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技術 洗浄装置及びその方法

出願人 昭和電線ホールディングス株式会社日立造船株式会社
発明者 市川昌宏木田俊雄岩田俊光深堀純一森正裕臼井由紀小野寺和人村井健二木場和則三宅一幸村山智正
出願日 1996年2月16日 (24年10ヶ月経過) 出願番号 1996-029042
公開日 1997年8月26日 (23年3ヶ月経過) 公開番号 1997-220542
状態 特許登録済
技術分野 液体または蒸気による洗浄
主要キーワード 脱着位置 歯車類 機械工 再処理装置 攪拌用ファン 気泡放出 油分濃度計 非分散赤外線
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(1997年8月26日)のものです。
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図面 (4)

課題

被洗浄物洗浄を短時間で行ない、而も簡便な機構で達成する。

解決手段

洗浄液52が貯留された第1の洗浄部2の洗浄槽4において、芯軸50が所定間隔複数収納された搬送51を第1の上下揺動手段5によって洗浄液52及び大気間で上下揺動させ、さらに洗浄槽4で洗浄された芯軸50が納置される搬送籠51を洗浄液52が貯留された第2の洗浄部3の洗浄槽8に移動させ、この第2の洗浄部3の洗浄槽8において、搬送籠51を第2の上下揺動手段9によって洗浄液52及び大気間で上下揺動させ、且つ洗浄槽8から引き上げられた搬送籠51内の芯軸50を洗浄槽8内でシャワー洗浄する。洗浄液及び大気間で上下揺動させることにより、気液界面通過によるせん断力が発生し、このせん断力で芯軸を洗浄させることができるので、1回の上下揺動で芯軸全体を均一に洗浄することができ、而も短時間で芯軸の油分等の汚れを除去できる。

概要

背景

従来より、精密加工部品半導体、IC、レンズ医療器具など(以下、「被洗浄物」という。)の表面に付着した油分等を除去するためにフロンエタン塩化メチレン等の溶剤が用いられていたが、最近、環境問題等の理由によりこれら溶剤の代替として界面活性剤等の洗剤水溶液が用いられている。しかし、この洗剤水溶液の油分に対する溶解力はフロン、エタン、塩化メチレン等の溶剤と比較して劣っているので、超音波噴流、回転、揺動及び気泡放出などの物理的作用によって洗浄効果を高めている。

超音波洗浄は、超音波により洗浄液内に真空の空洞を発生させ、この空洞を加圧時の半周期の音波で押し潰して破裂させるキャビテーション効果を利用するものである。即ち、洗浄槽内洗浄液中に超音波を放射すると、液分子振動キャビテーションとにより、被洗浄物の表面に強固に付着している汚れ付着力を解きほぐす剥離作用、また洗浄液の化学作用を促進する相乗効果によって洗浄を行なうものである。

噴流洗浄は、洗浄槽内に吊着された被洗浄物に対して高圧の洗浄液を噴出ノズルから噴出させて洗浄面物理力を与えることによって洗浄を行なうものである。回転洗浄は、洗浄液が貯留された洗浄槽内においてバレル状の籠内に被洗浄物を入れて回転させることにより、物理力を籠内の被洗浄物に効率的に働かせることによって洗浄を行なうものである。

揺動洗浄は、洗浄液が貯留された洗浄槽内において被洗浄物を上下、左右等に揺動させることによって洗浄を行なうものである。この際、超音波を併用して波が均一に当るようにしている。気泡放出洗浄は、洗浄液が貯留された洗浄槽内において気泡を放出させ、また洗浄液の攪拌など2次的効果を利用することによって洗浄を行なうものである。

