熊本和哉 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】高分解能な観察をしながら、試料に対する操作、加工又は測定ができる荷電粒子線装置を実現する。【解決手段】一次電子線(12)を放出する電子源と、電子源から放出される一次電子線(12)を試料(23)に集束させる下部対物レンズ(26)と、を備え、下部対物レンズ(26)は、試料(23)に対して一次電子線(12)が入射する側の反対側に配置され、下部対物レンズ(26)の上部...

    荷電粒子線装置