佐々木貴博 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】高周波域においても良好なサーミスタ特性を有する本発明のサーミスタ膜およびサーミスタ素子の提供。また、このようなサーミスタ膜およびサーミスタ素子を工業的有利に得ることができる製造方法の提供。【解決手段】第1電極の上に、サーミスタ膜を形成する工程、前記サーミスタ膜の第1電極側の面の反対側に、第2電極を形成する工程を経て、膜厚1μm以下のサーミスタ膜と、前記サーミス...

    サーミスタ膜の製造方法

  2. 【課題】高周波域においても良好なサーミスタ特性を有する本発明のサーミスタ膜およびサーミスタ素子の提供。また、このようなサーミスタ膜およびサーミスタ素子を工業的有利に得ることができる製造方法を提供する。【解決手段】サーミスタ素子100において、第1電極51の上に、少なくともMnを含む第1の結晶性酸化物からなる第1のサーミスタ膜と、少なくともMnを含む第2の結晶性酸化物か...

    積層構造体、積層構造体を有するサーミスタ素子およびその製造方法

  3. 【課題】高周波域においても良好なサーミスタ特性を有するサーミスタ膜およびサーミスタ素子並びにこのようなサーミスタ膜およびサーミスタ素子を工業的有利に得ることができる製造方法を提供する。【解決手段】サーミスタ素子100の製造方法は、第1電極51の上に、結晶性酸化物を含み、電気抵抗率が100kΩcm以下であるサーミスタ膜50を形成する工程及びサーミスタ膜50の第1電極側の...

    サーミスタ膜、サーミスタ膜を有するサーミスタ素子およびその製造方法

  4. 【課題】高周波域においても良好なサーミスタ特性を有するサーミスタ膜およびサーミスタ素子並びにこのようなサーミスタ膜およびサーミスタ素子を工業的有利に得ることができる製造方法を提供する。【解決手段】サーミスタ素子100の製造方法は、第1電極51の上に、結晶性酸化物を含み、結晶性酸化物が一軸に配向している結晶を有しており、結晶の大きさが1μm角以上であるサーミスタ膜50を...

    サーミスタ膜、サーミスタ膜を有するサーミスタ素子およびその製造方法

  5. 【課題】高周波域においても良好なサーミスタ特性を有するサーミスタ膜およびサーミスタ素子並びにこのようなサーミスタ膜およびサーミスタ素子を工業的有利に得ることができる製造方法を提供する。【解決手段】サーミスタ素子100の製造方法は、第1電極51の上に、結晶性酸化物結晶性酸化物を含み、結晶性酸化物がCu3Mn3O8構造を有するサーミスタ膜50を形成する工程及びサーミスタ膜...

    サーミスタ膜、サーミスタ膜を有するサーミスタ素子およびその製造方法

  6. 【課題】高周波域においても良好なサーミスタ特性を有する本発明のサーミスタ薄膜およびサーミスタ素子の提供。また、このようなサーミスタ薄膜およびサーミスタ素子を工業的有利に得ることができる製造方法の提供。【解決手段】第1電極の上に、サーミスタ薄膜を形成する工程、前記サーミスタ薄膜の第1電極側の面の反対側に、第2電極を形成する工程を経て、膜厚1μm以下のサーミスタ薄膜と、前...

    サーミスタ薄膜、サーミスタ薄膜を有するサーミスタ素子およびその製造方法

  7. 【課題】回転ドメインと反りが低減された結晶性酸化物半導体膜を提供する。【解決手段】ミストを用いて、基体上に、第1の層と、第1の層とは異なる材料を主成分とする第2の層とが、少なくとも1層ずつ交互に積層されている量子井戸構造を有するバッファ層を介して、コランダム構造を有し、かつアルミニウム、ガリウムおよびインジウムからなる1種または2種以上を少なくとも含有する酸化物半導体...

    結晶性酸化物半導体膜、半導体装置

  8. 【課題】膜厚が500nm以上の結晶性AlGaO系半導体の厚膜を提供する。【解決手段】原料溶液を霧化または液滴化して生成されるミストまたは液滴を、キャリアガスでもって成膜室内に設置されている基体まで搬送し、ついで該基体上で該ミストまたは該液滴を熱反応させて成膜する際に、前記ミストまたは前記液滴を旋回させて旋回流を発生させることにより、アルミニウムおよびガリウムを少なくと...

    結晶性酸化物半導体膜、半導体装置