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技術 半導体集積回路およびその製造方法およびその測定方法

出願人 シチズン時計株式会社
発明者 小澤達也
出願日 1994年4月28日 (25年4ヶ月経過) 出願番号 1994-091275
公開日 1995年11月10日 (23年10ヶ月経過) 公開番号 1995-297372
状態 未査定
技術分野 半導体等の試験・測定 半導体集積回路
主要キーワード 接地電位端子 電源電位端 接地電位線 電源電位線 各半導体集積回路 面積効率 側スイッチ 導通抵抗
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この項目の情報は公開日時点(1995年11月10日)のものです。
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図面 (3)

構成

電源電位側スイッチ接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路スクライブライン上に導電性測定用配線とを有する半導体集積回路およびその製造方法およびその測定方法

効果

出力端子にプロービングすることなく各出力端子の状態を確認することが可能となり、またプロービングすることがない出力端子間は必要最小限に配置する事が可能となり、半導体集積回路の面積効率を大幅に上げることが可能となる。導電性で測定用の配線をスクライブライン上に配置することにより、半導体集積回路の面積効率を上げることが可能となる。

概要

背景

図2は従来の複数の出力回路を有する半導体集積回路の構成を示す回路図である。図2を用いて従来の半導体集積回路の出力回路の構成と、その測定方法について説明する。

複数の出力回路を有する半導体集積回路のうち、一つの出力回路9の構成について説明する。出力回路9は電源電位側スイッチ3と接地電位側スイッチ4と出力端子5とで構成している。

電源電位側スイッチ3の一方の端子電源電位線1に接続し、電源電位側スイッチ3の他方の端子は接地電位側スイッチ4の一方の端子と出力端子5とに接続し、また接地電位側スイッチ4の他方の端子は接地電位線2に接続する。

半導体集積回路の測定方法は、入力端子(図示せず)および出力端子全てにプロービングをして外部の測定装置で測定を行っている。

次に、図2を用いて従来の複数の出力回路を有する半導体集積回路のうち、一つの出力回路9の測定方法について説明する。

まず、電源電位側スイッチ3を導通状態にし、接地電位側スイッチ4を非道通状態になるように入力端子から制御信号を入力して出力端子5に電源電位線1の電位を出力する。

出力端子5の出力値予測する期待値と比較して、電源電位側スイッチ3が制御どおり導通状態になっていることと、接地電位側スイッチ4が制御どおり非導通状態になっていることと、接地電位側スイッチ4のリーク電流などの確認をし、良否の判定下している。

また、電源電位側スイッチ3を非導通状態にし、接地電位側スイッチ4を導通状態になるように入力端子から制御信号を入力して出力端子5に接地電位線2の電位を出力させ、上記と同じように良否の判定を下している。

さらに、一般的には検査終了後、ウェハ上に配置する半導体集積回路のスクライブラインを切断し、半導体集積回路を単体として、製品化への工程を進める。

概要

電源電位側スイッチと接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路とスクライブライン上に導電性測定用配線とを有する半導体集積回路およびその製造方法およびその測定方法。

出力端子にプロービングすることなく各出力端子の状態を確認することが可能となり、またプロービングすることがない出力端子間は必要最小限に配置する事が可能となり、半導体集積回路の面積効率を大幅に上げることが可能となる。導電性で測定用の配線をスクライブライン上に配置することにより、半導体集積回路の面積効率を上げることが可能となる。

目的

本発明の目的は、上記課題を解決して、出力端子にプロービングすることなく出力端子の検査が可能な出力回路を有し、出力端子間を必要最小限とすることで面積効率の高い半導体集積回路を提供することと、その半導体集積回路の製造方法を提供することと、またその半導体集積回路の測定方法を提供することである。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
1件

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請求項1

電源電位側スイッチと、接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路と、スクライブライン上に導電性測定用配線とを有することを特徴とする半導体集積回路

請求項2

電源電位側スイッチと、接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路と、スクライブライン上に導電性で測定用の配線とを有する半導体集積回路であって、スクライブライン上の導電性で測定用の配線は半導体集積回路上の全ての出力端子に接続することを特徴とする半導体集積回路。

請求項3

電源電位側スイッチと、接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路と、スクライブライン上に導電性で測定用の配線とを有する半導体集積回路であって、スクライブライン上の導電性で測定用の配線はウェハ上に配置する複数の半導体集積回路で別々に形成することを特徴とする半導体集積回路。

請求項4

電源電位側スイッチと、接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路と、スクライブライン上に導電性で測定用の配線とを有する半導体集積回路であって、ウェハ上の複数の半導体集積回路のスクライブラインを切断することにより、導電性で測定用の配線を含まない半導体集積回路と等価な回路となることを特徴とする半導体集積回路。

請求項5

電源電位側スイッチと、接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路と、スクライブライン上に導電性で測定用の配線とを有する半導体集積回路であって、複数の出力回路内の一つの出力回路の電源電位側スイッチを導通状態とし、その他の出力回路は接地電位側スイッチを導通状態とし、電源電位線から接地電位線電流を流すことで、電源電位側スイッチの状態をプロービングすることなく測定することを特徴とする半導体集積回路の測定方法

