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技術 ウェーハ搬送方式及びその搬送先通知装置

出願人 NECセミコンダクターズ山形株式会社
発明者 冨樫洋一
出願日 1997年10月16日 (23年1ヶ月経過) 出願番号 1997-283862
公開日 1999年4月30日 (21年6ヶ月経過) 公開番号 1999-121584
状態 特許登録済
技術分野 倉庫・貯蔵装置 コンベヤの制御 ウエハ等の容器,移送,固着,位置決め等 半導体装置の製造処理一般 ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等
主要キーワード 加工領域間 搬送棚 作業設備 各作業領域 設備装置 製品搬送 自動棚 問合せ送信
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(1999年4月30日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (7)

課題

ウェーハに対する複数の処理を実現するにあたり、ウェーハの無駄な搬送を無くし、工程間搬送装置の効率化を実現することにある。

解決手段

ウェーハに対する複数の加工領域(A〜Dベイ)にそれぞれ作業設備を備え、自動棚を専用もしくは共用割当て、製品の移動を工程進捗管理コンピュータ11,搬送制御コンピュータ10によって制御する。これらのコンピュータ10,11によって搬送先を決定する際、設備/自動棚に対し、次搬送先だけでなく、次々搬送先を考慮し、それらの搬送先を同じにできるときは、同一にする。それにより、搬送システム、特に工程間搬送の効率化を実現する。

概要

背景

従来、ウェーハに対する加工処理においては、複数の加工領域間を移動するための工程間搬送装置と、ウェーハを搭載し、工程間搬送装置て運搬される自動棚とを用いて行われている。しかも、ウェーハの搬送先については、複数のコンピュータコントローラを用い、直近の自動棚、すなわち次搬送先のみを決めることにより行われている。

特に、搬送装置に搭載された自動棚の次の搬送先は、ホストコンピュータである工程進捗管理コンピュータに登録されているデータ通りに固定されている。但し、次搬送先故障の場合には、代替え搬送先へ搬送するようにしている。

また、次搬送先棚候補が複数存在するときは、それらの搬送先棚が在庫として持っている製品数を比較し、在庫数が多くない方へ搬送するか、あるいは在庫数が予め規定した比例配分数になるような製品在庫情報のみで搬送先を決定している。

さらには、上述した搬送方式の他に、例えば特開平4−30550号公報に記載されれいるように、搬送先棚候補が複数あるとき、搬送先として空きスペースを有する棚を特定し、無駄なく搬送するようにしたり、あるいは特開平6−114698号公報に記載されれいるように、次の搬送先棚候補が複数存在する場合、仕掛工程、作業可能設備、その設備の稼働状態等に応じ、搬送先を最適にした上で搬送するようにしている。

図5(a),(b)はそれぞれかかる従来の一例を説明するための搬送作業レイアウト図および搬送制御ブロック図である。図5(a)に示すように、従来のウェーハ搬送方式は、複数の加工領域(Aベイ〜Dベイ)間を移動するベルトコンベアなどの工程間搬送装置16を用い、自動棚3−1〜自動棚3−4を進行方向17に沿って運搬している。また、加工領域Aベイは、作業設備3−1と作業設備3−2を有するとともに、Aベイ専用の自動棚3−1および共用の自動棚3−2を割付けられており、加工領域Bベイは、作業設備3−1と作業設備3−4を有するとともに、Bベイ専用の自動棚3−3を割付けられている。同様に、加工領域Cベイは、作業設備3−3を有するとともに、Aベイと共用の自動棚3−2を割付けられており、加工領域Dベイは、作業設備nを有するとともに、Dベイ専用の自動棚3−4を割付けられている。

ついで、図5(b)に示すように、搬送装置16にウェーハ(以下、製品Y)を自動棚とともに載せて搬送するにあたっては、製品Yの到着情報送出する搬送コントローラ18と、コントローラ18からの製品Y到着情報を受けて、行き先である自動棚3−1〜3−4のどれかを問合わせる行き先問合わせ情報Aを送出する搬送制御コンピュータ10aと、このコンピュータ10aからの行き先問合わせ情報Aを受信し、自動棚の行き先を決定するとともに、行き先応答情報Aをコンピュータ10aに返送する工程進捗管理コンピュータ11aとを備えている。この工程進捗管理コンピュータ11aは、専用機でも良いし、汎用コンピュータを用いてもよい。

