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技術 処理レート算出装置、処理レート算出方法、及び処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体

出願人 パナソニック株式会社
発明者 松本茂
出願日 1998年1月5日 (22年10ヶ月経過) 出願番号 1998-000151
公開日 1998年10月20日 (22年1ヶ月経過) 公開番号 1998-280174
状態 特許登録済
技術分野 物理蒸着 半導体の露光(電子、イオン線露光を除く) 数値制御 半導体装置を構成する物質の物理的析出 多工程加工の機械及びシステム 物流システム 総合的工場管理 ホトレジスト感材への露光・位置合せ 半導体装置の製造処理一般 エッチングと化学研磨(つや出し) CVD 半導体のドライエッチング 気相成長(金属層を除く) 特定用途計算機 半導体の露光(電子、イオン線露光を除く) 物品の積み重ね及び付属装置
主要キーワード 処理結果テーブル 装置特性情報 エッチング膜厚 作成場所 自動算出 平方和 堆積レート 装置特性
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(1998年10月20日)のものです。
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図面 (9)

目的

処理レートを算出するために要する時間を低減する。

解決手段

処理結果蓄積手段11はエッチング装置製品の処理を行なった結果の情報を処理結果情報として蓄積し、装置特性蓄積手段12はエッチング装置の特性を示す情報を処理特性情報として蓄積する。工程安定度判定手段13は、処理結果蓄積手段11に蓄積された処理結果情報と、装置特性蓄積手段12に蓄積された装置特性情報とに基づいて工程の安定度を判定する。工程安定度判定手段13が「工程は安定している」と判断すると、処理レート自動算出手段14はエッチングレートを算出する。工程安定度判定手段13が「工程は安定していない」と判断すると、処理レート再算出手段15は、エッチング装置により実際にエッチングした結果に基づきエッチングレートを算出する。処理条件決定手段16は、算出されたエッチングレートからエッチング条件を決定する。

概要

背景

以下、従来の処理条件決定装置を図8を参照しながら説明する。

図8は従来の処理条件決定装置の全体構成を示しており、該処理条件決定装置は、処理レートを算出する処理レート算出手段1と、処理条件を決定する処理条件決定手段2とを備えている。処理レート算出手段1は、特定の工程において製品の処理を開始する前に、製品モニターによる仮処理を行なった後、仮処理の結果に基づき処理レートを算出する。処理条件決定手段2は、処理レート算出手段1により算出された処理レートに基づいて処理条件を決定する。

概要

処理レートを算出するために要する時間を低減する。

処理結果蓄積手段11はエッチング装置で製品の処理を行なった結果の情報を処理結果情報として蓄積し、装置特性蓄積手段12はエッチング装置の特性を示す情報を処理特性情報として蓄積する。工程安定度判定手段13は、処理結果蓄積手段11に蓄積された処理結果情報と、装置特性蓄積手段12に蓄積された装置特性情報とに基づいて工程の安定度を判定する。工程安定度判定手段13が「工程は安定している」と判断すると、処理レート自動算出手段14はエッチングレートを算出する。工程安定度判定手段13が「工程は安定していない」と判断すると、処理レート再算出手段15は、エッチング装置により実際にエッチングした結果に基づきエッチングレートを算出する。処理条件決定手段16は、算出されたエッチングレートからエッチング条件を決定する。

目的

前記に鑑み、本発明は、処理レートを算出するために要する時間を低減することを目的とする。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
1件

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請求項1

複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積しておく処理結果蓄積手段と、前記処理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報に基づいて、前記複数の工程のうち処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定手段と、前記安定度判定手段が前記処理工程は安定していると判定したときに、前記処理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報に基づいて前記処理工程を処理する処理レートを算出する第1の処理レート算出手段と、前記安定度判定手段が前記処理工程は安定していないと判定したときに、前記処理工程を実際に行なって前記処理工程を処理する処理レートを算出する第2の処理レート算出手段とを備えていることを特徴とする処理レート算出装置

請求項2

前記処理結果蓄積手段に蓄積される処理結果情報は処理日時及び処理レートを含み、前記安定度判定手段は、前記処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキに基づいて前記処理工程の安定度を判定する手段を有することを特徴とする請求項1に記載の処理レート算出装置。

請求項3

特定の装置により複数の工程を処理した結果を装置特性情報として蓄積しておく装置特性蓄積手段と、前記装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に基づいて前記特定の装置の安定度を判定する安定度判定手段と、前記安定度判定手段が前記特定の装置は安定していると判定したときに、前記装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に基づいて、前記特定の装置が処理の対象となる処理工程を処理する処理レートを算出する第1の処理レート算出手段と、前記安定度判定手段が前記特定の装置は安定していないと判定したときに、前記特定の装置により前記処理工程を実際に行なって前記特定の装置が前記処理工程を処理する処理レートを算出する第2の処理レート算出手段とを備えていることを特徴とする処理レート算出装置。

