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技術 カラーフィルターの製造方法

出願人 富士フイルムホールディングス株式会社
発明者 増田敏幸
出願日 1992年7月24日 (28年5ヶ月経過) 出願番号 1992-198033
公開日 1994年2月18日 (26年10ヶ月経過) 公開番号 1994-043314
状態 未査定
技術分野 光学フィルタ
主要キーワード 熱可塑性結合剤 シャワー水洗 ガラス基板洗浄装置 ウエッブ状 酢酸セルローズ シランカップリング剤中 両面処理 シランカップリング剤層
関連する未来課題
重要な関連分野

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目的

着色された感光性樹脂層シランカップリング剤処理したガラス基板転写パターン露光現像してカラーフィルターを作成する方法において、シランカップリング剤集合体(ゲル)による欠陥のないカラーフィルターの製造方法を提供する。また、ガラス基板の洗浄からシランカップリング剤処理までを効率的に行うことが出来るカラーフィルターの製造方法を提供する。

構成

カラーフィルターの製造方法が、着色された感光性樹脂層を仮支持体上に設けた画像形成材料の該感光性樹脂層を、シランカップリング剤水溶液フィルターを通して散布することによりシランカップリング剤層を設けた透明ガラス基板に転写し、パターン露光し、次いで現像する工程を含む。また、シランカップリング剤処理時に、透明基板を洗浄する工程、シランカップリング剤水溶液をフィルターを通して基板に散布する工程、過剰なシランカップリング剤を水で洗い流す工程、水滴エアーナイフにより除去する工程、さらに加熱処理までを連続的に行う。

概要

背景

液晶用カラーフィルターは、ガラス等の透明基板上に、赤色、緑色及び青色のドット状画像をそれぞれマトリックス状に配置し、それぞれの境界ブラックマトリックス区分した構造である。フィルター層パターニング法としては多くの方法が提案されているが、大別してフォトリソグラフィーを利用したものと印刷によるものがある。前者にはいわゆる染色法顔料分散法転写法等が有り、後者にはオフセット印刷法がある。

印刷法は工程が簡単であるが、着色画素パターンの寸法精度及び平滑度の点で劣る。これに反しフォトリソグラフィー利用の方法は印刷法に比べ寸法精度が高く微細パターンを形成できるという利点を持つが、各色について感光性樹脂膜の塗布、乾燥、露光現像の各工程を繰り返す必要が有り、工程数が多く、スループットの点で問題があった。特に塗布工程での膜厚むらに基づく露光、現像工程の不安定は大きな問題であった。

この解決策として、仮支持体上に予め塗布された感光性樹脂層を有する感光性された。例えば、特開昭46─2121、特公昭56─転写材料を用いて、着色画像を形成するといういわゆる転写法の提案が数多くな40824、特開昭61─99102、特開昭61─256303、特開昭63─187203、特開平2─803、特開平2─239205、特開平2─244005の各号明細書に記載されている。転写法に従えば、ガラスではなく通常ウエッブ状の仮支持体上に高精度で塗布できるため、膜厚色濃度を精度よく作成できる。

しかしながら、転写法の場合にはガラス基板への感光樹脂層密着性が不十分であり、それを改良するために基板上にシランカップリング剤の層を設ける技術が知られている。特願平3−84037には、転写法によるカラーフィルターの製造方法において、透明ガラス基板上にシランカップリング剤の層を設ける方法について記載されている。それによれば、シランカップリング剤の水溶液を透明ガラス基板に設けた後、乾燥させる前に水洗し、その後乾燥することによりシランカップリング剤層を形成する。シランカップリング剤の塗布方法としては、シランカップリング剤水溶液中への透明ガラス基板の浸漬を推奨している。

ところが、シランカップリング剤水溶液は放置により集合体(以降ゲルと称する)を形成しやすいものが多く、水溶液中や水溶液表面にゲルが浮遊し、ガラス基板を浸漬後引き上げると、その表面には無数のシランカップリング剤のゲルが付着するという問題がある。一旦付着したゲルの内、水洗で洗い流されなかったものはその後の工程でトラブルを引き起こす。例えば、感光樹脂層の密着不良が発生したり、突起となってカラーフィルターの平坦性を損なう等である。

