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技術 切削装置

出願人 株式会社ディスコ
発明者 波岡伸一石井茂
出願日 1998年3月24日 (22年8ヶ月経過) 出願番号 1998-075335
公開日 1999年10月5日 (21年1ヶ月経過) 公開番号 1999-267940
状態 特許登録済
技術分野 工作機械の補助装置 研削機械のドレッシング及び付属装置 石材または石材類似材料の加工 ダイシング
主要キーワード 液晶ガラス板 流体カーテン ウォーターカーテン カーテンノズル 切削ライン 保持テープ エアーカーテン 切削屑
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(1999年10月5日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (7)

課題

切削装置において切削水を供給しながら被加工物切削を行う場合において、切削により発生した切削屑コンタミ)が被加工物の表面に極力付着しないようにする。

解決手段

被加工物を保持して回転可能なチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら切削を遂行する切削手段とを含む切削装置であって、チャックテーブルが移動する方向である切削送り方向をX軸方向、切削手段が移動する方向である割り出し送り方向をY軸方向とし、チャックテーブルの回転中心をY軸の原点とした場合、原点を基準として、マイナス側の領域であるマイナス領域には切削手段が位置し、プラス側の領域であるプラス領域には流体噴出することにより被加工物との間で流体カーテンを形成するカーテンノズルをX軸に平行に配設した切削装置を提供する。

概要

背景

例えば、図5に示すような切削手段30を有する切削装置においては、被加工物を適宜の保持手段に固定させた上で、被加工物に切削水を供給しながら切削を行う。

ここで、切削手段30は、スピンドルハウジング31内において回転可能に支持されたスピンドル32にブレード33を装着してフランジ34等によって固定した構成となっており、スピンドル32の回転に伴って回転するブレード33が被加工物に接触することにより切削が行われる。

また、ブレード33を両側から挟むようにして切削水供給ノズル35、36が配設されており、切削時は、図6に示すように、被加工物37とブレード33との接触部を重点的に冷却するために、ここから切削水が供給される。これにより切削によって形成される製品品質を高めることができる。

概要

切削装置において切削水を供給しながら被加工物の切削を行う場合において、切削により発生した切削屑コンタミ)が被加工物の表面に極力付着しないようにする。

被加工物を保持して回転可能なチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら切削を遂行する切削手段とを含む切削装置であって、チャックテーブルが移動する方向である切削送り方向をX軸方向、切削手段が移動する方向である割り出し送り方向をY軸方向とし、チャックテーブルの回転中心をY軸の原点とした場合、原点を基準として、マイナス側の領域であるマイナス領域には切削手段が位置し、プラス側の領域であるプラス領域には流体噴出することにより被加工物との間で流体カーテンを形成するカーテンノズルをX軸に平行に配設した切削装置を提供する。

目的

効果

実績

技術文献被引用数
2件
牽制数
1件

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請求項1

少なくとも、被加工物を保持して回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら切削遂行する切削手段とを含む切削装置であって、該チャックテーブルが移動する方向である切削送り方向をX軸方向、該切削手段が移動する方向である割り出し送り方向をY軸方向とし、該チャックテーブルの回転中心をY軸の原点とした場合、該原点を基準として、Y軸方向におけるマイナス側の領域であるマイナス領域には切削手段が位置し、Y軸方向におけるプラス側の領域であるプラス領域には流体噴出することにより該被加工物との間で流体カーテンを形成するカーテンノズルをX軸に平行に配設した切削装置。

請求項2

流体カーテンは、マイナス領域に向けて傾斜して形成され、切削手段から供給される切削水が被加工物の表面に滞留するのを防止する請求項1に記載の切削装置。

請求項3

流体カーテンは、ウォーターカーテンまたはエアーカーテンである請求項1または2に記載の切削装置。

請求項4

被加工物の切削すべき箇所は、チャックテーブルの回転によって適宜マイナス領域に位置付けられ、該切削すべき箇所の切削はマイナス領域のみにおいて遂行される請求項1、2または3に記載の切削装置。

請求項5

被加工物は液晶ガラス板である請求項1、2、3または4に記載の切削装置。

技術分野

0001

本発明は、切削水を供給しながら被加工物切削を行う切削装置に関するものである。

背景技術

0002

例えば、図5に示すような切削手段30を有する切削装置においては、被加工物を適宜の保持手段に固定させた上で、被加工物に切削水を供給しながら切削を行う。

0003

ここで、切削手段30は、スピンドルハウジング31内において回転可能に支持されたスピンドル32にブレード33を装着してフランジ34等によって固定した構成となっており、スピンドル32の回転に伴って回転するブレード33が被加工物に接触することにより切削が行われる。

