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技術 電子基板搬送用コンテナ

出願人 ソニー株式会社
発明者 嵯峨幸一郎
出願日 1996年12月18日 (23年4ヶ月経過) 出願番号 1996-338223
公開日 1998年6月30日 (21年10ヶ月経過) 公開番号 1998-175695
状態 拒絶査定
技術分野 脆弱物品の包装 物理蒸着
主要キーワード 脱ガス性 搬送用コンテナ 固定動作 製造工程間 気密保持 表面吸着 昇温脱離 電子基板
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(1998年6月30日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (6)

課題

蝶番をも含め、コンテナ全体を脱ガスが生じない材料で形成することによって、収納された電子基板に対する有機物汚染防止の向上を図った電子基板搬送用コンテナを提供する。

解決手段

ウエハコンテナ1を、ウエハ100がセットされたカセット200を収納するコンテナ本体2と、シール部材31を有しコンテナ本体2の開口部22に装着可能な蓋部材3と、ウエハ100を固定するためのロッド4と、ロッド4を保持する蝶番5とで構成し、コンテナ本体2と蓋部材3とロッド4とをアルミニウムステンレスなどの金属材料で形成する共にシール部材31をフッ素系樹脂で形成した。そして、蝶番5をもコンテナ本体2などと同様にアルミニウムやステンレスなどの金属材料で形成した。

概要

背景

従来、この種の電子基板搬送用コンテナとしては、ウエハコンテナがある。半導体製造工程では、ウエハをウエハコンテナに収納して工程間を移動させる。すなわち、ウエハをカセットにセットし、内部が気密に保たれたウエハコンテナ内にこのウエハをカセットと共に収納して、ウエハコンテナを製造工程間で移動させる。このようなウエハコンテナは、カセットを出し入れするための開口部を有したコンテナ本体と、気密保持用のシール部材が取り付けられた蓋部材と、収納したウエハを固定するためのロッドと、コンテナ本体内に取り付けられ、ロッドを保持する蝶番とで構成されている。このウエハコンテナは、上記のように内部が気密に保持されており、塵埃が無い環境が作られている。しかし、ディバイス高密度化高集積化に伴い、ウエハコンテナを構成する部材からの脱ガスによる有機物汚染がウエハに悪影響を及ぼすようになってきた。すなわち、ウエハコンテナでは、コンテナ本体など、ウエハコンテナを構成する部材が、ポリエチレンポリプロピレンポリカーボネート樹脂のいずれかで形成されており、これらの材料に含まれる添加剤が脱ガスとして大量に放出され、収納中のウエハに付着して汚染するのである。そこで、近年では、構成部材を、脱ガスが生じない金属製やフッ素系樹脂にしたウエハコンテナが考案されている。

概要

蝶番をも含め、コンテナ全体を脱ガスが生じない材料で形成することによって、収納された電子基板に対する有機物汚染防止の向上を図った電子基板搬送用コンテナを提供する。

ウエハコンテナ1を、ウエハ100がセットされたカセット200を収納するコンテナ本体2と、シール部材31を有しコンテナ本体2の開口部22に装着可能な蓋部材3と、ウエハ100を固定するためのロッド4と、ロッド4を保持する蝶番5とで構成し、コンテナ本体2と蓋部材3とロッド4とをアルミニウムステンレスなどの金属材料で形成する共にシール部材31をフッ素系樹脂で形成した。そして、蝶番5をもコンテナ本体2などと同様にアルミニウムやステンレスなどの金属材料で形成した。

目的

この発明は上述した課題を解決するためになされたもので、蝶番をも含め、コンテナ全体を脱ガスが生じない材料で形成することによって、収納された電子基板に対する有機物汚染防止の向上を図った電子基板搬送用コンテナを提供することを目的としている。

