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技術 半導体封止装置

出願人 住友重機械工業株式会社
発明者 関根建夫
出願日 1993年10月7日 (27年1ヶ月経過) 出願番号 1993-251648
公開日 1995年4月21日 (25年7ヶ月経過) 公開番号 1995-106359
状態 特許登録済
技術分野 プラスチック等の射出成形 半導体または固体装置の封緘、被覆の形成
主要キーワード 系統装置 停電時用 基本装置 操作介入 回復作業 製品取出 油圧エネルギー 電源復帰後
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(1995年4月21日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (4)

目的

停電時にもトランスファ装置における注入機能および保圧機能を維持できる半導体封止装置を提供する

構成

半導体封止装置は、型締装置Aと、樹脂封入するための油圧装置を含むトランスファ装置Bと、油圧装置を駆動するポンプCと、主電源Dと、停電時用装置とを有している。停電時用装置は、一連樹脂注入作業に必要な油圧エネルギーを予め蓄積しておく蓄圧器Eと、主電源より小容量の補助電源、主電源Dの断を検知する検知手段を有する無停電源装置Fと、蓄積油圧エネルギーを油圧装置に供給する切換手弁Gとを備えている。ポンプCからの油圧エネルギー供給通路と蓄積油圧エネルギー供給通路との合流点と、ポンプCとの間には、パイロットチェック弁Hが設けられている。

効果

注入動作中に主電源の断が発生しても、蓄圧器に予め蓄積されていた油圧エネルギーを用いて残りの注入圧力保持動作を完了させることができる。

概要

背景

半導体封止装置は、金型締め付ける型締装置および金型内樹脂注入するためのトランスファ装置を備えている。トランスファ装置には、樹脂を注入する油圧装置が設けられている。従来の半導体封止装置では、油圧装置を含むトランスファ装置および型締装置は、主電源により駆動されている。

概要

停電時にもトランスファ装置における注入機能および保圧機能を維持できる半導体封止装置を提供する

半導体封止装置は、型締装置Aと、樹脂を封入するための油圧装置を含むトランスファ装置Bと、油圧装置を駆動するポンプCと、主電源Dと、停電時用装置とを有している。停電時用装置は、一連樹脂注入作業に必要な油圧エネルギーを予め蓄積しておく蓄圧器Eと、主電源より小容量の補助電源、主電源Dの断を検知する検知手段を有する無停電源装置Fと、蓄積油圧エネルギーを油圧装置に供給する切換手弁Gとを備えている。ポンプCからの油圧エネルギー供給通路と蓄積油圧エネルギー供給通路との合流点と、ポンプCとの間には、パイロットチェック弁Hが設けられている。

注入動作中に主電源の断が発生しても、蓄圧器に予め蓄積されていた油圧エネルギーを用いて残りの注入、圧力保持動作を完了させることができる。

目的

したがって、本発明の目的は、停電時にもトランスファ装置における注入機能および保圧機能を維持できる半導体封止装置を提供することである。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

金型締め付ける型締装置と、前記金型内樹脂注入するための油圧装置を含むトランスファ装置と、少なくとも前記油圧装置を駆動する電源を供給する主電源とを有する半導体封止装置において、前記トランスファ装置における一連樹脂注入作業に必要な油圧エネルギーを予め蓄積しておき、前記主電源の断が発生した場合には、前記蓄積されている油圧エネルギーを前記油圧装置に供給することを特徴とする半導体封止装置。

請求項2

金型を締め付ける型締装置と、前記金型内に樹脂を注入するための油圧装置を含むトランスファ装置と、前記油圧装置を駆動する油圧エネルギーを発生する油圧エネルギー発生手段と、少なくとも前記油圧エネルギー発生手段を駆動する電源を供給する主電源とを有する半導体封止装置において、前記トランスファ装置における一連の樹脂注入作業に必要な油圧エネルギーを予め蓄積しておく油圧エネルギー蓄積手段と、前記主電源の断を検知する検知手段と、前記検知手段により制御され、前記油圧エネルギー蓄積手段に蓄積されている前記油圧エネルギーを前記油圧装置に供給する油圧エネルギー切換手段とをさらに有することを特徴とする半導体封止装置。

請求項3

前記油圧エネルギー発生手段から前記油圧装置への油圧エネルギー供給通路と前記蓄積手段から前記油圧装置への蓄積油圧エネルギー供給通路との合流点と、前記油圧エネルギー発生手段との間に設けられたパイロットチェック弁を有することを特徴とする請求項2記載の半導体封止装置。

請求項4

前記主電源より小容量の補助電源を有し、前記検知手段からの前記主電源の断を示す信号に応じて、前記油圧エネルギー切換手段を制御する無停電電源装置を有することを特徴とする請求項2または3記載の半導体封止装置。

