スティーブン・ティ・マイヤーズ さんに関する公開一覧

【課題・解決手段】金属含有レジスト組成物を含むレジストコーティングに関連したウエハ上のエッジビードを除去するための方法が記載される。方法は、金属ベースのレジスト組成物でウエハをスピンコーティングした後、ウエハエッジに沿って第１のビードエッジリンス溶液を塗布するステップを含み得、エッジビード溶液は、有機溶媒と、カルボン酸、無機フッ素化酸、テトラアルキルアンモニウム化合物...

• 公開日：2019/11/07
• 出願人： インプリア・コーポレイション
• 発明者： モリー・ウォラー 、...
• 公開番号：2019-532489号

【課題】薄いコーティングを用いて放射線に基づいた高解像度のパターニングを提供する。【解決手段】（１）被覆基板が、金属炭素結合および／または金属カルボキシラート結合により有機配位子を有する金属オキソ−ヒドロキソネットワークを含むコーティングを含むステップ、（２）選択されたパターンに沿って被覆基板を照射して、照射コーティングの領域および非照射コーティングの領域を有する照射...

• 公開日：2019/07/11
• 出願人： インプリア・コーポレイション
• 発明者： スティーブン・ティ・マイヤーズ 、...
• 公開番号：2019-113855号

【課題・解決手段】金属オキシドヒドロキシド化学をベースとする高解像度リソグラフィパターン形成コーティングを作成するための有機金属前駆体が記載される。その前駆体組成物は、一般的に、穏やかな条件下で水蒸気または他のＯＨ源組成物によって容易に加水分解可能な配位子を含む。その有機金属前駆体は、一般的に、比較的低い放射線量での高解像度パターン形成に効果的であり得、かつＥＵＶパタ...

• 公開日：2019/01/10
• 出願人： インプリア・コーポレイション
• 発明者： スティーブン・ティ・マイヤーズ 、...
• 公開番号：2019-500490号