図6(a),(b)はそれぞれ図5における工程手順を表わす図および棚/設備装置状態図である。まず、図6(a)に示すように、製品Yの工程手順と自動棚対応表13aは、工程手順n,n+1,n+2,n+3,n+4毎に使用設備n,3−1〜3−4を対応させ、さらに自動棚3−4,3−1〜3−3なども割付けている。

また、図6(b)に示すように、自動棚/装置(作業設備)とその状態対応表15aは、各設備および各自動棚とも稼働状態、あるいは稼働状態だが空きがある状態などの情報を記載している。

以下、上述した図5,図6に基いて具体的な搬送手順等を説明する。

まず、図5において、製品YがDベイにおける設備nで処理され、自動棚3−4に到着したとする。このとき、搬送コントローラ18から製品Yの到着情報が搬送制御コンピュータ10aに通知される。この搬送制御コンピュータ10aは、前述したように、工程進捗管理コンピュータ11aにこの製品Yの次の行き先問合わせAを行うと、工程進捗管理コンピュータ11aは、製品Yの工程手順と自動棚対応表13aに基いて、次の処理が設備3−1であることが判るので、搬送先候補の自動棚として、自動棚3−1,自動棚3−2及び自動棚3−3を搬送制御コンピュータ10aに応答する(行き先応答A)。

ここで、搬送制御コンピュータ10aは、応答された自動棚について、その自動棚の状態及び設備3−1の状態を考慮するが、次々工程(n+2)を意識していないため、図5(a)の設備と自動棚レイアウトにおいて、Bベイにある設備3−1を選択してしまい、自動棚3−3を搬送先棚に決定してしまうことがある。

このようになると、図6(a)からも明らかなように、次の搬送先は設備3−2であるため、図5(a)の設備と自動棚のレイアウトでは、自動棚3−3から自動棚3−1又は自動棚3−2への搬送が必要になる。

概要

ウェーハに対する複数の処理を実現するにあたり、ウェーハの無駄な搬送を無くし、工程間搬送装置の効率化を実現することにある。

ウェーハに対する複数の加工領域(A〜Dベイ)にそれぞれ作業設備を備え、自動棚を専用もしくは共用に割当て、製品の移動を工程進捗管理コンピュータ11,搬送制御コンピュータ10によって制御する。これらのコンピュータ10,11によって搬送先を決定する際、設備/自動棚に対し、次搬送先だけでなく、次々搬送先を考慮し、それらの搬送先を同じにできるときは、同一にする。それにより、搬送システム、特に工程間搬送の効率化を実現する。

目的

本発明の目的は、かかる無駄な搬送を無くし、工程間搬送装置の効率化を実現するウェーハ搬送方式及びその搬送先通知装置を提供することにある。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
1件

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請求項1

ウェーハに対する複数の作業領域毎に1つもしくは複数の作業設備自動搬送を備え、工程間搬送装置により製品搬送を行うウェーハ搬送方式において、工程進捗管理コンピュータおよび搬送制御コンピュータを用い、ウェーハもしくは製品搬送先を決定する際に、これから搬送する第1の行先棚の位置情報および次に搬送する第2の行先棚の位置情報を比較し、同じ行先棚とすることができるか否かの判定を行い、同じ行先棚があれば、その棚を搬送棚に決定する機能を備えることを特徴とするウェーハ搬送方式。

請求項2

前記工程進捗管理コンピュータは、前記作業設備に接続され、製品作業報告を受信するとともに、工程手順と作業可能設備及び自動棚対応情報登録している請求項1記載のウェーハ搬送方式。

請求項3

前記搬送制御コンピュータは、前記作業設備および前記自動搬送棚に接続され、それぞれの状態を把握している請求項1記載のウェーハ搬送方式。

請求項4

前記搬送制御コンピュータは、製品到着に基いて、前記工程進捗管理コンピュータに対し行先設備候補の問合わせを行い、前記工程進捗管理コンピュータからは製品に対応し、所在棚情報と,次搬送先の作業設備および自動棚情報と,次々搬送先の作業設備および自動棚情報とを応答内容として返送する請求項1記載のウェーハ搬送方式。

