ローバートシー．メイ さんに関する公開一覧

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  1. 技術 基板搬送部

    【課題】ウエハの搬送又は収用中のキャリアの内部環境がウエハの汚染をもたらす恐れがない、基板キャリア及びそのツールインタフェースを提供する。【解決手段】基板搬送システムは、開口を有し少なくとも１個の基板を保持する内部環境を形成するハウジングと、開口を外部の雰囲気から密閉するドア２０９Ｄとを有するキャリアを備える。密閉されたとき、内部環境は内部雰囲気を内部に維持するよう構...

    基板搬送部