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技術 スパッタリング装置へのディスク供給排出装置

出願人 株式会社EMIミュージック・ジャパン
発明者 森田次夫
出願日 1994年3月31日 (26年10ヶ月経過) 出願番号 1994-062914
公開日 1995年10月20日 (25年4ヶ月経過) 公開番号 1995-272330
状態 未査定
技術分野 特殊移送3 物理蒸着 光記録担体の製造
主要キーワード 供給ディスク 供給排出口 断面肉厚 排出ディスク 上昇旋回 供給排出装置 センターずれ 供給ハンド
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(1995年10月20日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (13)

目的

MDとCDの両方に使用できる汎用性のあるスパッタリング装置へのディスク供給排出装置の提供を目的としている。

構成

スパッタリング装置へのディスク供給排出装置において、供給ディスク旋回装置5、ディスク反転装置8、排出ディスク旋回装置9、ディスク上昇装置10および排出ハンド11のディスクに接触する部分を、コンパクトディスク用とミニディスク用のいずれにも取替可能に構成した。

概要

背景

図11,12には、従来から用いられているスパッタリング装置へのディスク供給排出装置が示されており、図11は平面図で、図12は正面図である。この装置を説明すると、先ずスタンド積載されたディスクがスリップトルクコンベア1上に供給されると、スタンド位置決めシリンダ2によってスタンドが所定位置で固定される。次に、リフター3のアーム3aが前進して最下部のディスクを載せている部分に係合し、続いてその部分を上昇させ最上部のディスクが定位置にくるまで押し上げる。次に、供給ハンド4が下降してディスクを吸着し、上昇して180度旋回し、更に下降してディスクの吸着を解除する。このとき、供給ハンド4のもう一方の吸盤はスタンドに積載されている次のディスクを吸着する。供給ハンド4はこのような動作を繰り返す。

供給ハンド4からディスクを受け取った供給ディスク旋回装置5は、180度旋回する。旋回されたディスクは、L字状のアームの先端に吸盤を有するディスク移載装置6によって吸着される。該ディスク移載装置6は90度旋回して吸着を解除しディスクをスパッタリング装置7の所定位置に置く。なお、ディスク移載装置6の一方の吸盤が供給ディスク旋回装置5上のディスクを吸着するときに、他方の吸盤はスパッタリング装置7によりスパッタリングの終わったディスクを吸着してディスク反転装置8へと移す。

ディスク反転装置8は上側で受け取ったディスクを反転して下側にして下降後、排出ディスク旋回装置9の上でディスクの吸着を解除する。排出ディスク旋回装置9はディスクを受け取って180度旋回する。次に、排出ディスク旋回装置9のディスクが載置されている所の中心位置をディスク上昇装置10のセンターピンが下側から係合し上昇してディスクを排出ハンド11の吸盤の位置まで押し上げる。排出ハンド11は押し上げられたディスクを吸着して、180度旋回しコンベア1上に載っているスタンドの上でディスクを解除し、ディスクをスタンドに積載する。なお、排出ハンド11の吸盤がディスクを吸着した時点で、他方の吸盤はスタンドの上でディスクを解除する動作を同時におこなう。そして、スタンドに集積されたディスクはコンベアに載って排出されていく。

なお、不良排出装置12は、スパッタリング装置7からスパッタリング不良信号を受け取ったことを記憶しておき、ディスクがディスク上昇装置10のセンターピンで押し上げられた時、不良排出シュート12aが前進し、センターピンが下降するとディスクは不良排出シュート12a上に残りシュート12a上を滑り下りて図示しないディスク回ボックスの中に入る。

このように、スパッタリング装置へのディスク供給排出装置は、ディスクをスパッタリング装置へ供給し、スパッタリングが完了したディスクをスパッタリング装置から排出する働きをしている。

概要

MDとCDの両方に使用できる汎用性のあるスパッタリング装置へのディスク供給排出装置の提供を目的としている。

スパッタリング装置へのディスク供給排出装置において、供給ディスク旋回装置5、ディスク反転装置8、排出ディスク旋回装置9、ディスク上昇装置10および排出ハンド11のディスクに接触する部分を、コンパクトディスク用とミニディスク用のいずれにも取替可能に構成した。