このような物理的作用による洗浄装置を単独ないし組合わせて用いることにより洗浄効果を促進させている。

概要

被洗浄物の洗浄を短時間で行ない、而も簡便な機構で達成する。

洗浄液52が貯留された第1の洗浄部2の洗浄槽4において、芯軸50が所定間隔複数収納された搬送51を第1の上下揺動手段5によって洗浄液52及び大気間で上下揺動させ、さらに洗浄槽4で洗浄された芯軸50が納置される搬送籠51を洗浄液52が貯留された第2の洗浄部3の洗浄槽8に移動させ、この第2の洗浄部3の洗浄槽8において、搬送籠51を第2の上下揺動手段9によって洗浄液52及び大気間で上下揺動させ、且つ洗浄槽8から引き上げられた搬送籠51内の芯軸50を洗浄槽8内でシャワー洗浄する。洗浄液及び大気間で上下揺動させることにより、気液界面通過によるせん断力が発生し、このせん断力で芯軸を洗浄させることができるので、1回の上下揺動で芯軸全体を均一に洗浄することができ、而も短時間で芯軸の油分等の汚れを除去できる。

目的

また、洗浄効果を促進させるために洗浄、乾燥の各工程の多槽化が進んでいるので、洗浄装置が大型化される傾向にある。本発明は、このような従来の難点を解決するためになされたもので、被洗浄物全体の洗浄を短時間で行なうことができ、而も簡便な機構で達成できる洗浄装置を提供することを目的とする。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
1件

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請求項1

被洗浄物収納させることができる搬送と、前記搬送籠に収納された前記被洗浄物を洗浄するための洗浄液貯留された洗浄槽と、前記被洗浄物を収納した前記搬送籠を前記洗浄液及び大気間で上下揺動させて気液界面を通過させる上下揺動手段とを備えたことを特徴とする洗浄装置

請求項2

前記洗浄液を前記洗浄槽内ジェット噴射させるジェット噴流手段を備えたことを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。

請求項3

前記洗浄液が貯留された前記洗浄槽の底部から気泡を放出させる気泡放出手段を備えたことを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。

請求項4

搬送籠に収納された被洗浄物を洗浄するための洗浄液が貯留された洗浄槽、前記被洗浄物を収納した前記搬送籠を前記洗浄液及び大気間で上下揺動させて気液界面を通過させる上下揺動手段、前記洗浄液を前記洗浄槽内にジェット噴射させるジェット噴流手段及び前記洗浄液が貯留された前記洗浄槽の底部から気泡を放出させる気泡放出手段を有する第1の洗浄部と、前記第1の洗浄部と同様の洗浄槽、上下揺動手段、ジェット噴流手段、気泡放出手段及び前記被洗浄物を洗浄後、前記搬送籠が引き上げられた時に前記被洗浄物をシャワー洗浄するシャワー洗浄手段を有する第2の洗浄部とからなることを特徴とする洗浄装置。

請求項5

前記上下揺動手段の上下揺動速度は5〜50m/minであることを特徴とする請求項1又は4記載の洗浄装置。

請求項6

前記洗浄液は水又は温水であることを特徴とする請求項1又は4記載の洗浄装置。

請求項7

前記水又は前記温水は防錆剤を含むことを特徴とする請求項5記載の洗浄装置。

請求項8

前記洗浄液を薬品処理して再生し再度前記洗浄槽内に循環させる洗浄液再処理装置を備えたことを特徴とする請求項1又は4記載の洗浄装置。

請求項9

洗浄液が貯留された第1の洗浄部の洗浄槽において、被洗浄物が収納された搬送籠を第1の上下揺動手段によって前記洗浄液及び大気間で複数回上下揺動させて気液界面を通過させ、さらに前記第1の洗浄部の洗浄槽で洗浄された前記被洗浄物が収納される前記搬送籠を前記洗浄液が貯留された第2の洗浄部の洗浄槽に移動させ、前記第2の洗浄部の前記洗浄槽において、前記搬送籠を第2の上下揺動手段によって前記洗浄液及び前記大気間で複数回上下揺動させて気液界面を通過させ、且つ前記第2の洗浄槽から引き上げられた前記搬送籠内の前記被洗浄物を前記第2の洗浄槽内でシャワー洗浄することを特徴とする洗浄方法

技術分野

0001

本発明は、機械工業、半導体工業等で使用される機能部品洗浄する洗浄装置及びその方法に係り、特に、機能部品に付着した油分、金属粉等を除去する洗浄装置及びその方法に関する。

