土屋公亮 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】LPD数やヘイズの低減効果に優れた研磨用組成物を提供する。【解決手段】SP値の異なる複数種の繰返し単位を含む分子構造を有する水溶性ポリマーを含有する研磨用組成物や、所定の方法で求められるエッチングレートおよび砥粒吸着率がそれぞれ所定の範囲にある研磨用組成物が提供される。また、砥粒、塩基性化合物、塩基性条件下で加水分解反応性を示す官能基を有する水溶性ポリマーHお...