目的

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
1件

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請求項1

スパッタリング装置へのディスク供給排出装置において、ディスクを移動させる各装置中のディスクに接触する部分を、必要に応じてコンパクトディスク用とミニディスク用のいずれにも取替可能に構成したことを特徴とするスパッタリング装置へのディスク供給排出装置。

請求項2

ディスクが積載されたスタンドからディスクを取り出す供給ハンドと、該供給ハンドにより供給されたディスクを旋回する供給ディスク旋回装置と、該供給ディスク旋回装置上にあるディスクをスパッタリング装置へ或いはスパッタリング装置にあるディスクを他所に移載するディスク移載装置と、該ディスク移載装置から受け取ったディスクを反転するディスク反転装置と、該ディスク反転装置から受け取ったディスクを旋回する排出ディスク旋回装置と、旋回した該排出ディスク旋回装置中のディスクを上昇させるディスク上昇装置と、該ディスク上昇装置により上昇したディスクを排出する排出ハンドとを備えたスパッタリング装置へのディスク供給排出装置において、前記供給ディスク旋回装置、ディスク反転装置、排出ディスク旋回装置、ディスク上昇装置および排出ハンドのディスクに接触する部分を、コンパクトディスク用とミニディスク用のいずれにも取替可能に構成したことを特徴とするスパッタリング装置へのディスク供給排出装置。

技術分野

0001

本発明は、スパッタリング装置へのディスク供給排出装置係り、詳しくは部品交換するだけで容易にコンパクトディスクミニディスクのいずれにも対応できるようにしたスパッタリング装置へのディスク供給排出装置に関するものである。

背景技術

0002

図11,12には、従来から用いられているスパッタリング装置へのディスク供給排出装置が示されており、図11は平面図で、図12は正面図である。この装置を説明すると、先ずスタンド積載されたディスクがスリップトルクコンベア1上に供給されると、スタンド位置決めシリンダ2によってスタンドが所定位置で固定される。次に、リフター3のアーム3aが前進して最下部のディスクを載せている部分に係合し、続いてその部分を上昇させ最上部のディスクが定位置にくるまで押し上げる。次に、供給ハンド4が下降してディスクを吸着し、上昇して180度旋回し、更に下降してディスクの吸着を解除する。このとき、供給ハンド4のもう一方の吸盤はスタンドに積載されている次のディスクを吸着する。供給ハンド4はこのような動作を繰り返す。

0003

供給ハンド4からディスクを受け取った供給ディスク旋回装置5は、180度旋回する。旋回されたディスクは、L字状のアームの先端に吸盤を有するディスク移載装置6によって吸着される。該ディスク移載装置6は90度旋回して吸着を解除しディスクをスパッタリング装置7の所定位置に置く。なお、ディスク移載装置6の一方の吸盤が供給ディスク旋回装置5上のディスクを吸着するときに、他方の吸盤はスパッタリング装置7によりスパッタリングの終わったディスクを吸着してディスク反転装置8へと移す。

0004

ディスク反転装置8は上側で受け取ったディスクを反転して下側にして下降後、排出ディスク旋回装置9の上でディスクの吸着を解除する。排出ディスク旋回装置9はディスクを受け取って180度旋回する。次に、排出ディスク旋回装置9のディスクが載置されている所の中心位置をディスク上昇装置10のセンターピンが下側から係合し上昇してディスクを排出ハンド11の吸盤の位置まで押し上げる。排出ハンド11は押し上げられたディスクを吸着して、180度旋回しコンベア1上に載っているスタンドの上でディスクを解除し、ディスクをスタンドに積載する。なお、排出ハンド11の吸盤がディスクを吸着した時点で、他方の吸盤はスタンドの上でディスクを解除する動作を同時におこなう。そして、スタンドに集積されたディスクはコンベアに載って排出されていく。

