ビンズサイモンニコラス さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】チャンバ内で実行される構成要素またはプロセスの監視、識別、および/または制御の測定基準を提供する能力を含むチャンバおよび/またはチャンバ構成要素を提供する。【解決手段】プロセスチャンバは、その上に配置されたチャンバリッドアセンブリを有するチャンバ本体と、チャンバリッドアセンブリに結合された1つまたは複数の監視装置と、チャンバリッドアセンブリに隣接して配置され、...

    スマートチャンバおよびスマートチャンバ構成要素