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目的

金属板フォトエッチング工程に使用する耐エッチング性感光性樹脂において、露光感度が良く、かつ、剥離性解像性に優れた耐エッチング性感光性樹脂組成物を得ることを目的とする。

構成

金属板のフォトエッチング工程に使用する耐エッチング性感光性樹脂を、鹸化度が75〜95モル%、重合度が500〜2000の部分鹸化ポリビニルアルコールと、鹸化度が90〜98モル%、重合度が500〜2000、カルボン酸変成度が1〜5モル%のカルボン酸変成ポリビニルアルコールと、重クロム酸アルカリ感光性賦与剤および水とを含む、または、上記のカルボン酸変成ポリビニルアルコールと、重クロム酸アルカリ感光性賦与剤および水を含み、重クロム酸アルカリとして重クロム酸アンモニウムであることを特徴とする耐エッチング性感光性樹脂組成物。

概要

背景

シャドウマスクリードフレームの製造方法としてフォトエッチング法が知られており、シャドウマスクを例にして図1の工程フロー図を用い簡単に説明を行う。まず、シャドウマスクの基板となる金属板アルカリ脱脂液に接触することにより、金属板の表面に付着している油分や有機系のゴミ等を除去する脱脂処理を行う。次いで、次工程の感光性樹脂の塗布の際に、金属板の表面に感光性樹脂を付き易くするために、金属板を酸処理液に接触することにより金属板の表面の整面処理を行う。

次いで、金属板の両面に耐エッチング性感光性樹脂を塗布する。次いで、円形パターン部が遮光部となった大孔小孔二種類のパターンマスクを用い、金属板の片面に大孔パターンマスク密着して当て、金属板の他方の片面に小孔パターンマスクを対応する位置に密着して当て、同時に両面に紫外線照射することによりパターン露光を行い、円形パターン部以外の領域の耐エッチング性感光性樹脂の光硬化を行う。次いで、例えば温水スプレーにて現像を行い、未露光部の耐エッチング性感光性樹脂を除去後、残った感光性樹脂の硬膜処理およびバーニングを行う。

次いで、金属板両面に一次エッチングを行い、金属板両面に一定のエッチングを行う。次いで、小孔側にニスを塗布してエッチング防止層を形成する。次いで、大孔側に二次エッチングを行い、小孔と貫通させる。次いで、エッチング防止層および耐エッチング性感光性樹脂を剥離し、金属板を必要な形に抜き出しシャドウマスク基板とする。

現在、上記のフォトエッチング法を用いるシャドウマスクの製造におけるエッチング工程において使用される耐エッチング性感光性樹脂は、一般的にカゼイン重クロム酸アルカリおよび水、または、ポリビニルアルコールと重クロム酸アルカリおよび水を主成分とするものが用いられている。

しかし、カゼインと重クロム酸アルカリおよび水で構成される耐エッチング性感光性樹脂は以下の問題点を持っている。すなわち、露光の感度が鈍く、パターン露光の際に多くの露光量を必要とするため、露光時間が長くなり生産性が悪くなり、かつ、露光エネルギーが大きくなるために、パターンマスクおよびパターンマスクの保持装置が光を吸収し熱を持つことで膨張し、パターン位置ズレが発生するという問題点がある。

また、エッチングの際の耐エッチング液性が悪いため、エッチング液浸透パターン欠けピンホールが発生し易い、および、感光性樹脂塗布後の経時変化が大きく、カブリ現象が発生し易い等の問題点もあげられる。

次いで、ポリビニルアルコールと重クロム酸アルカリおよび水で構成される耐エッチング性感光性樹脂においては、樹脂の金属板への密着性は良いが、剥離性が悪いため以下の問題が生じている。すなわち、現像時に未露光部の感光性樹脂を完全に除去できないため、エッチングの際に、不要に残った感光性樹脂のために部分的にエッチング不良をおこすという問題であり、さらに、エッチング工程以後の感光性樹脂の剥離においても、感光性樹脂が完全に除去できず、残った感光性樹脂によりシャドウマスク基板がサビを生じ易いという問題である。

概要

金属板のフォトエッチング工程に使用する耐エッチング性感光性樹脂において、露光感度が良く、かつ、剥離性、解像性に優れた耐エッチング性感光性樹脂組成物を得ることを目的とする。