背景技術

0002

従来より、精密加工部品半導体、IC、レンズ医療器具など(以下、「被洗浄物」という。)の表面に付着した油分等を除去するためにフロンエタン塩化メチレン等の溶剤が用いられていたが、最近、環境問題等の理由によりこれら溶剤の代替として界面活性剤等の洗剤水溶液が用いられている。しかし、この洗剤水溶液の油分に対する溶解力はフロン、エタン、塩化メチレン等の溶剤と比較して劣っているので、超音波噴流、回転、揺動及び気泡放出などの物理的作用によって洗浄効果を高めている。

0003

超音波洗浄は、超音波により洗浄液内に真空の空洞を発生させ、この空洞を加圧時の半周期の音波で押し潰して破裂させるキャビテーション効果を利用するものである。即ち、洗浄槽内洗浄液中に超音波を放射すると、液分子振動キャビテーションとにより、被洗浄物の表面に強固に付着している汚れ付着力を解きほぐす剥離作用、また洗浄液の化学作用を促進する相乗効果によって洗浄を行なうものである。

0004

噴流洗浄は、洗浄槽内に吊着された被洗浄物に対して高圧の洗浄液を噴出ノズルから噴出させて洗浄面物理力を与えることによって洗浄を行なうものである。回転洗浄は、洗浄液が貯留された洗浄槽内においてバレル状の籠内に被洗浄物を入れて回転させることにより、物理力を籠内の被洗浄物に効率的に働かせることによって洗浄を行なうものである。

0005

揺動洗浄は、洗浄液が貯留された洗浄槽内において被洗浄物を上下、左右等に揺動させることによって洗浄を行なうものである。この際、超音波を併用して波が均一に当るようにしている。気泡放出洗浄は、洗浄液が貯留された洗浄槽内において気泡を放出させ、また洗浄液の攪拌など2次的効果を利用することによって洗浄を行なうものである。

0006

このような物理的作用による洗浄装置を単独ないし組合わせて用いることにより洗浄効果を促進させている。

発明が解決しようとする課題

0007

しかしながら、超音波洗浄や噴流洗浄では被洗浄物の洗浄面に対して直進性があるので、超音波や噴流に対して陰になる部分に関しては洗浄効果が低くなっていた。したがって、洗浄効果が促進されるのは、被洗浄物の局所的な部分に限られることが多かった。このため、被洗浄物全体を満遍なく洗浄するためには、被洗浄物或いは噴流を噴出させる噴出ノズルの何れかを移動させなければならないので、被洗浄物の形状や大きさによって洗浄時間が長くなっていた。

0008

また、回転洗浄においても物理力が作用する方向が回転の外側方向に限られるので、陰になる部分に関しては洗浄効果が低くなっていた。さらに、水系洗浄液の油分に対する溶解力がフロン、エタン、塩化メチレン等の溶剤に比べて小さいので、超音波などの物理力を被洗浄物の洗浄面全体に働かせるには洗浄時間を長くする必要があった。

0009

また、洗浄効果を促進させるために洗浄、乾燥の各工程の多槽化が進んでいるので、洗浄装置が大型化される傾向にある。本発明は、このような従来の難点を解決するためになされたもので、被洗浄物全体の洗浄を短時間で行なうことができ、而も簡便な機構で達成できる洗浄装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0010

このような目的を達成する本発明の洗浄装置は、被洗浄物を収納させることができる搬送と、搬送籠に収納された被洗浄物を洗浄するための洗浄液が貯留された洗浄槽と、被洗浄物を収納した搬送籠を洗浄液及び大気間で上下揺動させて気液界面を通過させる上下揺動手段とを備えたものである。

