稼働率をプロセス工程毎に評価する請求項20ないし請求項24のいずれかに記載のプロセス装置の決定方法。

請求項26

プロセス装置によって順に並んだ工程を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセス装置を決定するプロセス装置の決定方法であって、製品完成時の歩留を予測する製品歩留予測工程と、製品の完成予定日を予測する製品完成日予測工程と、予測した製品の歩留及び製品の完成予定日を評価する評価工程と、評価した製品の歩留及び完成予定日に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定工程とを備えたことを特徴とするプロセス装置の決定方法。

請求項27

前記プロセス装置決定工程は、評価した製品の歩留が所定の歩留より高い場合には、複数の装置群の中から、処理が早く完了するプロセス装置で工程を処理することを決定する請求項26に記載のプロセス装置の決定方法。

請求項28

前記プロセス装置決定工程は、評価した製品の完成予定日が所定の日時より早い場合には、複数の装置群の中から、処理性能が高く、安定したプロセス装置、または過去の製品の歩留が高く、安定した装置で工程を処理することを決定する請求項26または請求項27に記載のプロセス装置の決定方法。

請求項29

プロセス装置によって順に並んだ工程を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセス装置を決定するプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、コンピュータを、プロセス装置群の処理性能を蓄積する処理性能蓄積手順、各プロセス装置で処理した製品の歩留を蓄積する歩留蓄積手順、蓄積したプロセス装置の処理性能、または製品の歩留を評価する評価手順、評価した処理性能、または歩留に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手順として実行させるためのプロセス装置決定プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

請求項30

プロセス装置によって順に並んだ工程を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセス装置を決定するプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、コンピュータを、プロセス装置の故障率を蓄積する故障率蓄積手順、蓄積した故障率を評価する評価手順、評価したプロセス装置の故障率に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手順として実行させるためのプロセス装置決定プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

請求項31

プロセス装置によって順に並んだ工程を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセス装置を決定するプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、コンピュータを、製品完成時の歩留を予測する製品歩留予測手順、製品の完成予定日を予測する製品完成日予測手順、予測した製品の歩留及び製品の完成予定日を評価する評価手順、評価した製品の歩留及び完成予定日に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手順として実行させるためのプロセス装置決定プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

技術分野

0001

本発明は、プロセス装置によって複数の工程を順に処理しながら製品を製造する際に、特定工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、その工程の処理を行うプロセス装置を決定するプロセス装置の決定装置決定方法及び決定方法を実現するプログラムに関するものである。

背景技術

0002

従来のプロセス装置の決定装置を図29に基づいて説明する。

0003

従来のプロセス装置の決定装置は、処理フロー作成手段1001、処理待ち製品群作成手段1002、処理待ち時間評価手段1003及びプロセス装置決定手段1004によって構成され、特定工程の処理が可能な複数のプロセス装置群の中から、その工程を処理するプロセス装置を決定する。

0004

処理フロー作成手段1001により、製品を完成させるための工程順序工程条件及び工程の処理装置を規定する。この時、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合は、処理候補装置群として複数のプロセス装置を規定する。処理待ち製品群作成手段1002により、プロセス装置における製品の処理状況を管理し、プロセス装置毎の処理待ち製品群を作成する。この時、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合は、全ての候補装置に対して、この製品を処理待ち状態とする。

0005

処理待ち時間評価手段1003により、処理待ち製品群作成手段1002で作成したプロセス装置毎の処理待ち製品が、そのプロセス装置によって処理されるまでの待ち時間を算出する。処理フロー作成手段1001によって特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台規定されている場合には、プロセス装置決定手段1004により、処理待ち時間評価手段1003で評価した処理待ち時間が最も短いプロセス装置を、その工程の処理装置として決定する。

0006

以上のように構成された従来のプロセス装置の決定装置においては、特定の工程を処理するためのプロセス装置を決定する場合、工程処理が可能な複数のプロセス装置群の中から、工程の処理待ち時間の最も短いプロセス装置を選択し、その工程を処理するプロセス装置としていた。

発明が解決しようとする課題

0007

しかしながら前記のように構成された従来のプロセス装置の決定装置では、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合は、処理待ち時間の最も短いプロセス装置を選択し、処理装置としていたため、製品の特性や歩留が向上しないばかりでなく、時には大幅に歩留が低下するという問題点を有していた。さらに、処理装置の決定後に、その装置が故障を起こし、製品処理が大幅に遅れるという問題点も有していた。

0008

本発明はこのような現状に鑑みてなされたものであり、製品の特性や歩留を向上させ、装置の故障による大幅な製品の処理遅れを防止することができる、プロセス装置の決定装置、決定方法、決定方法を実現するプログラムを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0009

前記の目的を達成するため、本発明は、製品を処理するプロセス装置の性能、装置の故障率及び製品の歩留などに着目し、特定の工程を処理するためのプロセス装置を決定する場合、工程処理が可能な複数のプロセス装置群の中から、プロセス装置の処理性能が高く、安定している装置、過去の製品の歩留が高く、安定している装置、故障率が低く、安定稼働している装置を選択し、その工程を処理するプロセス装置として決定するものである。

0010

具体的には、本発明に係る第1のプロセス装置の決定装置は、プロセス装置群の処理性能を蓄積する処理性能蓄積手段と、各プロセス装置で処理した製品の歩留を蓄積する歩留蓄積手段と、蓄積したプロセス装置の処理性能または製品の歩留を評価する評価手段と、評価した処理性能または歩留に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手段とを備えている。

0011

第1のプロセス装置の決定装置において、プロセス装置決定手段は、処理性能の高いプロセス装置または過去の製品の歩留が高いプロセス装置を選択することが望ましい。

0012

第1のプロセス装置の決定装置において、プロセス装置決定手段は、処理性能の安定しているプロセス装置または過去の製品の歩留が安定しているプロセス装置を選択することが望ましい。

