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この項目の情報は公開日時点(1996年1月12日)のものです。
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図面 (3)

目的

テスト時間を短縮できる半導体テスト装置を提供する。

構成

出力電圧値を測定したデータを、出力端子番号順に測定データ格納用RAM2に格納し、一階調の出力データがそろうと、一階調分の出力データで最大値最小値平均値を算出する。そして、最大値、最小値、平均値を最大値格納部4、最小値格納部5、平均値格納部6に格納し、基準値との比較をする。そして、最大値、最小値、平均値を算出するのと並行して、別の階調出力電圧を測定し、測定データ格納用RAM2へ測定データを格納することができるので、テスト時間を短縮することができる。

概要

背景

近年、液晶ディスプレイはCRTに換わる映像表示装置として注目を浴びてきている。そして、小型かつ軽量であるため、携帯用情報機器を中心に今後大きな市場が見込まれている。

この液晶ディスプレイの分野においてはTFT(薄膜トランジスタ)タイプを中心に、今後はフルカラー化、低コスト化への急激な技術革新が進むと考えられる。この鍵を握るのが液晶駆動用半導体装置であり、フルカラー化のための高精度化・8ビット対応、低コスト化のための多端子化が進んでいる。

これらの液晶駆動用半導体装置を生産するにあたって、出荷前に必ず、出力電圧値製品規格に満たしているかどうかのテストが行われている。

以下、従来の半導体テスト装置について図2を参照しながら説明する。1はディジタイザで、液晶駆動用半導体装置(図示せず)の出力電圧値を、ディジタル信号で読み取るものである。ディジタイザ1は、半導体テスト装置に一つまたは複数個あり、通常16ビットから18ビット分解能をもっている。2は、ディジタイザ1が読み取ったディジタル信号のデータを格納する測定データ格納用RAMである。3はディジタルシグナルプロセッサ(以下、DSPという)で、測定データ格納用RAM2からデータを取り出し、最大値最小値平均値演算を行うものである。

以上のように構成された従来の半導体テスト装置の動作について、以下説明する。

まず、ディジタイザ1が、液晶駆動用半導体装置(図示せず)の出力電圧値をディジタル信号で読み取った測定結果を、測定データ格納用RAM2へ、測定順に順次書き込む。

そして、測定データ格納用RAM2へ書き込みが全て完了すると、DSP3に測定データ格納用RAM2の中から必要なデータを取り出し、最大値、最小値、平均値の演算を行う。そして、DSP3により各階調レベルごとに全出力端子の出力電圧値の最大値、最小値を演算して、基準値との比較を行い、半導体装置出力電圧のばらつきが規格内におさまっているかの判定を行う。また、DSP3により各階調レベルごとの全出力端子の出力電圧値の平均値を演算し、理想直線との比較を行い出力電圧階調レベル直線性が規格内におさまっているかの判定を行う。なお、DSPが算出した値が規格を満たしていない場合は、不良品として取り除かれる。

概要

テスト時間を短縮できる半導体テスト装置を提供する。

出力電圧値を測定したデータを、出力端子番号順に測定データ格納用RAM2に格納し、一階調の出力データがそろうと、一階調分の出力データで最大値、最小値、平均値を算出する。そして、最大値、最小値、平均値を最大値格納部4、最小値格納部5、平均値格納部6に格納し、基準値との比較をする。そして、最大値、最小値、平均値を算出するのと並行して、別の階調の出力電圧を測定し、測定データ格納用RAM2へ測定データを格納することができるので、テスト時間を短縮することができる。

目的

本発明は上記従来課題を解決するもので、テスト時間を短縮できる半導体テスト装置を提供することを目的とする。

効果

実績

技術文献被引用数
2件
牽制数
3件

この技術が所属する分野

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請求項1

出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一階調分の測定データの最大値を算出する演算部と、前記最大値を格納する最大値格納部とを有する半導体テスト装置

請求項2

出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一階調分の測定データの最小値を算出する演算部と、前記最小値を格納する最小値格納部とを有する半導体テスト装置。

請求項3

出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一階調分の測定データの平均値を算出する演算部と、前記平均値を格納する平均値格納部とを有する半導体テスト装置。

請求項4

出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一階調分の測定データの最大値を格納する最大値格納部と、前記一階調分の測定データの最小値を格納する最小値格納部と、前記一階調分の測定データの平均値を格納する平均値格納部とを有する半導体テスト装置。

請求項5

出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一階調分の測定データの平均値を算出する演算部と、前記平均値を格納する平均値格納部と、前記平均値格納部に格納されている平均値に対する最大隔たり値を算出する演算部と、前記最大隔たり値を格納する最大隔たり値格納部とを有する半導体テスト装置。

請求項6

出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一階調分の測定データの分散σ、2σ、3σを算出する演算部と、前記分散σ、2σ、3σを格納する分散格納部を有する半導体テスト装置。

