図面 (/)

技術 平面精度測定装置の接触状態確認方法

出願人 三菱電機株式会社
発明者 園田諭
出願日 1994年7月11日 (26年5ヶ月経過) 出願番号 1994-158325
公開日 1996年2月2日 (24年11ヶ月経過) 公開番号 1996-029159
状態 特許登録済
技術分野 測定手段を特定しない測長装置
主要キーワード 許容隙間 接触状態判定 ゲージ板 全接触状態 リニアモータカー 測定回 測定基準面 測定ミス
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(1996年2月2日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (11)

目的

構成

校正用定盤100に平面精度測定装置10の突起4a〜4cを当接させたとき、または校正用定盤に貼り付けたゲージ板8a〜8cに突起を当接させたときの接触式センサA3 ,C2 ,C5 の出力電圧値メモリ11に記憶させ、基準値を設定し、実際の被測定物200に突起を当接させたときの接触式センサの出力電圧値が一つでも基準値を満たさないときは、測定不能信号を出力し、測定ができないようにする。

概要

背景

本出願人により特願平5−49677号にて提案された平面精度測定装置は、図9に示されるように、アルミ製などの軽量剛体からなる定盤1に、距離計として多数の接触式センサ2及び光学式非接触式センサ3と、3個の突起4a,4b,4cを取り付けてなるものである。

この平面精度測定装置によって、リニアモータカー地上コイル取付用コンクリートパネルのような長尺体の平面精度を測定する。測定に当たっては、3個の突起4a〜4cを被測定面に当接し、上記のセンサ2,3により被測定面までの距離を測定する。この操作を長尺体の長手方向に測定領域を1/2ずつ重複させながら繰り返していくものである。

接触式センサ2と非接触式センサ3を設けてある理由は、測定対象リニアモータカー用のコンクリートパネルのコイル取付面が段付きになっているためであり、測定距離の短いコイル取付面に対しては精度の良い接触式センサ2を、測定距離の長いコイル取付面に対しては故障の少ない非接触式センサ3を使用することにしている。接触式センサ2は、図9においてA1 〜A6 ,C1 〜C6 及びE1 〜E4 の各位置に計16個配置されている。その他は全部(計14個)非接触式センサ3である。

ところで、各々の測定回において測定を開始する前に、測定者がこの平面精度測定装置を突起4a〜4cでもって被測定面に押し付けることが必要である。これは、全ての突起4a〜4cを被測定面の所定位置に完全に当接させることによって測定基準面構築されることになるからである。この完全接触状態を保持しながら各測定点について測定を開始する。

この平面精度測定装置に使用される接触式センサ2は、図10に示すように構成されており、ロッド可動鉄心)21の変位量に応じて二次コイル22,23が誘導電流に基づく電圧を出力するようになっている。24は一次コイルである。ロッド21は図示しないバネにより突出方向に不勢されている。各接触式センサ2の出力電圧値はA/D変換器を通してデジタル信号に変換され、コンピュータで距離に換算される。非接触式センサ3の出力電圧値も同様の処理がされるが、その構成、作用については省略する。

概要

平面精度測定装置の突起及び接触式センサの接触状態を確認し、測定ミスを防止する。

校正用定盤100に平面精度測定装置10の突起4a〜4cを当接させたとき、または校正用定盤に貼り付けたゲージ板8a〜8cに突起を当接させたときの接触式センサA3 ,C2 ,C5 の出力電圧値をメモリ11に記憶させ、基準値を設定し、実際の被測定物200に突起を当接させたときの接触式センサの出力電圧値が一つでも基準値を満たさないときは、測定不能信号を出力し、測定ができないようにする。

目的

本発明は、かかる問題点を解決するためになされたものであり、平面精度測定装置が有する複数の突起及び接触式センサが被測定物と確実に接触しているかどうかを確認する方法を提供することを目的としている。そして特に、複数の突起のうち一つでも接触不良状態であれば、測定を実行不能にすることにある。また、全ての接触式センサについて、異常ないし故障を検知し、異常のセンサ位置を知らしめることにある。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