0013

第1のプロセス装置の決定装置において、評価手段は、プロセス装置の処理性能を一定期間毎または品種毎に評価することが望ましい。

0014

第1のプロセス装置の決定装置において、評価手段は、製品の歩留を一定期間毎または品種毎に評価することが望ましい。

0015

本発明に係る第1のプロセス装置の決定プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセス装置を決定するプログラムを記録し、コンピュータを、プロセス装置群の処理性能を蓄積する処理性能蓄積手段、各プロセス装置で処理した製品の歩留を蓄積する歩留蓄積手段、蓄積したプロセス装置の処理性能、または製品の歩留を評価する評価手段、評価した処理性能または歩留に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手段として機能させる。

0016

本発明に係る第1のプロセス装置の決定装置によると、複数の装置群の中から、処理レートの高い装置、安定している装置、過去の製品歩留が高い装置、安定している装置を選択し、工程の処理を行うプロセス装置に決定するため、製品の特性や歩留を向上させることができる。

0017

本発明に係る第2のプロセス装置の決定装置は、プロセス装置の故障率を蓄積する故障率蓄積手段と、蓄積した故障率を評価する評価手段と、評価したプロセス装置の故障率に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手段とを備えている。

0018

第2のプロセス装置の決定装置において、プロセス装置決定手段は、過去のプロセス装置の故障率が低い装置を選択することが望ましい。

0019

第2のプロセス装置の決定装置において、プロセス装置決定手段は、過去の装置の安定度が高いプロセス装置を選択することが望ましい。

0020

第2のプロセス装置の決定装置において、故障率蓄積手段は、プロセス装置のメンテナンス作業を記録し、プロセス装置決定手段は、装置のメンテナンス間隔が長いプロセス装置を選択することが望ましい。

0021

第2のプロセス装置の決定装置において、故障率蓄積手段は、プロセス装置のメンテナンス作業を記録し、プロセス装置決定手段は、装置の前回メンテナンスからの経過時間が短いプロセス装置を選択することが望ましい。

0022

第2のプロセス装置の決定装置において、 評価手段は、プロセス工程毎に評価することが望ましい。

0023

本発明に係る第2のプロセス装置の決定プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセス装置を決定するプログラムを記録し、コンピュータを、プロセス装置の故障率を蓄積する故障率蓄積手段、蓄積した故障率を評価する評価手段、評価したプロセス装置の故障率に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手段として機能させる。

0024

本発明に係る第2のプロセス装置の決定装置によると、複数の装置群の中から、故障率の低い装置、安定している装置、メンテナンス間隔の長い装置、前回のメンテナンスからの経過時間が短い装置を選択し、工程の処理を行うプロセス装置に決定するため、装置の故障による大幅な製品の処理遅れを防止することができる。

0025

本発明に係る第3のプロセス装置の決定装置は、製品完成時の歩留を予測する製品歩留予測手段と、製品の完成予定日を予測する製品完成日予測手段と、予測した製品の歩留及び製品の完成予定日を評価する評価手段と、評価した製品の歩留及び完成予定日に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手段とを備えている。

0026

第3のプロセス装置の決定装置において、プロセス装置決定手段は、評価した製品の歩留が所定の歩留より高い場合には、複数の装置群の中から、処理が早く完了するプロセス装置で工程を処理することが望ましい。

0027

第3のプロセス装置の決定装置において、プロセス装置決定手段は、評価した製品の完成予定日が所定の日時より早い場合には、複数の装置群の中から、処理性能が高く、安定したプロセス装置、または過去の製品の歩留が高く、安定した装置で工程を処理することが望ましい。

0028

本発明に係る第3のプロセス装置の決定プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセス装置を決定するプログラムを記録し、コンピュータを、製品完成時の歩留を予測する製品歩留予測手段、製品の完成予定日を予測する製品完成日予測手段、予測した製品の歩留及び製品の完成予定日を評価する評価手段、評価した製品の歩留及び完成予定日に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手段として機能させる。

0029

本発明に係る第3のプロセス装置の決定装置によると、製品の歩留が所定より高い場合には、複数の装置群の中から、処理が早く完了する装置を選択し、工程の処理を行うプロセス装置に決定するため、製品の完成日時を早めることができる。さらに、製品の完成予定日が所定より早い場合には、複数の装置群の中から、処理性能が高く、安定した装置、または過去の製品の歩留が高く、安定した装置を選択し、工程の処理を行うプロセス装置に決定するため、製品の特性や歩留を向上させることができる。

発明を実施するための最良の形態

0030

(第1の実施形態)プロセス装置の決定装置は図1に示すように、処理フロー作成手段100、処理待ち製品群作成手段200、処理性能蓄積手段300、歩留蓄積手段400、評価手段500、プロセス装置決定手段600によって構成され、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合は、複数のプロセス装置の中から、処理性能の高い装置、安定している装置、過去の製品歩留が高い装置、または安定している装置を選択し、工程処理を行うプロセス装置を決定する。以下、各手段について詳しく説明する。

0031

図1ないし図3に示すように処理フロー作成手段100は、各種製品を完成させるために必要な処理フロー(工程の並び、及び処理装置など)を規定し、処理フローテーブル101に登録する。製品名、品種、工程番号、工程名、処理装置名1、処理装置名2及び処理装置名3をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の処理フローテーブル101に、製品名、品種、工程番号、工程名、処理装置名を登録する。特に、ある工程の処理が複数の装置で行える場合には、処理装置名を複数登録する。この処理フローの登録はコンピュータに備わったエディター及びDBMSに備わったSQLなどを用いて、製品の完成に必要な工程数だけ繰り返す。

0032

例えば、図2に示すように製品Aを完成させるために必要な処理フロー(工程番号、工程名、処理装置名など)を登録する。この場合、工程番号「2」は「装置B」及び「装置E」のどちらかで処理することを、また、工程番号「4」は「装置B」、「装置E」及び「装置F」のいずれかで処理することを、それぞれ規定している。なお、本処理フローテーブル101では、3つの処理装置名(処理装置1、2、3)アイテムを持っているが、特に数は限定せず、1つの工程を処理できる装置の台数分だけアイテムを設ければよい。