請求項7

出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記測定データ格納部に格納された前記測定データのうち同一の出力端子から出力された測定データの最大値を格納する最大値格納部と、前記同一の出力端子から出力された測定データの最小値を格納する最小値格納部と、前記同一の出力端子から出力された測定データの平均値を格納する平均値格納部とを有する半導体テスト装置。

技術分野

0001

本発明は、液晶駆動用半導体装置等の出力電圧値の測定・比較を高速に行う半導体テスト装置に関するものである。

背景技術

0002

近年、液晶ディスプレイはCRTに換わる映像表示装置として注目を浴びてきている。そして、小型かつ軽量であるため、携帯用情報機器を中心に今後大きな市場が見込まれている。

0003

この液晶ディスプレイの分野においてはTFT(薄膜トランジスタ)タイプを中心に、今後はフルカラー化、低コスト化への急激な技術革新が進むと考えられる。この鍵を握るのが液晶駆動用半導体装置であり、フルカラー化のための高精度化・8ビット対応、低コスト化のための多端子化が進んでいる。

0004

これらの液晶駆動用半導体装置を生産するにあたって、出荷前に必ず、出力電圧値が製品規格に満たしているかどうかのテストが行われている。

0005

以下、従来の半導体テスト装置について図2を参照しながら説明する。1はディジタイザで、液晶駆動用半導体装置(図示せず)の出力電圧値を、ディジタル信号で読み取るものである。ディジタイザ1は、半導体テスト装置に一つまたは複数個あり、通常16ビットから18ビット分解能をもっている。2は、ディジタイザ1が読み取ったディジタル信号のデータを格納する測定データ格納用RAMである。3はディジタルシグナルプロセッサ(以下、DSPという)で、測定データ格納用RAM2からデータを取り出し、最大値最小値平均値演算を行うものである。

0006

以上のように構成された従来の半導体テスト装置の動作について、以下説明する。

0007

まず、ディジタイザ1が、液晶駆動用半導体装置(図示せず)の出力電圧値をディジタル信号で読み取った測定結果を、測定データ格納用RAM2へ、測定順に順次書き込む。

0008

そして、測定データ格納用RAM2へ書き込みが全て完了すると、DSP3に測定データ格納用RAM2の中から必要なデータを取り出し、最大値、最小値、平均値の演算を行う。そして、DSP3により各階調レベルごとに全出力端子の出力電圧値の最大値、最小値を演算して、基準値との比較を行い、半導体装置出力電圧のばらつきが規格内におさまっているかの判定を行う。また、DSP3により各階調レベルごとの全出力端子の出力電圧値の平均値を演算し、理想直線との比較を行い出力電圧階調レベル直線性が規格内におさまっているかの判定を行う。なお、DSPが算出した値が規格を満たしていない場合は、不良品として取り除かれる。

発明が解決しようとする課題

0009

最近では、液晶駆動用半導体装置がたとえば256階調、240出力端子というように、高階調化・多端子化するにつれて、総テスト時間に占める演算時間比率が大きくなってきた。そこで、テスト時間の短縮が即、半導体装置のコスト低下につながるようになってきた。そこで、テスト時間を短縮できる手法が求められるようになってきた。

0010

本発明は上記従来課題を解決するもので、テスト時間を短縮できる半導体テスト装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0011

本発明は上記目的を達成するために、出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記測定データ格納部に格納された測定データのうち一階調分の測定データの最大値を格納する最大値格納部または、前記一階調分の測定データの最小値を格納する最小値格納部または、前記一階調分の測定データの平均値を格納する平均値格納部とを有するものである。

0012

また、本発明は上記目的を達成するために、出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記測定データ格納部に格納された測定データのうち一階調分の測定データの平均値を格納する平均値格納部または、一階調分の測定データの分散σ、2σ、3σを格納する分散格納部を有するものである。

0013

さらに、本発明は上記目的を達成するために、出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従った順に格納する測定データ格納用RAMと、前記測定データ格納用RAMに格納された測定データのうち同一の出力端子から出力された測定データの最大値を格納する最大値格納部と、前記同一の出力端子から出力された測定データの最小値を格納する最小値格納部と、前記同一の出力端子から出力された測定データの平均値を格納する平均値格納部とを有するものである。

0014

本発明は上記した構成により、出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従った順に測定データ格納部に格納し、一階調ごとまたは、一つの出力端子からの出力ごとに最大値、最小値、平均値等を算出し、最大値格納部、最小値格納部、平均値格納部等に格納できる。したがって、測定データ格納部に一階調または、一つの出力端子からの出力分の測定データが格納された時点で、最大値、最小値、平均値等を算出、基準値との比較をすることができる。そして、最大値、最小値、平均値等を算出するのと並行して、別の階調または、別の出力端子からの出力電圧を測定することができる。