また、上記特願平3−84037には処理方法についての細かな記載がないが、シランカップリング剤処理する透明ガラス基板表面に油脂や、カレット、塵等が付着していると均一な処理がなされないため、予めガラス基板を洗浄するのが一般的である。しかし、ガラス基板洗浄装置とシランカップリング剤処理装置が別になっていると、折角きれいに洗浄してもカセットへの収納や装置間のハンドリングでガラス基板が汚染され、均一なシランカップリング剤処理がなされないことがある。シランカップリング剤水溶液に浸漬されたガラス基板は続く工程で過剰なシランカップリング剤を除去するために水洗され、水切り後加熱処理される。ここでも一旦カセットに収納して、コンベクションオーブン等に入れて一定時間処理するのが一般的であるが、前述したようにカセット収納による汚染が欠陥を増加させ、さらに複数枚集積オーブンによる熱処理のために製造工程のインライン化を妨げる結果となっている。

概要

着色された感光性樹脂層をシランカップリング剤処理したガラス基板に転写パターン露光・現像してカラーフィルターを作成する方法において、シランカップリング剤の集合体(ゲル)による欠陥のないカラーフィルターの製造方法を提供する。また、ガラス基板の洗浄からシランカップリング剤処理までを効率的に行うことが出来るカラーフィルターの製造方法を提供する。

カラーフィルターの製造方法が、着色された感光性樹脂層を仮支持体上に設けた画像形成材料の該感光性樹脂層を、シランカップリング剤水溶液をフィルターを通して散布することによりシランカップリング剤層を設けた透明ガラス基板に転写し、パターン露光し、次いで現像する工程を含む。また、シランカップリング剤処理時に、透明基板を洗浄する工程、シランカップリング剤水溶液をフィルターを通して基板に散布する工程、過剰なシランカップリング剤を水で洗い流す工程、水滴エアーナイフにより除去する工程、さらに加熱処理までを連続的に行う。

目的

本発明の第1の目的は、着色された感光性樹脂層をシランカップリング剤処理したガラス基板に転写後パターン露光・現像してカラーフィルターを作成する方法において、シランカップリング剤の集合体(ゲル)による欠陥のないカラーフィルターの製造方法を提供することである。本発明の第2の目的は、ガラス基板の洗浄からシランカップリング剤処理までを効率的に行うことが出来るカラーフィルターの製造方法を提供することである。

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
2件

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請求項1

シランカップリング剤処理した透明ガラス基板上に、着色された感光性樹脂層仮支持体に設けた画像形成材料転写することによってカラーフィルターを形成する方法において、シランカップリング剤水溶液フィルターを通して透明ガラス基板に散布することによりシランカップリング剤層を設ける工程を含むことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

請求項2

シランカップリング剤処理が、透明基板洗浄する工程、シランカップリング剤水溶液をフィルターを通して基板に散布する工程、過剰なシランカップリング剤を水で洗い流す工程、水滴エアーナイフにより除去する工程、基板を加熱処理する工程からなる連続処理により行われることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルターの製造方法。

技術分野

0001

本発明は、液晶カラーディスプレー等に使用するカラーフィルターの製造方法に関する。

背景技術

0002

液晶用カラーフィルターは、ガラス等の透明基板上に、赤色、緑色及び青色のドット状画像をそれぞれマトリックス状に配置し、それぞれの境界ブラックマトリックス区分した構造である。フィルター層パターニング法としては多くの方法が提案されているが、大別してフォトリソグラフィーを利用したものと印刷によるものがある。前者にはいわゆる染色法顔料分散法転写法等が有り、後者にはオフセット印刷法がある。

0003

印刷法は工程が簡単であるが、着色画素パターンの寸法精度及び平滑度の点で劣る。これに反しフォトリソグラフィー利用の方法は印刷法に比べ寸法精度が高く微細パターンを形成できるという利点を持つが、各色について感光性樹脂膜の塗布、乾燥、露光現像の各工程を繰り返す必要が有り、工程数が多く、スループットの点で問題があった。特に塗布工程での膜厚むらに基づく露光、現像工程の不安定は大きな問題であった。

