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技術 フィルタ基板乾燥装置

出願人 株式会社日立製作所日立デバイスエンジニアリング株式会社
発明者 中山裕嗣佐々木晴夫金坂和美
出願日 1996年12月27日 (24年1ヶ月経過) 出願番号 1996-350830
公開日 1998年7月31日 (22年6ヶ月経過) 公開番号 1998-197151
状態 未査定
技術分野 ホトレジストの材料 光学フィルタ フォトリソグラフィー用材料 固体の乾燥
主要キーワード 動作経過 共通端 使用当初 ファンドライバ 予設定 排気吸引 給排気量 制御調整
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (7)

課題

供給される未乾燥フィルタ基板フィルタ品種に対応して、乾燥室1の給排気量を自動的に制御するようにしたフィルタ基板乾燥装置を提供する。

解決手段

給排気による乾燥を行う乾燥室1と、乾燥室の給排気量を制御する排気ファン10及びファン制御部11と、乾燥室1に結合されたフィルタ基板搬送部と、フィルタ品種を判別して判別結果を示す品種情報を発生するシーケンサとからなり、フィルタ基板搬送部によって、前工程でカラーレジストが塗布された未乾燥フィルタ基板をシーケンサを経て乾燥室内1に搬送するとともに、乾燥されたフィルタ基板を乾燥室1外に搬送し、シーケンサで得られた品種情報をファン制御部11に供給して排気ファン10の回転数を制御し、フィルタ品種に対応して乾燥室1の給排気量を制御調整している。

概要

背景

従来、カラーフィルタを製造する場合の製造工程は、まず、フィルタ基板を構成するガラス基板を形成する工程(基板形成工程)、得られたガラス基板の所定の箇所にそれぞれ決められた複数色のカラーレジストを順次塗布する工程(レジスト塗布工程)、カラーレジストを塗布した未乾燥ガラス基板を乾燥室内に搬送する工程(前搬送工程)、乾燥室内に取り入れた未乾燥ガラス基板を乾燥する工程(基板乾燥工程)、乾燥したガラス基板を乾燥室外に搬送する工程(後搬送工程)からなっている。この場合、未乾燥ガラス基板を乾燥させる基板乾燥工程には、通常、フィルタ基板乾燥装置、即ち、乾燥室内の給排気により取り入れた未乾燥ガラス基板を乾燥させる手段が用いられる。また、ガラス基板を1つの工程から次の工程に搬送させる前搬送工程及び後搬送工程には、例えば、ウォーキングビーム搬送手段等が用いられる。

ここで、図6は、既知のフィルタ基板乾燥装置の概略の構成を示す断面図である。

図6において、601 は第1個別乾燥室、602 は第2個別乾燥室、611 、612 は乾燥部、62はウォーキングビーム搬送部、63はファン部、641 、642 は排気部、65は排気管、651 、652 は排気管分岐、661 、662はダンパー、671 、672 は未乾燥ガラス基板である。

そして、第1個別乾燥室601 は、乾燥部611 と、乾燥部611 の一方(上)側に設けられた給気孔図番なし)と、乾燥部611 の他方(下)側に設けられた排気孔(図番なし)に連なる排気部641 とからなり、第2個別乾燥室602 は、乾燥部612 と、乾燥部612 の一方(上)側に設けられた給気孔(図番なし)と、乾燥部612 の他方(下)側に設けられた排気孔(図番なし)に連なる排気部642 とからなっている。第1個別乾燥室601 は、基板入力口(図番なし)側にウォーキングビーム搬送部62が配置され、基板出力口(同じく図番なし)が第2個別乾燥室602 の基板入力口(同じく図番なし)に結合されている。第2個別乾燥室602 は、基板出力口(同じく図番なし)が次続する他の個別乾燥室(図示なし)の基板入力口に結合され、以下、同様の結合によって、複数の個別乾燥室601 、602 等が従属的に結合された状態になっている。排気部641 、642 は、排気管分岐651 、652 を経て排気管65に、さらに排気管65を介してファン部63に接続されている。排気管分岐651 、652 は、それぞれ、内部に手動調整可能なダンパー661 、662 が配置されている。

前記構成によるフィルタ基板乾燥装置は、次のように動作する。

始めに、このフィルタ基板乾燥装置において乾燥させる未乾燥ガラス基板671 、672 のフィルタ品種、具体的には、ガラス基板に塗布されるカラーレジストの溶媒の種類やガラス基板の厚さ及びサイズ等に対応して、それぞれのダンパー661 、662 を手動調整し、それぞれの個別乾燥室601 、602 に供給される給排気量を制御する。

この給排気量の調整が終了すると、前工程のレジスト塗布工程においてカラーレジストが塗布された第1の未乾燥ガラス基板671 が、ウォーキングビーム搬送部62によって搬送され、第1個別乾燥室601 に基板入力口から乾燥部611 内に取り入れられる。

第1個別乾燥室601 に取り入れられた未乾燥ガラス基板671 は、給気孔から供給される清浄空気流によって乾燥される。このとき、カラーレジスト溶媒を含んだ空気は、排気孔から排気部641 に、さらに排気管分岐651 及び排気管65を経てファン部63に供給され、排気吸引される。