技術分野

0001

本発明は、半導体デバイス樹脂封止して樹脂封止形半導体装置を製造するための半導体封止装置に関する。

背景技術

0002

半導体封止装置は、金型締め付ける型締装置および金型内に樹脂を注入するためのトランスファ装置を備えている。トランスファ装置には、樹脂を注入する油圧装置が設けられている。従来の半導体封止装置では、油圧装置を含むトランスファ装置および型締装置は、主電源により駆動されている。

発明が解決しようとする課題

0003

このような半導体封止装置を使用中に、停電事故により主電源の断が発生すると、型締装置およびトランスファ装置の駆動ができなくなる。型締装置には、このような場合に型締力を保持する手段が設けられているので、問題は発生しない。

0004

一方、トランスファ装置では、主電源の断により、油圧装置が停止し、注入途中の樹脂が漏れたり、未充填により金型内各部に硬化した樹脂が固着することになる。固着した樹脂の除去等の回復作業には多大の労力を要する。停電時に油圧装置を駆動する電動機の電源を含む全電源を補助電源発電設備蓄電池を内蔵した無停電源装置等)で処理することは、理論上は不可能ではない。しかしながら、補助電源が一般的に大型になり現実的ではない。

0005

したがって、本発明の目的は、停電時にもトランスファ装置における注入機能および保圧機能を維持できる半導体封止装置を提供することである。

課題を解決するための手段

0006

本発明においては、一連樹脂注入作業に必要な油圧エネルギーを、蓄圧器に予め蓄積しておく。主電源の断が発生した場合には、蓄積されている油圧エネルギーを油圧装置に供給し、主電源が断になった以降の樹脂注入作業を継続する。本発明による半導体封止装置は、金型を締め付ける型締装置と、前記金型内に樹脂を注入するための油圧装置を含むトランスファ装置と、前記油圧装置を駆動する油圧エネルギーを発生する油圧エネルギー発生手段と、少なくとも前記油圧エネルギー発生手段を駆動する電源を供給する主電源と、前記トランスファ装置における一連の樹脂注入作業に必要な油圧エネルギーを予め蓄積しておく油圧エネルギー蓄積手段と、前記主電源の断を検知する検知手段と、前記検知手段により制御され、前記油圧エネルギー蓄積手段に蓄積されている前記油圧エネルギーを前記油圧装置に供給する油圧エネルギー切換手段とを有することを特徴とする。

0007

本発明による半導体封止装置は、前記油圧エネルギー発生手段から前記油圧装置への油圧エネルギー供給通路と前記蓄積手段から前記油圧装置への蓄積油圧エネルギー供給通路との合流点と、前記油圧エネルギー発生手段との間に設けられたパイロットチェック弁を有することもできる。

0008

さらに、本発明による半導体封止装置は、前記主電源より小容量の補助電源を有し、前記検知手段からの前記主電源の断を示す信号に応じて、前記油圧エネルギー切換手段を制御する無停電電源装置を有することもできる。

0009

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する。

0010

図1および図2に本発明の第一および第二の実施例を示す。第一および第二の実施例のそれぞれは、金型10を締め付ける型締装置11と、金型10内に樹脂を注入するための油圧装置を含むトランスファ装置12と、油圧装置を駆動する油圧エネルギーを発生する油圧エネルギー発生手段(ポンプ)13と、油圧エネルギー発生手段13を駆動する電源を供給する主電源14と、トランスファ装置12における一連の樹脂注入作業に必要な油圧エネルギーを予め蓄積しておく蓄圧器15と、主電源14より小容量の補助電源、主電源14の断・型位置トランスファの位置・シーケンス上の状態情報を検知する検知手段および検知結果に応じて制御動作を行う制御手段を有する無停電電源装置15と、無停電電源装置15により制御され蓄圧器15に蓄積されている油圧エネルギーを油圧装置に供給する切換弁17とを備えている。

0011

さらに、第一および第二の実施例は、ポンプ13から油圧装置への油圧エネルギー供給通路と蓄圧器15から油圧装置への蓄積油圧エネルギー供給通路との合流点P1と、ポンプ13との間に設けられたパイロットチェック弁18を有している。

0012

図1に示された第一の実施例においては、蓄圧器15と切換弁17とパイロットチェック弁18とを含む停電時用装置19が、トランスファ装置12内に組み込まれている。これに対して、図2に示された第二の実施例においては、停電時用装置19が別系統装置として構成されている。

0013

型締装置11およびトランスファ装置12を含む基本装置側に、蓄圧器15で補充できない量のリークがある場合や相互干渉等がある場合には、第一の実施例より第二の実施例の方が有利である。

0014

なお、無停電電源装置16に設けられている補助電源は、無停電電源装置自身、油圧装置(電磁式)の一部、安全装置等のセンサ類操作装置キーボード、SW、表示等)に対しての電源供給を行う。したがって、全電源を補助する場合に比して大幅に容量の小さい電源で充分である。また、すべて機械式油圧式)の停電時処理を行うシステムに比して、停電時にも各種制御機能を維持することができるので、安全のための処理や速度、圧力の多段コントロール等にも柔軟に対応できる利点がある。

