図面 (/)

技術 半導体製造装置の制御方式および装置

出願人 株式会社日立国際電気
発明者 中村佐枝子福田満尾崎行雄横川和弘
出願日 1995年12月6日 (25年2ヶ月経過) 出願番号 1995-318174
公開日 1997年6月20日 (23年8ヶ月経過) 公開番号 1997-162092
状態 拒絶査定
技術分野 半導体等の試験・測定 半導体装置の製造処理一般
主要キーワード 多国籍 国際化 各国語 表示確認 日本語用 ガイドメッセージ 表示テキスト ミーティング
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(1997年6月20日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (3)

課題

国語対応に伴う不便さを解決し、容易に新国語の追加や各国語間の切り替えが実行できる半導体製造装置制御装置を提供する。

解決手段

半導体製造装置のディスプレイ装置Dに表示されるエラーメッセージガイドメッセージ等のメッセージ(以下表示テキストとする)を日本語用英語用、韓国語用・・・と各国別のテキストファイルとして作成し、これらのテキストファイルをパラメータの指定やユーザの操作により適切に選択し、ディスプレイ装置Dに表示する。また、上記各国語の表示テキストのテキストファイルをハードディスクインストールした制御アプリケーションプログラム中に持たせてなる。

概要

背景

現在、半導体製造装置制御装置コンピュータで、そのコンピュータのディスプレイに表示されるエラーメッセージガイドメッセージ等のメッセージ(以下表示テキストとする)は、ユーザに装置の状態を知らせる重要な役割を果している。而してそのユーザの国際化に伴い、従来の半導体製造装置の制御装置の表示テキストには、各国別に制御アプリケーションを作成していた。

図2は従来の半導体製造装置の制御装置を示すもので、コンピュータのハードディスクドライブDDには、全制御アプリケーション2a,2b・・・がインストールされている。各制御アプリケーション2a,2b・・・は表示テキストデータ3a,3b・・・をプログラム中に持つ。例えば、制御アプリケーション2aは日本語表示テキストのテキストデータ3a,制御アプリケーション2bは英語表示テキストのテキストデータ3b,制御アプリケーション2cは韓国語表示テキストのテキストデータ3bを持つ。

次にこの装置の動作を説明する。先ず、半導体製造装置の制御装置の立ち上がり時、矢a1 で示すように指定の制御アプリケーション2a,2b・・・の内の一つをメモリMに制御アプリケーションmとしてロードする。次に矢a2 で示すように制御アプリケーションmがそのテキストデータ3mをディスプレイ装置Dに表示する。矢a3 で示すようにユーザの操作により、ディスプレイ装置Dに別のテキストデータへの切換要求が起こると、矢a4 で示すようにその別の制御アプリケーション2a,2b・・・の内の一つをメモリMにロードし、同様に矢a2 で示すようにその制御アプリケーション2a,2b・・・が別のテキストデータをディスプレイ装置Dに表示する。

概要

多国語対応に伴う不便さを解決し、容易に新国語の追加や各国語間の切り替えが実行できる半導体製造装置の制御装置を提供する。

半導体製造装置のディスプレイ装置Dに表示されるエラーメッセージ、ガイドメッセージ等のメッセージ(以下表示テキストとする)を日本語用、英語用、韓国語用・・・と各国別のテキストファイルとして作成し、これらのテキストファイルをパラメータの指定やユーザの操作により適切に選択し、ディスプレイ装置Dに表示する。また、上記各国語の表示テキストのテキストファイルをハードディスクにインストールした制御アプリケーションのプログラム中に持たせてなる。