第1個別乾燥室601 で第1の未乾燥ガラス基板671 の乾燥を行ってから一定時間が経過すると、第1の未乾燥ガラス基板671 は、ウォーキングビーム搬送部62により第1個別乾燥室601 から搬出され、次の第2個別乾燥室602内に取り入れられる。これと同時に、2番目の未乾燥ガラス基板672 が、ウォーキングビーム搬送部62により搬送され、第1個別乾燥室601 内に取り入れられる。

第1個別乾燥室601 に取り入れられた2番目の未乾燥ガラス基板672 は、前述のように、給気孔から供給される清浄な空気流によって乾燥され、また、第2個別乾燥室602 内に取り入れられた第1の未乾燥ガラス基板671 も、給気孔から供給される清浄な空気流によって乾燥される。このとき、カラーレジスト溶媒を含んだ空気は、排気孔から排気部641 、642 に、さらに排気管分岐651 、652 及び排気管65を経てファン部63に供給され、排気吸引される。

第1個別乾燥室601 で未乾燥ガラス基板672 の乾燥及び第2個別乾燥室602 で未乾燥ガラス基板671 の乾燥をそれぞれ行ってから一定時間が経過すると、第1の未乾燥ガラス基板671 は、ウォーキングビーム搬送部62により第2個別乾燥室602 から搬出され、次の図示されていない第3個別乾燥室内に取り入れられ、2番目の未乾燥ガラス基板672 は、ウォーキングビーム搬送部62により第1個別乾燥室601 から搬出され、次の第2個別乾燥室602 内に取り入れられる。これと同時に、3番目の未乾燥ガラス基板(図示なし)が、ウォーキングビーム搬送部62により搬送され、第1個別乾燥室601 内に取り入れられる。

以下、前述の動作と同じ動作経過を経て、多数の未乾燥ガラス基板671 、672 等が従属結合された複数の個別乾燥室601 、602 内を順次搬送され、複数の個別乾燥室601 、602 内で空気流による乾燥が行われ、終段の個別乾燥室(図示なし)から多数の乾燥されたガラス基板671 、672 等がウォーキングビーム搬送部62によって順次搬出されるものである。

概要

供給される未乾燥フィルタ基板のフィルタ品種に対応して、乾燥室1の給排気量を自動的に制御するようにしたフィルタ基板乾燥装置を提供する。

給排気による乾燥を行う乾燥室1と、乾燥室の給排気量を制御する排気ファン10及びファン制御部11と、乾燥室1に結合されたフィルタ基板搬送部と、フィルタ品種を判別して判別結果を示す品種情報を発生するシーケンサとからなり、フィルタ基板搬送部によって、前工程でカラーレジストが塗布された未乾燥フィルタ基板をシーケンサを経て乾燥室内1に搬送するとともに、乾燥されたフィルタ基板を乾燥室1外に搬送し、シーケンサで得られた品種情報をファン制御部11に供給して排気ファン10の回転数を制御し、フィルタ品種に対応して乾燥室1の給排気量を制御調整している。

目的

本発明は、かかる問題点を解決するもので、その目的は、供給される未乾燥フィルタ基板のフィルタ品種に対応して、乾燥室の給排気量を自動的に制御するようにしたフィルタ基板乾燥装置を提供することにある。

効果

実績

技術文献被引用数
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牽制数
1件

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請求項1

給排気による乾燥を行う乾燥室と、前記乾燥室の給排気量を制御する排気ファン及びファン制御部と、前記乾燥室に結合されたフィルタ基板搬送部と、フィルタ品種判別して判別結果を示す品種情報を発生するシーケンサとからなり、前記フィルタ基板搬送部によって、前工程でカラーレジストが塗布された未乾燥フィルタ基板を前記シーケンサを経て前記乾燥室内に搬送するとともに、乾燥されたフィルタ基板を前記乾燥室外に搬送し、前記シーケンサで得られた前記品種情報を前記ファン制御部に供給して前記排気ファンの回転数を制御し、前記フィルタ品種に対応して前記乾燥室の給排気量を制御調整していることを特徴とするフィルタ基板乾燥装置

請求項2

前記ファン制御部は、前記品種情報に基づいて制御される速度設定器であることを特徴とする請求項1に記載のフィルタ基板乾燥装置。

請求項3

前記ファン制御部は、前記品種情報に基づいて制御される可変速制御ユニットであることを特徴とする請求項1に記載のフィルタ基板乾燥装置。

請求項4

前記乾燥室は、上下方向に配置された複数の個別乾燥室からなっていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のフィルタ基板乾燥装置。

請求項5

前記フィルタ基板は、カラーレジストを塗布したガラス基板であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のフィルタ基板乾燥装置。

技術分野

0001

本発明は、フィルタ基板乾燥装置に係わり、特に、カラーフィルタの製造工程中に、カラーレジストを塗布した後の未乾燥フィルタ基板乾燥室内に搬送し、乾燥室内における給排気により未乾燥部分を乾燥させるフィルタ基板乾燥装置に関する。