この技術が所属する分野

ライセンス契約や譲渡などの可能性がある特許掲載中! 開放特許随時追加・更新中 詳しくはこちら

請求項1

被測定物と当接する少なくとも3個の突起と少なくとも3個の接触式センサを有する平面精度測定装置接触状態を確認する方法において、前記突起を被測定物に当接したときに出力する前記接触式センサの個々の出力値が、あらかじめ設定された基準値を一つでも満たさないときは、測定不能信号を出力することを特徴とする平面精度測定装置の接触状態確認方法

請求項2

許容隙間範囲内の厚みを有するゲージ板を貼りつけた校正用定盤を用い、該ゲージ板に前記突起を当接したときの前記接触式センサの出力値をそれぞれメモリに記憶させることにより、前記基準値を前記接触式センサごとに設定することを特徴とする請求項1記載の平面精度測定装置の接触状態確認方法。

請求項3

前記接触式センサの変位と出力値の関係をメモリに記憶させることにより、前記基準値を設定することを特徴とする請求項1記載の平面精度測定装置の接触状態確認方法。

請求項4

校正用定盤に前記突起を当接したときの前記接触式センサの出力値をそれぞれメモリに記憶させることを特徴とする請求項1または請求項2記載の平面精度測定装置の接触状態確認方法。

請求項5

前記接触式センサは前記突起の近傍に取り付けられたものを使用することを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、または請求項4のいずれかに記載の平面精度測定装置の接触状態確認方法。

請求項6

前記測定不能信号により前記平面精度測定装置の測定回路オフにすることを特徴とする請求項1記載の平面精度測定装置の接触状態確認方法。

請求項7

前記測定不能信号により警告を出すことを特徴とする請求項1または請求項6記載の平面精度測定装置の接触状態確認方法。

請求項8

被測定物と当接する少なくとも3個の突起と少なくとも3個の接触式センサを有する平面精度測定装置の接触状態を確認する方法において、前記接触式センサの全部について、最初の測定前の開放時における出力値をメモリに記憶させておき、次回以降の測定前の開放時における前記接触式センサの出力値が、前記メモリに記憶されている出力値に対して所定の値を満たさないときは、コンピュータが異常信号を出力することを特徴とする平面精度測定装置の接触状態確認方法。

請求項9

前記異常信号により異常センサ位置を表示することを特徴とする請求項8記載の平面精度測定装置の接触状態確認方法。

技術分野

0001

本発明は、長尺体平面精度測定装置接触状態を確認する方法に関し、詳しくは、被測定物との接触に関与する該測定装置の突起及び接触式センサの接触状態の確認方法に関する。

背景技術

0002

本出願人により特願平5−49677号にて提案された平面精度測定装置は、図9に示されるように、アルミ製などの軽量剛体からなる定盤1に、距離計として多数の接触式センサ2及び光学式非接触式センサ3と、3個の突起4a,4b,4cを取り付けてなるものである。

0003

この平面精度測定装置によって、リニアモータカー地上コイル取付用コンクリートパネルのような長尺体の平面精度を測定する。測定に当たっては、3個の突起4a〜4cを被測定面に当接し、上記のセンサ2,3により被測定面までの距離を測定する。この操作を長尺体の長手方向に測定領域を1/2ずつ重複させながら繰り返していくものである。

0004

接触式センサ2と非接触式センサ3を設けてある理由は、測定対象リニアモータカー用のコンクリートパネルのコイル取付面が段付きになっているためであり、測定距離の短いコイル取付面に対しては精度の良い接触式センサ2を、測定距離の長いコイル取付面に対しては故障の少ない非接触式センサ3を使用することにしている。接触式センサ2は、図9においてA1 〜A6 ,C1 〜C6 及びE1 〜E4 の各位置に計16個配置されている。その他は全部(計14個)非接触式センサ3である。