目的

そのため、以下のような課題があった。
.多国語に対応するためには、各国語別の制御アプリケーションを作成せねばならず、開発量増大や、その数分の動作確認テストを行う必要があり、作業効率が悪い。
.表示テキストは制御アプリケーション対応のため、制御アプリケーションの修正を行うと、他の制御アプリケーションとバージョンが異なり、バージョン管理が大変である。
多国籍間の人達ミーティングでは、1か国語でしか表示できず、意志疎通がとりにくい。
表示切り替え時、制御アプリケーションを再ロードするため、表示切り替え時間が長い。
本発明の目的は、従来技術の課題である多国語対応に伴う不便さを解決し、容易に新国語の追加や各国語間の切り替えが実行できる半導体製造装置の制御方式および装置を提供することにある。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

半導体製造装置ディスプレイ装置(D)に表示されるエラーメッセージガイドメッセージ等のメッセージ(以下表示テキストとする)を日本語用英語用、韓国語用・・・と各国別のテキストファイル(1a,1b・・・)として作成し、これらのテキストファイル(1a,1b・・・)をパラメータの指定やユーザの操作により適切に選択し、ディスプレイ装置(D)に表示するようにしたことを特徴とする半導体製造装置の制御方式

請求項2

半導体製造装置のディスプレイ装置(D)に表示されるエラーメッセージ、ガイドメッセージ等のメッセージ(以下表示テキストとする)を日本語用、英語用、韓国語用・・・と各国別のテキストファイル(1a,1b・・・)として作成し、これらのテキストファイル(1a,1b・・・)をパラメータの指定やユーザの操作により適切に選択し、ディスプレイ装置(D)に表示するようにしたことを特徴とする半導体製造装置の制御装置

請求項3

上記各国語の表示テキストのテキストファイルをハードディスクインストールした制御アプリケーションプログラム中に持たせてなる請求項2に記載の半導体製造装置の制御装置。

技術分野

制御アプリケーションメモリ常駐しているため、表示切り替え時、表示テキストのロードだけで済むので表示切り替え時間が短い。

背景技術

0001

本発明は半導体製造装置制御方式および装置に関する。

0002

現在、半導体製造装置の制御装置コンピュータで、そのコンピュータのディスプレイに表示されるエラーメッセージガイドメッセージ等のメッセージ(以下表示テキストとする)は、ユーザに装置の状態を知らせる重要な役割を果している。而してそのユーザの国際化に伴い、従来の半導体製造装置の制御装置の表示テキストには、各国別に制御アプリケーションを作成していた。

0003

図2は従来の半導体製造装置の制御装置を示すもので、コンピュータのハードディスクドライブDDには、全制御アプリケーション2a,2b・・・がインストールされている。各制御アプリケーション2a,2b・・・は表示テキストデータ3a,3b・・・をプログラム中に持つ。例えば、制御アプリケーション2aは日本語表示テキストのテキストデータ3a,制御アプリケーション2bは英語表示テキストのテキストデータ3b,制御アプリケーション2cは韓国語表示テキストのテキストデータ3bを持つ。

発明が解決しようとする課題

0004

次にこの装置の動作を説明する。先ず、半導体製造装置の制御装置の立ち上がり時、矢a1 で示すように指定の制御アプリケーション2a,2b・・・の内の一つをメモリMに制御アプリケーションmとしてロードする。次に矢a2 で示すように制御アプリケーションmがそのテキストデータ3mをディスプレイ装置Dに表示する。矢a3 で示すようにユーザの操作により、ディスプレイ装置Dに別のテキストデータへの切換要求が起こると、矢a4 で示すようにその別の制御アプリケーション2a,2b・・・の内の一つをメモリMにロードし、同様に矢a2 で示すようにその制御アプリケーション2a,2b・・・が別のテキストデータをディスプレイ装置Dに表示する。

課題を解決するための手段

0005

そのため、以下のような課題があった。
.多国語に対応するためには、各国語別の制御アプリケーションを作成せねばならず、開発量増大や、その数分の動作確認テストを行う必要があり、作業効率が悪い。
.表示テキストは制御アプリケーション対応のため、制御アプリケーションの修正を行うと、他の制御アプリケーションとバージョンが異なり、バージョン管理が大変である。
多国籍間の人達ミーティングでは、1か国語でしか表示できず、意志疎通がとりにくい。
.表示切り替え時、制御アプリケーションを再ロードするため、表示切り替え時間が長い。
本発明の目的は、従来技術の課題である多国語対応に伴う不便さを解決し、容易に新国語の追加や各国語間の切り替えが実行できる半導体製造装置の制御方式および装置を提供することにある。