請求項4

前記装置特性蓄積手段に蓄積される装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、前記安定度判定手段は、前記装置特性情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて前記特定の装置の安定度を判定する手段を有することを特徴とする請求項3に記載の処理レート算出装置。

請求項5

第1のグループに属する複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積しておく処理結果蓄積手段と、特定の装置により第2のグループに属する複数の工程を処理した結果を装置特性情報として蓄積しておく装置特性蓄積手段と、前記処理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報及び前記装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に基づいて、前記第1のグループ及び前記第2のグループの両方に属し且つ前記特定の装置による処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定手段と、前記安定度判定手段が前記特定の装置により行なわれる前記処理工程は安定していると判定したときに、前記処理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報又は前記装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に基づいて、前記特定の装置により前記処理工程を処理する処理レートを算出する第1の処理レート算出手段と、前記安定度判定手段が前記特定の装置により行なわれる前記処理工程は安定していないと判定したときに、前記特定の装置により前記処理工程を実際に行なって前記特定の装置が前記処理工程を処理する処理レートを算出する第2の処理レート算出手段とを備えていることを特徴とする処理レート算出装置。

請求項6

前記処理結果蓄積手段に蓄積される処理結果情報は処理日時及び処理レートを含むと共に、前記装置特性蓄積手段に含まれる装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、前記安定度判定手段は、前記処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキ又は前記装置特性情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて、前記特定の装置により行なわれる前記処理工程の安定度を判定する手段を有することを特徴とする請求項5に記載の処理レート算出装置。

請求項7

複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積する処理結果蓄積工程と、前記処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果情報に基づいて、前記複数の工程のうち処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定工程と、前記安定度判定工程において前記処理工程は安定していると判定されたときには、前記処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果情報に基づいて前記処理工程を処理する処理レートを算出する一方、前記安定度判定工程において前記処理工程は安定していないと判定されたときには、前記処理工程を実際に行なって前記処理工程を処理する処理レートを算出する処理レート算出工程とを備えていることを特徴とする処理レート算出方法

請求項8

前記処理結果蓄積工程において蓄積される処理結果情報は処理日時及び処理レートを含み、前記安定度判定工程は、前記処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキに基づいて前記処理工程の安定度を判定する工程を含むことを特徴とする請求項7に記載の処理レート算出方法。

請求項9

特定の装置により複数の工程を処理した結果を装置特性情報として蓄積する装置特性蓄積工程と、前記装置特性蓄積工程において蓄積された装置特性情報に基づいて前記特定の装置の安定度を判定する安定度判定工程と、前記安定度判定工程において前記特定の装置は安定していると判定されたときには、前記装置特性蓄積工程において蓄積された装置特性情報に基づいて、前記特定の装置が処理対象となる処理工程を処理する処理レートを算出する一方、前記安定度判定工程において前記特定の装置は安定していないと判定されたときには、前記特定の装置により前記処理工程を実際に行なって前記特定の装置が前記処理工程を処理する処理レートを算出する処理レート算出工程とを備えていることを特徴とする処理レート算出方法。

請求項10

前記装置特性蓄積工程において蓄積される装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、前記安定度判定工程は、前記装置特性情報に蓄積されているパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて前記特定の装置の安定度を判定する工程を含むことを特徴とする請求項9に記載の処理レート算出方法。

請求項11

第1のグループに属する複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積する処理結果蓄積工程と、特定の装置により第2のグループに属する複数の工程を処理した結果を装置特性情報として蓄積する装置特性蓄積工程と、前記処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果情報及び前記装置特性蓄積工程において蓄積された装置特性情報に基づいて、前記第1のグループ及び前記第2のグループの両方に属し且つ前記特定の装置による処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定工程と、前記安定度判定工程において前記特定の装置により行なわれる前記処理工程は安定していると判定されたときには、前記処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果情報又は前記装置特性蓄積工程において蓄積された装置特性情報に基づいて、前記特定の装置により前記処理工程を処理する処理レートを算出する一方、前記安定度判定工程において前記特定の装置により行なわれる前記処理工程は安定していないと判定されたときには、前記特定の装置により前記処理工程を実際に行なって前記特定の装置が前記処理工程を処理する処理レートを算出する処理レート算出工程とを備えていることを特徴とする処理レート算出方法。

請求項12

前記処理結果蓄積工程において蓄積される処理結果情報は処理日時及び処理レートを含むと共に、前記装置特性蓄積工程において蓄積される装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、前記安定度判定工程は、前記処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキ又は前記装置特性情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて、前記特定の装置により行なわれる前記処理工程の安定度を判定する工程を含むことを特徴とする請求項11に記載の処理レート算出方法。