請求項6

電源電位側スイッチと、接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路と、スクライブライン上に導電性で測定用の配線とを有する半導体集積回路であって、複数の出力回路内の一つの出力回路の接地電位側スイッチを導通状態とし、その他の出力回路は電源電位側スイッチを導通状態とし、電源電位線から接地電位線に電流を流すことで、接地電位側スイッチの状態をプロービングすることなく測定することを特徴とする半導体集積回路の測定方法。

技術分野

0001

本発明は半導体集積回路およびその製造方法およびその測定方法に関し、特に出力回路の構成とその測定方法に関する。

背景技術

0002

図2は従来の複数の出力回路を有する半導体集積回路の構成を示す回路図である。図2を用いて従来の半導体集積回路の出力回路の構成と、その測定方法について説明する。

0003

複数の出力回路を有する半導体集積回路のうち、一つの出力回路9の構成について説明する。出力回路9は電源電位側スイッチ3と接地電位側スイッチ4と出力端子5とで構成している。

0004

電源電位側スイッチ3の一方の端子電源電位線1に接続し、電源電位側スイッチ3の他方の端子は接地電位側スイッチ4の一方の端子と出力端子5とに接続し、また接地電位側スイッチ4の他方の端子は接地電位線2に接続する。

0005

半導体集積回路の測定方法は、入力端子(図示せず)および出力端子全てにプロービングをして外部の測定装置で測定を行っている。

0006

次に、図2を用いて従来の複数の出力回路を有する半導体集積回路のうち、一つの出力回路9の測定方法について説明する。

0007

まず、電源電位側スイッチ3を導通状態にし、接地電位側スイッチ4を非道通状態になるように入力端子から制御信号を入力して出力端子5に電源電位線1の電位を出力する。

0008

出力端子5の出力値予測する期待値と比較して、電源電位側スイッチ3が制御どおり導通状態になっていることと、接地電位側スイッチ4が制御どおり非導通状態になっていることと、接地電位側スイッチ4のリーク電流などの確認をし、良否の判定下している。

0009

また、電源電位側スイッチ3を非導通状態にし、接地電位側スイッチ4を導通状態になるように入力端子から制御信号を入力して出力端子5に接地電位線2の電位を出力させ、上記と同じように良否の判定を下している。

0010

さらに、一般的には検査終了後、ウェハ上に配置する半導体集積回路のスクライブラインを切断し、半導体集積回路を単体として、製品化への工程を進める。

発明が解決しようとする課題

0011

半導体集積回路の入力端子および出力端子は、プロービングするために大きな面積パットを必要とし、またそれぞれの入力端子および出力端子に立てるプロービング・ピンが互いに接触しないようにパット間の間隔を広くとる必要がある。

0012

また、多くの入力端子および出力端子を必要とする半導体集積回路においては上記の要因のため、入力端子および出力端子を高集積化できず半導体集積回路が大きくなってしまったり、一つの半導体集積回路に多くの入力端子および出力端子を集積することができないという課題がある

0013

本発明の目的は、上記課題を解決して、出力端子にプロービングすることなく出力端子の検査が可能な出力回路を有し、出力端子間を必要最小限とすることで面積効率の高い半導体集積回路を提供することと、その半導体集積回路の製造方法を提供することと、またその半導体集積回路の測定方法を提供することである。

課題を解決するための手段

0014

上記の目的を達成するため、本発明の半導体集積回路の構成は以下のようにする。

0015

電源電位側スイッチと、接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路と、スクライブライン上に導電性測定用配線とを有することを特徴とする。

0016

また、電源電位側スイッチと、接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路と、スクライブライン上の導電性で測定用の配線とを有する半導体集積回路であって、スクライブライン上の導電性で測定用の配線は半導体集積回路上の全ての出力端子に接続することを特徴とする。

0017

さらに、電源電位側スイッチと、接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路と、スクライブライン上の導電性で測定用の配線とを有する半導体集積回路であって、スクライブライン上の導電性で測定用の配線はウェハ上に配置する複数の半導体集積回路で別々に形成することを特徴とする。

0018

また、本発明の半導体集積回路の製造方法は、電源電位側スイッチと、接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路と、スクライブライン上に導電性で測定用の配線とを有する半導体集積回路であって、ウェハ上に配置して有る複数の半導体集積回路をスクライブラインで切断することにより、検査回路を含まない半導体集積回路と等価な回路となることを特徴とする。

0019

また、本発明の半導体集積回路の測定方法は以下のようにする。

0020

電源電位側スイッチと、接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路内の一つの出力回路の電源電位側スイッチを導通状態とし、その他の出力回路の接地電位側スイッチを導通状態とし、電源電位線から接地電位線に電流を流すことで、電源電位側スイッチの状態をプロービングすることなく測定することを特徴とする。

0021

また、電源電位側スイッチと、接地電位側スイッチと、これら電源電位側スイッチと接地電位側スイッチとに接続する出力端子とで構成する複数の出力回路内の一つの出力回路の接地電位側スイッチを導通状態とし、その他の出力回路の電源電位側スイッチを導通状態とし、電源電位線から接地電位線に電流を流すことにより、接地電位側スイッチの状態をプロービングすることなく測定することを特徴とする。