0005

ところで、各々の測定回において測定を開始する前に、測定者がこの平面精度測定装置を突起4a〜4cでもって被測定面に押し付けることが必要である。これは、全ての突起4a〜4cを被測定面の所定位置に完全に当接させることによって測定基準面構築されることになるからである。この完全接触状態を保持しながら各測定点について測定を開始する。

0006

この平面精度測定装置に使用される接触式センサ2は、図10に示すように構成されており、ロッド可動鉄心)21の変位量に応じて二次コイル22,23が誘導電流に基づく電圧を出力するようになっている。24は一次コイルである。ロッド21は図示しないバネにより突出方向に不勢されている。各接触式センサ2の出力電圧値はA/D変換器を通してデジタル信号に変換され、コンピュータで距離に換算される。非接触式センサ3の出力電圧値も同様の処理がされるが、その構成、作用については省略する。

発明が解決しようとする課題

0007

前述のように平面精度測定装置においては、この装置が有する複数の突起を被測定物に当接した状態で測定を実施するわけであるが、全部の突起が完全に当接しているか確認する方法がなかった。そのため、一部の突起が不完全な接触状態にあることに気付かずに測定を行うことがあり、測定ミスまねいたり、測定のやり直しが必要になることがあった。

0008

また、本装置が有する接触式センサが破損やロッドの曲り等により可動しなくなった場合には、正確な測定が実行できない状態にあるにもかかわらず、測定を続行してしまうといった問題点があった。

0009

本発明は、かかる問題点を解決するためになされたものであり、平面精度測定装置が有する複数の突起及び接触式センサが被測定物と確実に接触しているかどうかを確認する方法を提供することを目的としている。そして特に、複数の突起のうち一つでも接触不良状態であれば、測定を実行不能にすることにある。また、全ての接触式センサについて、異常ないし故障を検知し、異常のセンサ位置を知らしめることにある。

課題を解決するための手段

0010

本発明に係る平面精度測定装置の接触状態確認方法は、被測定物と当接する少なくとも3個の突起と少なくとも3個の接触式センサを有する平面精度測定装置の接触状態を確認する方法において、前記突起を被測定物に当接したときに出力する前記接触式センサの個々の出力値が、あらかじめ設定された基準値を一つでも満たさないときは、測定不能信号を出力することを特徴とする。

0011

ここで、基準値の設定方法については、前記のように各接触式センサに共通する一つの値を設定する方法のほかに、許容隙間範囲内の厚みを有するゲージ板を貼りつけた校正用定盤を用い、該ゲージ板に突起を当接したときの接触式センサの出力値をそれぞれメモリに記憶させることにより、接触式センサごとに設定する方法、または、接触式センサの変位と出力値の関係をメモリに記憶させることにより、接触式センサごとに設定する方法がある。

0012

また、校正用定盤を用いる場合、最初に、該校正用定盤に前記突起を当接したときの前記接触式センサの出力値をそれぞれメモリに記憶させておく。

0013

前記接触式センサは前記突起の近傍に取り付けられたものを使用するほうがよい。

0014

前記測定不能信号とは、具体的には、この信号によって、平面精度測定装置の測定回路オフにするとか、警告メッセージを表示することなどにより警告を出すことである。測定回路のオフと警告表示はいずれか一方でもよいが、両者とするほうが平面精度測定においては適している。

0015

また、本発明は、前記接触式センサの全部について、最初の測定前の開放時における出力値をメモリに記憶させておき、次回以降の測定前の開放時時における前記接触式センサの出力値が、前記メモリに記憶されている出力値に対して所定のしきい値を満たさないときは、コンピュータが異常信号を出力することを特徴とするものである。

