ロバートティー.キャベニー さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】独立した操作が可能な基板搬送ロボットのアーム回転機構を提供する。【解決手段】基板処理装置において、連続的及び回転可能に互いに結合された、第一の上腕、第一の前腕及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第一のアーム12と、連続的及び回転可能に互いに結合された、第二の上腕、第二の前腕及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第二のアーム14とは、回転軸が一致するように肩軸...

    基板処理装置及び基板搬送装置

  2. 【課題】ウエハの搬送又は収用中のキャリアの内部環境がウエハの汚染をもたらす恐れがない、基板キャリア及びそのツールインタフェースを提供する。【解決手段】基板搬送システムは、開口を有し少なくとも1個の基板を保持する内部環境を形成するハウジングと、開口を外部の雰囲気から密閉するドア209Dとを有するキャリアを備える。密閉されたとき、内部環境は内部雰囲気を内部に維持するよう構...

    基板搬送部