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
4件

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請求項1

周壁部,天壁部,及び電子基板がセットされたカセット出し入れするための開口部を有したコンテナ本体と、上記コンテナ本体の開口部に気密に装着可能な蓋部材と、上記電気基板を固定するためのロッドと、一方の羽根部が上記コンテナ本体の周壁部に取り付けられ且つ他方の羽根部が上記ロッドに取り付けられ、これら羽根部の開閉によって上記ロッドの上記電子基板に対する固定動作及び固定解除動作が可能な蝶番とを具備し、上記コンテナ本体と蓋部材とロッドとが脱ガスを生じない材料で形成された電子基板搬送用コンテナにおいて、上記蝶番をも、上記脱ガスを生じない材料で形成した、ことを特徴とする電子基板搬送用コンテナ。

請求項2

請求項1に記載の電子基板搬送用コンテナにおいて、上記脱ガスを生じない材料は、金属である、ことを特徴とする電子基板搬送用コンテナ。

請求項3

請求項1に記載の電子基板搬送用コンテナにおいて、上記脱ガスを生じない材料は、フッ素系樹脂ポリエーテルエーテルケトンポリフェニレンサルファイド,及びアクリロニトリルブタジエンスチレン共重合ポリマーにうちいずれかである、ことを特徴とする電子基板搬送用コンテナ。

技術分野

0001

この発明は、半導体ウエハなどの電子基板汚染することなく保管及び搬送可能な電子基板搬送用コンテナに関する。

背景技術

0002

従来、この種の電子基板搬送用コンテナとしては、ウエハコンテナがある。半導体製造工程では、ウエハをウエハコンテナに収納して工程間を移動させる。すなわち、ウエハをカセットにセットし、内部が気密に保たれたウエハコンテナ内にこのウエハをカセットと共に収納して、ウエハコンテナを製造工程間で移動させる。このようなウエハコンテナは、カセットを出し入れするための開口部を有したコンテナ本体と、気密保持用のシール部材が取り付けられた蓋部材と、収納したウエハを固定するためのロッドと、コンテナ本体内に取り付けられ、ロッドを保持する蝶番とで構成されている。このウエハコンテナは、上記のように内部が気密に保持されており、塵埃が無い環境が作られている。しかし、ディバイス高密度化高集積化に伴い、ウエハコンテナを構成する部材からの脱ガスによる有機物汚染がウエハに悪影響を及ぼすようになってきた。すなわち、ウエハコンテナでは、コンテナ本体など、ウエハコンテナを構成する部材が、ポリエチレンポリプロピレンポリカーボネート樹脂のいずれかで形成されており、これらの材料に含まれる添加剤が脱ガスとして大量に放出され、収納中のウエハに付着して汚染するのである。そこで、近年では、構成部材を、脱ガスが生じない金属製やフッ素系樹脂にしたウエハコンテナが考案されている。

発明が解決しようとする課題

0003

しかし、上記したウエハコンテナでは、全ての構成部材について脱ガス対策が採れていなかった。すなわち、コンテナ本体,シール部材,蓋部材,ロッドに対しては、金属やフッ素系樹脂を用いていたが、蝶番に対しては、ポリカーボネートなどの脱ガスが多いプラスチックが使用されていた。このため、蝶番から放出される可塑剤酸化防止剤紫外線吸収剤などの添加物がウエハコンテナに収納されているウエハに多量に付着し、ウエハコンテナの大部分に脱ガス対策を施しているにもかかわらず、その効果は少なかった。

0004

この発明は上述した課題を解決するためになされたもので、蝶番をも含め、コンテナ全体を脱ガスが生じない材料で形成することによって、収納された電子基板に対する有機物汚染防止の向上を図った電子基板搬送用コンテナを提供することを目的としている。

