カルシュテン・フォン・ハエニッシュ さんに関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】本発明が提供するのは、一般式がR1R2E−E’R3R4(I)又はR5E(E’R6R7)2(II)の少なくとも1種類の15族元素二元化合物の、蒸着プロセスにおける反応物質としての使用法である。その場合、R1、R2、R3、及びR4は、水素、アルキルラジカル(C1〜C10)、及びアリール基からなる群から独立に選択され、かつ、E及びE’は、窒素、リン、ヒ素、...

    少なくとも1種類の15族元素二元化合物の使用法、III−V族半導体層、及び15族元素二元化合物