0004

また、ブレード33を両側から挟むようにして切削水供給ノズル35、36が配設されており、切削時は、図6に示すように、被加工物37とブレード33との接触部を重点的に冷却するために、ここから切削水が供給される。これにより切削によって形成される製品品質を高めることができる。

発明が解決しようとする課題

0005

しかしながら、切削水供給ノズル35、36から供給された切削水は被加工物の表面全体滞留し、滞留した切削水には切削により発生したコンタミ切削屑)が混じっているため、被加工物の表面全体が汚染されるという問題がある。特に、被加工物が液晶ガラス板のように僅かなコンタミの付着をも嫌うようなものである場合には、大きな問題となる。

0006

また、切削後に適宜の洗浄手段によって被加工物の表面を洗浄することも可能であるが、被加工物の種類によっては事後的に洗浄をできない場合もあり、このような場合には、切削中におけるコンタミの付着を極力少なくする必要がある。

0007

従って、切削装置において切削水を供給しながら被加工物の切削を行う場合においては、切削中に被加工物の表面に極力コンタミが付着しないようにすることに課題を有している。

課題を解決するための手段

0008

上記課題を解決するための具体的手段として本発明は、少なくとも、被加工物を保持して回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら切削を遂行する切削手段とを含む切削装置であって、チャックテーブルが移動する方向である切削送り方向をX軸方向、切削手段が移動する方向である割り出し送り方向をY軸方向とし、チャックテーブルの回転中心をY軸の原点とした場合、該原点を基準として、Y軸方向におけるマイナス側の領域であるマイナス領域には切削手段が位置し、Y軸方向におけるプラス側の領域であるプラス領域には流体噴出することにより被加工物との間で流体カーテンを形成するカーテンノズルをX軸に平行に配設した切削装置を提供するものである。

0009

そして、流体カーテンは、マイナス領域に向けて傾斜して形成され、切削手段から供給される切削水が被加工物の表面に滞留するのを防止すること、流体カーテンは、ウォーターカーテンまたはエアーカーテンであること、被加工物の切削すべき箇所は、チャックテーブルの回転によって適宜マイナス領域に位置付けられ、該切削すべき箇所の切削はマイナス領域のみにおいて遂行されること、被加工物は液晶ガラス板であることを付加的要件とするものである。

0010

このように構成される切削装置を用いてチャックテーブルに保持された被加工物を切削するときは、切削がマイナス領域において行われると共に、プラス領域に配設されたカーテンノズルから噴出される水やエアー等の流体によって流体カーテンが形成されるため、切削手段から供給される切削水がプラス領域側に流入しなくなり、プラス領域側においては被加工物の表面にコンタミが付着しなくなる。また、流体カーテンをマイナス領域に向けて傾斜して形成することにより、コンタミが混入した切削水を被加工物の表面から効果的に排除することができ、マイナス領域における被加工物の表面へのコンタミの付着を防止することができる。

発明を実施するための最良の形態

0011

本発明の実施の形態として、図1に示す切削装置10を例に挙げて説明する。この切削装置10において、被加工物、例えば、液晶ガラス板Gを切削するときは、液晶ガラス板Gは、保持テープTを介してフレームFに保持されて、チャックテーブル11に吸引保持される。そして、チャックテーブル11がX軸方向に移動してアライメント手段12の直下に位置付けられ、切削すべき領域が検出された後、切削手段13の作用を受ける。

0012

切削手段13は、図2に示すように、スピンドルハウジング14内において回転可能に支持されたスピンドル15にブレード16を装着してフランジ17等によって固定した構成となっており、図3に示すように、ブレード16を両側から挟むようにして切削水供給ノズル18、19が配設されている。

0013

図2に示したように、チャックテーブル11は、回転中心20を中心として回転可能となっており、チャックテーブル11の回転中心20を通ってX軸方向にのびる中心線21を境目にして切削手段13が配設されている方の側をマイナス領域、その逆側をプラス領域とする。そして、中心線21から若干プラス領域側に入った位置には、X軸と平行にカーテンノズル22を配設している。このカーテンノズル22には、マイナス領域側下方に向けて水を噴出する多数の噴出口を備えている。