請求項13

処理レートを算出するための処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積する処理結果蓄積手順と、前記処理結果蓄積手順において蓄積された処理結果情報に基づいて、前記複数の工程のうち処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定手順と、前記安定度判定手順において前記処理工程は安定していると判定されたときには、前記処理結果蓄積手順において蓄積された処理結果情報に基づいて前記処理工程を処理する処理レートを算出する一方、前記安定度判定手順において前記処理工程は安定していないと判定されたときには、前記処理工程を実際に行なって前記処理工程を処理する処理レートを算出する処理レート算出手順と、をコンピュータに実行させるための処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

請求項14

前記処理結果蓄積手順において蓄積される処理結果情報は処理日時及び処理レートを含み、前記安定度判定手順は、前記処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキに基づいて前記処理工程の安定度を判定する手順を含むことを特徴とする請求項13に記載の処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

請求項15

処理レートを算出するための処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、特定の装置により複数の工程を処理した結果を装置特性情報として蓄積する装置特性蓄積手順と、前記装置特性蓄積手順において蓄積された装置特性情報に基づいて前記特定の装置の安定度を判定する安定度判定手順と、前記安定度判定手順において前記特定の装置は安定していると判定されたときには、前記装置特性蓄積手順において蓄積された装置特性情報に基づいて、前記特定の装置が処理対象となる処理工程を処理する処理レートを算出する一方、前記安定度判定手順において前記特定の装置は安定していないと判定されたときには、前記特定の装置により前記処理工程を実際に行なって前記特定の装置が前記処理工程を処理する処理レートを算出する処理レート算出手順と、をコンピュータに実行させるための処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

請求項16

前記装置特性蓄積手順において蓄積される装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、前記安定度判定手順は、前記装置特性情報に蓄積されているパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて前記特定の装置の安定度を判定する手順を含むことを特徴とする請求項15に記載の処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

請求項17

処理レートを算出するための処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、第1のグループに属する複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積する処理結果蓄積手順と、特定の装置により第2のグループに属する複数の工程を処理した結果を装置特性情報として蓄積する装置特性蓄積手順と、前記処理結果蓄積手順において蓄積された処理結果情報及び前記装置特性蓄積手順において蓄積された装置特性情報に基づいて、前記第1のグループ及び前記第2のグループの両方に属し且つ前記特定の装置による処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定手順と、前記安定度判定手順において前記特定の装置により行なわれる前記処理工程は安定していると判定されたときには、前記処理結果蓄積手順において蓄積された処理結果情報又は前記装置特性蓄積手順において蓄積された装置特性情報に基づいて、前記特定の装置により前記処理工程を処理する処理レートを算出する一方、前記安定度判定手順において前記特定の装置により行なわれる前記処理工程は安定していないと判定されたときには、前記特定の装置により前記処理工程を実際に行なって前記特定の装置が前記処理工程を処理する処理レートを算出する処理レート算出手順と、をコンピュータに実行させるための処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

請求項18

前記処理結果蓄積手順において蓄積される処理結果情報は処理日時及び処理レートを含むと共に、前記装置特性蓄積手順において蓄積される装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、前記安定度判定手順は、前記処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキ又は前記装置特性情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて、前記特定の装置により行なわれる前記処理工程の安定度を判定する手順を含むことを特徴とする請求項17に記載の処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

技術分野

0001

本発明は、処理レート算出装置、処理レート算出方法及び処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関し、詳しくは、処理レート(例えば、膜の堆積レートエッチングレート)から処理条件(例えば、膜の堆積条件エッチング条件)を推定して決定する必要があると共に、処理の特性が不安定(例えば、処理レートが日によって異なったり、パーティクル数が装置によって異なったりすること)であるため、処理の直前に処理条件を決定する必要がある処理装置を用いて製品に対して処理を行なう際の処理レートを算出する、算出装置、算出方法及び算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関する。

背景技術

0002

以下、従来の処理条件決定装置図8を参照しながら説明する。

0003

図8は従来の処理条件決定装置の全体構成を示しており、該処理条件決定装置は、処理レートを算出する処理レート算出手段1と、処理条件を決定する処理条件決定手段2とを備えている。処理レート算出手段1は、特定の工程において製品の処理を開始する前に、製品モニターによる仮処理を行なった後、仮処理の結果に基づき処理レートを算出する。処理条件決定手段2は、処理レート算出手段1により算出された処理レートに基づいて処理条件を決定する。