0015

以下、本発明の一実施例について、図1を参照しながら説明する。

0016

図1は、本発明の半導体テスト装置の構成を示す図である。図1において、2は、ディジタイザ(図示せず)等で読み取ったディジタル信号の出力電圧値を格納する測定データ格納用RAMで、横方向を出力端子順、縦方向を出力電圧階調レベル順に設定されている。4はデータ格納用RAM2の横方向のデータにおける最大値を取り込む最大値格納部、5はデータ格納用RAM2の横方向のデータにおける最小値を取り込む最小値格納部、6はデータ格納用RAM2の横方向のデータにおける平均値を取り込む平均値格納部である。

0017

以上のように構成された本発明の一実施例について、以下その動作を説明する。

0018

図1の測定データ格納用RAM2は、横方向に出力端子1から出力端子240まで順番に、また縦方向に階調レベル1から階調レベル256まで順番に格納されるものとする。

0019

まず、ディジタイザ(図示せず)で一階調ごとに測定した測定データは測定データ格納用RAM2の横方向に順に出力端子1から出力端子240まで格納される。そして、一つの階調の測定データ格納用RAMへの格納が完了すると同時に、演算器(図示せず)で最大値、最小値、平均値を計算し、最大値格納部4、最小値格納部5、平均値格納部6にそれぞれの値を格納する。また、演算器(図示せず)で最大値、最小値、平均値を計算している間や、最大値格納部4、最小値格納部5、平均値格納部6にそれぞれの値を格納している間に、次の階調の測定データが測定データ格納用RAM2に書き込まれる。

0020

この様な動作を繰り返し、階調レベル1から階調レベル256まで全てについて、出力端子1から出力端子240までの測定データが、測定データ格納用RAM2に格納されると同時に、それぞれの階調レベルの最大値、最小値、平均値がそれぞれ、最大値格納部4、最小値格納部5、平均値格納部6に格納される。

0021

そして、最大値格納部4、最小値格納部5、平均値格納部6に格納された最大値、最小値、平均値と基準値との比較を行い、半導体装置の出力電圧のばらつきが規格内におさまっているかの判定を行う。

0022

このように本発明の第1の実施例によれば、最大値、最小値、平均値などのそれぞれに専用の格納部を設けることにより、一階調分の測定データが測定データ格納用RAM2に格納された時点で、最大値、最小値、平均値を算出し、比較判定を行っているので、算出・比較判定を行うのと並行して、次の一階調分のデータの測定を行うことができる。したがって、半導体テスト装置のテスト時間を短縮することができる。

0023

また、本発明は、半導体装置の良品/不良品の判定に用いられるのが一般的であるので、一つ目の階調を比較判定した時点で、不良品と判定された場合、判定の終わっていない階調のデータ測定を新たに行う必要がなくなり、半導体テスト装置のテスト時間に占める時間を大幅に短縮することができる。

0024

次に、別の用途に本発明を採用した第2の実施例について説明する。本実施例では、上記して説明した第1の実施例で、最大値、最小値、平均値を格納できる最大値格納部4、最小値格納部5、平均値格納部6を備えているのに対し、出力端子方向の測定データの平均値に対する最大隔たり値の演算結果を格納する最大隔たり値格納部や、出力端子方向の測定データが正規分布しているとして分散σ、2σ、3σの演算結果を格納する分散格納部を備えている。

0025

このように最大隔たり値および分散σ、2σ、3σの演算結果を格納する最大隔たり値格納部、および分散格納部を備えることで、別の用途に使用することも可能になる。

0026

なお、本実施例では、一階調分をまとめて、測定データの測定データ格納用RAM2への書き込み、および最大値等の演算を行っていたが、出力端子番号ごとに最大値等を求めても、同様の効果が得られるのは明らかである。

発明の効果

0027

本発明によれば、測定データ格納部に一階調または、一つの出力端子からの出力分の測定データが格納された時点で、最大値、最小値、平均値等を算出・比較判定することができ、かつ、最大値、最小値、平均値等を算出・比較判定するのと並行して、別の階調または、別の出力端子からの出力電圧を測定することができるので、半導体テスト装置によるテスト時間を短縮することができる。

0028

また、全ての出力電圧の測定が完了する前に、ある一階調または、ある一つの出力端子からの出力分の測定データの最大値、最小値、平均値等の値が規格を満たしていないと判定された場合、全出力電圧を測定する必要がなくなり、テスト時間をかなり短縮することができる。

0029

また、このようなテスト時間の短縮によりテストコスト下げることにもつながる。

図面の簡単な説明

0030

図1本発明の一実施例の半導体テスト装置の構成図
図2従来の半導体テスト装置の構成図

--

0031

1ディジタイザ
2 測定データ格納用RAM
3 DSP
4最大値格納部
5最小値格納部
6平均値格納部

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