0011

また、本発明の洗浄装置においては、洗浄液を洗浄槽内にジェット噴射させるジェット噴流手段を備えたものである。さらに、本発明の洗浄装置においては、洗浄液が貯留された洗浄槽の底部から気泡を放出させる気泡放出手段を備えたものである。また、本発明の洗浄装置は、搬送籠に収納された被洗浄物を洗浄するための洗浄液が貯留された洗浄槽、被洗浄物を収納した搬送籠を洗浄液及び大気間で上下揺動させて気液界面を通過させる上下揺動手段、洗浄液を洗浄槽内にジェット噴射させるジェット噴流手段及び洗浄液が貯留された洗浄槽の底部から気泡を放出させる気泡放出手段を有する第1の洗浄部と、第1の洗浄部と同様の洗浄槽、上下揺動手段、ジェット噴流手段、気泡放出手段及び被洗浄物を洗浄後、搬送籠が引き上げられた時に被洗浄物をシャワー洗浄するシャワー洗浄手段を有する第2の洗浄部とからなるなるものである。

0012

また、本発明の洗浄装置においては、上下揺動手段の上下揺動速度は5〜50m/minである。また、本発明の洗浄装置においては、洗浄液は水又は温水であり、このような水又は温水には防錆剤を含ませてもよい。さらに、本発明の洗浄装置においては、洗浄液を薬品処理して再生し再度洗浄槽内に循環させる洗浄液再処理装置を備えたものである。

0013

本発明の洗浄方法は、洗浄液が貯留された第1の洗浄部の洗浄槽において、被洗浄物が収納された搬送籠を第1の上下揺動手段によって洗浄液及び大気間で複数回上下揺動させて気液界面を通過させ、さらに第1の洗浄部の洗浄槽で洗浄された被洗浄物が収納される搬送籠を洗浄液が貯留された第2の洗浄部の洗浄槽に移動させ、第2の洗浄部の洗浄槽において、搬送籠を第2の上下揺動手段によって洗浄液及び大気間で複数回上下揺動させて気液界面を通過させ、且つ第2の洗浄槽から引き上げられた搬送籠内の被洗浄物を第2の洗浄槽内でシャワー洗浄するものである。

発明を実施するための最良の形態

0014

以下、本発明の洗浄装置の実施の一形態について、図面を参照して説明する。本発明の洗浄装置の実施の一形態は図1に示すように、搬送籠51に収納された被洗浄物であるアルミニウム芯軸(以下、「芯軸」という。)50を洗浄するための洗浄液52が貯留された洗浄槽4と、芯軸50が収納された搬送籠51を洗浄液52及び大気間で複数回上下揺動させる第1の上下揺動手段5と、洗浄液を洗浄槽4内にジェット噴射させるジェット噴流手段6と、洗浄液52が貯留された洗浄槽4の底部から気泡を放出させる気泡放出手段7とを有する第1の洗浄部2を備え、また第1の洗浄部2で洗浄された芯軸50を再洗浄するために、該第1の洗浄部2と同様に芯軸50を洗浄するための洗浄液52が貯留された洗浄槽8と、芯軸50が収納された搬送籠51を洗浄液52及び大気間で複数回上下揺動させる第2の上下揺動手段9と、洗浄液を洗浄槽8内にジェット噴射させるジェット噴流手段10と、洗浄液52が貯留された洗浄槽8の底部から気泡を放出させる気泡放出手段11とを有し、さらに第2の上下揺動手段9によって搬送籠51が引き上げられた時に芯軸50をシャワー洗浄するシャワー洗浄手段12を有した第2の洗浄部3を備えている。なお、洗浄槽4、8に貯留される洗浄液52には、水又は温水が使用されている。

0015

芯軸50は所定間隔で区切られた搬送籠51に対して軸芯が鉛直方向を向くように24ケ収納されている。このような芯軸50は、電子複写機レーザープリンタ定着部ローラなどに用いられるものである。第1の上下揺動手段5及び第2の上下揺動手段9は、芯軸50が収納された搬送籠51を洗浄槽4、8内の洗浄液52及び大気間で気液界面を通過するように上下揺動させることができるもので、例えばエアシリンダ油圧シリンダなどが用いられる。この第1の上下揺動手段5及び第2の上下揺動手段9の上下揺動回数、上下揺動速度、上下揺動ストロークは、芯軸50の汚染度に応じて決定される。このように気液界面を通過させることにより、芯軸50に付着した油分、金属粉等に対してせん断力を発生させることができる。この気液界面によるせん断効果は芯軸50全体に対して均一に働くので、芯軸50の内側に付着している油分、金属粉等も除去することができる。