背景技術

0002

従来、カラーフィルタを製造する場合の製造工程は、まず、フィルタ基板を構成するガラス基板を形成する工程(基板形成工程)、得られたガラス基板の所定の箇所にそれぞれ決められた複数色のカラーレジストを順次塗布する工程(レジスト塗布工程)、カラーレジストを塗布した未乾燥ガラス基板を乾燥室内に搬送する工程(前搬送工程)、乾燥室内に取り入れた未乾燥ガラス基板を乾燥する工程(基板乾燥工程)、乾燥したガラス基板を乾燥室外に搬送する工程(後搬送工程)からなっている。この場合、未乾燥ガラス基板を乾燥させる基板乾燥工程には、通常、フィルタ基板乾燥装置、即ち、乾燥室内の給排気により取り入れた未乾燥ガラス基板を乾燥させる手段が用いられる。また、ガラス基板を1つの工程から次の工程に搬送させる前搬送工程及び後搬送工程には、例えば、ウォーキングビーム搬送手段等が用いられる。

0003

ここで、図6は、既知のフィルタ基板乾燥装置の概略の構成を示す断面図である。

0004

図6において、601 は第1個別乾燥室、602 は第2個別乾燥室、611 、612 は乾燥部、62はウォーキングビーム搬送部、63はファン部、641 、642 は排気部、65は排気管、651 、652 は排気管分岐、661 、662はダンパー、671 、672 は未乾燥ガラス基板である。

0005

そして、第1個別乾燥室601 は、乾燥部611 と、乾燥部611 の一方(上)側に設けられた給気孔図番なし)と、乾燥部611 の他方(下)側に設けられた排気孔(図番なし)に連なる排気部641 とからなり、第2個別乾燥室602 は、乾燥部612 と、乾燥部612 の一方(上)側に設けられた給気孔(図番なし)と、乾燥部612 の他方(下)側に設けられた排気孔(図番なし)に連なる排気部642 とからなっている。第1個別乾燥室601 は、基板入力口(図番なし)側にウォーキングビーム搬送部62が配置され、基板出力口(同じく図番なし)が第2個別乾燥室602 の基板入力口(同じく図番なし)に結合されている。第2個別乾燥室602 は、基板出力口(同じく図番なし)が次続する他の個別乾燥室(図示なし)の基板入力口に結合され、以下、同様の結合によって、複数の個別乾燥室601 、602 等が従属的に結合された状態になっている。排気部641 、642 は、排気管分岐651 、652 を経て排気管65に、さらに排気管65を介してファン部63に接続されている。排気管分岐651 、652 は、それぞれ、内部に手動調整可能なダンパー661 、662 が配置されている。

0006

前記構成によるフィルタ基板乾燥装置は、次のように動作する。

0007

始めに、このフィルタ基板乾燥装置において乾燥させる未乾燥ガラス基板671 、672 のフィルタ品種、具体的には、ガラス基板に塗布されるカラーレジストの溶媒の種類やガラス基板の厚さ及びサイズ等に対応して、それぞれのダンパー661 、662 を手動調整し、それぞれの個別乾燥室601 、602 に供給される給排気量を制御する。

0008

この給排気量の調整が終了すると、前工程のレジスト塗布工程においてカラーレジストが塗布された第1の未乾燥ガラス基板671 が、ウォーキングビーム搬送部62によって搬送され、第1個別乾燥室601 に基板入力口から乾燥部611 内に取り入れられる。

0009

第1個別乾燥室601 に取り入れられた未乾燥ガラス基板671 は、給気孔から供給される清浄空気流によって乾燥される。このとき、カラーレジスト溶媒を含んだ空気は、排気孔から排気部641 に、さらに排気管分岐651 及び排気管65を経てファン部63に供給され、排気吸引される。

0010

第1個別乾燥室601 で第1の未乾燥ガラス基板671 の乾燥を行ってから一定時間が経過すると、第1の未乾燥ガラス基板671 は、ウォーキングビーム搬送部62により第1個別乾燥室601 から搬出され、次の第2個別乾燥室602内に取り入れられる。これと同時に、2番目の未乾燥ガラス基板672 が、ウォーキングビーム搬送部62により搬送され、第1個別乾燥室601 内に取り入れられる。

0011

第1個別乾燥室601 に取り入れられた2番目の未乾燥ガラス基板672 は、前述のように、給気孔から供給される清浄な空気流によって乾燥され、また、第2個別乾燥室602 内に取り入れられた第1の未乾燥ガラス基板671 も、給気孔から供給される清浄な空気流によって乾燥される。このとき、カラーレジスト溶媒を含んだ空気は、排気孔から排気部641 、642 に、さらに排気管分岐651 、652 及び排気管65を経てファン部63に供給され、排気吸引される。