0015

次に、これらの実施例の動作を、図3も参照して説明する。まず、型締装置11によって金型10の型締めが行われ(図3B)、型締めの完了が確認された時点T1から、トランスファ装置12においてトランスファの下降が開始される(図3A)。トランスファの下降にしたがって、樹脂注入が行われた(時間t1)後、圧力保持が行われる(時間t2)。その後トランスファは上昇するとともに、型締装置11による金型の型締めが解除される。トランスファの上昇および型締めが完了すると、時刻T2に型締め装置11から成形品の取り出しが行われる(図3C)。なお、停電時用装置19内の蓄圧器15には、ポンプ13から吐出油蓄圧保持用切換弁17を通して予め蓄えられている。

0016

次に、トランスファが下降している状態で停電により主電源が断になった場合の動作について説明する。

0017

図1に示した第一の実施例において、トランスファが下降している期間(t1+t2)に、停電が発生した時、無停電電源装置16内に制御手段により、停電したことが検知させる。また、主電源14のオフによりポンプ13が停止し、ポンプ吐出圧力が低下しパイロットチェック弁17が閉じの状態になる(ポンプへの逆流防止)。制御手段は停電したこと、シーケンス上の位置を判断し、トランスファが下降している期間(t1+t2)内である場合に電磁弁17を作動させる。また、電磁弁20も作動させさせることでトランスファの下降を維持させる。樹脂注入、圧力保持と進むと、樹脂硬化待ちの状態に入り、人が操作介入して型開き、製品取出するまでトランスファ下降完了位置を保持する。

0018

なお、この際のトランスファを下降させる油圧は蓄圧器15に蓄積した圧油によるものであり、通常時と共用減圧弁21、流量制御弁により圧力、速度が制御される。

0019

図2に示した第二の実施例においては、蓄圧器15に圧油が蓄積される際の圧力は、減圧弁22により調整される。この第二の実施例において、トランスファが下降している期間(t1+t2)に、停電が発生した時、無停電電源装置16内に制御手段により、停電したことが検知させる。また、主電源14のオフによりポンプ13が停止し、ポンプ吐出圧力が低下しパイロットチェック弁17が閉じの状態になる(ポンプへの逆流防止)。停電時用装置19内の電磁弁18を作動させることでトランスファの下降を行う。樹脂注入、圧力保持と進むと樹脂硬化待ちとなる(第一の時と同様)。なお、この際の注入速度は停電時用装置19内の流量制御弁23により制御される。

0020

このように、本発明の第一および第二の実施例においては、停電時には、電源回路電圧電流等の低下や遮断が、無停電電源装置16内の検知手段によって検知される。さらに、制御手段は、検知手段によって検知された型位置、トランスファの位置、シーケンス上の状態情報を基に、切換弁17の開閉動作を制御する。例えば、型が閉じられ、トランスファを下降していた状態で停電になった場合には、樹脂注入中や圧力保持であるものと判断し停電時用装置19内の切換弁17を開の状態にする。パイロットチェック弁18は、ポンプ13の停止により閉じた状態になる。

0021

第一の実施例における切換弁24(図1)や第二の実施例における切換弁25(図2)は、このとき制御手段からの指令で作動する。結果としてトランスファ装置12が作動し、成形動作を行う。

0022

トランスファ装置12の速度、圧力の制御は、流量制御弁23や圧力制御弁21により行われる。この制御は手動式の制御も可能であるが、電磁駆動式の機器を用いることで圧力または速度の多段コントロールを目的とした制御も可能である。成形品は電源復帰後、型締装置を作動させて開き取り出す。

発明の効果

0023

以上説明したように、本発明においては、注入動作中に主電源の断が発生しても、蓄圧器に予め蓄積されていた油圧エネルギーを用いて残りの、注入、圧力保持動作を完了させることができる。したがって、従来必要であった主電源復帰後の処理(充填未完の成形品および樹脂の取り除き作業)が必要でなくなる。

0024

また、従来は注入途中で主電源が断になると、そのとき製造中の成形品は不良品となっていたが、本発明によれば、主電源が断になった後でも注入動作が継続されるので、不良品になることがない。

図面の簡単な説明

0025

図1本発明の第一の実施例の系統図である。
図2本発明の第二の実施例の系統図である。
図3第一および第二の実施例の動作を説明する図である。

--

0026

10金型
11型締装置
12トランスファ装置
13ポンプ
14主電源
15蓄圧器
16無停電電源装置
17切換弁
18パイロットチェック弁
19停電時用装置
20電磁弁
21,22減圧弁
23流量制御弁
24,25 切換弁

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