発明が解決しようとする課題

0004

前述したように、従来の処理条件決定装置は、製品の処理を開始する前に、製品モニターによる仮処理を行なった後、仮処理の結果に基づいて処理レートを算出し、算出された処理レートに基づいて処理条件を決定するので、処理条件を決定するために要する時間が多大になるという問題がある。この処理条件を決定するために要する時間が多大になる原因は、処理レートを算出するために要する時間が長いことにある。

0005

前記に鑑み、本発明は、処理レートを算出するために要する時間を低減することを目的とする。

課題を解決するための手段

0006

前記の目的を達成するため、本発明は、処理工程又は処理装置の安定度には高低があることに着目し、処理工程又は処理装置の安定度が高い場合には、製品モニターによる仮処理を行なうことなく、蓄積しておいた過去の情報に基づいて処理レートを算出するものである。

0007

具体的には、本発明に係る第1の処理レート算出装置は、複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積しておく処理結果蓄積手段と、処理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報に基づいて、複数の工程のうち処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定手段と、安定度判定手段が処理工程は安定していると判定したときに、処理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報に基づいて処理工程を処理する処理レートを算出する第1の処理レート算出手段と、安定度判定手段が処理工程は安定していないと判定したときに、処理工程を実際に行なって処理工程を処理する処理レートを算出する第2の処理レート算出手段とを備えている。

0008

第1の処理レート算出装置によると、安定度判定手段が処理工程は安定していると判定したときには、処理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報に基づいて処理工程を処理する処理レートを算出するため、処理工程を実際に行なって処理レートを算出する手間が省ける。

0009

第1の処理レート算出装置において、処理結果蓄積手段に蓄積される処理結果情報は処理日時及び処理レートを含み、安定度判定手段は、処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキに基づいて処理工程の安定度を判定する手段を有することが好ましい。

0010

本発明に係る第2の処理レート算出装置は、特定の装置により複数の工程を処理した結果を装置特性情報として蓄積しておく装置特性蓄積手段と、装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に基づいて特定の装置の安定度を判定する安定度判定手段と、安定度判定手段が特定の装置は安定していると判定したときに、装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に基づいて、特定の装置が処理の対象となる処理工程を処理する処理レートを算出する第1の処理レート算出手段と、安定度判定手段が特定の装置は安定していないと判定したときに、特定の装置により処理工程を実際に行なって特定の装置が処理工程を処理する処理レートを算出する第2の処理レート算出手段とを備えている。

0011

第2の処理レート算出装置によると、安定度判定手段が特定の装置は安定していると判定したときには、装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に基づいて特定の装置が処理する処理レートを算出するため、特定の装置により実際に処理を行なって処理レートを算出する手間が省ける。

0012

第2の処理レート算出装置において、装置特性蓄積手段に蓄積される装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、安定度判定手段は、装置特性情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて特定の装置の安定度を判定する手段を有することが好ましい。

0013

本発明に係る第3の処理レート算出装置は、第1のグループに属する複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積しておく処理結果蓄積手段と、特定の装置により第2のグループに属する複数の工程を処理した結果を装置特性情報として蓄積しておく装置特性蓄積手段と、処理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報及び装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に基づいて、第1のグループ及び第2のグループの両方に属し且つ特定の装置による処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定手段と、安定度判定手段が特定の装置により行なわれる処理工程は安定していると判定したときに、処理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報又は装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に基づいて、特定の装置により処理工程を処理する処理レートを算出する第1の処理レート算出手段と、安定度判定手段が特定の装置により行なわれる処理工程は安定していないと判定したときに、特定の装置により処理工程を実際に行なって特定の装置が処理工程を処理する処理レートを算出する第2の処理レート算出手段とを備えている。

0014

第3の処理レート算出装置によると、安定度判定手段が特定の装置により行なわれる処理工程は安定していると判定したときには、処理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報又は装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に基づいて、特定の装置により処理工程を処理する処理レートを算出するため、特定の装置により処理装置の処理を実際に行なって処理レートを算出する手間が省ける。

0015

第3の処理レート算出装置において、処理結果蓄積手段に蓄積される処理結果情報は処理日時及び処理レートを含むと共に、装置特性蓄積手段に含まれる装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、安定度判定手段は、処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキ又は装置特性情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて、特定の装置により行なわれる処理工程の安定度を判定することが好ましい。

0016

本発明に係る第1の処理レート算出方法は、複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積する処理結果蓄積工程と、処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果情報に基づいて、複数の工程のうち処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定工程と、安定度判定工程において処理工程は安定していると判定されたときには、処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果情報に基づいて処理工程を処理する処理レートを算出する一方、安定度判定工程において処理工程は安定していないと判定されたときには、処理工程を実際に行なって処理工程を処理する処理レートを算出する処理レート算出工程とを備えている。

