チョウユン さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】基板に二酸化ケイ素を堆積するための方法と装置を提供する。【解決手段】本発明によれば、本質的に酸素とクリプトンからなるスパッタリングガス混合物を使用するパルスDC反応性スパッタリングにより、基板にSiO2を堆積させる方法が存在する。

    二酸化ケイ素の堆積