0016

また、搬送籠51を第1の洗浄部2から第2の洗浄部3に移動させるために水平移動手段13が備えられ、この水平移動手段13は例えばエアシリンダ、油圧シリンダなどが用いられる。この水平移動手段13は後述する水切部14及び乾燥部15にも、搬送籠51を移動させることができる。ジェット噴流手段6、10は、洗浄槽4、8の底部や側壁に設けられた多数の噴射ノズルによって、洗浄液をジェット噴射させるものである。また、気泡放出手段7、11は、洗浄槽4、8の底部に設けられた多数のノズルによって、洗浄液52に気泡を放出させるものである。これら、ジェット噴流手段6、10及び気泡放出手段7、11によって、洗浄液52に浸漬されている時の芯軸50の油分、金属粉等を除去することができる。また、ジェット噴流、気泡放出による洗浄液52の乱流化により、剥ぎ取った油分の分散効果及び油分の再付着防止効果が期待される。

0017

第2の洗浄部3にのみ有するシャワー洗浄手段12は、シャワーノズルが複数設けられ、洗浄槽8の上部に位置するようになっている。このシャワー洗浄手段12は搬送籠51が第2の上下揺動手段9によって上下揺動されている時に、洗浄槽8の上部の位置から待避させることができる機構になっている。これにより、第2の上下揺動手段9による気液界面通過作用によって油分が除去された芯軸50を、さらにシャワー洗浄することができるので、芯軸50から完全に油分を除去することができる。

0018

また、第1の洗浄部2及び第2の洗浄部3には、洗浄液52を薬品処理して清澄化し、再度洗浄槽4、8内に循環させる洗浄液再処理装置が配管接続されている。この洗浄液再処理装置は図2に示すように、攪拌用ファン17が槽底に設けられた攪拌槽18と、この攪拌槽18に洗浄液52の油分を凝集分離するための薬剤を供給する薬剤供給部19と、攪拌槽18内において油分が凝集分離された洗浄液から油分のみを吸着するフィルタ20を有する油分分離部21とからなる。なお、洗浄液の油分を凝集分離するための薬剤は、硫酸アルミニウムカリミョウバンなどの凝集剤や、水酸化カルシウム無水炭酸ナトリウム石灰石などのアルカリ剤が用いられる。

0019

このような洗浄液再処理装置16は、第1の洗浄部2の洗浄槽4に貯留された洗浄液52が攪拌槽18に移動し、この攪拌槽18において薬品とともに攪拌された洗浄液52′が油分分離部21に移動し、この油分分離部21において油分が除去された洗浄液52″が第2の洗浄部3の洗浄槽8に移動するように配管接続されている。したがって、ほぼ水道水に近い処理水を得ることができるので、洗浄液を下水道廃水する回数を減らすことができる。

0020

水切部14は図1に示すように、水切槽22内に圧縮空気を噴出するための噴出ノズル23が複数設けられている。これにより、第1の洗浄部2及び第2の洗浄部3で洗浄された芯軸50に付着している洗浄液を払拭させることができる。また、乾燥部15は、真空乾燥を行なうために密閉構造になっており、真空ポンプによって真空状態にする。これにより、芯軸50に付着している洗浄液は確実に除去される。

0021

なお、第1の洗浄部2、第2の洗浄部3、水切部14及び乾燥部15はプログラマブルコントローラなどの制御装置によって制御される。このように構成された洗浄装置1の洗浄動作について説明する。芯軸50が収納された搬送籠51を水平移動手段13によって第1の洗浄部2の洗浄槽4の上部まで移動させる。洗浄槽4の上部まで移動された搬送籠51を、第1の上下揺動手段5によって洗浄液52及び大気間を上下揺動速度5〜50m/minで30〜50回上下揺動させる。これにより、芯軸50の油分を9割ぐらい除去させることができるが、上下揺動時間や油分の除去率を考慮すると、上下揺動速度30m/min程度で上下揺動回数を40回にするのが好ましい。また、ジェット噴流手段6や気泡放出手段7を併用させているので、せん断力の増加、気液界面への接触回数の増加、分離した油分を洗浄槽から溢れ出させ油分の再付着を防止などの効果を得ることが可能となる。