0014

このように構成される切削手段13を用いて、図4(A)に示す矩形の2層構造の液晶ガラス板Gの外周の1層のみを切削して図4(B)の形状にする場合について説明する。

0015

まず最初に、切削しようとする箇所である切削ライン23がX軸方向と一致し、かつ、切削ライン23がマイナス領域に位置するように、チャックテーブル11を回転させる。そして、アライメント手段12によって切削ライン23を検出し、検出した切削ライン23とブレード16との位置合わせを行う。

0016

切削ライン23とブレード16との位置合わせがなされると、切削手段13が降下して、回転するブレード16が液晶ガラス板Gの1層のみを切削できる高さに維持されると共に、チャックテーブル11がX軸方向に移動することによって切削ライン23に一定の深さの切り込みが入る。またこのとき、図3のように、ブレード16と液晶ガラス板Gとの接触部に重点的に切削水供給ノズル18、19から切削液が供給される。

0017

更に、プラス領域に位置するカーテンノズル22に設けられた多数の噴出口からは、マイナス領域側に向けて水が噴出され、噴出された水はウォーターカーテン24を形成する。

0018

このように、切削中にウォーターカーテン24が形成されることにより、切削水供給ノズル18、19から供給された切削水がプラス領域側に流れることがなくなる。従って、プラス領域において、液晶ガラス板Gの表面はクリーンな状態が維持され、マイナス領域における切削により発生したコンタミが付着することがなくなる。

0019

また、ウォーターカーテン24はマイナス領域に向けて傾斜して形成され、水流によりマイナス領域側の切削水を効率良く排除することができるため、切削水が液晶ガラス板Gの表面に滞留することがなく、切削水に混入したコンタミがマイナス領域において液晶ガラス板Gの表面に付着するのを防止することができる。

0020

こうして切削ライン23を切削した後は、チャックテーブル11を90度間欠回転させて、次の切削ラインがX軸方向と一致し、かつ、次の切削ラインがマイナス領域に位置するようにして、同様の切削を行う。

0021

このようにして切削を行っていくことにより、切削は常にマイナス領域において遂行されるため、プラス領域における液晶ガラス板Gの表面はコンタミにより汚染されない。また、マイナス領域においては、切削時にカーテンノズル22から供給される水によってコンタミが混入した切削水が滞留することがなくなる。従って、本実施の形態で説明した液晶ガラス板Gの切削のように、外周のみを切削すればよいような場合には、切削ラインの内側がコンタミにより汚染されることが少なく、汚染を最小限に抑えることができる。

0022

なお、本実施の形態においては、カーテンノズルから水が噴出されてウォーターカーテンが形成される場合を例に挙げて説明したが、カーテンノズルから噴出される流体をエアーとしてエアーカーテンを形成するようにしてもよい。

発明の効果

0023

以上説明したように、本発明に係る切削装置によれば、切削がマイナス領域において行われると共に、プラス領域に配設されたカーテンノズルから噴出される水やエアー等の流体によって流体カーテンが形成されるため、切削手段から供給される切削水がプラス領域側に流入しなくなり、プラス領域側においてコンタミが付着しなくなる。また、流体カーテンをY軸のマイナス領域に向けて傾斜して形成することにより、コンタミが混入した切削水を被加工物の表面から効果的に排除することができ、コンタミの付着を防止することができる。従って、汚染されていない品質の高い製品を製造することができる。

図面の簡単な説明

0024

図1本発明に係る切削装置の実施の形態の一例を示す斜視図である。
図2同切削装置において被加工物が切削される様子を示す斜視図である。
図3同切削装置において被加工物が切削される様子を示す略示的正面図である。
図4切削される液晶ガラス板及び切削後の液晶ガラス板を示す斜視図である。
図5従来の切削手段の構成を示す分解斜視図である。
図6同切削手段により被加工物が切削される様子を示す略示的正面図である。

--

0025

10……切削装置11……チャックテーブル12……アライメント手段
13……切削手段 14……スピンドルハウジング15……スピンドル
16……ブレード17……フランジ18、19……切削水供給ノズル
20……回転中心21……中心線22……カーテンノズル
23……切削ライン24……ウォーターカーテン
30……切削手段 31……スピンドルハウジング 32……スピンドル
33……ブレード 34……フランジ 35、36……切削水供給ノズル
37……被加工物

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