0016

また、前記異常信号により異常センサ位置を表示することを特徴とする。

0017

平面精度測定装置の接触状態は、この装置に取り付けられた少なくとも3個の突起を被測定物に当接させることにより安定的に保持される。しかし、人が押し付けて保持しなければならないものであるから、一部の突起が多少浮き上がった状態となることもある。このとき、接触式センサも被測定物に接触しているので、各接触式センサから出力電圧値が得られる。この個々の出力電圧値をあらかじめ設定されている基準値と比較し、一つでも基準値を満たさないときは、その突起の位置において被測定面との隙間が許容範囲を越えていると判定し、コンピュータが測定不能信号を出力し、測定を実施できないようにする。この場合の基準値は、接触式センサの精度のバラツキ、突起の製作誤差のバラツキを案して決められるため、ある程度ラフな値にならざるを得ない。基準値は全ての接触式センサに対して一つである。

0018

各接触式センサに対して個々に基準値を設定する場合は、所定位置に許容隙間範囲内の厚みを有するゲージ板を貼りつけた校正用定盤を用いる。そして、そのゲージ板に突起を当接したときの接触式センサの出力電圧値をコンピュータのメモリに記憶させることにより基準値とする。また、ゲージ板なしの校正用定盤に突起を当接させたときの出力電圧値をも記憶させておけば、共通の基準値を設定する場合や接触式センサの動作が正常であるかの判定に利用できる。このような基準値の設定方法とすることにより、実際に使用している接触式センサの精度及び突起の出来上がり状態に関係なく、個々に基準値を設定することができる。また、あらかじめ調べておいた接触式センサの出力電圧値と変位の関係をメモリに記憶させることによっても基準値の設定ができる。

0019

接触式センサは、できるだけ突起の近傍に取り付けられているものを使用する。突起からあまり離れていると、平面精度測定装置の押し付け加減の影響を受ける度合いが高くなり、測定不能状態頻度が高くなる。

0020

測定不能信号により、平面精度測定装置の測定回路をオフにしたり、警告表示をさせることにより、測定者は測定不能状態にあることを知ることができ、測定ミスを防ぐことができる。

0021

平面精度測定装置は、測定の都度毎回被測定物に対して押し付けと開放を繰り返すものである。したがって、最初の測定前の開放時において、接触式センサが正常であればそのロッドは全伸びの状態になっているはずである。この全伸び状態のときの出力電圧値に対し、例えば90%の値をしきい値として全ての接触式センサについて記憶させておくことにより、次回以降の測定前の開放時に、そのしきい値を満たしているかどうかをチェックし、これを満たさない接触式センサがあれば、その接触式センサはロッドの不具合等により異常ないし故障しているものと判定し、異常信号を出力させる。この異常信号によって、どの位置の接触式センサが故障しているかを知ることができる。

0022

実施例1.図1本発明方法の対象となる平面精度測定装置の正面図である。本測定装置10は、前記出願に係るものと同様であり、アルミなどの軽量剛体からなる定盤1に、16個の接触式センサ2と、14個の光学式センサ3と、3個の突起4a,4b,4cを、それぞれ定盤1の裏側(図1の背面側)に測定方向がくるように取り付けたものである。また、本測定装置10を手に持って被測定物に押し付けるためのグリップ5が設けられており、さらに、上記センサ2、3のアナログ信号をデジタル信号に変換するA/D変換器6と、そのデジタル信号を平面精度の測定値に算出するためのパネル式のコンピュータ7を搭載している。コンピュータ7及びA/D変換器6は定盤1と別体に構成してもよい。接触式センサ2は、図示のA1 〜A6 ,C1 〜C6 及びE1 〜E4 の各位置に、光学式センサ3は、B1 〜B7 及びD1 〜D7 の各位置に取り付けられている。図2はこれらのセンサ2,3を省略して定盤1を上から見たときの上面図である。

0023

図3は本発明の実施例1を示すもので、本測定装置の突起の当接状態を確認する工程図、図4接触状態判定回路図である。図4において、11はメモリ、12は演算器、13は設定器、14〜16は比較器、17はアンド回路であり、これらはいずれもコンピュータ7に内蔵されているものである。接触式センサは突起4a〜4cの近傍に設けられたものを使用している。