0012

第1個別乾燥室601 で未乾燥ガラス基板672 の乾燥及び第2個別乾燥室602 で未乾燥ガラス基板671 の乾燥をそれぞれ行ってから一定時間が経過すると、第1の未乾燥ガラス基板671 は、ウォーキングビーム搬送部62により第2個別乾燥室602 から搬出され、次の図示されていない第3個別乾燥室内に取り入れられ、2番目の未乾燥ガラス基板672 は、ウォーキングビーム搬送部62により第1個別乾燥室601 から搬出され、次の第2個別乾燥室602 内に取り入れられる。これと同時に、3番目の未乾燥ガラス基板(図示なし)が、ウォーキングビーム搬送部62により搬送され、第1個別乾燥室601 内に取り入れられる。

0013

以下、前述の動作と同じ動作経過を経て、多数の未乾燥ガラス基板671 、672 等が従属結合された複数の個別乾燥室601 、602 内を順次搬送され、複数の個別乾燥室601 、602 内で空気流による乾燥が行われ、終段の個別乾燥室(図示なし)から多数の乾燥されたガラス基板671 、672 等がウォーキングビーム搬送部62によって順次搬出されるものである。

発明が解決しようとする課題

0014

前記既知のフィルタ基板乾燥装置は、前工程のレジスト塗布工程から供給される多数の未乾燥ガラス基板671 、672 等のフィルタ基板のフィルタ品種が変わる毎に、それぞれの排気管分岐651 、652 内に配置されているダンパー661 、662 をいちいち手動調整し、第1個別乾燥室601 や第2個別乾燥室602 等の空気流の給排気量を制御する必要があり、その給排気量を制御するダンパー661 、662 の手動調整に手間が掛るという問題がある。

0015

また、前記既知のフィルタ基板乾燥装置は、多数の未乾燥ガラス基板671 、672 等のフィルタ基板のフィルタ品種が多様である場合、それぞれのフィルタ品種に対応して各ダンパー661 、662 を手動調整するためには、相当の熟練度と多くの時間が必要になり、ダンパー661 、662 の手動調整に多くの時間やコストを要するという問題がある。

0016

本発明は、かかる問題点を解決するもので、その目的は、供給される未乾燥フィルタ基板のフィルタ品種に対応して、乾燥室の給排気量を自動的に制御するようにしたフィルタ基板乾燥装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

0017

前記目的を達成するために、本発明のフィルタ基板乾燥装置は、フィルタ基板搬送部を用いて、前工程でカラーレジストが塗布された未乾燥フィルタ基板をシーケンサを経て乾燥室内に搬送するとともに、乾燥させたフィルタ基板を乾燥室外に搬出し、フィルタ基板のフィルタ品種を検出するシーケンサで得られた品種情報ファン制御部に供給して排気ファン回転数を制御し、フィルタ品種に対応して乾燥室の給排気量を制御調整する手段を具備している。

0018

前記手段によれば、未乾燥フィルタ基板をフィルタ基板乾燥装置に搬入するのに先立って、未乾燥フィルタ基板のフィルタ品種を検出するシーケンサを通して品種情報を発生させ、この品種情報をファン制御部に供給して排気ファンの回転数を制御し、フィルタ品種に対応して乾燥室の給排気量を自動的に制御調整するようにしているので、フィルタ品種が変わるたび毎に、いちいちそれぞれの排気管分岐に配置されているダンパーを手動調整する必要がなく、給排気量の制御調整に多くの時間や手間が掛ることがない。

発明を実施するための最良の形態

0019

本発明の実施の形態において、フィルタ基板乾燥装置は、給排気による乾燥を行う乾燥室と、乾燥室の給排気量を制御する排気ファン及びファン制御部と、乾燥室に結合されたフィルタ基板搬送部と、フィルタ品種を判別して判別結果を示す品種情報を発生するシーケンサとからなり、フィルタ基板搬送部によって、前工程でカラーレジストが塗布された未乾燥フィルタ基板をシーケンサを経て乾燥室内に搬送するととともに、乾燥されたフィルタ基板を乾燥室外に搬送し、シーケンサで得られた品種情報をファン制御部に供給して排気ファンの回転数を制御し、フィルタ品種に対応して乾燥室の給排気量を制御調整しているものである。

0020

本発明の1つの実施の形態において、ファン制御部は品種情報に基づいて制御される速度設定器からなるものである。

0021

本発明の他の実施の形態において、ファン制御部は品種情報に基づいて制御される可変速制御ユニットからなるものである。

0022

本発明の実施の形態の1つの好適例において、乾燥室は上下方向に配置された複数の個別乾燥室からなるものである。

0023

本発明の実施の形態の他の好適例において、フィルタ基板はカラーレジストを塗布したガラス基板からなるものである。

0024

これら本発明の実施の形態によれば、未乾燥フィルタ基板をフィルタ基板乾燥装置で乾燥する場合、未乾燥フィルタ基板をシーケンサに通すことにより、シーケンサからフィルタ品種に対応した品種情報を発生させ、この品種情報をファン制御部に供給して排気ファンの回転数を制御し、乾燥室を流れる空気流の給排気量を、乾燥させる未乾燥フィルタ基板のフィルタ品種に対応して自動的に制御調整するようにしているので、未乾燥フィルタ基板のフィルタ品種が変わるたび毎に、いちいちそれぞれの排気管分岐に配置されているダンパーを手動で調整する必要がなく、給排気量の制御調整を行うために、多くの時間や手間を要することがない。

