橘高朋子 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】温度制御性が高い吸着装置と真空装置を提供する。【解決手段】吸着装置10の吸着板37の内部の、吸着面49に近い位置に第一、第二の吸着電極32a、32bを配置して基板5を吸着し、接触面48に近い位置に第一、第二の台側電極33a、33bを配置して給電台41を吸着する。給電台41と基板との間の熱抵抗が小さくなる。吸着板37を柔軟性を有する材料で構成しておき、吸着板37...

    吸着装置、真空装置

  2. 【課題】基板の吸着状態を検出する。【解決手段】 交流信号発生器16から逆位相の正電圧側測定信号と負電圧側測定信号とを吸着装置5に出力して流れる電流を測定すると基板電極間容量CSが求められ、基板6の吸着状態が分かる。同相の正電圧側測定信号と負電圧側測定信号とを出力するとプラズマの容量CPが求められ、プラズマの状態が分かる。

    真空装置、吸着電源