0024

まず、図3(a)に示すように、本測定装置10を校正用定盤100に押し付ける。このとき、全ての突起4a〜4cは理想的な接触状態で校正用定盤100に完全に当接している。また、突起4a〜4cの近傍に設けられた接触式センサA3 (またはA4 ),C2 ,C5 も校正用定盤100に接触し、それぞれ電圧値Va0,Vb0,Vc0を出力する。これらの電圧値はコンピュータ7のメモリ11に記憶させるとともに、演算器12により、例えばその算術的平均値から許容隙間の変位に相当する電圧値(平均値)を差し引き、その値を基準値V0 として設定器13で設定する。接触式センサの変位と電圧値の関係はあらかじめ把握しておけばよい。基準値V0 は各比較器14〜16に送られる。

0025

次に、図3(b)に示すように、本測定装置10を実際の被測定物200に押し付け、そのときに検出された同じ接触式センサの電圧値Va ,Vb ,Vc をそれぞれ比較器14〜16に送り、基準値V0 と比較する。比較器14〜16は、Va ≧V0 ,Vb ≧V0 ,Vc ≧V0 を満たすときは、それぞれ「1」の信号をアンド回路17に送り、満たさないときは「0」の信号をアンド回路17に送る。したがって、この条件を全て満足しない限り、アンド回路17は「1」の信号を出力しない。換言すれば、一つの突起でも浮き上がった状態にあり、その突起の近傍の接触式センサの出力電圧値が基準値V0 を満たさないときは、被測定面との隙間が許容範囲を越える場合であって、このときアンド回路17は「0」の信号を出力するので、この信号により測定を実施できない状態にする。

0026

この測定不能信号によって、本測定装置10の図示しない測定回路をオフにする。そのため、測定スイッチをいくら押しても測定は行われないので、突起の接触不良状態を知ることができるとともに、測定ミスを防止できる。また、コンピュータ7の画面に警告メッセージが表示されるので、これによっても一部の突起の接触不良状態を知ることができる。

0027

実施例2.実施例1では、基準値V0 を3個の接触式センサに対して共通のものとして設定しているため、接触式センサの精度のバラツキや突起の製作誤差のバラツキをあらかじめ見込んだ形で基準値を設定しなければならない。したがって、基準値そのものがある程度ラフな値となり、測定精度をより一層高めるためには、隙間の許容範囲を厳しい値に設定しなければならない。このためには、個々の接触式センサに対して基準値を設定する必要がある。本実施例はこのような要求に応えるものである。

0028

図5は実施例2の接触状態確認の工程図で、図6は接触状態判定回路図である。図5(a)は、校正用定盤100の所定位置に、許容隙間範囲内の厚みを有するゲージ板8a,8b,8cを貼りつけ、このゲージ板8a〜8cに突起4a〜4cをそれぞれ完全に当接した状態を示している。ゲージ板8a〜8cは同一の厚さを有する。そして、このときの接触式センサA3 (またはA4 ),C2 ,C5 の出力電圧値Vag,Vbg,Vcgを図6のメモリ11に記憶させておき、次に、図5(b)のように、実際の被測定物200に本測定装置10を押し付け、突起4a〜4cを当接させたときの同じ接触式センサの出力電圧値Va ,Vb ,Vcをそれぞれ比較器14〜16に送り、それぞれメモリ11に記憶されている基準値Vag,Vbg,Vcgと比較する。比較器14〜16は、Va ≧Vag,Vb ≧Vbg,Vc ≧Vcgを満たすときは、実施例1と同様に「1」の信号をアンド回路17に送り、満たさないときは「0」の信号をアンド回路17に送る。したがって、上記の条件を一つでも満たさないときは、アンド回路17は「0」の信号、つまり測定不能信号を出力する。

