梅原弘毅 さんに関する公開一覧

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公開年
  1. 【課題】シリコン破砕片を収容して洗浄から乾燥までの処理を同じ容器を使用して行うことにより生じる樹脂製容器の劣化に伴うシリコン破砕片の品質汚染、特に有機物起因による汚染を低減する。【解決手段】第1樹脂製容器に収容して洗浄した後のシリコン破砕片を乾燥する前に、シリコン破砕片を純水又は超純水の中で第1樹脂製容器から第2樹脂製容器に移し替える方法である。移し替えが、純水又は超...

    シリコン破砕片の表面清浄化方法

  2. 【課題】乾燥時の保持部材から発生する有機性ガスを低減してシリコン破砕片の表面への炭素による汚染を低減する【解決手段】保持部材に収容して洗浄した後のシリコン破砕片を乾燥室内に収容し、乾燥室内を減圧して乾燥することによりシリコン破砕片を真空乾燥する方法である。保持部材が合成樹脂製保持部材であって、乾燥温度が50℃以下であることを特徴とする。また保持部材が石英製保持部材であ...

    シリコン破砕片の真空乾燥方法