0033

次に、製品名、工程番号及びステータスをアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の処理進行管理テーブル201に、製品名を登録すると同時に、工程番号として「1」を、ステータスとして「W」をそれぞれ登録する。ここで、ステータスアイテムの値としては「W」及び「P」を持ち、「W」はその工程番号の工程が処理待ち状態にあることを示し、「P」は処理中状態にあることを示す。なお、この登録は、例えばDBMSに備わったSQLなどを用いて行えばよい。また、処理フローの登録及びステータスの登録は製品の数だけ繰り返す。

0034

図1ないし図4に示すように処理待ち製品群作成手段200は、各プロセス装置での各種製品の処理進行状況を管理し、各プロセス装置での処理待ち製品群を処理進行管理テーブル201及び処理待ち製品テーブル202を用いて作成する。ここで、処理待ち製品テーブル202は、処理装置名、製品名、工程番号及び工程名をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上のテーブルである。

0035

処理進行管理テーブル201から、ステータスアイテムの値が「W」のレコード検索し、製品名及び工程番号を抽出後、これらを検索キーとして処理フローテーブル101の製品名と工程番号の値が同一のレコードを検索し、全ての処理装置名及び工程名を抽出する。さらに、先の検索キーとして用いた製品名及び工程番号、抽出した工程名及び装置名を、処理待ち製品テーブル202に登録する。この登録は処理フローテーブル101から抽出した装置の台数分だけ繰り返す。なお、この検索、抽出、登録は、例えばDBMSに備わったSQLなどを用いて、一定時間毎に行えばよい。

0036

また、処理進行管理テーブル201のステータスアイテムは、評価手段500及びプロセス装置決定手段600などによって、工程の処理を行うプロセス装置が決定し、実際にプロセス装置によって工程の処理が開始されると、ステータスの値は「P」に更新される。さらに、工程の処理が終了すると、ステータスの値は「W」に更新され、工程番号の値は1増加され、処理待ち製品テーブル202の該当するレコードも削除される。なお、この更新も、例えばDBMSに備わったSQLなどを用いて行えばよい。

0037

例えば、図3、4の処理進行管理テーブル201及び処理待ち製品テーブル202は、「製品A」が工程番号「2」で処理待ち状態であり、「製品A」の工程番号「2」の処理は「装置B」及び「装置E」の2つが候補としてあげられることを示している。また、「製品X」の工程番号「10」は「装置F」で処理中であることを示している。

0038

図1、5に示すように処理性能蓄積手段300は、各プロセス装置で製品を処理した際のプロセス装置の性能を示す情報を処理性能テーブル301に登録する。装置名、製品名、工程名、品種、装置性能及び処理日時をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の処理性能テーブル301に、装置名、製品名、工程名、品種、装置性能及び製品を処理した日時を登録する。この登録は、例えばプロセス装置が工程の処理を終了した際に、DBMSに備わったSQLなどを用いて行う。また、装置性能を示すデータは各装置毎に決定すれば良く、特に限定しない。例えば、図5に示すように各プロセス装置の処理性能として、工程処理時に装置内で発生したパーティクル数を用いればよい。また、プラズマ密度電子温度液濃度液温ビーム電流量真空度エッチングレートデポジションレート及び酸化レートを処理性能として用いてもよい。

0039

図1、6に示すように歩留蓄積手段400は、各プロセス装置で処理した製品の歩留情報を製品歩留テーブル401に登録する。装置名、製品名、工程名、品種、歩留、分類及び処理日時をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の製品歩留テーブル401に、装置名、製品名、工程名、品種、歩留、分類及び製品を処理した日時を登録する。この登録は、例えばプロセス装置での工程処理が終了した際に、DBMSに備わったSQLなどを用いて行う。ここで製品の歩留は、次のいずれかを用いればよい。(1)プロセス装置が処理した各工程の工程歩留。(2)プロセス装置が特定の工程の処理を終了した際に予測した製品の最終歩留。(3)プロセス装置で処理した製品の完成後の歩留。例えば、図6に示すように、分類アイテムの値が「工程」、「予測」及び「完成」は、それぞれ、工程歩留、予測した製品の最終歩留及び完成後の製品の歩留を示している。

0040

図1、4、5、6に示すように評価手段500は、処理性能テーブル301に蓄積された各プロセス装置の性能情報及び製品歩留テーブル401に蓄積された各製品の歩留情報を抽出し、各プロセス装置を評価する。処理待ち製品群作成手段200によって、処理待ち製品テーブル202に処理待ち製品情報が登録された際に、登録された製品名アイテムの値を検索キーとして、処理待ち製品テーブル202の製品名の値が同一のレコードを検索し、複数レコードが検索された場合には、全ての処理装置名を抽出する。次に、抽出した処理装置名を検索キーとして、処理性能テーブル301の装置名の値が同一のレコードを検索し、装置性能を抽出後、装置性能の平均値を算出しプロセス装置の性能を評価する。この平均値の算出を、先に処理待ち製品テーブル202から抽出した処理装置の台数分だけ繰り返す。また、登録された製品名アイテムの値を検索キーとして、処理待ち製品テーブル202の製品名の値が同一のレコードを検索し、1レコードしか検索されなかった場合には、処理装置名を抽出し、その処理装置で工程の処理を行うことを決定する。

0041

例えば、図4、5に示すように処理待ち製品テーブル202に、処理待ち製品情報レコード202Aが登録されると、「製品A」を検索キーとして処理待ち製品テーブル202を検索し、2つのレコード202A、202Bを検索し、「装置E」及び「装置B」を抽出する。次に、「装置E」を検索キーとして、処理性能テーブル301を検索し、装置性能の平均値として、「28」(=(2+43+59+8)/4)を得る。また、「装置B」を検索キーとして、処理性能テーブル301を検索し、装置性能の平均値として、「31」(=(32+39+50+22+12)/5)を得る。