0017

第1の処理レート算出方法によると、安定度判定工程において処理工程は安定していると判定されたときには、処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果情報に基づいて処理工程を処理する処理レートを算出するため、処理工程の処理を実際に行なって処理レートを算出する手間が省ける。

0018

第1の処理レート算出方法において、処理結果蓄積工程において蓄積される処理結果情報は処理日時及び処理レートを含み、安定度判定工程は、処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキに基づいて処理工程の安定度を判定する工程を含むことが好ましい。

0019

本発明に係る第2の処理レート算出方法は、特定の装置により複数の工程を処理した結果を装置特性情報として蓄積する装置特性蓄積工程と、装置特性蓄積工程において蓄積された装置特性情報に基づいて特定の装置の安定度を判定する安定度判定工程と、安定度判定工程において特定の装置は安定していると判定されたときには、装置特性蓄積工程において蓄積された装置特性情報に基づいて、特定の装置が処理対象となる処理工程を処理する処理レートを算出する一方、安定度判定工程において特定の装置は安定していないと判定されたときには、特定の装置により処理工程を実際に行なって特定の装置が処理工程を処理する処理レートを算出する処理レート算出工程とを備えている。

0020

第2の処理レート算出方法によると、安定度判定工程において特定の装置は安定していると判定されたときには、装置特性蓄積工程において蓄積された装置特性情報に基づいて特定の装置が処理する処理レートを算出するため、特定の装置により実際に処理を行なって処理レートを算出する手間が省ける。

0021

第2の処理レート算出方法において、装置特性蓄積工程において蓄積される装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、安定度判定工程は、装置特性情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて特定の装置の安定度を判定する工程を含むことが好ましい。

0022

本発明に係る第3の処理レート算出方法は、第1のグループに属する複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積する処理結果蓄積工程と、特定の装置により第2のグループに属する複数の工程を処理した結果を装置特性情報として蓄積する装置特性蓄積工程と、処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果情報及び装置特性蓄積工程において蓄積された装置特性情報に基づいて、第1のグループ及び第2のグループの両方に属し且つ特定の装置による処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定工程と、安定度判定工程において特定の装置により行なわれる処理工程は安定していると判定されたときには、処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果情報又は装置特性蓄積工程において蓄積された装置特性情報に基づいて、特定の装置により処理工程を処理する処理レートを算出する一方、安定度判定工程において特定の装置により行なわれる処理工程は安定していないと判定されたときには、特定の装置により処理工程を実際に行なって特定の装置が処理工程を処理する処理レートを算出する処理レート算出工程とを備えている。

0023

第3の処理レート算出方法によると、安定度判定工程において特定の装置により行なわれる処理工程は安定していると判定されたときには、処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果情報又は装置特性蓄積工程において蓄積された装置特性情報に基づいて、特定の装置により処理工程を処理する処理レートを算出するため、特定の装置により処理工程を実際に行なって処理レートを算出する手間が省ける。

0024

第3の処理レート算出方法において、処理結果蓄積工程において蓄積される処理結果情報は処理日時及び処理レートを含むと共に、装置特性蓄積工程において蓄積される装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、安定度判定工程は、処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキ又は装置特性情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて、特定の装置により行なわれる処理工程の安定度を判定することが好ましい。

0025

本発明に係る第1のコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、処理レートを算出するための処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体を対象とし、複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積する処理結果蓄積手順と、処理結果蓄積手順において蓄積された処理結果情報に基づいて、複数の工程のうち処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定手順と、安定度判定手順において処理工程は安定していると判定されたときには、処理結果蓄積手順において蓄積された処理結果情報に基づいて処理工程を処理する処理レートを算出する一方、安定度判定手順において処理工程は安定していないと判定されたときには、処理工程を実際に行なって処理工程を処理する処理レートを算出する処理レート算出手順とをコンピュータに実行させるための処理レート算出プログラムが記録されている。

0026

第1のコンピュータ読み取り可能な記録媒体において、処理結果蓄積手順において蓄積される処理結果情報は処理日時及び処理レートを含み、安定度判定手順は、処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキに基づいて処理工程の安定度を判定する手順を含むことが好ましい。

0027

本発明に係る第2のコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、処理レートを算出するための処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体を対象とし、特定の装置により複数の工程を処理した結果を装置特性情報として蓄積する装置特性蓄積手順と、装置特性蓄積手順において蓄積された装置特性情報に基づいて特定の装置の安定度を判定する安定度判定手順と、安定度判定手順において特定の装置は安定していると判定されたときには、装置特性蓄積手順において蓄積された装置特性情報に基づいて、特定の装置が処理対象となる処理工程を処理する処理レートを算出する一方、安定度判定手順において特定の装置は安定していないと判定されたときには、特定の装置により処理工程を実際に行なって特定の装置が処理工程を処理する処理レートを算出する処理レート算出手順とをコンピュータに実行させるための処理レート算出プログラムが記録されている。

