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技術 耐静電顕微鏡

出願人 ライカインク.
発明者 メイヤー、ヘンリーエー.、ジュニア.ヴァッカレリー、ヴィンセント
出願日 1994年12月5日 (26年11ヶ月経過) 出願番号 1995-519019
公開日 1997年6月30日 (24年4ヶ月経過) 公開番号 1997-506719
状態 特許登録済
技術分野 顕微鏡、コンデンサー
主要キーワード 耐静電性 静電蓄積 消散特性 静電フィルム エレクトラ プラスチック構成要素 ズームノブ 半導体構成要素
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この項目の情報は公開日時点(1997年6月30日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

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課題・解決手段

ノブカバー、及び接眼レンズリングのようなプラスチック構成要素を有する顕微鏡は、従来のプラスチックの代わりに静電荷消散プラスチック材料を用いることによって、耐静電性を提供される。このような耐静電顕微鏡は、静電荷への暴露により容易に損傷する半導体の製造及び検査において、特に有用である。

概要

背景

概要

ノブカバー、及び接眼レンズリングのようなプラスチック構成要素を有する顕微鏡は、従来のプラスチックの代わりに静電荷消散プラスチック材料を用いることによって、耐静電性を提供される。このような耐静電顕微鏡は、静電荷への暴露により容易に損傷する半導体の製造及び検査において、特に有用である。

目的

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
2件

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請求項1

静電荷による損傷に敏感な構成要素を検査するために用いられ、静電荷を蓄積することができるプラスチック部材に接続された導電材を有する顕微鏡であって、前記プラスチック材料として静電荷を消散するプラスチック部材を含み静電荷が前記導電材を通して迅速に消散されることを特徴とする顕微鏡。

請求項2

前記導電材が金属であることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。

請求項3

前記プラスチック部材が導電性充填材を含むことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。

請求項4

前記充填材カーボンであることを特徴とする請求項3に記載の顕微鏡。

請求項5

前記充填材が金属であることを特徴とする請求項3に記載の顕微鏡。

請求項6

前記プラスチック部材が、静電非消散ポリマーと静電消散ポリマーとを含むことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。

請求項7

前記プラスチック部材が、ABSポリマーと該ポリマー内に分散された固有消散性(導電性)ポリマーとを含むことを特徴とする請求項6に記載の顕微鏡。

請求項8

前記固有消散性ポリマーがスタットライトC2300IDP(Stat-Rite C2300 IDP)であることを特徴とする請求項7に記載の顕微鏡。

請求項9

前記プラスチック部材がエレクトラフィルABS−1200/SD(Electrafil ABS-1200/SD)を含むことを特徴とする請求項7に記載の顕微鏡。

請求項10

前記プラスチック部材が、本体カバー同軸カバー調整ノブ、又は調整リングであることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。

請求項11

前記プラスチック部材が静電非消散ポリマーと静電消散ポリマーとを含むことを特徴とする請求項10に記載の顕微鏡。

請求項12

前記プラスチック部材が複数存在することを特徴とする請求項11に記載の顕微鏡。

請求項13

前記プラスチック部材の相対湿度15%における5000から0ボルトへの静電減少速度が、10秒未満であることを特徴とする請求項12に記載の顕微鏡。

請求項14

前記複数のプラスチック部材の各々がエレクトラフィルABS−1200/SD(Electrafil ABS-1200/SD)を含むことを特徴とする請求項12に記載の顕微鏡。

