山口侑二 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】基板に対するエッチング効果の低下を抑制できる基板処理方法を提供する。【解決手段】基板処理方法では、凹部92を含むパターンPTを有する基板Wが処理される。基板処理方法は、処理工程S1と、除去工程S2と、エッチング工程S3とを含む。処理工程S1では、基板Wを処理液で処理する。処理工程S1の後に、除去工程S2では、凹部92に入り込んでいる処理液を基板Wから除去する。...

    基板処理方法及び基板処理装置