0025

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

0026

図1は、本発明に係わるフィルタ基板乾燥装置の第1実施例の構成を示す展開斜視図であり、図2は、図1に図示された本実施例のフィルタ基板乾燥装置において給排気部のみを示す斜視図である。

0027

図1において、1は乾燥部、2は空気取入口、3は上側スリット、41 、42は排気ダクト、5は結合孔、6は下側スリット、7は排気管分岐、8は排気管、9はダンパー、10は排気ファン、11はファン制御部、12はガラス基板(フィルタ基板)出入口、13は出入口扉である。

0028

そして、乾燥部1は、天井部に2つの空気取入口2に連通する複数の上側スリット3が設けられ、下方側面部に2本の排気ダクト41 に連通する複数の下側スリット6が設けられるとともに、一方の側面部にガラス基板を出入りさせるための、出入口扉13付のガラス基板出入口12が設けられる。2本の排気ダクト41 は、結合孔5を通して並設された対応する2本の排気ダクト42 に結合され、2本の排気ダクト42 の一端はそれぞれ対応する排気管分岐7に接続される。2本の排気管分岐7は、内部にそれぞれダンパー9が配置されているもので、他端が共通の排気管8を介して排気ファン10に結合される。排気ファン10は、ファン制御部11が一体結合されている。なお、第1実施例において、ダンパー9は、フィルタ基板乾燥装置の使用当初に一度手動調整を行うだけで、その後、何等かの特別な事情が生じない限り、手動調整を行わない。

0029

前記構成による第1実施例のフィルタ基板乾燥装置は、次のように動作する。

0030

前工程のレジスト塗布工程において、複数色のカラーレジストが塗布塗布された未乾燥ガラス基板(図示なし)は、搬送部(図示なし)によって、乾燥部1のガラス基板出入口12のところまで搬送される。次いで、未乾燥ガラス基板は、搬送部によって、出入口扉13が開いた状態にあるガラス基板出入口12を通って乾燥室1内に送り込まれる。未乾燥ガラス基板が乾燥室1内に完全に取り入れられると、ガラス基板出入口12の出入口扉13が閉じ、同時に、ファン制御部11が動作を開始し、排気ファン10が回転を開始する。この状態になると、2つの空気取入口2から取り入れられた清浄な空気流が複数の複数の上側スリット3を通して未乾燥ガラス基板に吹き付けられ、未乾燥ガラス基板を乾燥させる。一方、未乾燥ガラス基板から蒸発したカラーレジストの溶媒を含んだ空気流は、複数の下側スリット6を通して2本の排気ダクト41 に流れ、次いで、2本の排気ダクト41 から結合孔5を通して2本の排気ダクト42 に流れ、その後、2本の排気ダクト42 から2本の排気管分岐7及び排気管8をそれぞれ通って排気ファン10に達し、排気ファン10によって空気中に放散される。このような未乾燥ガラス基板の乾燥が所定時間実行されて、ガラス基板が完全に乾燥すると、ファン制御部11の動作が停止して、排気ファン10の回転が止まり、同時に、ガラス基板出入口12の出入口扉13が開き、乾燥されたガラス基板は、搬送部によって、乾燥室1から搬出され、次工程のフィルタ膜硬化工程に搬送される。

0031

また、図3は、本発明に係わるフィルタ基板乾燥装置の第2実施例の要部構成を示す断面図であって、図1に図示された第1実施例における乾燥部1を、上下方向に重なり合った3つの個別乾燥部に分離構成した例を示すものである。

0032

図3において、11 は第1個別乾燥部、12 は第2個別乾燥部、13 は第3個別乾燥部、14は未乾燥ガラス基板、15はガラス基板支持ピンであり、その他に、図1及び図2に図示された構成要素と同じ構成要素については同じ符号を付けている。

0033

そして、第1個別乾燥部11 、第2個別乾燥部12 、第3個別乾燥部13 は、上下方向に重なり合うように配置され、それぞれの個別乾燥部11 、12 、13内には、未乾燥ガラス基板14を取り入れたとき、それぞれの個別乾燥部11 、12 、13 中でガラス基板14を保持するための複数本のガラス基板支持ピン15が立設されている。

0034

図3に図示されたフィルタ基板乾燥装置の第2実施例の動作は、搬送部による未乾燥ガラス基板の搬送動作を以外の動作、即ち、第1乃至第3個別乾燥部11、12 、13 内でそれぞれ実行される未乾燥ガラス基板14の乾燥時の動作は、本質的に、図1及び図2に図示されたフィルタ基板乾燥装置の第1実施例の乾燥室1内で実行される未乾燥ガラス基板の乾燥時の動作と同じであるので、第2実施例における第1乃至第3個別乾燥部11 、12 、13 内で実行される未乾燥ガラス基板14の乾燥時の動作についての説明は省略し、未乾燥ガラス基板の搬送動作だけについて説明する。