0029

本実施例においては、基準値Vag,Vbg,Vcgが校正用定盤100に貼りつけた許容隙間範囲内の厚みのゲージ板8a〜8cに突起4a〜4cを当接させたときの接触式センサの出力電圧値で設定されているので、その接触式センサ、突起のバラツキに関係なく、個々に基準値を設定することができる。また、本測定装置10に許容される隙間はゲージ板8a〜8cの厚みで決定されるため、本測定装置10の接触状態を正確に確認することができるとともに、測定精度を向上させることができる。さらに、基準値Vag,Vbg,Vcgを、実施例1におけるゲージ板なしの校正用定盤100に対する出力電圧値Va0,Vb0,Vc0と比較することにより、その接触式センサの動作が正常であるかどうかも判定することができる。

0030

実施例3.本実施例は、実施例2におけるゲージ板8a〜8cに代えて、図7に示すような接触式センサの変位と出力電圧の関係を利用するものである。このような関係を示すグラフを個々の接触式センサについて調べておき、そのグラフをメモリ11に記憶させておく。そしてまず、実施例1の図3(a)で示したように、突起4a〜4cを直接校正用定盤100に当接させたときの出力電圧値Va0,Vb0,Vc0を求める。このときの接触式センサの変位量は図7のグラフから求まる。例えば、接触式センサA3 の出力電圧値Va0に対する変位量はLa0で求められる。他の2つの接触式センサについてもそれぞれのグラフから同様に求められる。

0031

次に、本測定装置10に許容される隙間に相当する変位量に対する電圧値を算出し、その算出値をその接触式センサの基準値として設定する。例えば、図7において、斜線で示す範囲が本測定装置10に許容される隙間gであり、各接触式センサに共通の値である。そしてこの隙間分を差し引いた変位量Lagに対する電圧値Vagを算出し、この値を接触式センサA3 の基準値として設定する。その後は、実施例2と同様に、実際の被測定物200に対する出力電圧値Va ,Vb ,Vc をそれぞれ基準値Vag,Vbg,Vcgと比較することになる。

0032

実施例4.図8は本発明の実施例4を示す接触式センサの接触状態判定回路図である。本実施例では、本測定装置10にて使用される全ての接触式センサが対象である。すなわち、図1において、A1 〜A6 ,C1 〜C6 及びE1 〜E4 の接触式センサが対象となる。なお、図8においては、これらの接触式センサを記号2-1,2-2,…2-nで示す。

0033

本測定装置10は、測定のたびごとに、被測定物に対して押し付けと開放を繰り返すものであるから、本測定装置10の開放時には各接触式センサが正常であれば、図10に示すように、ロッド21は全伸びの状態になっているはずである。そこで最初の測定前の開放時において、各接触式センサの出力電圧値V-1,V-2,…V-nを検出し、メモリ18に記憶させておく。次に、これらの出力電圧値に対して、例えば90%をしきい値Vo1,Vo2,…Vonとして設定器19により設定する。しきい値のレベルは測定精度や異常信号の頻発などを勘案して決める。あまり高い値に設定すると、異常信号が頻発するし、低い値では測定精度が低下する。

0034

次に、次回以降の測定前にその都度、開放時における各接触式センサの出力電圧値V1 ,V2 ,…Vn を検出し、比較器20-1,20-2,…20-nに送り、しきい値Vo1,Vo2,…Vonとそれぞれ比較する。各比較器において、V1 ≧Vo1,V2 ≧Vo2,…Vn ≧Vonを満たすときは、各接触式センサが全て正常であることをコンピュータ7の画面に表示する。しかし、この条件を満たさないときには、異常信号を出力し、異常センサの位置をコンピュータ7の画面に表示する。これによって、どの位置の接触式センサがロッドの曲りなどにより異常ないし故障しているかを知ることができる。この異常センサ位置の表示に従って接触式センサを交換すればよい。なお、実施例1,2のようにアンド回路を用いて正常信号を取り出すようにしてもよい。