請求項5

複数の作業設備および複数の自動棚に接続され、前記自動棚に対し製品の到着・出庫情報を授受する搬送制御コンピュータと、前記複数の作業設備に接続され、各作業設備より製品作業報告を受信する工程進捗管理コンピュータとを有し、前記両コンピュータ間で行先設備候補の問合わせおよび応答を行うことにより、前記搬送制御コンピュータより前記自動棚に対し、次搬送先および次々搬送先を含む搬送指示要求を送出することを特徴とするウェーハ搬送先通知装置

技術分野

0001

本発明はウェーハ搬送方式及びその搬送先通知装置に関し、特にウェーハ搬送車で搬送するにあたり、複数の搬送先の中から搬送先を決定する際、これから搬送する搬送先(以下、次搬送先と称す)だけでなく、さらに次の搬送先(以下、次々搬送先と称す)を考慮して最適な搬送ルートを特定し且つ決定するウェーハ搬送方式及びその搬送先通知装置に関する。

背景技術

0002

従来、ウェーハに対する加工処理においては、複数の加工領域間を移動するための工程間搬送装置と、ウェーハを搭載し、工程間搬送装置て運搬される自動棚とを用いて行われている。しかも、ウェーハの搬送先については、複数のコンピュータコントローラを用い、直近の自動棚、すなわち次搬送先のみを決めることにより行われている。

0003

特に、搬送装置に搭載された自動棚の次の搬送先は、ホストコンピュータである工程進捗管理コンピュータに登録されているデータ通りに固定されている。但し、次搬送先故障の場合には、代替え搬送先へ搬送するようにしている。

0004

また、次搬送先棚候補が複数存在するときは、それらの搬送先棚が在庫として持っている製品数を比較し、在庫数が多くない方へ搬送するか、あるいは在庫数が予め規定した比例配分数になるような製品在庫情報のみで搬送先を決定している。

0005

さらには、上述した搬送方式の他に、例えば特開平4−30550号公報に記載されれいるように、搬送先棚候補が複数あるとき、搬送先として空きスペースを有する棚を特定し、無駄なく搬送するようにしたり、あるいは特開平6−114698号公報に記載されれいるように、次の搬送先棚候補が複数存在する場合、仕掛工程、作業可能設備、その設備の稼働状態等に応じ、搬送先を最適にした上で搬送するようにしている。

0006

図5(a),(b)はそれぞれかかる従来の一例を説明するための搬送作業レイアウト図および搬送制御ブロック図である。図5(a)に示すように、従来のウェーハ搬送方式は、複数の加工領域(Aベイ〜Dベイ)間を移動するベルトコンベアなどの工程間搬送装置16を用い、自動棚3−1〜自動棚3−4を進行方向17に沿って運搬している。また、加工領域Aベイは、作業設備3−1と作業設備3−2を有するとともに、Aベイ専用の自動棚3−1および共用の自動棚3−2を割付けられており、加工領域Bベイは、作業設備3−1と作業設備3−4を有するとともに、Bベイ専用の自動棚3−3を割付けられている。同様に、加工領域Cベイは、作業設備3−3を有するとともに、Aベイと共用の自動棚3−2を割付けられており、加工領域Dベイは、作業設備nを有するとともに、Dベイ専用の自動棚3−4を割付けられている。

0007

ついで、図5(b)に示すように、搬送装置16にウェーハ(以下、製品Y)を自動棚とともに載せて搬送するにあたっては、製品Yの到着情報送出する搬送コントローラ18と、コントローラ18からの製品Y到着情報を受けて、行き先である自動棚3−1〜3−4のどれかを問合わせる行き先問合わせ情報Aを送出する搬送制御コンピュータ10aと、このコンピュータ10aからの行き先問合わせ情報Aを受信し、自動棚の行き先を決定するとともに、行き先応答情報Aをコンピュータ10aに返送する工程進捗管理コンピュータ11aとを備えている。この工程進捗管理コンピュータ11aは、専用機でも良いし、汎用コンピュータを用いてもよい。