金属板のフォトエッチング工程に使用する耐エッチング性感光性樹脂を、鹸化度が75〜95モル%、重合度が500〜2000の部分鹸化型ポリビニルアルコールと、鹸化度が90〜98モル%、重合度が500〜2000、カルボン酸変成度が1〜5モル%のカルボン酸変成ポリビニルアルコールと、重クロム酸アルカリ感光性賦与剤および水とを含む、または、上記のカルボン酸変成ポリビニルアルコールと、重クロム酸アルカリ感光性賦与剤および水を含み、重クロム酸アルカリとして重クロム酸アンモニウムであることを特徴とする耐エッチング性感光性樹脂組成物。

目的

本発明の目的は、フォトエッチング法を用いるシャドウマスクの製造におけるエッチング工程にて使用される耐エッチング性感光性樹脂において、上記の問題を有しない耐エッチング性感光性樹脂を提供することにある。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
1件

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請求項1

金属板フォトエッチング工程に使用する耐エッチング性感光性樹脂において、鹸化度が75〜95モル%、重合度が500〜2000の部分鹸化ポリビニルアルコールと、鹸化度が90〜98モル%、重合度が500〜2000、カルボン酸変性度が1〜5モル%のカルボン酸変性ポリビニルアルコールと、重クロム酸アルカリ感光性賦与剤および水とを含むことを特徴とする耐エッチング性感光性樹脂組成物

請求項2

鹸化度が90〜98モル%、重合度が500〜2000、カルボン酸変性度が1〜5モル%のカルボン酸変性ポリビニルアルコールと、重クロム酸アルカリ感光性賦与剤および水とを含むことを特徴とする耐エッチング性感光性樹脂組成物。

請求項3

重クロム酸アルカリが重クロム酸アンモニウムであることを特徴とする請求項1または請求項2記載の耐エッチング性感光性樹脂組成物。

技術分野

0001

本発明は、フォトエッチング法を用いて、例えば、カラー受像管に用いるシャドウマスク半導体集積回路用リードフレーム等を製造する際に使用する耐エッチング性感光性樹脂組成物に関する。

背景技術

0002

シャドウマスクやリードフレームの製造方法としてフォトエッチング法が知られており、シャドウマスクを例にして図1工程フロー図を用い簡単に説明を行う。まず、シャドウマスクの基板となる金属板アルカリ脱脂液に接触することにより、金属板の表面に付着している油分や有機系のゴミ等を除去する脱脂処理を行う。次いで、次工程の感光性樹脂の塗布の際に、金属板の表面に感光性樹脂を付き易くするために、金属板を酸処理液に接触することにより金属板の表面の整面処理を行う。

0003

次いで、金属板の両面に耐エッチング性感光性樹脂を塗布する。次いで、円形パターン部が遮光部となった大孔小孔二種類のパターンマスクを用い、金属板の片面に大孔パターンマスク密着して当て、金属板の他方の片面に小孔パターンマスクを対応する位置に密着して当て、同時に両面に紫外線照射することによりパターン露光を行い、円形パターン部以外の領域の耐エッチング性感光性樹脂の光硬化を行う。次いで、例えば温水スプレーにて現像を行い、未露光部の耐エッチング性感光性樹脂を除去後、残った感光性樹脂の硬膜処理およびバーニングを行う。

0004

次いで、金属板両面に一次エッチングを行い、金属板両面に一定のエッチングを行う。次いで、小孔側にニスを塗布してエッチング防止層を形成する。次いで、大孔側に二次エッチングを行い、小孔と貫通させる。次いで、エッチング防止層および耐エッチング性感光性樹脂を剥離し、金属板を必要な形に抜き出しシャドウマスク基板とする。

0005

現在、上記のフォトエッチング法を用いるシャドウマスクの製造におけるエッチング工程において使用される耐エッチング性感光性樹脂は、一般的にカゼイン重クロム酸アルカリおよび水、または、ポリビニルアルコールと重クロム酸アルカリおよび水を主成分とするものが用いられている。

0006

しかし、カゼインと重クロム酸アルカリおよび水で構成される耐エッチング性感光性樹脂は以下の問題点を持っている。すなわち、露光の感度が鈍く、パターン露光の際に多くの露光量を必要とするため、露光時間が長くなり生産性が悪くなり、かつ、露光エネルギーが大きくなるために、パターンマスクおよびパターンマスクの保持装置が光を吸収し熱を持つことで膨張し、パターン位置ズレが発生するという問題点がある。