0005

なお、不良排出装置12は、スパッタリング装置7からスパッタリング不良信号を受け取ったことを記憶しておき、ディスクがディスク上昇装置10のセンターピンで押し上げられた時、不良排出シュート12aが前進し、センターピンが下降するとディスクは不良排出シュート12a上に残りシュート12a上を滑り下りて図示しないディスク回ボックスの中に入る。

0006

このように、スパッタリング装置へのディスク供給排出装置は、ディスクをスパッタリング装置へ供給し、スパッタリングが完了したディスクをスパッタリング装置から排出する働きをしている。

発明が解決しようとする課題

0007

ところが、上述したスパッタリング装置へのディスク供給排出装置は、形状や中心穴径の一定なディスクのみ、例えばミニディスク(MD)ならミニディスクのみ、コンパクトディスク(CD)ならコンパクトディスクのみについてしか対応することができず、兼用することができないためディスク生産計画上において遊ばせることが往々にしてあり、稼働効率があまりよくなかった。

0008

本発明は、MDとCDの両方に使用できる汎用性のあるスパッタリング装置へのディスク供給排出装置の提供を目的としている。

課題を解決するための手段

0009

本発明に係るスパッタリング装置へのディスク供給排出装置は、ディスクを移動させる各装置中のディスクに接触する部分を、必要に応じてコンパクトディスク用とミニディスク用のいずれにも取替可能に構成したことを特徴としている。

0010

また、本発明に係るスパッタリング装置へのディスク供給排出装置は、ディスクが積載されたスタンドからディスクを取り出す供給ハンドと、該供給ハンドにより供給されたディスクを旋回する供給ディスク旋回装置と、該供給ディスク旋回装置上にあるディスクをスパッタリング装置へ或いはスパッタリング装置にあるディスクを他所に移載するディスク移載装置と、該ディスク移載装置から受け取ったディスクを反転するディスク反転装置と、該ディスク反転装置から受け取ったディスクを旋回する排出ディスク旋回装置と、旋回した該排出ディスク旋回装置中のディスクを上昇させるディスク上昇装置と、該ディスク上昇装置により上昇したディスクを排出する排出ハンドとを備えたスパッタリング装置へのディスク供給排出装置において、前記供給ディスク旋回装置、ディスク反転装置、排出ディスク旋回装置、ディスク上昇装置および排出ハンドのディスクに接触する部分を、コンパクトディスク用とミニディスク用のいずれにも取替可能に構成したことを特徴としている。

0011

本発明は、上述のように構成されているので、ディスクを移動させる各装置中のディスクに接触する部分を必要に応じてコンパクトディスク用とミニディスク用のいずれかに取り替えることで、いずれのディスクにも対応させることが可能となり、汎用性が生じ、装置の稼働効率が向上する。

0012

以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。なお、従来の技術の項で説明したものと同一または相当する部分には同一符号を付す。図1には、本発明の実施例が平面図で示されている。図に示すように、このスパッタリング装置へのディスク供給排出装置は、図11で示した従来のものと外観上は殆ど変わらない。以下に、従来のものと異なる部分、あるいは同一の部分についても詳細に説明する。なお、この実施例は、部品交換によりミニディスクと8cmコンパクトディスクの両方に使用できるスパッタリング装置へのディスク供給排出装置に関するものである。

0013

図2には、このディスク供給排出装置の供給ハンド4の端部が正面図で示されている。供給ハンド4自体は、従来のものと同様であり、供給アーム4aの下側に吸盤取付プレート4cがガイドピン4bによってスライド可能に取付けられていて、該ガイドピン4bの外側には圧縮コイルバネ4dが配置されている。また、吸盤取付プレート4cの下部には、吸盤4eが取付けられているとともに、下部の中心位置には穴が設けられていて、ディスクを吸着するために降下したときにスタンドのピン30の先端が入り込めるようになっている。また、吸盤取付プレート4cの上部には、バキュームエルボユニオン4fが嵌め込まれており、該バキュームエルボユニオン4eの内部は吸盤4eの穴4eeと連通している。

0014

なお、吸盤4eは、図3(a),(b)に詳示するように、断面肉厚円筒形状で、複数の穴4eeが設けられており、CDとMDの両者に対応することができ、MDの場合は中心穴外周に凸部が有る面を吸着するようになっている。