0022

第1の洗浄部2による洗浄が終了すると、第1の上下揺動手段5によって洗浄籠51を所定位置(水平移動手段13によって洗浄籠51を移動させることができる位置)にまで戻し、先程の水平移動手段13によって第1の洗浄部2の洗浄槽4から第2の洗浄部3の洗浄槽8の上部へと移動させる。洗浄槽8の上部まで移動された搬送籠51を、第2の上下揺動手段9によって洗浄液52及び大気間を上下揺動速度5〜50m/minで15〜25回上下揺動させる。これにより、芯軸50の油分をほとんど除去させることができるが、上下揺動時間や油分の除去率を考慮すると、上下揺動速度30m/min程度で上下揺動回数を20回にするのが好ましい。また、ジェット噴流手段10や気泡放出手段11を併用させているので、上述のせん断力の増加等の効果を得ることが可能となる。この上下揺動による洗浄が終了後、搬送籠51を洗浄槽8の上部まで移動させ、予め洗浄槽8の上部の位置から待避させていたシャワー洗浄手段12を洗浄槽8内の洗浄籠51の上部に位置させ、洗浄液によるシャワー洗浄を所定時間だけ行なう。

0023

なお、第1の洗浄部2及び第2の洗浄部3は、水平移動手段13に対する搬送籠51の脱着位置から搬送籠51を上下揺動させる揺動位置まで往復移動させるための移動手段を別個に設けてもよい。第2の洗浄部3による洗浄が終了すると、第2の上下揺動手段9によって洗浄籠51を所定位置(水平移動手段13によって洗浄籠51を移動させることができる位置)にまで戻し、水平移動手段13によって第2の洗浄部3の洗浄槽8から水切部14の水切槽22の上部へと移動させる。水切槽22の上部へと移動された搬送籠51を、水切部14に設けられた上下移動手段24によって水切槽22内の所定位置に移動させる。そして、噴出ノズル23から圧縮空気を噴出させて搬送籠51に収納された複数の芯軸50に付着した洗浄液を払拭させる。

0024

洗浄液を払拭後、搬送籠51を水切部14の上下移動手段24によって所定位置(水平移動手段13によって洗浄籠51を移動させることができる位置)にまで戻し、更に水平移動手段13によって乾燥部15の上部へと移動させる。乾燥部15の上部へと移動された搬送籠51を予め蓋の開いている乾燥部15内の所定位置に、乾燥部15に設けられた上下移動手段25によって収納させる。そして、蓋を閉めて乾燥部15内を密閉状態にし、この乾燥部15内を真空ポンプによって真空状態にして、芯軸50に付着している洗浄液を確実に除去させる。

0025

なお、水切部14及び乾燥部15にそれぞれ設けられた上下移動手段24、25には、エアシリンダ、油圧シリンダなどが用いられる。油分や洗浄液が確実に除去された芯軸50が収納された搬送籠51は、乾燥部15の上下移動手段25によって所定位置(水平移動手段13によって洗浄籠51を移動させることができる位置)にまで戻し、更に水平移動手段13によって所定位置まで移動させることにより、洗浄装置1による洗浄作業が終了する。

0026

なお、洗浄後の洗浄水は第1の洗浄部2から洗浄液再処理装置16に送られ、この洗浄液再処理装置16によって油分等不純物を凝集分離し、これにより得られた処理水を第2の洗浄部3の洗浄槽8に戻すことにより、廃水の再利用を図っている。