0007

また、エッチングの際の耐エッチング液性が悪いため、エッチング液浸透パターン欠けピンホールが発生し易い、および、感光性樹脂塗布後の経時変化が大きく、カブリ現象が発生し易い等の問題点もあげられる。

0008

次いで、ポリビニルアルコールと重クロム酸アルカリおよび水で構成される耐エッチング性感光性樹脂においては、樹脂の金属板への密着性は良いが、剥離性が悪いため以下の問題が生じている。すなわち、現像時に未露光部の感光性樹脂を完全に除去できないため、エッチングの際に、不要に残った感光性樹脂のために部分的にエッチング不良をおこすという問題であり、さらに、エッチング工程以後の感光性樹脂の剥離においても、感光性樹脂が完全に除去できず、残った感光性樹脂によりシャドウマスク基板がサビを生じ易いという問題である。

発明が解決しようとする課題

0009

本発明の目的は、フォトエッチング法を用いるシャドウマスクの製造におけるエッチング工程にて使用される耐エッチング性感光性樹脂において、上記の問題を有しない耐エッチング性感光性樹脂を提供することにある。

課題を解決するための手段

0010

すなわち、本発明は、金属板のフォトエッチング工程に使用する耐エッチング性感光性樹脂において、鹸化度が75〜95モル%、重合度が500〜2000の部分鹸化型ポリビニルアルコールと、鹸化度が90〜98モル%、重合度が500〜2000、カルボン酸変性度が1〜5モル%のカルボン酸変性ポリビニルアルコールと、重クロム酸アルカリ感光性賦与剤および水にて構成する。または、鹸化度が90〜98モル%、重合度が500〜2000、カルボン酸変性度が1〜5モル%のカルボン酸変性ポリビニルアルコール単独水溶液と、重クロム酸アルカリ感光性賦与剤および水にて構成する。特に、上記の重クロム酸アルカリ感光性賦与剤として重クロム酸アンモニウムを使用することを特徴とする耐エッチング性感光性樹脂を提供することにより、上記の課題を解決しようとするものである。

0011

なお、上記の鹸化度、重合度および、カルボン酸変性度の数値は以下の理由により、本発明の耐エッチング性感光性樹脂に適する数値として後述する実施例より経験的に得た。すなわち、鹸化度は、100モル%に近ずけると低温においてゲル化を生じるため、冬季の低温における感光性樹脂の保存性を考慮し決定した。次いで、重合度は、2000より大きいと粘度が高くなり感光性樹脂の塗布に支障をきたし、また、500より小さいと粘度が低くなり塗布の際、感光性樹脂層が薄くなり耐エッチング性が低くなるという理由による。

0012

また、カルボン酸変成度は、1モル%より小さいと従来のPVAと同程度の感度しか得られず、5モル%より大きいとポリビニルアルコールの変成が変わってしまうという理由による。

0013

上記の、カルボン酸変性ポリビニルアルコールと部分鹸化型ポリビニルアルコールと、重クロム酸アルカリ感光性賦与剤および水からなる耐エッチング性感光性樹脂の組成として、例えば、カルボン酸変性ポリビニルアルコールを5〜95重量%および、部分鹸化型ポリビニルアルコールを95〜5重量%で混合し、樹脂塗布時の膜厚に応じて純水を加えた水溶液に、感光剤として重クロム酸アンモニウムを固形比3〜8%添加し耐エッチング性感光性樹脂としたものがあげられる。また、上記のカルボン酸変性ポリビニルアルコールおよび部分鹸化型ポリビニルアルコールの構成比は後述する実施例より経験的に得た。

0014

次いで、カルボン酸変性ポリビニルアルコール単独水溶液の場合には、感光剤として重クロム酸アンモニウムを、例えば、固形比3〜8%添加し耐エッチング性感光性樹脂としたものがあげられる。ここで、重クロム酸アンモニウムの添加量は通常一般的に感光性樹脂に加える量として後述する実施例より経験的に得た。

0015

また、本発明におけるカルボン酸変性ポリビニルアルコールとしては、下記の(化1)に示すアクリル酸変性ポリビニルアルコールもしくは、(化2)に示すマレイン酸変性ポリビニルアルコールまたは、(化3)に示すイタコン酸変性ポリビニルアルコールを使用するのが好ましい。

0016

0017

0018

0019

本発明によるカルボン酸変成ポリビニルアルコールを用いた感光性樹脂組成物は感度が向上しており、少ない露光量でパターン露光ができることで、長時間露光による熱膨張で生じるシャドウマスクパターンリードフレームパターン等の位置ズレが防止できる。

