スティーブン・ティ・マイヤーズ さんに関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】金属含有レジスト組成物を含むレジストコーティングに関連したウエハ上のエッジビードを除去するための方法が記載される。方法は、金属ベースのレジスト組成物でウエハをスピンコーティングした後、ウエハエッジに沿って第1のビードエッジリンス溶液を塗布するステップを含み得、エッジビード溶液は、有機溶媒と、カルボン酸、無機フッ素化酸、テトラアルキルアンモニウム化合物...

    金属含有レジストからのエッジビード領域における金属残留物を低減する方法

  2. 【課題】薄いコーティングを用いて放射線に基づいた高解像度のパターニングを提供する。【解決手段】(1)被覆基板が、金属炭素結合および/または金属カルボキシラート結合により有機配位子を有する金属オキソ−ヒドロキソネットワークを含むコーティングを含むステップ、(2)選択されたパターンに沿って被覆基板を照射して、照射コーティングの領域および非照射コーティングの領域を有する照射...

    有機金属溶液に基づいた高解像度パターニング組成物

  3. 【課題・解決手段】金属オキシドヒドロキシド化学をベースとする高解像度リソグラフィパターン形成コーティングを作成するための有機金属前駆体が記載される。その前駆体組成物は、一般的に、穏やかな条件下で水蒸気または他のOH源組成物によって容易に加水分解可能な配位子を含む。その有機金属前駆体は、一般的に、比較的低い放射線量での高解像度パターン形成に効果的であり得、かつEUVパタ...

    有機スズオキシドヒドロキシドのパターン形成組成物、前駆体およびパターン形成