0042

なお、本実施形態では、プロセス装置の性能を評価する際に、処理性能の平均値を求めているが、特に限定せず、次のように算出してもよい。(1)処理性能の標準偏差を算出する。(2)処理性能の最大値を求める。(3)処理性能の最小値を求める。また、処理性能テーブル301から装置性能を抽出するための検索キーとして、装置名の他に、次の検索キーを加えてもよい。(1)製品名:処理する製品と同じ製品を特定するための検索キー。(2)工程名:処理する製品と同じ工程を特定するための検索キー。(3)品種:処理する製品と同じ品種を特定するための検索キー。(4)処理日時:特定期間に処理した製品を特定するための検索キー。さらに、処理性能の平均値などを算出する際に、各処理装置での処理日時などをもとに重み付けを行い、最近の処理性能にほど重みを付けて平均値を算出してもよい。

0043

処理待ち製品群作成手段200によって、処理待ち製品テーブル202に処理待ち製品情報が登録された際に、登録された製品名アイテムの値を検索キーとして、製品歩留テーブル401の製品名の値が同一のレコードを検索し、複数レコードが検索された場合には、全ての処理装置名を抽出する。次に、抽出した処理装置名を検索キーとして、製品歩留テーブル401の装置名の値が同一のレコードを検索し、歩留を抽出後、歩留の平均値を算出し、プロセス装置の性能を評価する。この平均値の算出を、先に処理待ち製品テーブル202から抽出した処理装置の台数分だけ繰り返す。また、登録された製品名アイテムの値を検索キーとして、処理待ち製品テーブル202の製品名の値が同一のレコードを検索し、1レコードしか検索されなかった場合には、処理装置名を抽出し、その処理装置で工程の処理を行うことを決定する。

0044

例えば、図4、6に示すように処理待ち製品テーブル202に、処理待ち製品情報レコード202Aが登録されると、「製品A」を検索キーとして処理待ち製品テーブル202を検索し、2つのレコード202A、202Bを検索し、「装置E」及び「装置B」を抽出する。次に、「装置E」を検索キーとして、製品歩留テーブル401を検索し、歩留の平均値として、「0.77」(=(0.97+0.67+0.47+0.89+0.96+0.87+0.83+0.47)/8)を得る。また、「装置B」を検索キーとして、製品歩留テーブル401を検索し、歩留の平均値として、「0.84」(=(0.92+0.86+0.99+0.79+0.65+0.82+0.88)/7)を得る。

0045

なお、本実施形態では、製品の歩留を評価する際に、歩留の平均値を求めているが、特に限定せず、次のように算出してもよい。(1)歩留の標準偏差を算出する。(2)歩留の最大値を求める。(3)歩留の最小値を求める。また、製品歩留テーブル401から歩留を抽出するための検索キーとして、装置名の他に、次の検索キーを加えてもよい。(1)製品名:処理する製品と同じ製品を特定するための検索キー。(2)工程名:処理する製品と同じ工程を特定するための検索キー。(3)品種:処理する製品と同じ品種を特定するための検索キー。(4)分類:歩留の分類を特定するための検索キー。(5)処理日時:特定期間に処理した製品を特定するための検索キー。

0046

さらに、歩留の平均値などを算出する際に、各処理装置での工程の処理日時などをもとに重み付けを行い、最近の歩留にほど重みを付けて、平均値を算出してもよい。なお、評価手段500における検索、抽出は、例えばDBMSに備わったSQLなどを用いて行えばよい。

0047

図1に示すようにプロセス装置決定手段600は、評価手段500においてプロセス装置を評価した結果に基づき、工程処理を行うプロセス装置を決定する。評価手段500により算出した各装置の処理性能及び製品の歩留に基づいて、各装置の性能指数を計算し、性能指数の大小によって製品の処理を行うプロセス装置を決定する。本実施形態では、処理性能として装置内のパーティクル数を用いており、「装置E」及び「装置B」の性能指数は、例えば次のように算出すればよい。性能指数=歩留/処理性能。従って、「装置E」の性能指数=0.77/28=0.0275、「装置B」の性能指数=0.84/31=0.0271となり、性能指数の大きな「装置E」で、製品を処理することを決定する。なお、性能指数の計算方法は特に限定せず、次のように算出してもよい。(1)歩留を用いず処理性能だけで算出する(性能指数=1/処理性能)。(2)処理性能を用いず歩留だけで算出する(性能指数=歩留)。(3)処理性能または歩留に重み付けを行った後、算出する(性能指数=(歩留x重み1)/(処理性能x重み2))。

0048

以上のように本実施形態によれば、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合に、プロセス装置の処理性能の高さや安定度、過去の製品歩留の高さや安定度に応じて、工程を処理するプロセス装置を決定することができる。

0049

なお、本実施形態において、コンピュータ記憶装置上の各テーブルの代わりにリスト構造を用いた記憶手段を用いてもよい。また、コンピュータ記憶装置は補助記憶装置または主記憶装置の何れでも良く、コンピュータネットワークを通じてアクセス可能な場所に存在すればよい。従って、本実施形態に係るプロセス装置の決定方法を実現するプロセス装置決定プログラムを作成するとともに、コンピュータが読み取り可能な記録媒体にプロセス装置決定プログラムを記録しておけば、記録媒体をコンピュータの補助記憶装置に装着することにより、本実施形態に係るプロセス装置決定プログラムがコンピュータの主記憶装置にロードされ、所定の動作タイミングイベント)が発生した時に、コンピュータのCPUによって各手順の所定機能が実行される。

0050

(第2の実施形態)プロセス装置の決定装置は図13に示すように、処理フロー作成手段100、処理待ち製品群作成手段200、故障率蓄積手段700、評価手段510、プロセス装置決定手段610によって構成され、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合は、複数のプロセス装置の中から、故障率の低い装置、安定している装置、メンテナンス間隔が長い装置、またはメンテナンスからの経過時間が短い装置を選択し、工程処理を行うプロセス装置を決定する。以下、各手段について詳しく説明する。