0004

この解決策として、仮支持体上に予め塗布された感光性樹脂層を有する感光性された。例えば、特開昭46─2121、特公昭56─転写材料を用いて、着色画像を形成するといういわゆる転写法の提案が数多くな40824、特開昭61─99102、特開昭61─256303、特開昭63─187203、特開平2─803、特開平2─239205、特開平2─244005の各号明細書に記載されている。転写法に従えば、ガラスではなく通常ウエッブ状の仮支持体上に高精度で塗布できるため、膜厚色濃度を精度よく作成できる。

0005

しかしながら、転写法の場合にはガラス基板への感光樹脂層密着性が不十分であり、それを改良するために基板上にシランカップリング剤の層を設ける技術が知られている。特願平3−84037には、転写法によるカラーフィルターの製造方法において、透明ガラス基板上にシランカップリング剤の層を設ける方法について記載されている。それによれば、シランカップリング剤の水溶液を透明ガラス基板に設けた後、乾燥させる前に水洗し、その後乾燥することによりシランカップリング剤層を形成する。シランカップリング剤の塗布方法としては、シランカップリング剤水溶液中への透明ガラス基板の浸漬を推奨している。

0006

ところが、シランカップリング剤水溶液は放置により集合体(以降ゲルと称する)を形成しやすいものが多く、水溶液中や水溶液表面にゲルが浮遊し、ガラス基板を浸漬後引き上げると、その表面には無数のシランカップリング剤のゲルが付着するという問題がある。一旦付着したゲルの内、水洗で洗い流されなかったものはその後の工程でトラブルを引き起こす。例えば、感光樹脂層の密着不良が発生したり、突起となってカラーフィルターの平坦性を損なう等である。

0007

また、上記特願平3−84037には処理方法についての細かな記載がないが、シランカップリング剤処理する透明ガラス基板表面に油脂や、カレット、塵等が付着していると均一な処理がなされないため、予めガラス基板を洗浄するのが一般的である。しかし、ガラス基板洗浄装置とシランカップリング剤処理装置が別になっていると、折角きれいに洗浄してもカセットへの収納や装置間のハンドリングでガラス基板が汚染され、均一なシランカップリング剤処理がなされないことがある。シランカップリング剤水溶液に浸漬されたガラス基板は続く工程で過剰なシランカップリング剤を除去するために水洗され、水切り後加熱処理される。ここでも一旦カセットに収納して、コンベクションオーブン等に入れて一定時間処理するのが一般的であるが、前述したようにカセット収納による汚染が欠陥を増加させ、さらに複数枚集積オーブンによる熱処理のために製造工程のインライン化を妨げる結果となっている。

発明が解決しようとする課題

0008

本発明の第1の目的は、着色された感光性樹脂層をシランカップリング剤処理したガラス基板に転写パターン露光・現像してカラーフィルターを作成する方法において、シランカップリング剤の集合体(ゲル)による欠陥のないカラーフィルターの製造方法を提供することである。本発明の第2の目的は、ガラス基板の洗浄からシランカップリング剤処理までを効率的に行うことが出来るカラーフィルターの製造方法を提供することである。

課題を解決するための手段

0009

本発明の第1の目的は、着色された感光性樹脂層を仮支持体上に設けた画像形成材料の該感光性樹脂層を、シランカップリング剤水溶液をフィルターを通して散布することによりシランカップリング剤層を設けた透明ガラス基板に転写し、パターン露光し、次いで現像するカラーフィルターの製造方法により達成された。本発明の第2の目的は、シランカップリング剤処理が、透明基板を洗浄する工程、シランカップリング剤水溶液をフィルターを通して基板に散布する工程、過剰なシランカップリング剤を水で洗い流す工程、水滴エアーナイフにより除去する工程、さらに加熱処理までを連続的に行うことで達成された。以下、本発明について詳細に説明する。

0010

先ず、着色された感光性樹脂層を仮支持体上に設けた画像形成材料について述べる。仮支持体としては、可撓性を有し加圧、もしくは加圧及び加熱下においても著しい変形、収縮もしくは伸びを生じないことが必要である。そのような支持体の例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルムトリ酢酸セルローズフィルムポリスチレンフィルムポリカーボネートフィルムをあげることができる。2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。

0011

該仮支持体の上には、着色した感光性樹脂層を直接、もしくは紫外線透過性を有し酸素透過性が低い中間層を介して設ける。さらに、転写時の気泡混入を避ける目的で、熱可塑性樹脂層を設けるのが好ましい。その場合は、仮支持体、熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層の順に積層するのが好ましい。