0035

まず、前工程のレジスト塗布工程において、複数色のカラーレジストが塗布塗布された未乾燥ガラス基板(図示なし)は、搬送部(図示なし)によって、開いた状態にあるガラス基板出入口12を通して第1個別乾燥室11 内まで搬送される。次いで、第1個別乾燥室11 内において前述のような未乾燥ガラス基板14の乾燥が実行され、所定時間が経過すると、第1個別乾燥室11 内の乾燥動作が停止される。続いて、未乾燥ガラス基板14は、搬送部により、開いた状態にあるガラス基板出入口12を通して第1個別乾燥室11 から搬出された後、同じく開いた状態にあるガラス基板出入口12を通して第2個別乾燥部12 内まで搬送される。ここでも、第2個別乾燥室12 内において前述のような未乾燥ガラス基板14の乾燥が実行され、再び所定時間が経過すると、第2個別乾燥室12 内の乾燥動作が停止される。次いで、未乾燥ガラス基板14は、搬送部により、開いた状態にあるガラス基板出入口12を通して第2個別乾燥室12 から搬出された後、同じく開いた状態にあるガラス基板出入口12を通して第3個別乾燥部13内まで搬送される。このときも、第3個別乾燥室13 内において前述のような未乾燥ガラス基板14の乾燥が実行され、3度所定時間が経過して、未乾燥ガラス基板14が乾燥がすると、第2個別乾燥室13 内の乾燥動作が停止される。続いて、乾燥されたガラス基板14は、搬送部により、開いた状態にあるガラス基板出入口12を通して第3個別乾燥室13 から搬出され、次工程のフィルタ膜仮硬化工程に搬送される。

0036

さらに、図4は、第1実施例及び第2実施例に用いられる排気ファン10の回転数を自動制御するファン制御部11を含む給排気制御系の構成の第1例を示すブロック構成図である。

0037

図4において、16はシーケンサ、17はファンドライバー、181 乃至18n は速度設定器、191 乃至19n はリレー、201 乃至20n はリレー接点であり、その他、図1及び図2に図示された構成要素と同じ構成要素については同じ符号を付けている。

0038

ここで、シーケンサ16は、搬送部(図示なし)の近くに配置され、フィルタ基板乾燥装置に搬送される前に、搬送部で搬送されてきた未乾燥ガラス基板のフィルタ品種の判別を行うもので、複数(n)個の出力端16O1乃至16Onと1個の共通端16C とを備えている。また、3個の制御端17S1乃至17S3及び2個の出力端17O1、17O2とを備えるファン制御部11(図4における一点鎖線によって囲まれた部分)は、ファンドライバー17と、複数(n)個の速度設定器181 乃至18n と、それぞれ2つづつのリレー接点201 乃至20n を有する複数(n)個のリレー191 乃至19n とからなっている。

0039

そして、シーケンサ16のn個の出力端16O1乃至16Onと1個の共通端16C との間に各別にn個のリレー191 乃至19n がそれぞれ接続され、ファンドライバー17の2つの出力端17O1、17O2に排気ファン10が接続される。ファンドライバー17の1つの制御端17S1は、n個のリレー191 乃至19n の1方のリレー接点201 乃至20n を介してn個の速度設定器181 乃至18nの1つの端子に、ファンドライバー17の他の1つの制御端17S2は、n個のリレー191 乃至19n の他方のリレー接点201 乃至20n を介してn個の速度設定器181 乃至18n の他の1つの端子に、ファンドライバー17の残りの制御端17S3は、直接、n個の速度設定器181 乃至18n の残りの端子にそれぞれ接続される。この場合、n個の速度設定器181 乃至18n は、ファンドライバー17を介して排気ファン10を駆動したときに、その回転数を設定するもので、排気ファン10の回転数は、未乾燥ガラス基板のフィルタ品種に対応してn個の速度設定器181 乃至18n 別にそれぞれ異なる回転数になるように、n個の速度設定器181 乃至18n の設定値が定められている。

0040

前記構成による第1例のファン制御部11を含む給排気制御系は、次のように動作する。

0041

搬送部によって搬送されてきた未乾燥ガラス基板は、シーケンサ16によってフィルタ品種が判別され、シーケンサ16からフィルタ品種の判別結果に対応した品種情報がn個の出力端16O1乃至16Onの中の1つ、例えば出力端16O1と共通端16C との間に発生する。この品種情報の発生により、出力端16O1に接続されたリレー191 が駆動され、その2つのリレー接点201 が閉じて速度設定器181 がファンドライバー17の3個の制御端17S1乃至17S3に接続される。ファンドライバー17は、2個の出力端17O1、17O2に駆動電力を発生し、2個の出力端17O1、17O2に接続されている排気ファン10を回転駆動させる。このとき、排気ファン10の回転数は、ファンドライバー17の3個の制御端17S1乃至17S3に接続されている速度設定器181 に予め設定されている速度設定値によって決まる。

0042

そして、排気ファン10が速度設定器181 で予設定された回転数で回転駆動されると、前述のように、図1に図示の第1実施例における乾燥室1または図3に図示の第2実施例における第1乃至第3個別乾燥室11 乃至13 の給排気が行われる場合、未乾燥ガラス基板のフィルタ品種に対応した給排気量が選択され、未乾燥ガラス基板が有効的に乾燥されるようになる。