発明の効果

0035

以上説明したように、本発明によれば、平面精度測定装置の複数の突起のうち一つでも、被測定物との間に許容範囲を越える隙間があり接触不良状態であれば、測定不能信号を出力するので、一部の突起の接触不良状態を確実に知ることができるとともに、測定ミスを防止することができる。

0036

突起の接触不良状態を判定する基準値を、ゲージ板を貼りつけた校正用定盤を用いて接触式センサごとに設定することにより、接触式センサや突起のバラツキに関係なく正確な許容範囲の隙間を設定することができ、測定精度を向上させることができる。

0037

また、接触式センサの変位と出力値の関係を記憶させることによっても、接触式センサごとに基準値を設定できるので、上記と同様の効果を奏する。

0038

ゲージ板なしの校正用定盤に対する接触式センサの出力値をコンピュータのメモリに記憶させることにより、共通の基準値を設定する場合や接触式センサの動作が正常であるかどうかの判定に利用することができる。

0039

上記接触式センサは突起の近傍に取り付けられたものを使用することにより、平面精度測定装置の押し付け具合などの影響を少なくすることができ、測定不能信号が頻繁に出ることを防止できる。

0040

測定不能信号により平面精度測定装置の測定回路をオフにしたり、警告を出すことで、測定者に突起の接触不良状態を確実に知らしめることができる。

0041

全ての接触式センサについて、測定前の開放時における出力値が所定のしきい値を満たさないときは、異常信号を出力するので、測定ミスを防止することができる。

0042

また、その異常信号によりどの位置の接触式センサが故障などを起こしているかを知ることができ、交換の際に便利である。

図面の簡単な説明

0043

図1本発明方法の対象とする平面精度測定装置の正面図である。
図2同測定装置の要部の上面図である。
図3本発明の実施例1を示す工程図である。
図4実施例1の接触状態判定のための回路図である。
図5本発明の実施例2を示す工程図である。
図6実施例2の接触状態判定のための回路図である。
図7本発明の実施例3で使用する接触式センサの変位と出力電圧の関係を示すグラフである。
図8本発明の実施例4の接触状態判定のための回路図である。
図9従来の平面精度測定装置の正面図である。
図10従来の接触式センサの概略構成図である。

--

0044

1定盤、2(A1 〜A6 ,C1 〜C6 ,E1 〜E4 ,2-1,2-2,…2-n)接触式センサ、3光学式センサ、4a〜4c突起、5グリップ、6 A/D変換器、7コンピュータ、8a〜8cゲージ板、10平面精度測定装置、11,メモリ、12演算器、13設定器、14〜16比較器、17アンド回路、18 メモリ、19 設定器、20-1,20-2,…20-n 比較器、100校正用定盤、200被測定物。

ページトップへ

この技術を出願した法人

この技術を発明した人物

ページトップへ

関連する挑戦したい社会課題

関連する公募課題

ページトップへ

技術視点だけで見ていませんか?

この技術の活用可能性がある分野

分野別動向を把握したい方- 事業化視点で見る -

ページトップへ

おススメ サービス

おススメ astavisionコンテンツ

新着 最近 公開された関連が強い技術

この 技術と関連性が強い人物

関連性が強い人物一覧

この 技術と関連する社会課題

関連する挑戦したい社会課題一覧

この 技術と関連する公募課題

関連する公募課題一覧

astavision 新着記事

サイト情報について

本サービスは、国が公開している情報(公開特許公報、特許整理標準化データ等)を元に構成されています。出典元のデータには一部間違いやノイズがあり、情報の正確さについては保証致しかねます。また一時的に、各データの収録範囲や更新周期によって、一部の情報が正しく表示されないことがございます。当サイトの情報を元にした諸問題、不利益等について当方は何ら責任を負いかねることを予めご承知おきのほど宜しくお願い申し上げます。

主たる情報の出典

特許情報…特許整理標準化データ(XML編)、公開特許公報、特許公報、審決公報、Patent Map Guidance System データ