0020

また、本発明によるカルボン酸変成ポリビニルアルコールを用いた感光性樹脂組成物は樹脂の剥離性が良いために、現像の際、未露光部の樹脂が完全に除去できることでエッチング工程において、樹脂残りによるエッチング不良を防止でき、かつ、エッチング工程以後の感光性樹脂の剥離も完全に行われることで金属板のサビを防止できる。さらに、本発明による感光性樹脂は解像性が向上し、かつ、耐エッチング性は従来品に劣らない。

0021

本発明の実施例を以下に示す。
<実施例>金属板として鉄およびニッケルを主成分とする金属板(アンバー材)を用い、図1のシャドウマスクの工程フローをもとにした以下のフォトエッチング法を用いた製造工程にて、パターン露光の際にテストパターンマスクを使用し、金属板上にテストパターンを形成した。

0022

まず、金属板の脱脂処理および、整面処理を行う。次いで、金属板の両面に、下記の感光性樹脂を膜厚10μmにて塗布し、60℃の乾燥炉に通し感光性樹脂層を形成する。次いで、段階的に光透過濃度変化のついたコダック製商品名「ステップタブレットNO.2」および、段階的に1mm幅中の細線パターンの本数を変えてある解像性テストパターンをテストパターンマスクとして用い金属板に密着配置する。

0023

次いで、紫外線光源を用いパターン露光し、感光性樹脂の光硬化を行う。次いで、液温25℃の温水にてスプレー現像を行い、未硬化部の感光性樹脂の除去を行う。次いで、4%無水クロム酸水溶液に25秒間金属板を浸漬し、残った感光性樹脂の硬膜処理を行ってから、水洗、乾燥を行う。次いで、150℃にてベーキングを行う。

0024

次いで、塩化第二鉄液(ボーメ濃度45度、液温60℃)のエッチング液を用い、3Kg/cm2 の圧力でスプレーすることにより、エッチングを行う。次いで、水洗洗浄残留エッチング液を洗い流した後、60℃の1%苛性ソーダ水溶液をスプレーし、感光性樹脂膜剥離処理を行う。次いで、水洗洗浄、乾燥を行い、テストパターンを焼き付けた金属板を得る。

0025

なお、金属板に塗布する感光性樹脂を変える毎に、パターン露光の際の紫外線照射量として100mJ、300mJ、500mJ、700mJ、1000mJの五種類の照射量を用い、上記の工程一回につき一種類ずつの照射量で露光を行うことで上記の工程を計五回ずつ行った。

0026

上記工程中の金属板に塗布する感光性樹脂として、以下の実施例および比較例のものを用い、各々上記と同様の製造工程および製造条件にてテストパターンを形成した金属板を製造した。なお、後述の配合比は全て重量比である。

0027

本発明によるカルボン酸変成ポリビニルアルコール単独水溶液と重クロム酸アンモニウムおよび水を用いた感光性樹脂の例として、実施例1から実施例4に示す以下のものを用いた。
<実施例1>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてイタコン酸変成PVAすなわち、クラレ製商品名「KM−118」(重合度1750、鹸化度98.0モル%)を用いた固形分9.0%の水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム6.2部の混合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0028

<実施例2>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてイタコン酸変成PVAすなわち、クラレ製商品名「KL−318」(重合度1750、鹸化度88.0モル%)を用いた固形分9.0%の水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム6.2部の混合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0029

<実施例3>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてマレイン酸変成PVAすなわち、日本合成化学製商品名「T−215」(重合度1500、鹸化度95.0〜98.0モル%)を用いた固形分14%の水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部の混合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0030

<実施例4>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてマレイン酸変成PVAすなわち、日本合成化学製商品名「T−230」(重合度1800、鹸化度95.0〜98.0モル%)を用いた固形分14%の水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部の混合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0031

次いで、本発明によるカルボン酸変成ポリビニルアルコールと部分鹸化型ポリビニルアルコールと重クロム酸アンモニウムおよび水を用いた感光性樹脂の例として、実施例5から実施例15に示す以下のものを用いた。
<実施例5>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてイタコン酸変成PVAすなわち、クラレ製商品名「KM−118」(実施例1に使用した物)50部および、部分鹸化型ポリビニルアルコールとしてユニオン化学製商品名「PV−H」(後述する比較例2に使用した物)50部を混合し固形分15%とした水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部の配合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0032

