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技術 作業者帯電検出装置

出願人 株式会社日立製作所株式会社アキタ電子システムズ
発明者 宇佐美薫高橋悟
出願日 1993年10月7日 (27年2ヶ月経過) 出願番号 1993-251397
公開日 1995年4月21日 (25年8ヶ月経過) 公開番号 1995-104020
状態 未査定
技術分野 その他の電気量の測定 半導体等の試験・測定
主要キーワード アースバンド 接地器具 アースリング 作業者自身 非反転増幅器 アースライン 電流制限用 同一対象物
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この項目の情報は公開日時点(1995年4月21日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (9)

目的

アース線を介してアースに接続されるアース電極を身体に装着してなる作業者自分自身の身体が確実にアースされ、静電気が停電していないことを認識可能とする技術を提供することにある。

構成

アース線を介してアースに接続されるアース電極を自分自身の身体に装着してある作業者に自分自身が帯電していないことを認識させる作業者帯電検出装置であって、アース電極に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電流検出手段の出力により動作し、作業者にアース電極が完全にアースされているか否かを指示する手段とを具備する。

概要

背景

従来、半導体装置の製造工程等においては、作業者自身帯電していると、製品等の被検査体静電気を与えて誤測定をしたり、あるいは被検査体を破壊する恐れがあるため、作業者は、アースバンドアースリングアース電極を備えた接地器具を身体に装着して作業していた。

概要

アース線を介してアースに接続されるアース電極を身体に装着してなる作業者に自分自身の身体が確実にアースされ、静電気が停電していないことを認識可能とする技術を提供することにある。

アース線を介してアースに接続されるアース電極を自分自身の身体に装着してある作業者に自分自身が帯電していないことを認識させる作業者帯電検出装置であって、アース電極に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電流検出手段の出力により動作し、作業者にアース電極が完全にアースされているか否かを指示する手段とを具備する。

目的

本発明は、かかる従来技術の問題点を解消するためになされたものであって、本発明の目的は、アース線を介してアースに接続されるアース電極を自分自身の身体に装着してある作業者に自分自身の身体が確実にアースされ、静電気が停電していないことを認識可能とする技術を提供することにある。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

アース線を介してアースに接続されるアース電極自分自身の身体に装着してある作業者に自分自身が帯電していないことを認識させる作業者帯電検出装置であって、アース電極に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電流検出手段の出力により動作し、作業者にアース電極が完全にアースされているか否かを指示する指示手段とを具備することを特徴とする作業者帯電検出装置。

技術分野

0001

本発明は、半導体装置の製造工程等において、作業者の身体に帯電した静電気を検出する装置に関し、特に、作業者に自分自身が帯電していること、あるいは作業者に自分自身が帯電していないことを認識させることが可能な作業者帯電検出装置に関する。

背景技術

0002

従来、半導体装置の製造工程等においては、作業者自身が帯電していると、製品等の被検査体に静電気を与えて誤測定をしたり、あるいは被検査体を破壊する恐れがあるため、作業者は、アースバンドアースリングアース電極を備えた接地器具を身体に装着して作業していた。

発明が解決しようとする課題

0003

しかしながら、本発明者は、前記従来技術を検討した結果、以下の問題点を見い出した。

0004

前記従来技術では、接地器具を身体に装着していても、完全にアースされていない場合があり、製品等の被検査体を破壊したり、あるいは誤測定すると言う問題点があった。

0005

本発明は、かかる従来技術の問題点を解消するためになされたものであって、本発明の目的は、アース線を介してアースに接続されるアース電極を自分自身の身体に装着してある作業者に自分自身の身体が確実にアースされ、静電気が停電していないことを認識可能とする技術を提供することにある。

0006

本発明の前記目的並びにその他の目的及び新規な構成は、本明細書の記載及び添付図面によって明らかになるであろう。

課題を解決するための手段

0007

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記の通りである。

0008

すなわち、アース線を介してアースに接続されるアース電極を自分自身の身体に装着してある作業者に自分自身が帯電していないことを認識させる作業者帯電検出装置であって、アース電極に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電流検出手段の出力により動作し、作業者にアース電極が完全にアースされているか否かを指示する指示手段とを具備することを特徴とするとするものである。

0009

上述した手段によれば、作業者の身体に装着された作業者帯電検出装置に、アース電極に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電流検出手段の出力により動作し、アース電極が完全にアースされているか否かを指示する手段を備えることにより、作業者の身体が完全にアースされているか否かを作業者自身に認識させることが可能となり、製品等の被検査体の破壊、あるいは誤測定を防止することできる。