0028

第2のコンピュータ読み取り可能な記録媒体において、装置特性蓄積手順において蓄積される装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、安定度判定手順は、装置特性情報に蓄積されているパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて特定の装置の安定度を判定する手順を含むことが好ましい。

0029

本発明に係る第3のコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、処理レートを算出するための処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体を対象とし、第1のグループに属する複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積する処理結果蓄積手順と、特定の装置により第2のグループに属する複数の工程を処理した結果を装置特性情報として蓄積する装置特性蓄積手順と、処理結果蓄積手順において蓄積された処理結果情報及び装置特性蓄積手順において蓄積された装置特性情報に基づいて、第1のグループ及び第2のグループの両方に属し且つ特定の装置による処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定手順と、安定度判定手順において特定の装置により行なわれる処理工程は安定していると判定されたときには、処理結果蓄積手順において蓄積された処理結果情報又は装置特性蓄積手順において蓄積された装置特性情報に基づいて、特定の装置により処理工程を処理する処理レートを算出する一方、安定度判定手順において特定の装置により行なわれる処理工程は安定していないと判定されたときには、特定の装置により処理工程を実際に行なって特定の装置が処理工程を処理する処理レートを算出する処理レート算出手順とをコンピュータに実行させるための処理レート算出プログラムが記録されている。

0030

第3のコンピュータ読み取り可能な記録媒体において、処理結果蓄積手順において蓄積される処理結果情報は処理日時及び処理レートを含むと共に、装置特性蓄積手順において蓄積される装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、安定度判定手順は、処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキ又は装置特性情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて、特定の装置により行なわれる処理工程の安定度を判定する手順を含むことが好ましい。

発明を実施するための最良の形態

0031

以下、本発明の一実施形態に係る、処理レート算出装置、処理レート算出方法、及び処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体について、図面を参照しながら説明する。

0032

図1は一実施形態に係る処理レート算出装置を有する処理条件決定装置のブロック図であって、図2は一実施形態に係る処理レート算出方法を有する処理条件決定方法フロー図である。

0033

処理条件決定装置は、図1に示すように、工程の処理結果を蓄積する処理結果蓄積手段11と、装置の特性を蓄積する装置特性蓄積手段12と、蓄積されている工程の処理結果及び装置の特性に基づいて工程の安定度を判定する工程安定度判定手段13と、工程が安定していると判定される場合に、過去の処理結果に基づいて処理レートを自動算出する第1の処理レート算出手段としての処理レート自動算出手段14と、工程が安定していないと判定される場合に、実際に処理を行なって処理レートの算出を再度行なう第2の処理レート算出手段としての処理レート再算出手段15と、算出された処理レートから処理条件を決定する処理条件決定手段16とを備えている。

0034

以下、前記の処理条件決定装置を用いて行なう処理決定方法について、エッチング装置によりエッチングを行なう処理条件を決定する場合を例にとって、図2図7を参照しながら説明する。

0035

まず、処理結果蓄積手段11は、ステップS1において、エッチング装置により製品の処理を行なった結果の情報を処理結果情報として蓄積する。具体的には、図6に示すように、処理日時、エッチング時間、エッチング膜厚及びエッチングレートをアイテムとして持つ処理結果テーブルレコードに、処理日時、エッチング時間及びエッチング膜厚を登録すると共に、エッチング膜厚をエッチング時間で除算することにより算出したエッチングレートも登録する。図3に示すように、処理結果情報は製品に対してエッチング処理を行なう度毎に登録する。尚、処理結果テーブルの作成場所は特に限定されず、アクセス可能なコンピュータ上に作成すればよい。

0036

また、装置特性蓄積手段12は、ステップS2において、エッチング装置の特性を示す情報を処理特性情報として蓄積する。具体的には、図7に示すように、処理日時及びパーティクル数をアイテムとして持つ装置特性テーブルのレコードに、処理時間及びパーティクル数を登録する。図4に示すように、処理特性情報はエッチング装置の性能を確認する毎に登録する。尚、装置特性テーブルに登録する特性データは、パーティクル数のほかに、プラズマ密度等のようにエッチング装置の性能を示すデータを適宜選択する。また、装置特性テーブルの作成場所は特に限定されず、アクセス可能なコンピュータ上に作成すればよい。

0037

次に、工程安定度判定手段13は、ステップS3において、製品に対してエッチング処理を行なう前に、処理結果蓄積手段11に蓄積された処理結果情報と、装置特性蓄積手段12に蓄積された装置特性情報とに基づいて、工程の安定度を判定する。