0022

一つの出力回路の電源電位側スイッチを導通状態とし、その他の出力回路は接地電位側スイッチを導通状態とするか、または、一つの出力回路の接地電位側スイッチを導通状態とし、その他の出力回路は電源電位側スイッチを導通状態とすることにより、電源電位線から接地電位線に流れる電流値を測定することで各出力端子にプロービングすることなく出力回路の状態を確認することができる。

0023

図1は本発明の複数の出力回路を有する半導体集積回路の構成を示す回路図である。図1を用いて本発明の半導体集積回路の出力回路の構成と、その製造方法と、またその測定方法について説明する。

0024

まず、本発明の複数の出力回路を有する半導体集積回路のうち、一つの出力回路9の構成について説明する。出力回路9は電源電位側スイッチ3と接地電位側スイッチ4と出力端子5とで構成する。

0025

また、電源電位側スイッチ3の一方の端子は電源電位線1に接続し、電源電位側スイッチ3の他方の端子は接地電位側スイッチ4の一方の端子と出力端子5とに接続し、また、接地電位側スイッチ4の他方の端子は接地電位線2に接続する。

0026

更に出力端子5はスクライブライン7上に形成するアルミまたは多結晶シリコンまたは拡散抵抗などで形成する導電性で測定用の配線8に接続する。

0027

上記記載の構成は一つの出力回路9の構成について説明しているが、その他の出力回路9の構成も同じ構成とし、各々の出力回路9の出力端子5はスクライブライン7上に形成する導電性で測定用の配線8に接続する。

0028

本発明の半導体集積回路のプロービングのための端子は出力端子5を除く電源電位端子(図示せず)と接地電位端子(図示せず)と入力端子(図示せず)とし、それらの端子を外部の測定装置に接続して測定をする。

0029

次に、本発明の半導体集積回路の測定方法について図1を用いて説明する。

0030

複数の出力回路9を有する半導体集積回路のうち、入力端子からの制御信号により、一つの出力回路9の電源電位側スイッチ3を導通状態とし、接地電位側スイッチ4を非導通状態とし、その他の出力回路9の電源電位側スイッチ3を非導通状態とし、その他の出力回路9の接地電位側スイッチ4を導通状態とする。

0031

上記の動作状態により電源電位線1から流れる電流は、一つの出力回路9を構成する電源電位側スイッチ3と出力端子5とを通り、スクライブライン上の導電性で測定用の配線8を通り、その他の出力回路9を構成するそれぞれの出力端子5とそれぞれの接地電位側スイッチ4とを通り接地電位線2に流れる。

0032

上記の電流経路の説明から明らかなように電流経路の構成は、電源電位線1と、一つの出力回路を構成する電源電位側スイッチ3と、並列接続するその他の出力回路9を構成する接地電位側スイッチ4と接地電位線2とで構成することになる。

0033

上記の電流経路に流れる電流をあらかじめ予測する期待値と比較することにより、一つの出力回路9を構成する電源電位側スイッチ3の導通抵抗の良否を判定する。

0034

以上の説明と同様に複数の出力回路9の電源電位側スイッチ3を順次導通状態にし、その時流れる電流値により各々の出力回路9の電源電位側スイッチ3の良否の判定をすることが可能である

0035

また、出力回路9を構成する接地電位側スイッチ4についても、電源電位側スイッチ3と同じ測定方法を行うことにより、各々の出力回路の接地電位側スイッチ4の良否の判定をすることが可能である。

0036

以上の説明は、一つの半導体集積回路の構成についてでありスクライブライン7上に形成する導電性で測定用の配線8は、ウェハ上に形成する各半導体集積回路ごとに別々に形成することで、前記半導体集積回路の測定方法を実現する事が可能である。

0037

更に、検査終了後、ウェハ上の複数の半導体集積回路は、スクライブライン7を切断することで、個々の半導体集積回路となる。この工程でスクライブライン7上に配置して有る導電性で測定用の配線8は切断され、個々の半導体集積回路の各出力端子5は完全に絶縁されることにより、従来の半導体集積回路と等価な半導体集積回路となる。

発明の効果

0038

以上の説明から明らかなように、本発明の半導体集積回路およびその測定方法は出力端子にプロービングすることなく各出力端子の状態を確認することが可能であり、またプロービングすることがない出力端子間は必要最小限に出力端子を配置することが可能となり、半導体集積回路の面積効率を大幅に上げることが可能となる。

0039

更に、本発明では測定用の配線をスクライブライン上に配置することによって半導体集積回路の面積を増加することなく、出力端子に非接触で検査する事ができる。

図面の簡単な説明

0040

図1本発明の実施例における複数の出力端子を有する半導体集積回路の構成を示す回路図である。
図2従来例の複数の出力回路を有する半導体集積回路の回路図である。

--

0041

1電源電位線
2接地電位線
3電源電位側スイッチ
4接地電位側スイッチ
5出力端子
7スクライブライン
8配線
9 出力回路

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