0010

以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳細に説明する。

0011

なお、第1図〜第8図において、同一符号は同一対象物を示す。

0012

図1は、本発明の一実施例である作業者帯電検出装置の表側から見た平面図である。

0013

図2は、図1のA−A線で切断した断面図である。

0014

図3は、本発明の一実施例である作業者帯電検出装置の裏側から見た平面図である。

0015

図1図2および図3において、1はプラスチック等で形成された装置の外装ケースであり、透明プラスチックで形成された窓部2を有する。また、外装ケース1には、裏蓋11がネジ15によりネジ止めされている。

0016

3は外装ケース1を作業者の腕に取り付けるリストバンドであり、布、ビニル、皮等の絶縁体で形成されている。リストバンド3には、銅、アルミニウムニッケル等の導電体からなる電極4が設けられており、作業者がリストバンド3を腕に取り付けると、電極4が作業者の腕に接するようになっている。

0017

作業者は、リストバンド3を腕に取り付け、アース線5を電極4に接続して作業を開始する。

0018

外装ケース1の内部には、プリント基板6が収納されており、プリント基板6には、アース電極4に流れる電流を検出する電流検出手段の構成要素である回路素子7,8、およびアース電極が完全にアースされているか否かを指示する手段である発光ダイオード9が取り付けられている。発光ダイオード9は、外装ケース1の窓部2の下に取り付けられ、点灯したときに外部から確認できるようになっている。

0019

また、プリント基板6に形成されたアースライン31は、アース線30によりアースされている。

0020

なお、図示されてないが、外装ケース1には電源スイッチが設けられ、外装ケース1の内部には、電池が収納されている。

0021

10は外装ケース1の内部の四隅に設けられた突起であり、外装ケースと同じプラスチック材料で一体的に形成されている。12は裏蓋11に設けられた突起であり、裏蓋11と同じプラスチック材料で一体的に、かつ突起10と対抗する位置に形成されている。

0022

プリント基板6は、突起10および12によって挟持され、ネジ13により固定されている。

0023

なお、突起10にはネジ13が螺合する雌ネジが切ってあり、さらに、突起12にはネジ13を挿入し、ネジ止めするのに十分な径と深さの穴14が穿孔されている。

0024

図4は、本発明の一実施例である作業者帯電検出装置の回路構成を示す図である。

0025

4はリストバンド3に設けられた電極であり、アース線5に接続される。

0026

16は電池、17は電源スイッチ、18は抵抗であり、19は抵抗18に電流が流れている時に出力を生じるオペアンプを用いた反転増幅器、20は増幅器19の出力を反転する反転増幅器である。また、9は抵抗18に電流が流れているときに、発光する発光ダイオードであり、NPN型スイッチングトランジスタ21のコレクタに接続されている。

0027

なお、発光ダイオード9に直列に接続されている抵抗は、電流制限用の抵抗である。

0028

次に、本実施例の回路の動作について説明する。

0029

作業者が、リストバンド3の電極4へアース線5を接続し、電源スイッチ17を投入する。

0030

正常にアースされている時には、抵抗18を介して電流が流れ、抵抗18に電圧が発生する。抵抗18に発生した電圧は、反転増幅器19で増幅され、さらに、反転増幅器20で反転され、トランジスタ21のベースに加えられる。

0031

したがって、トランジスタ21は導通となり、発光ダイオード9が点灯し、作業者は自分自身が正常にアースされており、帯電状態ではないことを確認することができる。

0032

もし、正常にアースされていないと、検出抵抗18に電流が流れず、増幅器19に出力が発生せず、そのため、スイッチングトランジスタ21は導通せず、発光ダイオード9も点灯しない。したがって、作業者は自分自身が正常にアースされていないことが確認できる。

0033

なお、本実施例では、アース電極が完全にアースされているか否かを指示する手段として、発光ダイオード9を用いたが、ブザーを用いても良く、さらに、両者を併用するようにしても良い。

0034

また、本実施例では、抵抗18に発生した電圧を、反転増幅器19で増幅し、さらに、反転増幅器20で反転して、トランジスタ21のベースに加えるようにして、アースが正常な時に発光ダイオード9を点灯させるようにしたが、抵抗18に発生した電圧を、反転増幅器19で増幅して、トランジスタ21のベースに加えるようにして、逆に、アースが正常でない時に、発光ダイオード9を点灯させるようにしても良い。さらに、発光ダイオード9を点滅するようにしても良い。

0035

また、本実施例では、反転増幅器19,20を用いているが、反転増幅器に代えて、非反転増幅器を用いるようにしても良い。

0036

図5は、本発明の一実施例である作業者帯電検出装置の回路構成を示す図である。

0037

図5の実施例は、スイッチングトランジスタ21として、PNP型のトランジスタを用いた点で図4の実施例と相違するが、その動作において、図4の実施例と何等相違しないので詳細な説明は省略する。