0012

中間層は、着色した感光性樹脂層を透明基板に密着した後で、仮支持体を剥離し、パターン露光するに際し、着色した感光性樹脂層中での光硬化反応阻害する空気中からの酸素拡散を防止するためと、3つの層を積層する場合に熱可塑性樹脂層と感光性樹脂層が混じり合わないようにするためのバリアー層として設けられる。そのため、着色した感光性樹脂層からは機械的に剥離できないようにし、かつ酸素の遮断能が高いことが好ましい。このような中間層はポリマー溶液を仮支持体上に直接、または熱可塑性樹脂層を介して塗布することにより形成される。適当なポリマーとして、特公昭46−32714号及び特公昭56−40824号の各公報に記載されているポリビニルエーテル無水マレイン酸重合体カルボキシアルキルセルロース水溶性塩水溶性セルロースエーテル類カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコールポリビニルピロリドン、各種のポリアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミドポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチンエチレンオキサイド重合体、各種の澱粉及びその類似物からなる群の水溶性塩、スチレンマレイン酸共重合体、及びマレイネート樹脂、さらにこれらの2種以上の組合せがあげられる。特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピリドンの組合せである。ポリビニルアルコールは鹸化率が80%以上であるものが好ましく、ポリビニルピロリドンの含有量は中間層固形分の1重量%〜75重量%が好ましく、より好ましくは1重量%〜60重量%、さらに好ましくは10重量%〜50重量%である。1重量%未満では感光性樹脂層との十分な密着が得られず、75重量%を超えると、酸素遮断能が低下する。中間層の厚みは非常に薄く、約0.1〜5μm、特に0.2〜2μmである。0.1μm未満だと酸素の透過性が高すぎ、5μmを超えると、現像時または中間層除去時に時間が掛かり過ぎる。

0013

熱可塑性樹脂層を構成する樹脂は、実質的な軟化点が80℃以下であることが好ましい。軟化点が80℃以下のアルカリ可溶性熱可塑性樹脂としては、エチレンアクリル酸エステルの共重合体の鹸化物、スチレンと(メタアクリル酸エステル共重合体の鹸化物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体の鹸化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチル酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体の鹸化物等からすくなくとも1つ選ばれるのが好ましいが、さらに「プラスチック性便覧」(日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査発行、1968年10月25日発行)による軟化点が約80℃以下の有機高分子のうち、アルカリ水溶液に可溶なものを使用することが出来る。また軟化点が80℃以上の有機高分子物質においてもその有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある各種の可塑剤を添加して実質的な軟化点を80℃以下に下げることも可能である。また、これらの有機高分子物質中に仮支持体との接着力を調節するために、実質的な軟化点が80℃を超えない範囲で各種のポリマーや過冷却物質密着改良剤あるいは界面活性剤離型剤等を加えることが可能である。好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコールポリエチレングリコールジオクチルフタレートジヘプチルフタレートジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェートをあげることが出来る。熱可塑性樹脂層の厚みは6μm以上が好ましい。この理由としては熱可塑性樹脂層の厚みが5μm以下であると1μm以上の下地凹凸を完全に吸収することが出来ず、転写時に下地との間に気泡を生じやすくなるためである。また上限については、現像性製造適性から100μm以下、好ましくは50μm以下である。

0014

感光性樹脂層はすくなくとも150℃以下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可塑性であることが好ましい。公知の光重合性組成物を用いた層の大部分はこの性質を有するが、公知層の一部は、熱可塑性結合剤の添加あるいは相溶性の可塑剤の添加によってさらに改質することが出来る。本発明の感光性樹脂層の素材としては公知の、例えば特願平2−82262に記載されている感光性樹脂全てが使用できる。具体的には、ネガ型ジアゾ樹脂バインダーからなる感光性樹脂層、光重合性組成物、アジド化合物とバインダーからなる感光性樹脂組成物桂皮酸型感光性樹脂組成物等があげられる。その中でも特に好ましいのは光重合性樹脂である。その光重合性樹脂は光重合開始剤光重合性モノマー及びバインダーを基本構成要素として含む。

