オクウダイア、チャイネダムイー. さんに関する公開一覧

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公開年
  1. 【課題・解決手段】ステージと、レールに沿って摺動可能に設置された少なくとも1つの軸受部材と、少なくとも1つの転がり軸受をステージと相互接続する動的応答接合部とを有する、精密移動ステージ用の、軸線方向に動的応答する転がり軸受である。動的応答接合部は、ステージが、軸線方向に直交する他の方向では固定されながらも軸線方向に移動できるように、十分に動的応答する。

    精密な位置決めのための軸線方向動的応答軸受