ベンジャミンジョンクック さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】改善された荷電粒子ビーム装置および荷電粒子ビーム装置を動作させるための改善された方法を提供すること。【解決手段】マルチビーム荷電粒子ビーム装置が記載される。マルチビーム荷電粒子ビーム装置は、一次荷電粒子ビームを放出するように構成された荷電粒子源と、一次荷電粒子ビームの少なくとも第1のビームレットおよび第2のビームレットを生成するように構成された開口部を有する開...

    荷電粒子ビーム装置、荷電粒子ビーム装置のためのマルチビームブランカ、および荷電粒子ビーム装置を動作させるための方法

  2. 【課題】改善された荷電粒子ビーム装置および荷電粒子ビーム装置を動作させるための改善された方法を提供すること。【解決手段】荷電粒子ビーム装置のための荷電粒子ビームダンプが記載される。ビームダンプは、一次荷電粒子ビームレットを通過させるための穴のあいた環帯を画定する内周壁を有する環状本体であって、外周壁および底部壁をさらに有する、環状本体と、内周側および外周側を有する、環...

    荷電粒子ビーム装置、荷電粒子ビーム装置のためのマルチビームブランカ、および荷電粒子ビーム装置を動作させるための方法