0008

図6(a),(b)はそれぞれ図5における工程手順を表わす図および棚/設備装置状態図である。まず、図6(a)に示すように、製品Yの工程手順と自動棚対応表13aは、工程手順n,n+1,n+2,n+3,n+4毎に使用設備n,3−1〜3−4を対応させ、さらに自動棚3−4,3−1〜3−3なども割付けている。

0009

また、図6(b)に示すように、自動棚/装置(作業設備)とその状態対応表15aは、各設備および各自動棚とも稼働状態、あるいは稼働状態だが空きがある状態などの情報を記載している。

0010

以下、上述した図5図6に基いて具体的な搬送手順等を説明する。

0011

まず、図5において、製品YがDベイにおける設備nで処理され、自動棚3−4に到着したとする。このとき、搬送コントローラ18から製品Yの到着情報が搬送制御コンピュータ10aに通知される。この搬送制御コンピュータ10aは、前述したように、工程進捗管理コンピュータ11aにこの製品Yの次の行き先問合わせAを行うと、工程進捗管理コンピュータ11aは、製品Yの工程手順と自動棚対応表13aに基いて、次の処理が設備3−1であることが判るので、搬送先候補の自動棚として、自動棚3−1,自動棚3−2及び自動棚3−3を搬送制御コンピュータ10aに応答する(行き先応答A)。

0012

ここで、搬送制御コンピュータ10aは、応答された自動棚について、その自動棚の状態及び設備3−1の状態を考慮するが、次々工程(n+2)を意識していないため、図5(a)の設備と自動棚レイアウトにおいて、Bベイにある設備3−1を選択してしまい、自動棚3−3を搬送先棚に決定してしまうことがある。

0013

このようになると、図6(a)からも明らかなように、次の搬送先は設備3−2であるため、図5(a)の設備と自動棚のレイアウトでは、自動棚3−3から自動棚3−1又は自動棚3−2への搬送が必要になる。

発明が解決しようとする課題

0014

上述したウェーハ搬送方式及びその搬送先通知装置においては、これから搬送する搬送先棚によってのみ搬送先を決定しているため、無駄な搬送が多く、搬送システム搬送能力圧迫する可能性があるという欠点がある。

0015

本発明の目的は、かかる無駄な搬送を無くし、工程間搬送装置の効率化を実現するウェーハ搬送方式及びその搬送先通知装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

0016

本発明のウェーハ搬送方式は、ウェーハに対する複数の作業領域毎に1つもしくは複数の作業設備と自動搬送棚を備え、工程間搬送装置により製品搬送を行うウェーハ搬送方式において、工程進捗管理コンピュータおよび搬送制御コンピュータを用い、ウェーハもしくは製品の搬送先を決定する際に、これから搬送する第1の行先棚の位置情報および次に搬送する第2の行先棚の位置情報を比較し、同じ行先棚とすることができるか否かの判定を行い、同じ行先棚があれば、その棚を搬送棚に決定する機能を備えて構成される。

0017

また、本発明のウェーハ搬送方式における工程進捗管理コンピュータは、前記作業設備に接続され、製品作業報告を受信するとともに、工程手順と作業可能設備及び自動棚対応情報を登録して形成される。

0018

また、本発明のウェーハ搬送方式における搬送制御コンピュータは、前記作業設備および前記自動搬送棚に接続され、それぞれの状態を把握するように構成される。

0019

また、本発明のウェーハ搬送方式における搬送制御コンピュータは、製品到着に基いて、前記工程進捗管理コンピュータに対し行先設備候補の問合わせを行い、前記工程進捗管理コンピュータからは製品に対応し、所在棚情報と,次搬送先の作業設備および自動棚情報と,次々搬送先の作業設備および自動棚情報とを応答内容として返送するように構成される。

0020

さらに、本発明のウェーハ搬送先通知装置は、複数の作業設備および複数の自動棚に接続され、前記自動棚に対し製品の到着・出庫情報を授受する搬送制御コンピュータと、前記複数の作業設備に接続され、各作業設備より製品作業報告を受信する工程進捗管理コンピュータとを有し、前記両コンピュータ間で行先設備候補の問合わせおよび応答を行うことにより、前記搬送制御コンピュータより前記自動棚に対し、次搬送先および次々搬送先を含む搬送指示要求を送出するように構成される。