0038

図6は、本発明の他の実施例である作業者帯電検出装置の回路構成を示す図である。

0039

4はリストバンド3に設けられた電極であり、アース線5に接続される。

0040

16は電池、17は電源スイッチ、18は電流制限用の抵抗である。

0041

次に、本実施例の回路の動作について説明する。

0042

作業者が、リストバンド3の電極4へアース線5を接続し、電源スイッチ17を投入する。

0043

正常にアースされている時には、発光ダイオード9、及び抵抗18を介して電流が流れ、発光ダイオード9が点灯し、作業者は自分自身が正常にアースされており、帯電状態ではないことを確認することができる。

0044

もし、正常にアースされていないと、発光ダイオード9、及び抵抗18を介して電流が流れず、そのため、発光ダイオード9が点灯しない。

0045

したがって、作業者は自分自身が正常にアースされていないことが確認できる。

0046

なお、本実施例でも、アース電極が完全にアースされているか否かを指示する手段として、発光ダイオード9を用いたが、ブザーを用いても良く、さらに、両者を併用するようにしても良い。

0047

図7は、本発明の他の実施例である作業者帯電検出装置の回路構成を示す図である。

0048

4はリストバンド3に設けられた電極であり、アース線5に接続される。

0049

16は電池、17は電源スイッチ、21はNPN型のスイッチングトランジスタであり、そのコレクタには発光ダイオード9が接続されている。

0050

なお、発光ダイオード9およびスイッチングトランジスタ21のベースに直列に接続されている抵抗は、電流制限用の抵抗である。

0051

次に、本実施例の回路の動作について説明する。

0052

作業者が、リストバンド3の電極4へアース線5を接続し、電源スイッチ17を投入する。

0053

正常にアースされている時には、トランジスタ21のベースに動作電圧印加され、トランジスタ21は導通となり、発光ダイオード9が点灯する。

0054

したがって、作業者は自分自身が正常にアースされており、帯電状態ではないことを確認することができる。

0055

もし、正常にアースされていないと、トランジスタ21のベースに動作電圧が印加されず、トランジスタ21は導通せず、発光ダイオード9も点灯しない。

0056

したがって、作業者は自分自身が正常にアースされていないことが確認できる。

0057

なお、本実施例では、アース電極が完全にアースされているか否かを指示する手段として、発光ダイオード9を用いたが、ブザーを用いても良く、さらに、両者を併用するようにしても良い。

0058

また、本実施例でも、発光ダイオード9を点滅するようにしても良い。

0059

図8は、本発明の他の実施例である作業者帯電検出装置の回路構成を示す図である。

0060

図8の実施例は、スイッチングトランジスタ21として、PNP型のトランジスタを用いた点で図7の実施例と相違するが、その動作において、図7の実施例と何等相違しないので詳細な説明は省略する。

0061

以上説明したように、本実施例では、アースが正常である時に、発光ダイオードを点灯させて、作業者に自分自身が確実にアースされていることを認識することができる。

0062

以上、本発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更し得ることは言うまでもない。

0063

例えば、回路の電源に太陽電池を用いることができ、その場合には、電池の交換が不要となり、経済的である。

発明の効果

0064

以上説明したように、本発明によれば、作業者の身体に装着された作業者帯電検出装置にアース電極が完全にアースされているか否かを指示する手段を備えることにより、作業者の身体が完全にアースされているか否かを作業者自身に認識させることが可能となり、これにより、製品等の被検査体の破壊、あるいは誤測定を防止することできる。それにより、製品の歩留を向上させることが可能である。

図面の簡単な説明

0065

図1本発明の一実施例である作業者帯電検出装置の表側から見た平面図である。
図2図1のA−A線で切断した断面図である。
図3本発明の一実施例である作業者帯電検出装置の裏側から見た平面図である。
図4本発明の一実施例である作業者帯電検出装置の回路構成を示す図である。
図5本発明の他の実施例である作業者帯電検出装置の回路構成を示す図である。
図6本発明の他の実施例である作業者帯電検出装置の回路構成を示す図である。
図7本発明の他の実施例である作業者帯電検出装置の回路構成を示す図である。
図8本発明の他の実施例である作業者帯電検出装置の回路構成を示す図である。

--

0066

1…外装ケース、2…窓部、3…リストバンド、4…電極、5…アース線、6…プリント基板、7,8…回路素子、9…発光ダイオード、10,12…突起、11…裏蓋、13,15…ネジ、14…穴、16…電池、17…電源スイッチ、18…抵抗、19,20…反転増幅器、21…トランジスタ、30…アース線、31…プリント基板のアース線。

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