<実施例6>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてイタコン酸変成PVAすなわち、クラレ製商品名「KL−318」(実施例2に使用した物)50部および、部分鹸化型ポリビニルアルコールとしてユニオン化学製商品名「PV−H」(比較例2に使用した物)50部を混合し固形分15%とした水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部の配合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0033

<実施例7>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてマレイン酸変成PVAすなわち、日本合成化学製商品名「T−215」(実施例3に使用した物)50部および、部分鹸化型ポリビニルアルコールとしてユニオン化学製商品名「PV−H」(比較例2に使用した物)50部を混合し固形分15%とした水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部の配合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0034

<実施例8>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてイタコン酸変成PVAすなわち、クラレ製商品名「KM−118」(実施例1に使用した物)10部および、部分鹸化型ポリビニルアルコールとしてユニオン化学製商品名「PV−H」(比較例2に使用した物)90部を混合し固形分15%とした水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部の配合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0035

<実施例9>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてイタコン酸変成PVAすなわち、クラレ製商品名「KL−318」(実施例2に使用した物)30部および、部分鹸化型ポリビニルアルコールとしてユニオン化学製商品名「PV−H」(比較例2に使用した物)70部を混合し固形分15%とした水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部の配合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0036

<実施例10>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてマレイン酸変成PVAすなわち、日本合成化学製商品名「T−215」(実施例3に使用した物)20部および、部分鹸化型ポリビニルアルコールとしてユニオン化学製商品名「PV−H」(比較例2に使用した物)80部を混合し固形分15%とした水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部の配合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0037

<実施例11>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてイタコン酸変成PVAすなわち、クラレ製商品名「KL−318」(実施例2に使用した物)20部および、部分鹸化型ポリビニルアルコールとしてユニオン化学製商品名「PV−H」(比較例2に使用した物)80部を混合し固形分15%とした水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部の配合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0038

<実施例12>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてマレイン酸変成PVAすなわち、日本合成化学製商品名「T−215」(実施例3に使用した物)10部および、部分鹸化型ポリビニルアルコールとしてユニオン化学製商品名「PV−H」(比較例2に使用した物)90部を混合し固形分15%とした水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部の配合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0039

<実施例13>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてマレイン酸変成PVAすなわち、日本合成化学製商品名「T−215」(実施例3に使用した物)10部および、部分鹸化型ポリビニルアルコールとしてユニオン化学製商品名「PV−075」(重合度725、鹸化度86.5〜89.0モル%)90部を混合し固形分15%とした水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部の配合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0040

<実施例14>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてマレイン酸変成PVAすなわち、日本合成化学製商品名「T−215」(実施例3に使用した物)30部および、部分鹸化型ポリビニルアルコールとしてユニオン化学製商品名「PV−075」(重合度725、鹸化度86.5〜89.0モル%)70部を混合し固形分15%とした水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部の配合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0041

<実施例15>カルボン酸変成ポリビニルアルコールとしてマレイン酸変成PVAすなわち、日本合成化学製商品名「T−215」(実施例3に使用した物)50部および、部分鹸化型ポリビニルアルコールとしてユニオン化学製商品名「PV−075」(重合度725、鹸化度86.5〜89.0モル%)50部を混合し固形分15%とした水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部の配合液に純水28.8部を加えて感光性樹脂としたもの。

0042

上記した本発明との比較のために、従来のポリビニルアルコールを用いる感光性樹脂の例として以下のものを用いた。
<比較例1>ユニオン化学製商品名「PV−05」(重合度500、鹸化度86.5〜89.0モル%)を用いた固形分15%の水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部および、純水28.8部の配合比にて、感光性樹脂としたもの。

0043

<比較例2>ユニオン化学製商品名「PV−H」(重合度950、鹸化度86.5〜89.0モル%)を用いた固形分15%の水溶液100部と、10%重クロム酸アンモニウム9.2部および、純水28.8部の配合比にて、感光性樹脂としたもの。

0044

次いで、上記の<実施例>および<比較例>による感光性樹脂を用い前述した工程により得られた感度、解像性、樹脂の剥離性および耐エッチング性を以下の表1にまとめた。

0045

0046

上記の表1では、縦軸に<実施例>および<比較例>による感光性樹脂を示し、横軸に各々の感光性樹脂で得られた、五種類の照射露光量における感度、解像性、剥離性、耐エッチング性を示している。