0051

図13、2、3に示すように処理フロー作成手段100は、各種製品を完成させるために必要な処理フロー(工程の並び、及び処理装置など)を規定し、処理フローテーブル101に登録する。本処理フロー作成手段100は、本発明に係る第1の実施形態と同様である。また、図13、2、3、4に示すように処理待ち製品群作成手段200は、各プロセス装置での各種製品の処理進行状況を管理し、各プロセス装置での処理待ち製品群を処理進行管理テーブル201及び処理待ち製品テーブル202を用いて作成する。本処理待ち製品群作成手段200は、本発明に係る第1の実施形態と同様である。

0052

図13、14、15に示すように故障率蓄積手段700は、各プロセス装置の故障率を示す情報を装置故障率テーブル701に登録し、装置メンテナンスに関する情報を装置メンテナンステーブル702に登録する。装置名、故障率、工程名及び期間をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の装置故障率テーブル701に、特定期間毎の装置故障率として、装置名、故障率、工程名及び期間を登録する。この登録は、例えば、特定期間毎の故障率を集計した際に、DBMSに備わったSQLなどを用いて行う。図14に示すように、例えば一ヶ月間の装置の故障率を処理した工程別に登録すればよい。

0053

装置名、メンテナンス間隔、及び経過時間をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の装置メンテナンステーブル702に、装置名、装置のメンテナンス間隔及び前回のメンテナンスからの経過時間を登録する。例えば、メンテナンス間隔は装置メンテナンスを行った際に、前回の装置メンテナンスから今回の装置メンテナンスまでの時間を算出し、登録すればよい。また、メンテナンス経過時間は装置によって工程の処理を行った際に、前回の装置メンテナンスからの経過時間を算出し、登録すればよい。なお、これらの登録はDBMSに備わったSQLなどを用いて行う。

0054

図13、4、14、15に示すように評価手段510は、装置故障率テーブル701に蓄積された各プロセス装置の故障率情報、及び装置メンテナンステーブル702に蓄積された各装置のメンテナンス情報を抽出し、各プロセス装置を評価する。

0055

処理待ち製品群作成手段200によって、処理待ち製品テーブル202に処理待ち製品情報が登録された際に、登録された製品名アイテムの値を検索キーとして、処理待ち製品テーブル202の製品名の値が同一のレコードを検索し、複数レコードが検索された場合には、全ての処理装置名を抽出する。次に、抽出した処理装置名を検索キーとして、装置故障率テーブル701の装置名の値が同一のレコードを検索し、故障率を抽出後、故障率の平均値を算出し、プロセス装置の性能を評価する。この平均値の算出を、先に処理待ち製品テーブル202から抽出した処理装置の台数分だけ繰り返す。さらに、処理待ち製品テーブル202から抽出した処理装置名を検索キーとして、装置メンテナンステーブル702の装置名の値が同一のレコードを検索し、メンテナンス間隔及び経過時間を抽出する。

0056

また、登録された製品名アイテムの値を検索キーとして、処理待ち製品テーブル202の製品名の値が同一のレコードを検索し、1レコードしか検索されなかった場合には、処理装置名を抽出し、その処理装置で工程の処理を行うことを決定する。

0057

例えば、図4、14、15に示すように処理待ち製品テーブル202に、処理待ち製品情報レコード202Aが登録されると、「製品A」を検索キーとして処理待ち製品テーブル202を検索し、2つのレコード202A、202Bを検索し、「装置E」及び「装置B」を抽出する。次に、「装置E」を検索キーとして、装置故障率テーブル701を検索し、故障率の平均値として、「0.0033」((0+0.01+0+0+0+0.02+0+0+0)/9)を得る。また、「装置B」を検索キーとして、装置故障率テーブル701を検索し、故障率の平均値として、「0.0088」((0+0+0.02+0.01+0+0.03+0+0.01)/8)を得る。さらに、「装置E」を検索キーとして、装置メンテナンステーブル702を検索し、メンテナンス間隔及び経過時間として、「30」及び「16」を得る。また「装置B」を検索キーとして、装置メンテナンステーブル702を検索し、メンテナンス間隔及び経過時間として、「25」及び「2」を得る。

0058

なお、本実施形態では、プロセス装置の故障率を評価する際に、故障率の平均値を求めているが、特に限定せず、次のように算出してもよい。(1)故障率の標準偏差を算出する。(2)故障率の最大値を求める。(3)故障率の最小値を求める。また、装置故障率テーブル701から故障率を抽出するための検索キーとして、装置名の他に、次の検索キーを加えてもよい。(1)工程名:処理する製品と同じ工程を特定するための検索キー。(2)期間:特定期間に処理した製品を特定するための検索キー。さらに、故障率の平均値などを算出する際に、各処理装置での処理日時などをもとに重み付けを行い、最近の故障率ほど重みを付けて、平均値を算出してもよい。なお、評価手段510における検索、抽出は、例えばDBMSに備わったSQLなどを用いて行えばよい。

0059

図13に示すようにプロセス装置決定手段610は、評価手段510においてプロセス装置を評価した結果に基づき、工程処理を行うプロセス装置を決定する。評価手段510により算出した、各装置の故障率、メンテナンス間隔及び経過時間に基づいて、各装置の性能指数を計算し、性能指数の大小によって製品の処理を行うプロセス装置を決定する。例えば、「装置E」及び「装置B」の性能指数は次のように算出すればよい。性能指数=1/故障率+メンテナンス間隔/経過時間。従って、「装置E」の性能指数=1/0.0033+30/16=305、「装置B」の性能指数=1/0.0088+25/2=126となり、性能指数の大きな「装置E」で、製品を処理することを決定する。