0043

この場合、排気ファン10の回転駆動の開始時点は、搬送部によって搬送されてきた未乾燥ガラス基板が乾燥室1(図1に図示の第1実施例の場合)内または第1乃至第3個別乾燥室11 乃至13 (図3に図示の第2実施例の場合)内に取り入れられた後になる。

0044

次に、搬送部によって搬送されてきた未乾燥ガラス基板のフィルタ品種をシーケンサ16によって判別しているとき、それまでのフィルタ品種と異なるフィルタ品種であると判別すると、シーケンサ16から新たなフィルタ品種の判別結果に対応した新たな品種情報がn個の出力端16O1乃至16Onの中の1つ、例えば出力端16Onと共通端16C との間に発生する。この新たな品種情報の発生によって、今度は出力端16Onに接続されたリレー19n が駆動され、その2つのリレー接点20n が閉じて速度設定器18n がファンドライバー17の3個の制御端17S1乃至17S3に接続される。ファンドライバー17は、前の場合と同様に、2個の出力端17O1、17O2に駆動電力を発生し、2個の出力端17O1、17O2に接続されている排気ファン10を回転駆動させる。このときの排気ファン10の回転数は、ファンドライバー17の3個の制御端17S1乃至17S3に接続されている速度設定器18n に予め設定されている速度設定値によって決まり、乾燥室1(図1に図示の第1実施例の場合)または第1乃至第3個別乾燥室11 乃至13 (図3に図示の第2実施例の場合)の給排気量は、未乾燥ガラス基板のフィルタ品種に対応したものになる。

0045

以下、搬送部によって搬送されてきた未乾燥ガラス基板のフィルタ品種が変わるたび毎に、シーケンサ16がそのフィルタ品種を判別し、シーケンサ16から新たな品種情報がn個の出力端16O1乃至16Onの中の1つと共通端16C との間に発生され、その後、前述の動作過程と同じ動作過程を経て、排気ファン10の駆動時の回転数が設定されるもので、それにより、未乾燥ガラス基板のフィルタ品種に対応した給排気量によって未乾燥ガラス基板の乾燥が有効的に実行される。

0046

続く、図5は、第1実施例及び第2実施例に用いられる排気ファン10の回転数を自動制御するファン制御部11を含む給排気制御系の構成の第2例を示すブロック構成図である。

0047

図5において、21はアナログ−デジタル変換部、22は可変速制御部(可変速制御ユニット)であり、その他、図1及び図2に図示された構成要素と同じ構成要素については同じ符号を付けている。

0048

シーケンサ16は、前述の給排気制御系の構成の第1例と同様に、搬送部(図示なし)の近くに配置され、フィルタ基板乾燥装置に搬送される前に、搬送部で搬送されてきた未乾燥ガラス基板のフィルタ品種の判別を行うもので、出力側にファン制御部11(図5における一点鎖線によって囲まれた部分)を構成するアナログ−デジタル変換部21が結合されている。また、ファン制御部11は、1個の制御端22S と2個の出力端22O1、22O2を備えた可変速制御部22を含み、アナログ−デジタル変換部21の出力端(図番なし)が可変速制御部22の制御端22S に接続され、可変速制御部22の出力端22O1、22O2に排気ファン10が接続されている。この場合、可変速制御部22は、出力端22O1、22O2に接続された排気ファン10を回転駆動する際に、排気ファン10の回転数は、未乾燥ガラス基板のフィルタ品種に対応して変化するアナログ−デジタル変換部21からのデジタル出力に対応して、連続的に変化するように設定される。

0049

前記構成による第2例のファン制御部11を含む給排気制御系は、次のように動作する。

0050

搬送部によって搬送されてきた未乾燥ガラス基板は、シーケンサ16によってフィルタ品種が判別され、シーケンサ16からフィルタ品種の判別結果に対応した品種情報がアナログ−デジタル変換部21に供給され、アナログ−デジタル変換部21から品種情報に対応したデジタル出力が発生され、可変速制御部22に供給される。可変速制御部22は、制御端22S に供給されたデジタル出力に応答して出力端22O1、22O2に駆動電力を発生し、2個の出力端17O1、17O2に接続されている排気ファン10を回転駆動させる。このとき、排気ファン10の回転数は、シーケンサ16から出力される品種情報、即ち、アナログ−デジタル変換部21から出力されるデジタル出力によって決まる。

0051

そして、排気ファン10がアナログ−デジタル変換部21から出力されるデジタル出力に対応した回転数で回転駆動されると、前述のように、図1に図示の第1実施例における乾燥室1または図3に図示の第2実施例における第1乃至第3個別乾燥室11 乃至13 の給排気を行う場合に、未乾燥ガラス基板のフィルタ品種に対応した給排気量が選択され、未乾燥ガラス基板が有効的に乾燥されるようになる。