0027

上述した洗浄装置1を使用して、以下のような実験を行なった。この実験による洗浄条件は、洗浄液52を60°の温水とし、また第1の洗浄部2の第1の上下揺動手段5の上下揺動回数を40回/90秒、上下揺動ストローク500mm(上下揺動速度27m/min)とし、第2の洗浄部3の第2の上下揺動手段9の上下揺動回数を20回/45秒、上下揺動ストローク500mm(上下揺動速度27m/min)とする。上下揺動ストロークを500mmにすることにより、芯軸50全体を洗浄液52に浸漬でき、また大気中に出すことができる。また、第2の洗浄部3のシャワー洗浄手段12による洗浄液52も60°の温水とし、洗浄時間を20秒とする。さらに、第1の洗浄部2及び第2の洗浄部3のジェット噴流手段6及び10と気泡放出手段7及び11とは常時駆動させておく。なお、芯軸50には切削油が40mg/1本程度付着しており、このような芯軸50を縦4列、横6列の所定間隔で区切られた搬送籠51に満遍なく納置する。

0028

このような条件の下で洗浄された芯軸の油分付着量を、従来の洗浄装置で洗浄された芯軸と同一洗浄時間において比較した。なお、従来の洗浄装置は、第1の洗浄部及び第2の洗浄部のそれぞれの洗浄槽にジェット噴流手段及び気泡放出手段が設けられている。芯軸に付着した油分量は、非分散赤外線吸収法油分濃度計商品名:OCMA−300、堀場製作所製)を用いて測定した。この非分散赤外線吸収法の油分濃度計は、抽出溶媒であるクロフロロカーボンに芯軸50に付着した油を抽出し、その抽出液赤外線照射することによってあらわれる赤外線吸収スペクトル分析することにより油分付着量が測定できるものである。

0029

測定結果図3に示すように、第1の洗浄部2において、従来の洗浄装置では7割ぐらいの油分が残存しているのに対して、本実施の一形態である洗浄装置1では油分を9割ぐらい除去させることができた。また、第2の洗浄部3において、従来の洗浄装置では4割ぐらいの油分が残存しているのに対して、本実施の一形態である洗浄装置1では油分を検出下限以下まで除去させることができた。

0030

なお、本実施の一形態においては洗浄液として水又は温水を使用したが、これに限らず、被洗浄物等の錆に対して、水又は温水に防錆剤を添加してもよく、また、水系洗浄液を使用してもよい。さらには、炭化水素塩素系等の溶剤系洗浄液を使用してもよい。また、本実施の一形態においては被洗浄物としてアルミニウム芯軸を使用していたが、本発明はこれに限定されるものではなく、防振ゴム金具歯車類など、機械工業、半導体工業等で使用される機能部品に付着した油分、金属粉、研掃材、その他の粉塵等を除去する場合にも適用できる。

発明の効果

0031

以上、説明したように、本発明の洗浄装置及びその方法によれば、被洗浄物を収納した搬送籠を駆動手段によって洗浄液及び大気間で上下揺動させることにより、気液界面通過によるせん断力が発生し、このせん断力で被洗浄物を洗浄させることができるので、1回の上下揺動で被洗浄物の全体を均一に洗浄することができ、而も従来の洗浄装置より短時間で被洗浄物の油分等の汚れを除去することができる。

0032

また、気液界面通過によるせん断力によって被洗浄物を洗浄するので、洗浄液は水や温水でも油分等の汚れを除去することができる。したがって、環境汚染などの問題に対し対処することができ、また、洗浄コストを下げることができる。さらに、1つの洗浄槽だけで洗浄効果を促進させることができるので、洗浄装置の小型化を図ることができる。

図面の簡単な説明

0033

図1本発明の洗浄装置の実施の一形態を示す全体説明図。
図2図1の洗浄装置の要部である洗浄液再処理装置を示す説明図。
図3芯軸の付着油分量推移について、本発明の洗浄装置と従来の洗浄装置とを比較したグラフ

--

0034

1…洗浄装置
2…第1の洗浄部
3…第2の洗浄部
4、8…洗浄槽
5…第1の上下揺動手段
6、10…ジェット噴流手段
7、11…気泡放出手段
9…第2の上下揺動手段
12…シャワー洗浄手段
50…芯軸(被洗浄物)
51…搬送籠
52…洗浄液

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