0060

なお、性能指数の計算方法は特に限定せず、次のように算出してもよい。(1)故障率だけで算出する(性能指数=1/故障率)。(2)メンテナンス間隔だけで算出する(性能指数=メンテナンス間隔)。(3)メンテナンス間隔及び経過時間だけで算出する(性能指数=メンテナンス間隔/経過時間)。(4)1/故障率またはメンテナンス間隔/経過時間に重み付けを行った後、算出する(性能指数=(1/故障率)x重み1+(メンテナンス間隔/経過時間)x重み2)。

0061

以上のように本実施形態によれば、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合に、プロセス装置の故障率の低さや安定度、装置メンテナンス間隔の長さ、または前回の装置メンテナンスからの経過時間に応じて、工程を処理するプロセス装置を決定することができる。

0062

なお、本実施形態において、コンピュータ記憶装置上の各テーブルの代わりにリスト構造を用いた記憶手段を用いてもよい。また、コンピュータ記憶装置は補助記憶装置または主記憶装置の何れでも良く、コンピュータネットワークを通じてアクセス可能な場所に存在すればよい。従って、本実施形態に係るプロセス装置の決定方法を実現するプロセス装置決定プログラムを作成するとともに、コンピュータが読み取り可能な記録媒体にプロセス装置決定プログラムを記録しておけば、記録媒体をコンピュータの補助記憶装置に装着することにより、本実施形態に係るプロセス装置決定プログラムがコンピュータの主記憶装置にロードされ、所定の動作タイミング(イベント)が発生した時に、コンピュータのCPUによって各手順の所定機能が実行される。

0063

(第3の実施形態)プロセス装置の決定装置は図19に示すように、処理フロー作成手段110、処理待ち製品群作成手段210、処理性能蓄積手段300、製品歩留予測手段800、製品完成日予測手段900、評価手段520、プロセス装置決定手段620によって構成され、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台あり、製品の歩留が目標より高いと予測される場合には、複数のプロセス装置の中から工程の処理が早く完了する装置を選択し、製品の完成予定日が目標より早いと予測される場合には、複数のプロセス装置の中から処理性能が高く、安定した装置を選択し、工程処理を行うプロセス装置を決定する。以下、各手段について詳しく説明する。

0064

図19、20、3、22に示すように処理フロー作成手段110は、各種製品を完成させるために必要な処理フロー(工程の並び、及び処理装置など)を規定し、処理フローテーブル111に登録する。製品名、品種、工程番号、工程名、処理装置名1、所要時間1、処理装置名2、所要時間2、処理装置名3及び所要時間3をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の処理フローテーブル111に、製品名、品種、工程番号、工程名、処理装置名、工程処理に必要な装置の所要時間を登録する。特に、ある工程の処理が複数の装置で行える場合には、処理装置名及び所要時間を複数登録する。この処理フローの登録はコンピュータに備わったエディター及びDBMSに備わったSQLなどを用いて、製品の完成に必要な工程数だけ繰り返す。

0065

例えば、図20に示すように製品Aを完成させるために必要な処理フロー(工程番号、工程名、処理装置名など)を登録する。この場合、工程番号「2」は「装置B」及び「装置E」のどちらかで処理することを、それぞれの装置で「78」分及び「49」分の工程処理時間がかかることを、また、工程番号「4」は「装置B」、「装置E」及び「装置F」のいずれかで処理することを、それぞれの装置で「60」分、「75」分及び「65」分の工程処理時間がかかることを、それぞれ規定している。なお、本処理フローテーブル111では、3つの処理装置名(処理装置1、2、3)及び所要時間(所要時間1、2、3)アイテムを持っているが、特に数は限定せず、1つの工程を処理できる装置の台数分だけアイテムを設ければよい。

0066

次に、製品名、工程番号及びステータスをアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の処理進行管理テーブル201に、製品名を登録すると同時に、工程番号として「1」を、ステータスとして「W」をそれぞれ登録する。ここで、ステータスアイテムの値としては「W」及び「P」を持ち、「W」はその工程番号の工程が、処理待ち状態にあることを示し、「P」は処理中状態にあることを示す。この登録は、例えばDBMSに備わったSQLなどを用いて行えばよい。さらに、製品名、目標歩留、予測歩留、目標完成日及び予測完成日をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の製品歩留・完成日管理テーブル112に、製品名、目標歩留、目標完成日をそれぞれ登録する。この登録はコンピュータに備わったエディター及びDBMSに備わったSQLなどを用いて行えばよい。また、処理フローの登録、ステータスの登録及び目標歩留・目標完成日の登録は製品の数だけ繰り返す。

0067

図19、20、3、21に示すように処理待ち製品群作成手段210は、各プロセス装置での各種製品の処理進行状況を管理し、各プロセス装置での処理待ち製品群を処理進行管理テーブル201及び処理待ち製品テーブル212を用いて作成する。ここで、処理待ち製品テーブル212は、処理装置名、製品名、工程番号、工程名、所要時間及び登録日時をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上のテーブルである。処理進行管理テーブル201から、ステータスアイテムの値が「W」のレコードを検索し、製品名及び工程番号を抽出後、これらを検索キーとして処理フローテーブル111の製品名と工程番号の値が同一のレコードを検索し、全ての処理装置名、所要時間及び工程名を抽出する。さらに、先の検索キーとして用いた製品名及び工程番号、抽出した処理装置名、所要時間及び工程名を、処理待ち製品テーブル212に登録し、同時に、この情報の登録日時も登録する。この登録は処理フローテーブル111から抽出した装置の台数分だけ繰り返す。なお、この検索、抽出、登録は、例えばDBMSに備わったSQLなどを用いて行えばよい。

0068

また、処理進行管理テーブル201のステータスアイテムは、評価手段520及びプロセス装置決定手段620などによって、工程の処理を行うプロセス装置が決定し、実際にプロセス装置によって工程の処理が開始されると、ステータスの値は「P」に更新される。さらに、工程の処理が終了すると、ステータスの値は「W」に、工程番号の値は1増加され、それぞれ更新される。なお、この更新も、例えばDBMSに備わったSQLなどを用いて行えばよい。例えば、図3、21の処理進行管理テーブル201及び処理待ち製品テーブル212は、「製品A」が工程番号「2」で処理待ち状態であり、「製品A」の工程番号「2」の処理は「装置B」及び「装置E」の2つが候補としてあげられることを示している。また、「製品X」の工程番号「10」は「装置F」で処理中であることを示している。