0015

また、感光性樹脂としては、アルカリ水溶液により現像可能なものと、有機溶剤により現像可能なものが知られているが、公害防止労働安全性の確保の観点から、アルカリ水溶液現像可能なものが好ましい。感光性樹脂層にはさらにカラーフィルターの構成色である赤色、緑色、青色、黒色顔料を添加するが、これらの好ましい具体例としては、カーミン6B(C.I.12490)、フタロシアニングリーン(C.I.74260)、フタロシアニンブルー(C.I.74160)、カーボンブラック等をあげることが出来る。着色された感光性樹脂中の顔料の含有量は、1〜30重量%であることが好ましい。より好ましくは5〜20重量%である。

0016

本発明に用いる画像形成材料は、仮支持体上に着色された感光性樹脂溶液を施し、乾燥することによって得られる。さらに、必要に応じて、熱可塑性樹脂層、及び中間層を設けるが、その場合にはまず、熱可塑性樹脂層溶液を施し、乾燥することにより、熱可塑性樹脂層を設け、その後該熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶液を塗布し、乾燥し、その後感光性樹脂層を中間層を溶解しない溶剤で塗布乾燥して設ける。

0017

次に、上述したような方法で作成した画像形成材料を用いて、カラーフィルターを製造する方法を説明する。まず、透明ガラス基板を洗浄するが、その洗浄には従来公知の方法を用いることができる。例えば、ブラシ洗浄アルカリ洗剤による洗浄、純水によるすすぎ等であり、超音波照射しながらこれらを行うことにより、洗浄効果を高めることが出来る。

0018

純水ですすいだ後の基板は濡れたままシランカップリング剤水溶液散布工程に移載される。通常、純水によるすすぎ後はIPA(イソプロピルアルコールベーパー乾燥、温純水乾燥、エアーナイフ等により水切りしてカセット収納し、次工程へ移載するのが一般的であるが、次にシランカップリング剤水溶液を散布する工程が続くため、水切り及びカセット収納は省略することが可能である。こうすることで、設備の簡略化のみならず、カセット収納等のハンドリング時の基板の汚染も防止することが出来る。

0019

シランカップリング剤は種々あるが、本発明の用途にかなうものの例として、分子中にすくなくとも1個のアミノ基を有する有機シラン化合物を挙げることができる。具体例としては、γ─アミノプロピルトリメトキシシラン、γ─アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ─アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ─アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ─アミノプロピルトリエトキシシラン、γ─アミノプロピルメチルジエトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ─アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ─アミノプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。

0020

本発明で使用するアミノ基含有シランカップリング剤の水溶液は、濃度が0.01重量%〜90重量%が好ましい。0.01重量%未満では十分な密着が得られず、90重量%を超えると次工程での水洗時にシランカップリング剤の損失が増加するため好ましくない。水溶液中のシランカップリング剤は放置しておくと集合体(ゲル)を形成しやすく、該水溶液中にガラス基板を浸漬した後引き上げると、基板表面には無数のゲルが付着してしまう。これらを避けるためにシランカップリング剤槽中の水溶液を循環濾過する方法も効果はあるが、万全ではない。そこで、シランカップリング剤水溶液貯槽からポンプ吸引、加圧し、フィルターを通して基板表面に散布する方法をとる。散布された後、液は再び貯槽に戻る。こうすることで、基板に散布されるシランカップリング剤中にはゲルが存在せず、後工程でのゲルによるトラブルを防止することが出来る。

0021

このために使用されるフィルターとしては、メンブレンタイプ、ワインディングタイプとあるが、メンブレンタイプはすぐ目詰まりを起こすため、単独使用は好ましくなく、使用するならばワインディングタイプとの組合せで、後段フィルターとして使うのが好ましい。ポアーサイズは最終製品であるカラーフィルターで欠陥として問題となる大きさ以下にする必要がある。即ち10μm以下が好ましい。フィルターはポアーサイズの大きいものから小さいものへ複数段設けるのが好ましい。基板への散布はスリットからカーテン状垂らす方法、スプレーノズルから噴射する方法等、通常の方法を使うことが出来る。基板とシランカップリング剤水溶液の接触時間は1秒以上必要である。これ以下では十分な密着が得られない。一方、浸漬時間を長くしても密着性には問題は無く、生産性に影響のない範囲で適宜選択できる。散布する面は少なくともカラーフィルターを形成する面であり、両面処理しても何ら問題はない。散布液の温度は室温付近から50℃付近が好ましい。この範囲を大きく外れた場合には密着性に悪影響を及ぼす。

