ライヒャルト，ロベルト さんに関する公開一覧
※一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。
検索結果：1～2件を表示（2件中） 1/1ページ目
- 公開年
-
【課題】銅又は銅基合金、及び／又はタンタル、窒化タンタル、チタン、窒化チタン、ルテニウム、コバルト、又はそれらの合金、を含む基板の化学的機械研磨方法における使用に適切な、化学的機械研磨（ＣＭＰ）組成物を提供する。【解決手段】（Ａ）腐食防止剤の機能を果たすベンゾトリアゾール誘導体の群から選択される１種以上の化合物、及び（Ｂ）無機粒子、有機粒子、又はそれらの複合材料若しく...
- 公開日：2019/08/29
- 出願人： ビーエーエスエフソシエタス・ヨーロピア
- 発明者： ライヒャルト，ロベルト 、...
- 公開番号：2019-143147号
-
【課題】コバルト及び／又はコバルト合金を含む基板の研磨のための化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物の使用方法【解決手段】（ｉ）コバルト及び／又は（ｉｉ）コバルト合金を含む基板（Ｓ）を化学機械研磨するための化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物（Ｑ）の使用方法であって、該化学機械研磨（ＣＭＰ）組成物（Ｑ）が、 （Ａ）無機粒子、 （Ｂ）一般式（Ｉ）のアニオン性界面活性剤、 Ｒ−Ｓ...
- 公開日：2019/07/18
- 出願人： ビーエーエスエフソシエタス・ヨーロピア
- 発明者： ライヒャルト，ロベルト 、...
- 公開番号：2019-520697号