背景技術

0001

発明の名称
本発明は、顕微鏡、特に静電荷消散することができるプラスチックの構成要
素を有する顕微鏡に関する。

0002

従来の、1987年9月1日に発行された米国特許第4,690,519号に教示され
るような立体顕微鏡や、米国特許第4,573,771号に教示されるような複合コン
パウンドcompound)顕微鏡は半導体構成要素の製造及び検査に用いられる。こ
のような顕微鏡の初期の例は、光学的構成要素を除いて金属で製造されていたが
、工業は、このような顕微鏡において一般に用いられていた構成要素の多くをプ
ラスチックに置き換えてきた。このような構成要素の典型的な例は、焦点調節
ブ、ズームノブ接眼レンズ調整リング、及び本体のカバーの他、双眼アセン
リーのためのカバーであり、現在ではその全てがプラスチックを用いて製造され
る。しかしながら、様々の製造者により、及び一人の製造者によってでさえ、多
数の種々のプラスチックが現在用いられているが、これらのプラスチックは、静
電荷
消散することができるという利点が欠如しており、このような電荷に曝される結
果として、半導体装置及びこのような装置のための構成要素を、永久的に損傷し
たり、又は使用できなくなったりする危険に晒す。半導体装置及びそのための構
成要素は、例えば、検査のために顕微鏡の台の上に置く時に、このような電荷に
曝される。本書面で用いられるものにおいて、顕微鏡という言葉は、複合顕微鏡
又は立体顕微鏡のいずれかのスタンド及び焦点調節メカニズムを含むものとする

0003

1986年10月21日に発行された米国特許第4,618,222号は、顕微鏡と検
査されるべき対象物を支持するための台との間に置かれる保護カバーを開示する
。該特許は、静電荷によるその構成要素への損傷を防止するために、前記プラス
チックに適用されるべき耐静電フィルムの必要性を教示する。該フィルムは、そ
の後接地される。
発明の概要

0004

本発明は、静電荷消散プラスチックから製造される、静電荷を蓄積することが
可能な少なくとも一つのプラスチック部材を有する耐静電(ないし耐帯電性)顕
微鏡に関する。好ましくは、前記プラスチックは、相対湿度15%(rh)の環
境において、10秒未満で、5000ボルトの電荷を0ボルトに消散ものとする
。前記電荷は、前記顕微鏡の一つ以上の金属部分を通してアースに消散される。

0005

多数のプラスチック材料は、静電荷を消散することが可能である。これらの材
料は従来、カーボン若しくはカーボンファイバー、又は粉末状の金属のような導
電性充填材を用いることにより、更には導電性ポリマーとの組合せによって形成
される。金属又はカーボンのような導電性充填材を有するプラスチックは周知で
あり、更に説明する必要はないが、静電消散特性を提供するために導電性ポリマ
ーを用いるプラスチックは比較的新しい。静電消散特性を有するポリマーの一例
は、ビー・エフグッドリッチカンパニー(B.F.Goodrich Company)から市販さ
れているスタットライト(Stat-Rite商標名)静電消散ポリマーとして知られる
群であり、これらは、アクリロニトリルブタジエンスチレン(ABS)、ポ
リカーボネート、ポリスチレン、及び修飾ポリフェニレンオキシドポリマーと共
に使用するのに適する。静電消散アロイないしブレンド(static dissipating a
lloys)のエレクトラフィル(Electrafil商標名)群は、スタットライトポリマ
ーを用いた静電消散を提供する静電蓄積材料の一例である。静電消散サーモプラ
スチックのエレクトラフィルABSシリーズは、インディアナ州エバンスビル
Evansville,Indiana)に位置したウエストミルロード2
267(2267 West Mill Road)のDSMエンジニアリングプラスチックス(DSM
Engineering Plastics)から市販されている。これらのプラスチックは、静電
荷の蓄積に抗すると共に、いずれの蓄積した電荷を迅速に消散するという付加的
な利点を有する。
好適な実施形態の説明

0006

米国特許第4,690,519号に教示されるものに類似した立体顕微鏡のズーム調節
ノブ、接眼レンズ焦点調節リング本体カバー、及び双眼カバー、並びに米国特
許第4,729,646号に教示されるものに類似したスタンドの焦点調節ノブを、DS
Mエンジニアリングプラスチックスから得たエレクトラフィルABS−1200
/SDプラスチックを用いて、射出成形した。顕微鏡のこれらのプラスチック部
材の相対湿度15%における5000ボルトから0ボルトへの静電(減少)速度
(static rate)は、連邦検査基準101℃方法46(Federal Test Standard 1
01℃ method 46)を用いて2秒未満であった。焦点調節ノブに蓄積された電荷は
、金属の焦点調節シャフトを通して接地した金属のスタンドへ消散される。本体
カバーに蓄積された電荷は、顕微鏡を支持する接地された金属のスタンドへ直接
消散される。双眼カバー及び接眼レンズ焦点調節リングに蓄積された電荷は、金
属の顕微鏡フレーム及び本体カバーを通して接地された金属スタンドへ消散され
る。

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