0069

図1、5に示すように処理性能蓄積手段300は、各プロセス装置で製品を処理した際のプロセス装置の性能を示す情報を、処理性能テーブル301に登録する。本処理性能蓄積手段300は、本発明に係る第1の実施形態と同様である。

0070

図19、22に示すように製品歩留予測手段800は、各製品の最終歩留を予測し、製品歩留・完成日管理テーブル112に登録する。最終歩留の予測手法は特に限定せず、通常、製品開発過程で行われている途中の特定工程の結果から最終歩留を推測する手法などを用いればよい。この最終歩留の予測は、特定工程の終了時や一定期間毎に行えばよい。次に、最終歩留を予測した際に、製品名を検索キーとして製品歩留・完成日管理テーブル112の製品名の値が同一のレコードを検索し、予測歩留アイテムに、予測した最終歩留を登録する。この登録は、DBMSに備わったSQLなどを用いて行う。

0071

図19、22に示すように製品完成日予測手段900は、各製品の完成日を予測し、製品歩留・完成日管理テーブル112に登録する。製品完成日の予測手法は特に限定せず、通常、製品開発過程で行われている途中工程の処理完了日時と残り工程数から完成日を推測する手法などを用いればよい。この完成日の予測は、各工程の処理が終了した際に行えばよい。完成日を予測した際に、製品名を検索キーとして製品歩留・完成日管理テーブル112の製品名の値が同一のレコードを検索し、予測完成日アイテムに、予測した完成日を登録する。この登録は、DBMSに備わったSQLなどを用いて行う。

0072

図19、21、22に示すように評価手段520は、製品歩留・完成日管理テーブル112に蓄積された各製品の歩留及び完成日情報を抽出する。処理待ち製品群作成手段210によって、処理待ち製品テーブル212に処理待ち製品情報が登録された際に、登録された製品名アイテムの値を検索キーとして、製品歩留・完成日管理テーブル112の製品名の値が同一のレコードを検索し、目標歩留、予測歩留、目標完成日、予測完成日を抽出する。さらに、製品名アイテムの値を検索キーとして、処理待ち製品テーブル212の製品名の値が同一のレコードを検索し、複数レコードが検索された場合には、全ての処理装置名及び所要時間を抽出する。また、1レコードしか検索されなかった場合には、処理装置名を抽出し、その処理装置で工程の処理を行うことを決定する。

0073

次に、抽出した処理装置名を検索キーとして、処理性能テーブル301の装置名の値が同一のレコードを検索し、装置性能を抽出後、装置性能の平均値を算出し、プロセス装置の性能を評価する。この平均値の算出を、先に処理待ち製品テーブル212から抽出した処理装置の台数分だけ繰り返す。例えば、図21、5に示すように処理待ち製品テーブル212に、処理待ち製品情報レコード212Aが登録されると、「製品A」を検索キーとして、製品歩留・完成日管理テーブル112を検索し、目標歩留、予測歩留、目標完成日及び予測完成日としてそれぞれ、「89」、「93」、「1998/02/10」及び「1998/02/14」を抽出する。さらに、「製品A」を検索キーとして処理待ち製品テーブル212を検索し、2つのレコード212A、212Bを検索し、装置名及び所要時間としてそれぞれ「装置E」、「49」及び「装置B」、「78」を抽出する。

0074

次に、「装置E」を検索キーとして、処理性能テーブル301を検索し、装置性能の平均値として、「28」((2+43+59+8)/4)を得る。また、「装置B」を検索キーとして、処理性能テーブル301を検索し、装置性能の平均値として、「31」((32+39+50+22+12)/5)を得る。なお、評価手段520における検索、抽出は、例えばDBMSに備わったSQLなどを用いて行えばよい。

0075

図19、21に示すようにプロセス装置決定手段620は、評価手段520において抽出した製品の歩留及び完成日を基づき、工程処理を行うプロセス装置を決定する。評価手段520により抽出した製品の予測歩留が目標歩留より高い場合は、評価手段520で抽出した各処理装置の中から、工程処理に要する所要時間が少ない装置で工程の処理を行うことを決定する。例えば、本実施形態では、「製品A」の予測歩留が「93」、目標歩留が「89」であり、予測歩留が目標歩留よりも高く、「装置E」の所要時間が「49」、「装置B」の所要時間が「78」であるため、「装置E」で製品を処理することに決定する。

0076

また、評価手段520により抽出した製品の完成予定日が目標完成日より早い場合には、複数のプロセス装置の中から、処理性能が高く、安定した装置で処理することを決定する。例えば、本実施形態では、「装置E」の性能の平均が「28」、「装置B」の性能の平均が「31」であるため、「装置B」で製品を処理することに決定する。なお、製品の予測歩留が目標歩留より低い場合は、複数のプロセス装置の中から、処理性能が高く、安定した装置で処理することを決定し、製品の完成予定日が目標完成日より遅い場合は、工程処理に要する所要時間が少ない装置で工程の処理を行うことを決定する。

0077

以上のように本実施形態によれば、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合に、製品の歩留が目標より高いと予測される場合には、複数のプロセス装置の中から工程の処理が早く完了する装置を選択し、製品の完成予定日が目標より早いと予測される場合には、複数のプロセス装置の中から処理性能が高く、安定した装置を選択し、工程処理を行うプロセス装置を決定する事ができる。