0038

以下、工程安定度判定手段13がステップS3において工程の安定度を判定する方法について、図5に示すフロー図を参照しながら説明する。

0039

ステップS31において、過去のエッチングレートを抽出する。具体的には、図6に示す処理結果テーブルの処理日時を検索キーとして、処理結果テーブルの最新データから順に過去の5つのエッチングレートを抽出する。

0040

ステップS32において、抽出した5つのエッチングレートのバラツキを調べるために、エッチングレートの標準偏差を計算する。尚、抽出するデータの個数は5つに限定されず、何個でもよい。また、バラツキの指標は、標準偏差に限定されず、偏差平方和、分散、範囲又は変化率等を適宜選択できる。

0041

ステップS33において、過去のパーティクル数を抽出する。具体的には、装置特性テーブルの処理日時を検索キーとして、図7に示す装置特性テーブルの最新データから順に過去の5つのパーティクル数を抽出する。

0042

ステップS34において、抽出した5つのパーティクルのバラツキを調べるために、パーティクル数の標準偏差を計算する。尚、抽出するデータの個数は5つに限定されず、何個でもよい。また、バラツキの指標は、標準偏差に限定されず、偏差、平方和、分散、範囲又は変化率等を適宜選択できる。

0043

ステップS35において、エッチングレートの標準偏差とパーティクルの標準偏差との平均値、つまりバラツキの平均値を算出する。

0044

ステップS36において、バラツキの平均値が所定値よりも小さいか否かの判断、つまり工程が安定しているか否かの判断をする。具体的には、バラツキの平均値が所定値(例えば、5)よりも小さければ「工程は安定している」と判断し、大きければ「工程は安定していない」と判断する。尚、2つの標準偏差から平均値を算出する際に、抽出したデータの特質等に応じて各値に重みづけ、例えば、最近のデータには1よりも大きい数を掛ける等の重みづけを行なった後に、平均値を算出してもよい。また、所定値は装置の特質等に応じて適宜決定すればよく、特に限定されない。

0045

尚、工程安定度判定手段13がステップS3において工程の安定度を判定する場合、ステップS35において算出したエッチングレートの標準偏差の平均値を用いたが、これに代えて、エッチングレートの標準偏差又はパーティクルの標準偏差をそれぞれ単独で用いてもよい。

0046

次に、工程安定度判定手段13がステップS3において「工程は安定している」と判断すると、処理レート自動算出手段14は、製品に対するエッチングを行なう前に、ステップS4において、処理レートであるエッチングレートを算出する。具体的には、図6に示す処理結果テーブルの処理日時を検索キーとして、処理結果テーブルの最新データから順に過去の5つのエッチングレートを抽出し、抽出した5つのエッチングレートの平均値を計算する。尚、抽出するデータの個数は5つに限定されず、何個でもよいと共に、ステップS31において抽出したデータの個数と一致させる必要もない。また、エッチングレートの平均値を算出する際に、装置の特質等に応じて各データに重みづけを行なった後、平均値を算出してもよい。

0047

次に、工程安定度判定手段13がステップS3において「工程は安定していない」と判断すると、処理レート再算出手段15は、製品に対するエッチングを行なう前に、ステップS5において、エッチングレートを算出する。エッチングレートの算出方法は、従来より行われているエッチングモニターによる先行エッチングを通して算出する等、実際にエッチング装置によってエッチングした結果からエッチングレートを算出すればよく、特に限定されない。

0048

次に、処理条件決定手段16は、ステップS6において、処理レート自動算出手段14又は処理レート再算出手段15により算出されたエッチングレートからエッチング条件を決定する。具体的には、製品のエッチング膜厚を、処理レート自動算出手段14又は処理レート再算出手段15により算出されたエッチングレートで除算して、エッチング時間を求める。

0049

以上のように、本実施形態に係る処理レート算出方法及び処理レート算出装置によると、エッチング工程における処理の安定度によってエッチングレートの算出方法を変更し、処理の安定度が高い場合には、エッチングモニターによる先行エッチングを行なうことなく、蓄積しておいた過去のエッチングレートから自動的にエッチングレートを算出するので、エッチングレートを算出するために要する時間を低減することができる。

0050

尚、処理結果蓄積手段11又は装置特性蓄積手段12により処理結果情報又は装置特性情報を蓄積する場合、図6又は図7に示すテーブルに代えて、リスト構造(コンピュータのメモリ上に記憶されている構造)等を用いてもよい。