0015

ディスクDの吸着方法は、先ず供給ハンド4を降下させ、吸盤4eがディスクDに接触した状態から更に若干降下させて、吸盤4eを圧縮コイルバネ4dの作用でディスクDに押し付ける。この状態で、バキュームエルボユニオン4fを介して吸盤4eの穴4eeの内部を真空にしてディスクDを吸着する。ディスクを吸着したまま供給ハンド4を上昇させ、180度旋回させて下降させディスクの吸着を解除する。この吸着を解除するとき、供給ハンド4のもう一方の吸盤はスタンドに積載されている次のディスクを吸着する。そして、また上昇旋回を繰り返してディスクの移動をおこなう。

0016

供給ハンド4によって吸着され旋回されて吸着を解除されたディスクは、図4に示す供給ディスク旋回装置5の上に置かれる。この供給ディスク旋回装置5は、ディスクのセンター穴に差し込むセンターピンを、図で示すように、MD用とCD用とをボルト5cによって旋回アーム5dに対し取替可能になっていて、ディスクがMDでもCDでもセンターずれをおこさないようになっている。なお、この図の場合、左側に径の大きいCD用センターピン5aが、右側に径の小さいMD用センターピン5bが取付けられているが、実際にはMDに対応しているときは両方ともMD用5bを、CDのときは両方ともCD用5aを取付けて使用されている。この供給ディスク旋回装置5の動作は、供給ハンド4から供給されたディスクを、180度旋回してその位置を移動する。

0017

次に、この旋回装置5によって旋回されたディスクは、ディスク移載装置6によって吸着され90度旋回させられて、スパッタリング装置7のディスク供給排出口のところで吸着を解除され、スパッタリング装置7によってスパッタリングがおこなわれる。ディスク移載装置6の旋回アームはL字状に構成されていて(図1参照)、アームの一方の吸盤が供給ディスク旋回装置5上のディスクを吸着するときは、アームの他方の吸盤はスパッタリング装置7のディスク供給排出口のところに位置し、スパッタリングが完了したディスクがあれば、そのディスクを吸着する。

0018

ディスク移載装置6が90度旋回して、供給ディスク旋回装置5上のディスクをスパッタリング装置7のディスク供給排出口のところに移動したときに、他方の吸盤で吸着されたスパッタリングの完了したディスクはディスク反転装置8のところに移動し、両方の吸着が解除されて、一方のディスクはスパッタリング装置7のディスク供給排出口のところに他方のディスクはディスク反転装置8のところに移される。なお、ディスク移載装置6のディスク吸着部は、前述した供給ハンド4の吸盤と同様な構造となっているので説明を省略する。

0019

また、前記ディスク反転装置8は、水平軸を回転させて、上側で受けたディスクを下側にひっくり返す装置であり、ディスク移載装置6から受け取ったディスクを排出ディスク旋回装置9に移送させるためのものである。排出ディスク反転装置8は、図5,6に示すように、水平に配置された回転板8aを有しており、該回転板8aの上面と下面には円柱状のピン8bが突き出した状態で配置されている。また、これらピン8bには、CD対応の場合、図5(a)に示すように、CD対応スリーブ8c付吸盤8dが嵌合されている。なお、吸盤8dは、図5(b)に示すように、内部にスリーブ8cが嵌め込めるようにスリーブ8cの形状にしたがった溝が設けられている。また、回転板8aの端部には、図5(a)に示すように、バキュームエルボ8eが取付けられており、吸盤8dの穴と連通している。

0020

またMD対応の場合には、図6に示すように、ピン8bの径がMDの中心穴と合わせてあるので、スリーブは必要とせず吸盤8fのみを嵌め込むようにしている。吸盤8fはCD用の吸盤8dとは形状が異なり、図7に示すように、吸盤8fの内側突起8ffが大きく突出形成されていて、段付吸盤となっている点である。この突起8ffが、MDの中心凹部に接触することで、MDの情報記録面に接触することなく吸着することができるようになっている。