発明を実施するための最良の形態

0021

次に、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。

0022

図1は本発明の一実施の形態を説明するためのウェーハ搬送方式のブロック図である。図1に示すように、本実施の形態におけるウェーハ搬送方式は、前述した図5(a)の複数の作業領域(Aベイ〜Dベイ)間にウェーハもしくは加工した製品を移動させるための工程間搬送装置と同様の搬送手段を有し、また設備等のレイアウトも同様の配置とする。異る点は、自動棚1−1〜自動棚1−4と搬送制御コンピュータ10を通信経路バス)12で接続し、設備1−1〜設備nと搬送制御コンピュータ10および工程進捗管理コンピュータ11とを信号線により接続したことにある。なお、ここでは、工程間搬送装置(ベルトコンベア)は省略している。

0023

図2図1における搬送先通知装置のブロック図である。図2に示すように、この搬送先通知装置は、図1における搬送制御コンピュータ10および工程進捗管理コンピュータ11を用いて搬送先を決定するとき、各作業領域の作業設備,自動棚と各コンピュータの間で、製品到着から製品出庫までの一例を制御情報の流れを中心に表わしたものである。

0024

図3(a)〜(c)はそれぞれ図1における工程手順を表わす図,製品行き先を表わす図,棚/設備装置状態図である。図3(a)に示すように、工程手順表13は、図1における工程手順(n〜n+4)と、それらの工程毎の作業可能設備(n,1−1〜1−4)と、これらの作業可能設備に対応する自動棚(1−1〜1−4)との関係を表わしている。また、図3(b)に示すように、製品行き先応答内容表14は、製品毎の所在棚と、行先設備候補の応答内容、すなわち次搬送先の設備,自動棚と、次々搬送先の設備,自動棚との情報を表わしている。さらに、図3(c)に示すように、自動棚/設備装置の状態表15は、自動棚,設備の状態(稼働中か空きか)を表わしている。

0025

これらの対応表13〜状態表15のうち、工程手順表13は工程進捗管理コンピュータ11に事前に登録しておき、また製品行き先応答内容表14は搬送制御コンピュータ10からの問合わせにより工程進捗管理コンピュータ11が作成した上で搬送制御コンピュータ10に返送するものであり、さらに自動棚/設備装置の状態表15は、搬送制御コンピュータ10で管理しておけば良い。なお、これらのコンピュータ10,11は共通のメモリを設け、これらを集中管理することもできる。

0026

以下、前述した図1図3を基に、具体的な搬送制御動作を説明する。

0027

まず、図2に示すように、自動棚1−4は製品Yが到着(時点A)すると、搬送制御コンピュータ10に対し、製品Yの到着報告(時点B)を行う。この通知を受けた搬送制御コンピュータ10は、到着製品の搬送先を決めるにあたり、工程進捗管理コンピュータ11に行先設備候補問合せ(時点D)を行う。

0028

一方、工程進捗管理コンピュータ11は、製品の仕掛工程について各作業設備1−1〜nより、各工程での製品作業報告(時点C)を受信して認識している。したがって、工程進捗管理コンピュータ11は、図3(a)における事前登録済みの工程手順と作業可能設備及び自動棚対応表13を利用することにより、次の搬送先と次々の搬送先を識別し、その結果を図3(b)に示す製品行き先応答内容表14のように、搬送制御コンピュータ10に行先設備候補応答(時点E)として返送する。

0029

ついで、搬送制御コンピュータ10は、通知された行先設備候補応答内容表14を参照し、次々搬送先の自動棚の欄にある自動棚と、次搬送先の自動棚の欄にある自動棚とを比較し、同一の自動棚があるか否かを判定する。ここで、同一の自動棚がある場合は、その自動棚を搬送先の第1候補とする。

0030

この実施の形態においては、自動棚1−2が次々搬送先及び次搬送先にあるので、この自動棚1−2が第1候補となり、自動棚1−3が第二候補とする。さらに、搬送制御コンピュータ10は、自動棚1−2が稼働中か否か、空きがあるかどうかについて、図3(c)の自動棚/設備装置の状態表15を参照して調べる。この結果、自動棚1−2は稼働中だが空きがあり、設備1−1も稼働中であることが判明する。このため、ここでは搬送先を自動棚1−2に決定する。