0078

なお、本実施形態において、コンピュータ記憶装置上の各テーブルの代わりにリスト構造を用いた記憶手段を用いてもよい。また、コンピュータ記憶装置は補助記憶装置または主記憶装置の何れでも良く、コンピュータネットワークを通じてアクセス可能な場所に存在すればよい。従って、本実施形態に係るプロセス装置の決定方法を実現するプロセス装置決定プログラムを作成するとともに、コンピュータが読み取り可能な記録媒体にプロセス装置決定プログラムを記録しておけば、記録媒体をコンピュータの補助記憶装置に装着することにより、本実施形態に係るプロセス装置決定プログラムがコンピュータの主記憶装置にロードされ、所定の動作タイミング(イベント)が発生した時に、コンピュータのCPUによって各手順の所定機能が実行される。

発明の効果

0079

以上説明したように、本発明の第1のプロセス装置の決定装置及び決定方法によると、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合は、処理性能の高い安定したプロセス装置や、過去の製品歩留の高い安定したプロセス装置で工程の処理を行うことができるため、製品の特性や歩留を向上させることができ、その実用的効果は大きい。

0080

本発明の第2のプロセス装置の決定装置及び決定方法によると、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合は、故障率の低い安定したプロセス装置、装置メンテナンス間隔の長いプロセス装置、前回の装置メンテナンスからの経過時間が短いプロセス装置で工程の処理を行うことができるため、装置の故障による製品の処理遅れを防止することができ、その実用的効果は大きい。

0081

本発明の第3のプロセス装置の決定装置及びその方法によると、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合は、製品の予測歩留が目標歩留より高い場合には、工程処理が早く完了するプロセス装置で工程の処理を行い、製品の完成予定日が目標完成日より早い場合には、処理性能の高い安定したプロセス装置で工程処理を行うことができるため、製品の完成日を早め、製品の特性や歩留を向上させることができ、その実用的効果は大きい。

図面の簡単な説明

0082

図1本発明の第1及び第3の実施形態におけるプロセス装置の決定装置のブロック図
図2本発明の第1及び第2の実施形態におけるプロセス装置の決定装置の処理フローテーブルの一例を示す図
図3本発明の第1、第2及び第3の実施形態におけるプロセス装置の決定装置の処理進行管理テーブルの一例を示す図
図4本発明の第1及び第2の実施形態におけるプロセス装置の決定装置の処理待ち製品テーブルの一例を示す図
図5本発明の第1及び第3の実施形態におけるプロセス装置の決定装置の処理性能テーブルの一例を示す図
図6本発明の第1の実施形態におけるプロセス装置の決定装置の製品歩留テーブルの一例を示す図
図7本発明の第1及び第2の実施形態におけるプロセス装置の決定方法の処理フロー作成工程の処理内容を示す図
図8本発明の第1及び第2の実施形態におけるプロセス装置の決定方法の処理待ち製品群作成工程の処理内容を示す図
図9本発明の第1の実施形態におけるプロセス装置の決定方法の処理性能蓄積工程の処理内容を示す図
図10本発明の第1の実施形態におけるプロセス装置の決定方法の歩留蓄積工程の処理内容を示す図
図11本発明の第1の実施形態におけるプロセス装置の決定方法の評価工程の処理内容を示す図
図12本発明の第1の実施形態におけるプロセス装置の決定方法のプロセス装置決定工程の処理内容を示す図
図13本発明の第2の実施形態におけるプロセス装置の決定装置のブロック図
図14本発明の第2の実施形態におけるプロセス装置の決定装置の装置故障率テーブルの一例を示す図
図15本発明の第2の実施形態におけるプロセス装置の決定装置の装置メンテナンステーブルの一例を示す図
図16本発明の第2の実施形態におけるプロセス装置の決定方法の故障率蓄積工程の処理内容を示す図
図17本発明の第2の実施形態におけるプロセス装置の決定方法の評価工程の処理内容を示す図
図18本発明の第2の実施形態におけるプロセス装置の決定方法のプロセス装置決定工程の処理内容を示す図
図19本発明の第3の実施形態におけるプロセス装置の決定装置のブロック図
図20本発明の第3の実施形態におけるプロセス装置の決定装置の処理フローテーブルの一例を示す図
図21本発明の第3の実施形態におけるプロセス装置の決定装置の処理待ち製品テーブルの一例を示す図
図22本発明の第3の実施形態におけるプロセス装置の決定装置の製品歩留・完成日管理テーブルの一例を示す図
図23本発明の第3の実施形態におけるプロセス装置の決定方法の処理フロー作成工程の処理内容を示す図
図24本発明の第3の実施形態におけるプロセス装置の決定方法の処理待ち製品群作成工程の処理内容を示す図
図25本発明の第3の実施形態におけるプロセス装置の決定方法の製品歩留予測工程の処理内容を示す図
図26本発明の第3の実施形態におけるプロセス装置の決定方法の製品完成日予測工程の処理内容を示す図
図27本発明の第3の実施形態におけるプロセス装置の決定方法の評価工程の処理内容を示す図
図28本発明の第3の実施形態におけるプロセス装置の決定方法のプロセス装置決定工程の処理内容を示す図
図29従来のプロセス装置の決定装置のブロック図

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0083

100、110、1001処理フロー作成手段
100A、110A 処理フロー作成工程
101、111処理フローテーブル
112製品歩留・完成日管理テーブル
200、210、1002処理待ち製品群作成手段
200A、210A 処理待ち製品群作成工程
201 処理進行管理テーブル
202、212 処理待ち製品テーブル
202A、202B、212A、212B 処理待ち製品情報レコード
300処理性能蓄積手段
300A 処理性能蓄積工程
301 処理性能テーブル
400歩留蓄積手段
400A 歩留蓄積工程
401 製品歩留テーブル
500、510、520 評価手段
500A、510A、520A 評価工程
600、610、620、1004プロセス装置決定手段
600A、610A、620A プロセス装置決定工程
700故障率蓄積手段
700A 故障率蓄積工程
701装置故障率テーブル
702装置メンテナンステーブル
800 製品歩留予測手段
800A 製品歩留予測工程
900製品完成日予測手段
900A 製品完成日予測工程
1003処理待ち時間評価手段

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