0022

シランカップリング剤水溶液散布後、基板を水洗工程へ移載し基板に付着した過剰なシランカップリング剤を水洗により洗い流すが、シランカップリング剤水溶液が乾燥する前に水洗するのが好ましい。乾燥後では、着色感光樹脂層の現像性が低下するので好ましくない。水洗は純水槽への浸漬、純水シャワー等が考えられるが、この工程での汚染を避けるためには純水シャワーが好ましい。シャワーする時間は5秒から200秒の範囲で、好ましくは10秒から100秒である。5秒より短いとシランカップリング剤のむらとなり、現像むらの原因になる。また200秒より長いと感光性樹脂層の密着不良の原因となる。シャワー水洗する場合は、基板の両面から行うのが好ましい。シランカップリング剤水溶液を両面に散布した場合は当然だが、片面にのみ散布した場合でも、回り込み等で反対面にも液が付着するためで、これをそのままにすると、シミとなって残り好ましくない。

0023

次に基板は水切り工程でエアーナイフにより水切りされ、熱処理工程へ移載される。熱処理温度は50℃〜200℃である。50℃より低い温度ではキュアーが十分になされず、200℃を超えるとシランカップリング剤の分解が起こる。処理時間は1分以上60分までの条件が好ましい。加熱処理の手段としてはコンベアーシャトルでガラス基板を搬送しながらクリーン熱風を吹きつける方法、赤外線又は遠赤外線を照射する方法等従来公知の方法を用いることが可能である。

0024

洗浄からシランカップリング剤処理、熱処理までをインラインで行う装置としてはローダーカセットから基板を1枚ずつ水平に搬送しながら洗浄工程、シランカップリング剤水溶液散布工程、水洗工程、水切りエアーナイフ工程、加熱処理工程を経てアンローダーカセットに収納される方式が好ましい。基板をハンガーに1枚ずつ垂直に掛け、洗浄〜熱処理の各工程は垂直静止、又はその場で上下揺動させながら処理し、工程間の移載は水平搬送する方式もあるが、この方式の場合は通常、各工程に留まる時間が全て同じになるため条件のコントロールが難しい事や、ローディングアンローディングの自動化が困難ということがあり、水平搬送にくらべ、問題が多い。

0025

前述の工程でシランカップリング剤処理したガラス基板に、次のような方法でカラーフィルターを形成する。画像形成材料の着色感光性樹脂層をガラス基板のシランカップリング剤処理した面に加圧、加温下で貼り合わせる。貼り合わせには従来公知のラミネーター真空ラミネーターが使用でき、さらに生産性を高めるためには、オートカットラミネーターの使用も可能である。その後仮支持体を剥がした後で、所定のフォトマスク、熱可塑性樹脂層、及び中間層を介して露光し、現像する。ここで、仮支持体を剥がす場合に熱可塑性樹脂層も一緒に剥がすのが高い解像度を得るためにも、また現像時間を短縮するためにも好ましい。仮支持体、熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層各層間の密着バランスをコントロールすることでこれは可能である。また、仮支持体を剥がす前に露光し、その後仮支持体を剥がして現像することも可能であるが、高解像度を得るためには、露光前に剥がすのが好ましい。

0026

現像は公知の方法で、溶剤もしくは水性現像液、特にアルカリ水溶液に浸漬するか、スプレーからの現像液噴射を与えること、さらにブラシでのこすり、または超音波を照射しつつ処理することで行われる。

0027

画像形成材料貼り合わせから現像処理までの工程を赤色、緑色、青色、黒色について繰り返せばカラーフィルターを形成することが出来る。

発明の効果

0028

本発明では、シランカップリング剤処理した透明ガラス基板上に、着色された感光性樹脂層の転写によりカラーフィルターを形成する方法において、シランカップリング剤水溶液をフィルターを通して基板に散布することによりシランカップリング剤層を設けるため、シランカップリング剤ゲルの付着がなく、欠陥の少ないカラーフィルターを製造することが出来る。また、ガラス基板洗浄からシランカップリング剤処理、さらに加熱処理までを連続的に行うことにより、装置間移動に伴う基板の汚染を防止できるとともに、効率のよいカラーフィルター製造が可能となる。

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