0021

また、前述した排出ディスク旋回装置9は、ディスク反転装置8によって反転されたディスクを受け取って180度水平に旋回する働きをおこなう。排出ディスク旋回装置9は、図8に示すように、左右に大きな穴9bを有する板状部材9aで形成されており、該板状部材9aの中心部には旋回軸9cが取付けられている。また、穴9bの端部には段部9bbが設けられており、排出ディスク反転装置8からディスクが移されると、この場合CDであるが、この段部9bbの上面で支持されるようになっている。なお、CDに傷が付かないように段部9bbのところにはO−リング9dが配置されている。一方また、MDの場合には、この穴9bにリング状のアダプター9eを嵌め込んで使用する。アダプター9eの穴の端部にも段部9eeが設けられており、CDより径の小さいMDがこの段部9eeで支持されるようになっている。すなわち、CDの場合はそのままで使用し、MDの場合はアダプター9eを嵌め込んで使用することになる。

0022

この排出ディスク旋回装置9によって180度旋回されたディスクは、下側からディスク上昇装置10によって持ち上げられる。ディスク上昇装置10は、図9に示すように、下側から上昇して先端部がディスクの穴に嵌まり込み、そのまま上昇してディスクを持ち上げ、次の排出ハンド11の吸盤の位置まで持っていく働きをする。その先端金具を、CDのときとMDのときとによりボルト10cによって取替え交換できるように構成している。図9(a)は、CD対応の先端金具10aを取り付けた状態を示し、図(b)はMD対応の先端金具10bを取り付けた状態を示しており、ディスクの穴に嵌合するピンの径が異なっている。

0023

このディスク上昇装置10によって持ち上げられたディスクは、排出ハンド11により吸着される。排出ハンド11は、図10に示すように、ビス11aによって吸盤11bが交換できるようになっており、この図の場合はMD用の吸盤11bが取り付けられている。MD用の吸盤11bは、図7で示した吸盤と同じものであり、CD用に変える場合は、図3で示した吸盤と同じものを使用する。

0024

この排出ハンド11はディスクを吸着して、180度旋回しコンベア1上に載っているスタンドの上でディスクを解除する。なお、排出ハンド11の一方の吸盤がディスク上昇装置10上のディスクを吸着する動作と、他方の吸盤がスタンドの上でディスクを解除する動作とは同時におこなわれる。スタンドに積載されたディスクが規定量に達すると、図1に示すスタンド位置決めシリンダ13がスタンドの固定を解き、ディスクを積載したスタンドはコンベア1に載って排出させていく。

0025

なお、ディスクのスパッタリングが不良の場合に、これを排除する不良排出装置12の動作は、従来の技術のところで説明したのでここでは省略する。

発明の効果

0026

以上説明したように、本発明によるスパッタリング装置へのディスク供給排出装置は、MDとCDの両方に使用できる汎用性があるので、装置の製造コストの軽減を図れるとともの、装置の稼働効率もよい。

図面の簡単な説明

0027

図1本発明に係るスパッタリング装置へのディスク供給排出装置の一実施例の平面図である。
図2供給ハンドの先端部の正面図である。
図3(a)は吸盤の断面図、(b)は底面図である。
図4供給ディスク旋回装置の側面図である。
図5(a)はディスク反転装置の側断面図、(b)は吸盤の側断面図である。
図6ディスク反転装置の正面から見た断面図である。
図7MD対応の吸盤の側断面図である。
図8排出ディスク旋回装置の側断面図である。
図9ディスク上昇装置の側断面図で、(a)はCD対応の場合、(b)はMD対応の場合である。
図10排出ハンドの先端部の断面図である。
図11従来のスパッタリング装置へのディスク供給排出装置の平面図である。
図12従来のスパッタリング装置へのディスク供給排出装置の正面図である。

--

0028

1コンベア
2スタンド位置決めシリンダ
3リフター
4供給ハンド
5供給ディスク旋回装置
6ディスク移載装置
7スパッタリング装置
8 ディスク反転装置
9排出ディスク旋回装置
10 ディスク上昇装置
11 排出ハンド
12 不良排出装置
13 スタンド位置決めシリンダ

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