0052

この場合においても、排気ファン10の回転駆動の開始時点は、搬送部によって搬送されてきた未乾燥ガラス基板が乾燥室1(図1に図示の第1実施例の場合)内または第1乃至第3個別乾燥室11 乃至13 (図3に図示の第2実施例の場合)内に取り入れられた後になる。

0053

次に、搬送部によって搬送されてきた未乾燥ガラス基板のフィルタ品種をシーケンサ16により判別しているとき、それまでのフィルタ品種と異なるフィルタ品種であると判別すると、シーケンサ16から新たなフィルタ品種の判別結果に対応した新たな品種情報を発生し、アナログ−デジタル変換部21に供給する。このとき、アナログ−デジタル変換部21は、新たな品種情報に対応したデジタル出力を可変速制御部22に供給し、それにより、可変速制御部22は、前の場合と同様に、2個の出力端22O1、22O2に駆動電力を発生し、2個の出力端22O1、22O2に接続されている排気ファン10を回転駆動させる。このときの排気ファン10の回転数は、シーケンサ16から出力される品種情報、即ち、アナログ−デジタル変換部21から出力されるデジタル出力によって決まり、乾燥室1(図1に図示の第1実施例の場合)または第1乃至第3個別乾燥室11 乃至13 (図3に図示の第2実施例の場合)の給排気量は、未乾燥ガラス基板のフィルタ品種に対応したものになる。

0054

以下、搬送部によって搬送されてきた未乾燥ガラス基板のフィルタ品種が変わるたび毎に、シーケンサ16がそのフィルタ品種を判別し、シーケンサ16から新たな品種情報がアナログ−デジタル変換部21に供給され、その後、前述の動作過程と同じ動作過程を経て、排気ファン10の駆動時の回転数が設定されるもので、かかる動作によって、未乾燥ガラス基板のフィルタ品種に対応した給排気量によって未乾燥ガラス基板の乾燥が有効的に実行される。

0055

このように、前記第1実施例及び第2実施例によれば、未乾燥フィルタ基板をフィルタ基板乾燥装置で乾燥する場合に、未乾燥フィルタ基板をシーケンサ16に通して、シーケンサ16からフィルタ品種に対応した品種情報を発生させ、この品種情報をファン制御部11に供給して排気ファン10の回転数を制御し、乾燥室1、11 乃至13 を流れる空気流の給排気量を、乾燥させる未乾燥フィルタ基板のフィルタ品種に対応して自動的に制御調整しているので、未乾燥フィルタ基板のフィルタ品種が変わるたび毎に、いちいちそれぞれの排気管分岐7に配置されているダンパー9を手動で調整する必要がなくなり、給排気量の制御調整を行うために、多くの時間や手間を要しなくなる。

0056

なお、前記第1及び第2実施例においては、フィルタ基板がガラス基板である場合を例に挙げて説明したが、本発明で対象とするフィルタ基板はガラス基板に限られるものでなく、耐熱絶縁特性の良好な材料であれば、ガラス以外の材料からなる基板であってもよいことは勿論である。

発明の効果

0057

以上のように、本発明によれば、未乾燥フィルタ基板をフィルタ基板乾燥装置で乾燥する場合に、未乾燥フィルタ基板をシーケンサに通すことによって、シーケンサからフィルタ品種に対応した品種情報を発生し、この品種情報をファン制御部に供給して排気ファンの回転数を制御し、乾燥室を流れる空気流の給排気量を、乾燥させる未乾燥フィルタ基板のフィルタ品種に対応して自動的に制御調整するようにしているので、未乾燥フィルタ基板のフィルタ品種が変わるたび毎に、いちいちそれぞれの排気管分岐に配置されているダンパーを手動で調整する必要がなく、給排気量の制御調整を行うために、多くの時間や手間を要することがなくなるという効果がある。

図面の簡単な説明

0058

図1本発明に係わるフィルタ基板乾燥装置の第1実施例の構成を示す展開斜視図である。
図2図1に図示された第1実施例のフィルタ基板乾燥装置において給排気部のみを示す斜視図である。
図3本発明に係わるフィルタ基板乾燥装置の第2実施例の要部構成を示す断面図であっ
図4第1実施例及び第2実施例に用いられる排気ファンの回転数を自動制御するファン制御部を含む給排気制御系の構成の第1例を示すブロック構成図である。
図5第1実施例及び第2実施例に用いられる排気ファンの回転数を自動制御するファン制御部を含む給排気制御系の構成の第2例を示すブロック構成図である。
図6既知のフィルタ基板乾燥装置の概略の構成を示す断面図である。

--

0059

1乾燥部
11 第1個別乾燥部
12 第2個別乾燥部
13 第3個別乾燥部
2 空気取入口
3 上側スリット
41 、42排気ダクト
5結合孔
6 下側スリット
7排気管分岐
8 排気管
9ダンパー
10排気ファン
11ファン制御部
12ガラス基板出入口
13出入口扉
14 未乾燥ガラス(フィルタ)基板
15 ガラス基板支持ピン
16シーケンサ
17ファンドライバー
181 〜18n速度設定器
191 〜19nリレー
201 〜20nリレー接点
21アナログ−デジタル変換部
22可変速制御部(可変速制御ユニット)

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