0051

また、本発明における処理条件は、エッチング装置による処理条件のほかに、CVD装置スパッタ装置露光装置又は酸化装置等のように、処理レートから処理条件を推定して決定する必要があると共に、処理の特性が不安定であるため、処理の直前に処理条件を再決定する必要がある製造装置を用いて製品の製造を行なう際の処理条件を広く対象としている。

0052

従って、本実施形態に係る処理レート算出方法を実現する処理レート算出プログラムを作成すると共に、コンピュータが読み取り可能な記録媒体に処理レート算出プログラムを記録しておけば、記録媒体をコンピュータの補助記憶装置に装着することにより、本実施形態に係る処理レート算出プログラムがコンピュータの主記憶装置にロードされ、所定の動作タイミングイベント)が発生したときに、コンピュータのCPUによって各手順の所定の機能が実行される。

発明の効果

0053

第1の処理レート算出装置によると、処理工程が安定しているときには、処理工程を実際に行なって処理レートを算出する手間が省けるので、処理レートを算出するために要する時間を低減することができる。

0054

第1の処理レート算出装置において、安定度判定手段が、処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキに基づいて処理工程の安定度を判定すると、算出される処理レートの信頼性が高くなる。

0055

第2の処理レート算出装置によると、特定の装置が安定しているときには、特定の装置により実際に処理を行なって処理レートを算出する手間が省けるので、処理レートを算出するために要する時間を低減することができる。

0056

第2の処理レート算出装置において、安定度判定手段が、装置特性情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて特定の装置の安定度を判定すると、算出される処理レートの信頼性が高くなる。

0057

第3の処理レート算出装置によると、特定の装置により行なわれる処理工程が安定しているときには、特定の装置により処理工程の処理を実際に行なって処理レートを算出する手間が省けるので、処理レートを算出するために要する時間を低減することができる。

0058

第3の処理レート算出装置において、安定度判定手段が、処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキ又は装置特性情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて、特定の装置により行なわれる処理工程の安定度を判定すると、算出される処理レートの信頼性が一層高くなる。

0059

第1の処理レート算出方法によると、処理工程が安定しているときには、処理工程を実際に行なって処理レートを算出する手間が省けるので、処理レートを算出するために要する時間を低減することができる。

0060

第1の処理レート算出方法において、安定度判定工程が、処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキに基づいて処理工程の安定度を判定すると、算出される処理レートの信頼性が高くなる。

0061

第2の処理レート算出方法によると、特定の装置が安定しているときには、特定の装置により実際に処理を行なって処理レートを算出する手間が省けるので、処理レートを算出するために要する時間を低減することができる。

0062

第2の処理レート算出方法において、安定度判定工程が、装置特性情報に蓄積されているパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて特定の装置の安定度を判定すると、算出される処理レートの信頼性が高くなる。

0063

第3の処理レート算出方法によると、特定の装置により行なわれる処理工程が安定しているときには、特定の装置により処理工程を実際に行なって処理レートを算出する手間が省けるので、処理レートを算出するために要する時間を低減することができる。

0064

第3の処理レート算出方法において、安定度判定工程が、処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキ又は装置特性情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて、特定の装置により行なわれる処理工程の安定度を判定すると、算出される処理レートの信頼性が一層高くなる。

0065

また、本発明に係る処理レート算出方法のうちのいづれか1つをコンピュータに実現させる処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体によると、該記録媒体に記録されている処理レート算出プログラムをコンピュータで実行させることにより、前記1つの処理レート算出方法を確実に実行することができる。

図面の簡単な説明

0066

図1本発明の一実施形態に係る処理レート算出装置を有する処理条件決定装置のブロック図である。
図2本発明の一実施形態に係る処理レート算出方法を有する処理条件決定方法のフロー図である。
図3前記の処理条件決定装置の処理結果蓄積手段がエッチング装置により製品の処理を行なった結果得られる情報を処理結果情報として蓄積する工程を説明する図である。
図4前記の処理条件決定装置の装置特性蓄積手段がエッチング装置の特性を示す情報を処理特性情報として蓄積する工程を説明する図である。
図5前記の処理条件決定方法における工程安定度判定工程の各処理を説明するフロー図である。
図6前記処理条件決定装置及び処理条件決定方法において用いる処理結果テーブルを示す図である。
図7前記処理条件決定装置及び処理条件決定方法において用いる処理特性テーブルを示す図である。
図8従来の処理条件決定装置のブロック図である。

--

0067

11 処理結果蓄積手段
12装置特性蓄積手段
13 工程安定度判定手段
14処理レート自動算出手段
15 処理レート再算出手段
16処理条件決定手段
S1 処理結果蓄積工程
S2 装置特性蓄積工程
S3 工程安定度判定工程
S4 処理レート自動算出工程
S5 処理レート再算出工程
S6 処理条件決定工程

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