0031

しかる後、搬送制御コンピュータ10は、自動棚1−4に対し、搬送指示要求(時点F)を行い、その際自動棚1−2に対して搬送するように指示する。

0032

これにより、自動棚1−4は搬送制御コンピュータ10に対して搬送指示応答(時点G)を行い、工程間搬送装置に製品Yの出庫(時点H)を行う。

0033

図4図2に示す搬送制御コンピュータの製品到着から搬送指示応答までの動作フロー図である。図4に示すように、自動棚の決定にあたり、到着判定テップS1においては、各自動棚に対し製品が到着したか否かを常時監視しており、製品が到着した場合には、行先設備候補問合せ送信ステップS2において、行先設備候補を工程進捗管理コンピュータ11に問合わせる。

0034

次に、行先設備候補応答ステップS3において、工程進捗管理コンピュータ11からの行先設備候補応答を監視する。その行先設備候補応答の後、次々搬送先棚の有無判定ステップS4において、次々搬送先棚の有無を調査する。ここで、もし次々搬送先棚がないときは、搬送先棚決定ステップS12において、次搬送先棚を搬送先棚として決定する。

0035

さらに、次搬送先棚抽出ステップS5において、次々搬送先自動棚をキーにすることにより、次搬送先自動棚の中で同一の自動棚を抽出する。この抽出の結果により、同一自動棚判定ステップS6において、同一の自動棚を認識し、同一の自動棚があったときには、第1候補指定ステップS7において、第1候補に指定する。

0036

ついで、稼働中/空き判定ステップS8では、ステップS7で第1候補に指定した自動棚が稼働中か、空きがあるか否かをチェックする。ここで、ステップS6において、同一自動棚がないか、あるいはステップS8の第1候補の自動棚が稼働中ではないとき、もしくは空きがないとき、前述したようにステップS12で搬送先棚として決定する。

0037

一方、ステップS8で自動棚の状態が稼働中で空きがある場合、搬送先棚決定ステップS9において、その棚を搬送先棚として決定する。

0038

しかる後、ステップS9もしくはステップS12で搬送先棚が決定された後は、搬送指示要求送信ステップS10において、その自動棚に対して搬送指示要求を送信し、搬送指示応答監視ステップS11において、搬送指示の応答を監視する。

0039

このように、本実施の形態においては、次々搬送先までチェックすることにより、無駄な搬送を減らすとともに、工程間搬送を効率化することができる。

発明の効果

0040

以上説明したように、本発明のウェーハ搬送方式及びその搬送先通知装置は、これから搬送するウェーハもしくは製品の行先棚だけでなく、さらに次の行先棚を搬送制御コンピュータと工程進捗コンピュータとを用いて比較し、同一の行先棚にすることができるか否かの判断を行って行先を決定することにより、無駄な搬送を減らすとともに、搬送システムにおける工程間搬送の搬送回数を減らすことができるという効果がある。これは、工程間搬送の搬送能力の圧迫を回避できるので、搬送能力をフル活用でき、搬送システムへの投資を極力抑えることができることになる。

0041

また、本発明によれば、先を見た搬送を行っているので、複数の作業領域において、増設レイアウト変更による設備の移動が生じても、搬送効率を落とさないで搬送できるという効果がある。

図面の簡単な説明

0042

図1本発明の一実施の形態を説明するためのウェーハ搬送方式のブロック図である。
図2図1における搬送先通知装置のブロック図である。
図3図1における工程手順,製品行き先,棚/設備装置状態をそれぞれ表わす説明図である。
図4図2における搬送制御コンピュータの製品到着から搬送指示応答までの動作フロー図である。
図5従来の一例を説明するための搬送作業レイアウトおよび搬送制御ブロックを表わす図である。
図6図5における工程手順,棚/設備装置状態をそれぞれ表わす説明図である。

--

0043

10搬送制御コンピュータ
11 工程進捗管理コンピュータ
12通信経路(バス)
13工程手順表
14製品行き先応答内容表
15自動棚/設備装置の状態表
S1〜S12 処理ステップ

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