課題を解決するための手段

0005

上記課題を解決するために、この発明は、周壁部,天壁部,及び電子基板がセットされたカセットを出し入れするための開口部を有したコンテナ本体と、上記コンテナ本体の開口部に気密に装着可能な蓋部材と、上記電気基板を固定するためのロッドと、一方の羽根部が上記コンテナ本体の周壁部に取り付けられ且つ他方の羽根部が上記ロッドに取り付けられ、これら羽根部の開閉によって上記ロッドの上記電子基板に対する固定動作及び固定解除動作が可能な蝶番とを具備し、上記コンテナ本体と蓋部材とロッドとが脱ガスを生じない材料で形成された電子基板搬送用コンテナにおいて、上記蝶番をも、上記脱ガスを生じない材料で形成した構成としてある。かかる構成により、電子基板がセットされたカセットを開口部からコンテナ本体に入れ、蝶番を操作してロッドにより電子基板を固定し、この状態で、開口部に蓋部材を装着すると、コンテナ本体内が気密に保たれる。これにより、コンテナ本体内への塵埃の侵入を防止することができる。また、蝶番を含め、コンテナ全体が脱ガスを生じない材料で形成されているので、各部材から放出された有機物が電子基板に付着するという事態も生じない。

発明を実施するための最良の形態

0006

以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、この発明の一実施例に係る電子基板搬送用コンテナを示す断面図である。この実施形態の電子基板搬送用コンテナは、ウエハコンテナであり、図1に示すように、ウエハ100をセットしたカセット200を収納するためのものである。このウエハコンテナ1は、コンテナ本体2と蓋部材3とロッド4と蝶番5とを具備している。

0007

コンテナ本体2は、周壁部20と天壁部21と開口部22とで構成されており、開口部22には、突起23を有したフランジ状の蓋取付部24が形成されている。このようなコンテナ本体2は、アルミニウムステンレスなどの金属材料一体形成されている。蓋部材3は、その上面周縁部に凹部30を有しており、この凹部30内には、シール部材31が嵌め込まれている。そして、蓋部材3自体は、コンテナ本体2と同様にアルミニウムやステンレスなどの金属材料で形成されており、シール部材31は、高いガスバリア性及び少脱ガス性シリコーンゴムフッ素系ゴムで形成されている。ロッド4は、ウエハ100を固定するための部材で、コンテナ本体2の内部に蝶番5を介して取り付けられており、蓋部材3と垂直状態を維持する。このロッド4もコンテナ本体2及び蓋部材3と同様にアルミニウムやステンレスなどの金属材料で形成されている。

0008

蝶番5は、ロッド4を保持するための部材であり、ロッド4とコンテナ本体2の周壁部20との間に介設されている。図2は、蝶番5の取り付け状態を示す断面図である。図2に示すように、蝶番5は、軸50に回転自在に取り付けられた一対の羽根部51,52でなる。羽根部51は、ロッド4に当接された状態で、ビス53にてロッド4に固定されており、一方、羽根部52は、コンテナ本体2に固着された支軸54に回動自在に取り付けられている。これら軸50,一対の羽根部51,52,ビス53,及び支軸54も、コンテナ本体2,蓋部材3,及びロッド4と同様にアルミニウムやステンレスなどの金属材料で形成されている。