0047

ここで、以下に本実施例における感度、解像性、剥離性および、耐エッチング性の説明を行う。前述した製造工程では、テストパターンマスクとして図2に示すコダック社製商品名「ステップタブレットNO.2」を使用している。このテストパターンマスクは段階的な光透過濃度変化が付いており、図2中の数字は光透過濃度の段階を示し、段階1から段階20まで段階の数字が上がるごとに光透過量が減じるようになっている。前述した製造工程では、このテストパターンマスクを用い、五種類の露光量で紫外線照射を行いパターン焼き付け後、現像を行い未硬化の感光性樹脂を除去し、光硬化した感光性樹脂を残している。

0048

ここで、実際のシャドウマスク製造に耐える程度に、感光性樹脂が光硬化を起こした部位のテストパターンマスクの光透過濃度段階の最大の数値をもって感度とした。例えば、表1中の比較例1の露光量1000mJにおける感度3とは、比較例1の感光性樹脂を用い露光量1000mJでテストパターンマスクに露光を行うと、図2のステップタブレットの段階1、2、3の部位ではテストパターンマスクの下にある感光性樹脂はシャドウマスク製造に耐える程度に光硬化を起こしているが、段階4以上の光透過量がより減じている部位では感光性樹脂の光硬化は起こらないか、硬化してもシャドウマスク製造に耐えられない程度の光硬化しかしていないことを示している。また、表1中の感度の欄に示す横線は、照射した露光量では感光性樹脂の光硬化は全然起こらなかったことを示している。すなわち、表1中の感度の数字が高いということは、テストパターンマスクの光透過量が少ない部位の段階濃度において、感光性樹脂の光硬化が起こったことを示す。つまり、感度の高い感光性樹脂は少ない露光量で光硬化を起こしたと言える。

0049

次いで、本実施例における解像性の説明を行う。前述した製造工程では、段階的に1mm幅中の細線パターンの本数を変えてある解像性テストパターンを用い感光性樹脂へのパターン露光を行っている。そこで、現像後、残った感光性樹脂面を顕微鏡で調べ1mm当たり何本の線まで識別出来るかを測定し、識別できる1mm当たりの本数をもって解像性とした。ここで、解像性の数値が高いほど、より細い線を感光性樹脂に焼き付けることが出来るということで、感光性樹脂の解像力は高いといえる。

0050

次いで、本実施例における剥離性の説明を行う。前述した製造工程での、現像および剥膜処理において金属板上に、エッチング不良の原因となる不要な感光性樹脂が残っているか否かを目視にて確認を行い判断を行った。また、耐エッチング性は、前述した実施例の製造工程が終了した時点で、エッチング工程において感光性樹脂中にエッチング液が浸透することで金属板上に発生する、パターン欠けやピンホールがあるか否かを目視測定した。

0051

上記の表1に示すように、本発明による感光性樹脂は、従来の感光性樹脂では光硬化を起こさなかった100mJの低露光量でも十分に光硬化を起こしていることが分かり、かつ、解像性も従来品に比べ約1.2〜1.6倍に向上している。また、樹脂の剥離性も本発明の感光性樹脂は、従来品より良好な点を示し、耐エッチング性も良好な点を示していることが分かる。

発明の効果

0052

以上のように、従来のポリビニルアルコールまたはカゼインと、重クロム酸アルカリを成分とした感光性樹脂より、本発明によるカルボン酸変成ポリビニルアルコールを用いた感光性樹脂の方が光にたいする感度が向上していることにより、少ない露光量でパターン露光ができることになり、従来発生していた長時間露光による熱膨張で生じるシャドウマスクパターンの位置ズレが防止できる。

0053

また、樹脂の剥離性が良いために、現像の際、未露光部の樹脂が完全に除去できることでエッチング工程において、樹脂残りによるエッチング不良を防止でき、かつ、エッチング工程以後の感光性樹脂の剥離も完全に行われることで金属板のサビを防止できる。さらに、本発明による感光性樹脂は解像性が向上し、かつ、耐エッチング性は従来品に劣らないことで、エッチング解像性が向上する等、本発明は高精細のシャドウマスクや多ピンリードフレームを得るうえで実用上優れているといえる。

0054

図面の簡単な説明

0055

図1シャドウマスクの製造方法の一例を示す工程フロー図。
図2本実施例で使用したテストパターンマスクの一例を示す説明図。

--

0056

1 テストパターンマスク

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