発明を実施するための最良の形態

0006

本発明は、半導体製造装置のディスプレイ装置Dに表示されるエラーメッセージ、ガイドメッセージ等のメッセージ(以下表示テキストとする)を日本語用、英語用、韓国語用・・・と各国別のテキストファイル1a,1b・・・として作成し、これらのテキストファイル1a,1b・・・をパラメータの指定やユーザの操作により適切に選択し、ディスプレイ装置Dに表示するようにしたことを特徴とする半導体製造装置の制御方式および装置である。また、上記各国語の表示テキストのテキストファイル1a,1b・・・をハードディスクHDDにインストールした制御アプリケーション1nのプログラム中に持たせてなるものである。

0007

図1示のように、コンピュータのハードディスクドライブHDDには、全テキストファイル1a,1b・・・がインストールされている。例えば、テキストファイル1aは日本語表示のテキストファイル,テキストファイル1bは英語表示のテキストファイル,テキストファイル1cは韓国語表示のテキストファイルである。1nはこれらの制御用の制御アプリケーションである。

0008

次にこの装置の動作を説明する。先ず、半導体製造装置の制御装置の立ち上がり時、矢b1 で示すように制御アプリケーション1nをメモリMに制御アプリケーションm1 としてロードする。次にその半導体製造装置立ち上がり時、矢b2 で示すように制御アプリケーション1nがパラメータで指定されているテキストファイル1a,1b・・・の中の1つのテキストファイル1aをテキストデータm2 としてメモリMに読み込む。次に矢b3 で示すようにメモリMに書き込まれた制御アプリケーションm1 がテキストデータm2 をディスプレイ装置Dに表示する。

0009

矢b4 で示すようにユーザ操作により、ディスプレイ装置Dから表示テキストファイルの切り替えの要求が起こると、矢b5 で示すように制御アプリケーションm1 はメモリM内のテキストデータm2 を指定された別のテキストファイル1bのテキストデータm2 に置き換える。すると、上記と同様に矢b3 で示すようにメモリMに書き込まれた新しいテキストデータm2 を制御アプリケーションm1 がディスプレイ装置Dに表示する。以下同様にして矢b6 で示すように別のテキストファイル1cのテキストデータm2 に置き換え、ディスプレイ装置Dに表示するものである。以上のようにしてこの表示テキストデータを日本語用、英語用、韓国語用・・・と各国別のテキストデータに切り換えて表示し、多国語に対応するものである。

図面の簡単な説明

0010

本発明によるテキストファイル切り替えによる多国語対応方式は、以下の効果が挙げられる。
.テキストファイルと制御アプリケーションは独立しているため、テキストファイルのメッセージ単位あるいは1か国語単位の追加,修正が容易に行なえる。
.従来の半導体製造装置のプログラムを多国語対応にする場合、アプリケーションの数分だけの動作確認テストを必要とした。それに対して本発明ではテキストファイル切り替えによる多国語対応方式は、1か国分の動作確認テストを行うと、他の1か国語に対する動作確認テストは表示テキストの表示確認でよいので、テスト工程の短縮が図れる。
国際社会において多国籍間の人達のミーティングは珍らしくない。このときに表示テキストを切り替えることで日本人には日本語表示の画面を、米国人には英語表示の画面を提供することができ、円滑なミーティングが行なえる。

--

0011

図1本発明の一実施の形態の概略を示すブロック図である。
図2従来の概略を示すブロック図である。

0012

Dディスプレイ装置
HDDハードディスクドライブ
1a,1b・・・テキストファイル
1n制御アプリケーション
M メモリ

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