0009

次に、この実施形態のウエハコンテナ1の使用例について説明する。まず、図1二点鎖線で示すように、蓋部材3を取り外し、ウエハ100をセットしたカセット200を開口部22からコンテナ本体2内部に収納する。そして、この状態で、ロッド4を操作し、ウエハ100を固定する。図3は、ロッド4の操作を示す断面図である。図3の(a)に示すように、カセット200の収納時には、蝶番5の羽根部51,52を開いて、ロッド4をコンテナ本体2側に近づけておく。そして、カセット200の収納後、図3の(b)に示すように、蝶番5の羽根部51,52が閉じる方向にロッド4を持ち上げ、ロッド4をウエハ100の周端に当接する。これにより、ウエハ100が、当接したロッド4によって固定され、搬送中の脱落が防止される。しかる後、図1実線で示すように、突起23をシール部材31に圧入するようにして、蓋部材3を蓋取付部24に装着する。このように蓋部材3を蓋取付部24に装着すると、シール部材31が高いガスバリア性のシリコーンゴムやフッ素系ゴムで形成されているので、コンテナ本体2がシール部材31によって気密に保たれ、塵埃がコンテナ本体2内部に侵入することはない。また、コンテナ本体2と蓋部材3とロッド4とがアルミニウムやステンレスなどの金属材料で形成されていると共に、シール部材31が少脱ガス性のシリコーンゴムやフッ素系ゴムで形成されているので、従来のウエハコンテナのように、これらから添加物などの脱ガスが放出されることはない。しかも、蝶番5を構成する軸50,一対の羽根部51,52,ビス53,及び支軸54も、コンテナ本体2,蓋部材3,及びロッド4と同様にアルミニウムやステンレスなどの金属材料で形成されているので、ウエハコンテナ1を構成する部材のいずれからも脱ガスの放出はなく、搬送中に有機物がウエハ100に付着するという事態が防止される。

0010

このウエハコンテナ1にウエハ100を収納したときの有機物汚染に対する防止性能を確認すべく、昇温脱離ガスクロマトグラフィ質量分光装置によって、従来のウエハコンテナに収納したウエハとこの実施形態のウエハコンテナに収納したウエハとに付着する有機物を分析した。図4は従来のウエハコンテナに1週間保管したシリコンウエハ表面吸着有機物のガスクロマトグラムであり、図5はこの実施形態のウエハコンテナに1週間保管したシリコンウエハの表面吸着有機物のガスクロマトグラムである。図4に示すように、従来のウエハコンテナでは、収納したウエハからプラスチックの可塑剤DBP(フタル酸ジブチル)300が多量に検出されただけでなく、この分解物である無水フタル酸301やブタノール302等の有機物も多量に検出された。これに対して、この実施形態のウエハコンテナでは、図5に示すように、収納したウエハからは、有機物がほとんど検出されなかった。この検出結果が証明するように、この実施形態のよれば、搬送中や保管中にウエハが有機物汚染されることはほとんどなく、この結果、汚染防止についての信頼性が高いウエハコンテナを提供することができる。

0011

なお、この発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変形や変更が可能である。例えば、上記実施形態では、コンテナ本体2,蓋部材3,ロッド4,蝶番5をアルミニウムやステンレスなどの金属材料で形成したが、この材料に限らない。すなわち、これらの部材が脱ガスを生じない材料で形成されていれば良く、フッ素系樹脂,ポリエーテルエーテルケトンポリフェニレンサルファイド,及びアクリロニトリルブタジエンスチレン共重合ポリマーにうちいずれかを用いても同様の効果を達成することができる。

発明の効果

0012

以上詳しく説明したように、この発明の電子基板搬送用コンテナによれば、蝶番をも含め、コンテナ全体を脱ガスが生じない材料で形成し、収納された電子基板への有機物の付着を防止する構成としたので、搬送中や保管中に収納された電子基板が有機物によって汚染されることはなく、この結果、汚染防止についての信頼性が高い電子基板搬送用コンテナを提供することができるという優れた効果がある。

図面の簡単な説明

0013

図1この発明の一実施例に係る電子基板搬送用コンテナを示す断面図である。
図2蝶番の取り付け状態を示す断面図である。
図3ロッドの操作を示す断面図である。
図4従来のウエハコンテナに1週間保管したシリコンウエハの表面吸着有機物のガスクロマトグラムである。
図5この実施形態のウエハコンテナに1週間保管したシリコンウエハの表面吸着有機物のガスクロマトグラムである。

--

0014

1・・・ウエハコンテナ、 2・・・コンテナ本体、 3・・・蓋部材、 4・・・ロッド、 5・・・蝶番、 20・・・周壁部、 21・・・天壁部、22・・・開口部、 24・・・蓋取付部、 100・・・ウエハ、 200・・・カセット。

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